JP6783600B2 - Curable resin composition, dry film, printed wiring board, and method for manufacturing printed wiring board - Google Patents

Curable resin composition, dry film, printed wiring board, and method for manufacturing printed wiring board Download PDF

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Description

本発明は、硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、プリント配線板、および、プリント配線板の製造方法に関する。 The present invention relates to a curable resin composition, a dry film, a printed wiring board, and a method for manufacturing a printed wiring board.

プリント配線板の形成に用いられるソルダーレジスト等の材料として、硬化性樹脂組成物が利用されている(例えば、特許文献1)。近年、半導体部品の急速な進歩により、電子機器は軽薄短小化、高性能化、多機能化される傾向にある。この傾向に追従して半導体パッケージの小型化、多ピン化が実用化されている。具体的には、QFP(クワッド・フラットパック・パッケージ)、SOP(スモール・アウトライン・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに代わって、BGA(ボール・グリッド・アレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージが使用されている。また、近年では、さらに高密度化されたICパッケージとして、FC−BGA(フリップチップ・ボール・グリッド・アレイ)も実用化されている。このようなICパッケージに用いられるプリント配線板(パッケージ基板ともいう。)においては、SRO(Solder Resist Opening)ピッチが狭く、互いに近接して形成されるため、SRO間でショートやクロストークノイズが生じたりするおそれが高くなる。また、SRO間に形成されるソルダーレジストは、細く薄くなるためクラックが生じやすくなる。そのため、パッケージ基板に用いられるソルダーレジスト等の永久被膜には、高度な信頼性が求められる。 A curable resin composition is used as a material such as a solder resist used for forming a printed wiring board (for example, Patent Document 1). In recent years, due to the rapid progress of semiconductor components, electronic devices tend to be lighter, thinner, shorter, smaller, have higher performance, and have more functions. Following this tendency, miniaturization and multi-pinning of semiconductor packages have been put into practical use. Specifically, BGA (ball grid array), CSP (chip scale package), etc., instead of IC packages called QFP (quad flat pack package), SOP (small outline package), etc. An IC package called is used. In recent years, FC-BGA (flip chip ball grid array) has also been put into practical use as an IC package with a higher density. In a printed wiring board (also referred to as a package substrate) used for such an IC package, the SRO (Solder Rest Opening) pitch is narrow and formed close to each other, so that short circuits and crosstalk noise occur between the SROs. There is a high risk of crosstalk. Further, the solder resist formed between the SROs is thin and thin, so that cracks are likely to occur. Therefore, a high degree of reliability is required for a permanent coating such as a solder resist used for a package substrate.

信頼性を高めるために、ソルダーレジスト等の硬化物には、耐熱性や強度が要求される。また、クラックの抑制等の観点から、伸び等の柔軟性を付与することも求められている。 In order to improve reliability, a cured product such as a solder resist is required to have heat resistance and strength. Further, from the viewpoint of suppressing cracks and the like, it is also required to impart flexibility such as elongation.

特開2005−311233号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-31233

耐熱性は硬化物のガラス転移温度(Tg)を高めることによって向上させることができる。ガラス転移温度と強度に優れた硬化物を得るためには、架橋密度を高めることが考えられる。しかしながら、硬化物の架橋密度を高めると、柔軟性が低下してしまうため、ガラス転移温度、強度および柔軟性をバランスよく得ることは困難であった。 The heat resistance can be improved by increasing the glass transition temperature (Tg) of the cured product. In order to obtain a cured product having excellent glass transition temperature and strength, it is conceivable to increase the crosslink density. However, if the crosslink density of the cured product is increased, the flexibility is lowered, so that it is difficult to obtain a good balance between the glass transition temperature, the strength and the flexibility.

そこで、本発明の目的は、ガラス転移温度が高く、強度および柔軟性に優れた硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、その硬化物、該硬化物を有するプリント配線板、および、該組成物を用いたプリント配線板の製造方法を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is a curable resin composition capable of obtaining a cured product having a high glass transition temperature and excellent strength and flexibility, a dry film having a resin layer obtained from the composition, and a cured product thereof. , A printed wiring board having the cured product, and a method for manufacturing a printed wiring board using the composition.

本発明者等は上記を鑑み鋭意検討した結果、特定の2種のカルボキシル基含有樹脂を配合した硬化性樹脂組成物を用いることによって、前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of diligent studies in view of the above, the present inventors have found that the above problems can be solved by using a curable resin composition containing two specific types of carboxyl group-containing resins, and have completed the present invention. It was.

即ち、本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂とフェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物と不飽和カルボン酸との反応生成物(A1)と、多塩基酸無水物との反応生成物である感光性カルボキシル基含有樹脂、(B)エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応生成物(B1)と多塩基酸無水物との反応生成物(B2)と、オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物との反応生成物である感光性カルボキシル基含有樹脂、(C)光重合開始剤、および、(D)エポキシ樹脂を含むことを特徴とするものである。 That is, the curable resin composition of the present invention comprises (A) a reaction product (A1) of an epoxy resin, a compound containing a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, and an unsaturated carboxylic acid, and a polybasic acid anhydride. Photosensitive carboxyl group-containing resin, which is a reaction product, (B) Reaction product of epoxy resin and unsaturated carboxylic acid (B1), reaction product of polybasic acid anhydride (B2), oxylan ring and ethylene. It is characterized by containing a photosensitive carboxyl group-containing resin which is a reaction product with a compound having a sex unsaturated group, (C) a photopolymerization initiator, and (D) an epoxy resin.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(A)カルボキシル基含有樹脂と前記(B)カルボキシル基含有樹脂との配合比(質量比)が、3:7〜7:3であることが好ましい。 The curable resin composition of the present invention preferably has a compounding ratio (mass ratio) of the (A) carboxyl group-containing resin and the (B) carboxyl group-containing resin of 3: 7 to 7: 3.

本発明のドライフィルムは、前記硬化性樹脂組成物を、フィルム上に塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。 The dry film of the present invention is characterized by having a resin layer obtained by applying the curable resin composition on the film and drying it.

本発明の硬化物は、前記硬化性樹脂組成物、または、前記ドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とするものである。 The cured product of the present invention is characterized by being obtained by curing the curable resin composition or the resin layer of the dry film.

本発明のプリント配線板は、前記硬化物を備えることを特徴とするものである。 The printed wiring board of the present invention is characterized by including the cured product.

本発明のプリント配線板の製造方法は、基材上に、前記硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥して、または、前記ドライフィルムの樹脂層をラミネートして、基材上に樹脂層を形成する工程、基材上の前記樹脂層に選択的に光照射して光硬化させる光硬化工程、光硬化工程後に現像により未照射部分を除去しパターン層を得る現像工程、パターン層に光照射する光照射工程、および、前記光照射されたパターン層を加熱する工程、を含むことを特徴とするものである。 In the method for producing a printed wiring board of the present invention, the curable resin composition is applied and dried on a base material, or the resin layer of the dry film is laminated to form a resin layer on the base material. A photo-curing step of selectively irradiating the resin layer on the substrate with light to cure the resin, a developing step of removing an unirradiated portion by development after the photo-curing step to obtain a pattern layer, and irradiating the pattern layer with light. It is characterized by including a light irradiation step and a step of heating the light-irradiated pattern layer.

本発明によれば、ガラス転移温度が高く、強度および柔軟性に優れた硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、その硬化物、該硬化物を有するプリント配線板、および、該組成物を用いたプリント配線板の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, a curable resin composition capable of obtaining a cured product having a high glass transition temperature and excellent strength and flexibility, a dry film having a resin layer obtained from the composition, a cured product thereof, and the like. It is possible to provide a printed wiring board having a cured product and a method for producing a printed wiring board using the composition.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂とフェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物と不飽和カルボン酸との反応生成物(A1)と、多塩基酸無水物との反応生成物である感光性カルボキシル基含有樹脂(以下、「(A)カルボキシル基含有樹脂」とも称する)、(B)エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応生成物(B1)と多塩基酸無水物との反応生成物(B2)と、オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物との反応生成物である感光性カルボキシル基含有樹脂(以下、「(B)カルボキシル基含有樹脂」とも称する」)、(C)光重合開始剤、および、(D)エポキシ樹脂を含む。本発明の硬化性樹脂組成物の硬化物を得る際には、現像してパターン層を形成した後に、パターン層に光照射してから、加熱して熱硬化することが好ましい。このようなパターン層の形成後かつ加熱前の光照射工程を行うことによって、ガラス転移温度が高く、強度および柔軟性に優れたパターン状の硬化物を容易に得ることができる。詳しいメカニズムは明らかではないが、(A)カルボキシル基含有樹脂と(B)カルボキシル基含有樹脂とを併用することによって、エチレン性不飽和基の反応に由来する光架橋点と、カルボキシル基およびエポキシ基の反応に由来する熱架橋点との距離的なバランスが良好となったからだと考えられる。 The curable resin composition of the present invention is a reaction product of (A) an epoxy resin, a reaction product (A1) of a compound containing a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, and an unsaturated carboxylic acid, and a polybasic acid anhydride. Photosensitive carboxyl group-containing resin (hereinafter, also referred to as "(A) carboxyl group-containing resin"), (B) reaction product of epoxy resin and unsaturated carboxylic acid (B1), and polybasic acid anhydride. A photosensitive carboxyl group-containing resin (hereinafter, also referred to as “(B) carboxyl group-containing resin”), which is a reaction product of the reaction product (B2) of (B2) and a compound having an oxylane ring and an ethylenically unsaturated group. It contains (C) a photopolymerization initiator and (D) an epoxy resin. When obtaining a cured product of the curable resin composition of the present invention, it is preferable that after developing to form a pattern layer, the pattern layer is irradiated with light and then heated to be thermoset. By performing the light irradiation step after forming such a pattern layer and before heating, a patterned cured product having a high glass transition temperature and excellent strength and flexibility can be easily obtained. Although the detailed mechanism is not clear, by using (A) a carboxyl group-containing resin and (B) a carboxyl group-containing resin in combination, a photocrosslinking point derived from the reaction of an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group and an epoxy group It is considered that this is because the distance balance with the thermal cross-linking point derived from the reaction of

また、本発明の技術分野において、硬化物に柔軟性を付与する手段としてエラストマーを配合することが知られているが、エラストマーを配合すると、解像性が低下するという問題があった。本発明の硬化性樹脂組成物から得られる硬化物は、エラストマーを配合せずとも柔軟性に優れるため、解像性と柔軟性を両立することもできる。 Further, in the technical field of the present invention, it is known that an elastomer is blended as a means for imparting flexibility to a cured product, but when the elastomer is blended, there is a problem that the resolution is lowered. Since the cured product obtained from the curable resin composition of the present invention has excellent flexibility without blending an elastomer, both resolution and flexibility can be achieved at the same time.

(A)カルボキシル基含有樹脂と(B)カルボキシル基含有樹脂との配合比(質量比)は、3:7〜7:3であることが好ましく、4:6〜6:4であることがより好ましい。 The compounding ratio (mass ratio) of the (A) carboxyl group-containing resin and the (B) carboxyl group-containing resin is preferably 3: 7 to 7: 3, and more preferably 4: 6 to 6: 4. preferable.

((A)エポキシ樹脂とフェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物と不飽和カルボン酸との反応生成物(A1)と、多塩基酸無水物との反応生成物である感光性カルボキシル基含有樹脂)
(A)カルボキシル基含有樹脂が有する、フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物に由来する構造が、特に柔軟性に寄与していると考えられる。
((A) Photosensitive carboxyl group-containing resin which is a reaction product of (A1) an epoxy resin, a compound containing a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, and an unsaturated carboxylic acid, and a polybasic acid anhydride. )
It is considered that the structure derived from the compound containing the phenolic hydroxyl group and the alcoholic hydroxyl group of the (A) carboxyl group-containing resin particularly contributes to the flexibility.

前記エポキシ樹脂としては、1個以上のエポキシ基を有する公知慣用の化合物を使用することができ、なかでも、2個以上のエポキシ基を有する化合物が好ましい。例えば、ブチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレートなどのモノエポキシ化合物などのモノエポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、フェニル−1,3−ジグリシジルエーテル、ビフェニル−4,4’−ジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、エチレングリコールまたはプロピレングリコールのジグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物が挙げられる。前記エポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 As the epoxy resin, a known and commonly used compound having one or more epoxy groups can be used, and among them, a compound having two or more epoxy groups is preferable. For example, monoepoxy compounds such as monoepoxy compounds such as butyl glycidyl ether, phenylglycidyl ether, and glycidyl (meth) acrylate, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, Cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, trisphenol methane type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, glycidyl ester resin, glycidyl amine resin, trimethylolpropanpolyglycidyl ether, phenyl -1,3-diglycidyl ether, biphenyl-4,4'-diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, ethylene glycol or propylene glycol diglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, tris (2,3) Examples thereof include compounds having two or more epoxy groups in one molecule, such as −epoxypropyl) isocyanurate and triglycidyltris (2-hydroxyethyl) isocyanurate. One type of the epoxy resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.

2個以上のエポキシ基を有する化合物としては、具体的には、三菱化学社製のjER828、jER834、jER1001、jER1004、DIC社製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、新日鉄住金化学社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル日本社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、住友化学社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等のビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL903、DIC社製のエピクロン152、エピクロン165、新日鉄住金化学社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル日本社製のD.E.R.542、住友化学社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.711、A.E.R.714等のブロム化エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER152、jER154、ダウケミカル日本社製のD.E.N.431、D.E.N.438、DIC社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、新日鉄住金化学社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、日本化薬社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、NC−3000、住友化学社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299、新日鉄住金化学社製のYDCN−700−2、YDCN−700−3、YDCN−700−5,YDCN−700−7、YDCN−700−10、YDCN−704、YDCN−704A、DIC社製のエピクロンN−680、N−690、N−695等のノボラック型エポキシ樹脂;DIC社製のエピクロン830、三菱化学社製jER807、新日鉄住金化学社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004等のビスフェノールF型エポキシ樹脂;新日鉄住金化学社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER604、新日鉄住金化学社製のエポトートYH−434;住友化学社製のスミ−エポキシELM−120等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;ダイセル社製のセロキサイド2021等の脂環式エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−933、ダウケミカル日本社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;日本化薬社製EBPS−200、ADEKA社製EPX−30、DIC社製のEXA−1514等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER157S等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL−931等のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;日産化学工業社製のTEPIC等の複素環式エポキシ樹脂;日油社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;新日鉄住金化学社製ZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鉄住金化学社製ESN−190、ESN−360、DIC社製HP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;DIC社製HP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日油社製CP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;CTBN変性エポキシ樹脂(例えば新日鉄住金化学社製のYR−102、YR−450等);トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらの中でも、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、および、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂が好ましい。 Specific examples of the compound having two or more epoxy groups include jER828, jER834, jER1001, jER1004 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epicron 840, Epicron 850, Epicron 1050, Epicron 2055 manufactured by DIC Corporation, and Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Epoxy YD-011, YD-013, YD-127, YD-128, Dow Chemical Japan Co., Ltd. E. R. 317, D.I. E. R. 331, D. E. R. 661, D.I. E. R. 664, Sumitomo Chemical Co., Ltd. Sumi-Epoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd. E. R. 330, A. E. R. 331, A. E. R. 661, A. E. R. Bisphenol A type epoxy resin such as 664; jERYL903 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epicron 152 and Epicron 165 manufactured by DIC, Epototo YDB-400 and YDB-500 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., D.D. E. R. 542, Sumitomo Chemical's Sumi-Epoxy ESB-400, ESB-700, Asahi Kasei E-Materials' A.M. E. R. 711, A. E. R. Brominated epoxy resin such as 714; jER152, jER154 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, D.D. E. N. 431, D.I. E. N. 438, Epicron N-730, Epicron N-770, Epicron N-865 manufactured by DIC, Epototo YDCN-701, YDCN-704 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., EPPN-201, EOCN-1025 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306, NC-3000, Sumitomo Chemical's Sumi-Epoxy ESCN-195X, ESCN-220, Asahi Kasei E-Materials' A.M. E. R. ECN-235, ECN-299, YDCN-700-2, YDCN-700-3, YDCN-700-5, YDCN-700-7, YDCN-700-10, YDCN-704, YDCN- manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Novorak type epoxy resins such as 704A and DIC's Epicron N-680, N-690, N-695; DIC's Epicron 830, Mitsubishi Chemical's jER807, Nippon Steel & Sumikin Chemical's Epototo YDF-170, YDF Bisphenol F type epoxy resin such as -175, YDF-2004; Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin such as Epototo ST-2004, ST-2007, ST-3000 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd .; jER604, Nippon Steel Co., Ltd. manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. Epototo YH-434 manufactured by Sumikin Chemical Co., Ltd .; Glycidylamine type epoxy resin such as Sumi-epoxy ELM-120 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd .; Hydant-in type epoxy resin; Alicyclic epoxy resin such as Celoxide 2021 manufactured by Daicel Co. YL-933 manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd. E. N. , EPPN-501, EPPN-502 and the like trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; Mitsubishi Chemical Co., Ltd. YL-6056, YX-4000, YL-6121 and the like bixilenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; Bisphenol S type epoxy resin such as EBPS-200 manufactured by Kayakusha, EPX-30 manufactured by ADEKA, EXA-1514 manufactured by DIC; Bisphenol A novolac type epoxy resin such as jER157S manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd .; Tetraphenylol ethane type epoxy resin such as jERYL-931; heterocyclic epoxy resin such as TEPIC manufactured by Nissan Chemical Industries; diglycidyl phthalate resin such as Blemmer DGT manufactured by Nikko Co., Ltd .; ZX-1063 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Chemical Co., Ltd. Tetraglycidyl xylenoyl ethane resin; Naphthalene group-containing epoxy resin such as ESN-190, ESN-360, DIC HP-4032, EXA-4750, EXA-4700 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation; HP-7200 manufactured by DIC , HP-7200H and other epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton; glycidyl methacrylate copolymerized epoxy resins such as CP-50S and CP-50M manufactured by Nichiyu Co., Ltd .; and cyclohexyl maleimide and glycidyl methacrylate copolymerized epoxy resins; CTBN-modified epoxy resins (for example, YR-102, YR-450 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation); trisphenol methane type epoxy resins and the like can be mentioned, but are not limited thereto. Among these, a bixylenol type epoxy resin, a biphenol type epoxy resin, a novolac type epoxy resin, and a bisphenol A novolak type epoxy resin are preferable.

前記フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物としては、特に限定されないが、下記一般式(1)で表される化合物であることが好ましい。前記フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。

Figure 0006783600
(式中、xは、0〜5までの整数であり、ベンゼン環の水素と置換する置換基Rの数を表し、Rは、xが1のとき、炭素数1〜4の飽和または不飽和アルキル基、フェニル基またはシクロヘキシル基の中から選ばれる一つの置換基を表し、xが2以上のとき、前記置換基の中から重複を許してx個選ばれる同一または異なる複数の置換基を表す。yは1〜5の整数であり、ベンゼン環の水素と置換する置換基R−OHの数を表し、Rは、yが1のとき、炭素数1〜20の直鎖、分岐または環状のアルキレン基または
Figure 0006783600
(ここで、Rはエチレン基、プロピレン基、ヒドロキシプロピレン基または
Figure 0006783600
(n=2または3、z=1または2)である。)の中から選ばれる一つの置換基を表し、yが2以上のとき、前記置換基の中から重複を許してy個選ばれる同一または異なる複数の置換基を表す。) The compound containing the phenolic hydroxyl group and the alcoholic hydroxyl group is not particularly limited, but is preferably a compound represented by the following general formula (1). As the compound containing the phenolic hydroxyl group and the alcoholic hydroxyl group, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.
Figure 0006783600
(Wherein, x is an integer from 0 to 5, represents the number of substituents R 1, which replaces the hydrogen of the benzene ring, R 1, when x is 1, 1 to 4 carbon atoms, saturated or Represents one substituent selected from an unsaturated alkyl group, a phenyl group or a cyclohexyl group, and when x is 2 or more, the same or different plurality of substituents are selected by allowing duplication from the above substituents. .y representing a is an integer from 1 to 5, represents the number of substituents R 2 -OH replacing the hydrogen of the benzene ring, R 2, when y is 1, a straight-chain having 1 to 20 carbon atoms, Branched or cyclic alkylene group or
Figure 0006783600
(Here, R 3 is an ethylene group, a propylene group, a hydroxypropylene group or
Figure 0006783600
(N = 2 or 3, z = 1 or 2). ), And when y is 2 or more, it represents the same or different plurality of substituents selected from y by allowing duplication. )

前記不飽和カルボン酸としては、特に限定されないが、例えば、アクリル酸、メタアクリル酸、クロトン酸、ビニル酢酸、ソルビン酸、桂皮酸;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸カプロラクトン付加物などの水酸基含有アクリレートに不飽和二塩基酸無水物が付加した物などが挙げられる。ここで特に好ましいのはアクリル酸、メタアクリル酸である。前記不飽和カルボン酸は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。尚、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。 The unsaturated carboxylic acid is not particularly limited, and is, for example, acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, vinylacetic acid, sorbic acid, cinnamic acid; hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl. Unsaturated dibasic acid in hydroxyl group-containing acrylates such as (meth) acrylate, trimethylolpropandi (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and caprolactone (meth) acrylate adduct. Examples thereof include those to which an anhydride is added. Here, acrylic acid and methacrylic acid are particularly preferable. The unsaturated carboxylic acid may be used alone or in combination of two or more. In addition, in this specification, (meth) acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate and a mixture thereof, and the same applies to other similar expressions.

エポキシ樹脂と、フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物と、不飽和カルボン酸との反応は、エポキシ樹脂に、フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物と不飽和カルボン酸を同時に反応させる方法、あるいはまずエポキシ樹脂とフェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物を反応させ、次いで不飽和カルボン酸を反応させる方法、又はエポキシ樹脂と不飽和カルボン酸を反応させ、次いでフェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物を反応させる方法等があり、いずれも採用することができる。このような反応は、後述する有機溶剤の存在下あるいは非存在下で、ハイドロキノンや酸素等の重合禁止剤、およびトリエチルアミン等の三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン等のリン化合物等の反応触媒の共存下、通常80〜130℃で容易に行うことができる。 The reaction of an epoxy resin, a compound containing a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, and an unsaturated carboxylic acid is a method of simultaneously reacting an epoxy resin with a compound containing a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group and an unsaturated carboxylic acid. Alternatively, the epoxy resin is first reacted with a compound containing a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, and then an unsaturated carboxylic acid is reacted, or the epoxy resin is reacted with an unsaturated carboxylic acid, and then the phenolic hydroxyl group and the alcoholic hydroxyl group are reacted. There are methods for reacting the containing compounds, and any of them can be adopted. Such a reaction is carried out in the presence or absence of an organic solvent described later, using a polymerization inhibitor such as hydroquinone or oxygen, a tertiary amine such as triethylamine, a quaternary ammonium salt such as triethylbenzylammonium chloride, or 2-ethyl. It can be easily carried out at 80 to 130 ° C. in the coexistence of a reaction catalyst such as an imidazole compound such as -4-methylimidazole and a phosphorus compound such as triphenylphosphine.

また、前記反応における各成分の割合は、エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対して、フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物のフェノール性水酸基が0.2〜0.6当量となり、かつ、フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物のフェノール性水酸基と不飽和カルボン酸のカルボキシル基が合計で0.8〜1.3当量となる割合が好ましい。フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物の割合が増すと耐吸湿性およびPCT耐性が向上し、解像性および硬化物のラインの表面部と底部の線幅の再現性が増す。不飽和カルボン酸の割合が減少し過ぎないことが好ましく、その結果、光反応性および光照射後の硬化膜表面部の耐現像性が良好となり、また、感度の低下を抑制し、作業性の面でも好ましい。 The ratio of each component in the reaction is such that the phenolic hydroxyl group of the compound containing the phenolic hydroxyl group and the alcoholic hydroxyl group is 0.2 to 0.6 equivalent with respect to 1 equivalent of the epoxy group of the epoxy resin, and the phenol is phenol. The ratio of the phenolic hydroxyl group of the compound containing the acidic hydroxyl group and the alcoholic hydroxyl group and the carboxyl group of the unsaturated carboxylic acid to a total of 0.8 to 1.3 equivalents is preferable. Increasing the proportion of compounds containing phenolic and alcoholic hydroxyl groups improves hygroscopicity and PCT resistance, increasing resolution and reproducibility of surface and bottom line widths of cured products. It is preferable that the proportion of unsaturated carboxylic acid does not decrease too much, and as a result, the photoreactivity and the development resistance of the surface of the cured film after light irradiation are improved, the decrease in sensitivity is suppressed, and the workability is improved. It is also preferable in terms of surface.

前記多塩基酸無水物としては、特に限定されないが、例えば、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、3,6−エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルブテニルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸、無水クロレンド酸等の脂環式二塩基酸無水物;無水コハク酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、オクテニル無水コハク酸、ペンタドデセニル無水コハク酸、無水フタル酸、無水トリメリット酸等の脂肪族又は芳香族二塩基酸無水物、あるいはビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族又は芳香族四塩基酸二無水物が挙げられる。これらの中でも、脂環式二塩基酸無水物が特に好ましい。前記多塩基酸無水物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The polybasic acid anhydride is not particularly limited, and for example, methyltetrahydroanhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrohydride, nadicic anhydride, 3,6-endomethylenetetrahydro. Alicyclic dibasic anhydrides such as phthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrohydride, methylbutenyltetrahydrophthalic anhydride, tetrabromophthalic anhydride, chlorendic anhydride; succinic anhydride, maleic anhydride, itaconic anhydride. , Octenyl succinic anhydride, pentadodecenyl succinic anhydride, phthalic anhydride, trimellitic anhydride and other aliphatic or aromatic dibasic acid anhydrides, or biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, diphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride, butane. Examples thereof include aliphatic or aromatic tetrabasic acid dianhydrides such as tetracarboxylic acid dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic acid dianhydride, pyromellitic anhydride, and benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride. Among these, alicyclic dibasic acid anhydride is particularly preferable. The polybasic acid anhydride may be used alone or in combination of two or more.

多塩基酸無水物は、エポキシ樹脂と、フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物と、不飽和カルボン酸との反応生成物(A1)のアルコール性水酸基に反応させることが好ましい。この反応において、多塩基酸無水物の使用量は、前記反応生成物中のアルコール性水酸基に対して無水物基が99:1〜1:99の割合が適しており、好ましくは生成する(A)カルボキシル基含有樹脂の酸価が50〜120mgKOH/gとなるような付加量とする。反応は、後述する有機溶剤の存在下又は非存在下でハイドロキノンや酸素等の重合禁止剤の存在下、通常50〜130℃で行う。このとき必要に応じて、トリエチルアミン等の三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン等のリン化合物等を触媒として添加してもよい。 The polybasic acid anhydride is preferably reacted with the alcoholic hydroxyl group of the reaction product (A1) of the epoxy resin, the compound containing the phenolic hydroxyl group and the alcoholic hydroxyl group, and the unsaturated carboxylic acid. In this reaction, the ratio of the anhydride group to the alcoholic hydroxyl group in the reaction product is preferably 99: 1 to 1:99, and the amount of the polybasic acid anhydride used is preferably 99: 1 to 1:99 (A). ) The addition amount is such that the acid value of the carboxyl group-containing resin is 50 to 120 mgKOH / g. The reaction is usually carried out at 50 to 130 ° C. in the presence or absence of an organic solvent described later and in the presence of a polymerization inhibitor such as hydroquinone or oxygen. At this time, if necessary, a tertiary amine such as triethylamine, a quaternary ammonium salt such as triethylbenzylammonium chloride, an imidazole compound such as 2-ethyl-4-methylimidazole, a phosphorus compound such as triphenylphosphine, etc. are added as catalysts. You may.

(A)カルボキシル基含有樹脂は、エポキシ樹脂のエポキシ基と、フェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物との反応に基づく、下記の構造を有することが好ましい。

Figure 0006783600
(式中、R、R、xは、上記一般式(1)と同じであり、y1は0〜4の整数を表す。) The carboxyl group-containing resin (A) preferably has the following structure based on the reaction between the epoxy group of the epoxy resin and the compound containing a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.
Figure 0006783600
(In the formula, R 1 , R 2 , and x are the same as the above general formula (1), and y1 represents an integer of 0 to 4.)

(A)カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲が好ましい。重量平均分子量が2,000以上の場合、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時に膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が150,000以下の場合、現像性が良好で、貯蔵安定性にも優れる。 The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A) varies depending on the resin skeleton, but is preferably in the range of 2,000 to 150,000, more preferably 5,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is 2,000 or more, the tack-free performance is good, the moisture resistance of the coating film after exposure is good, film loss can be suppressed during development, and resolution deterioration can be suppressed. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, the developability is good and the storage stability is also excellent.

((B)エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応生成物(B1)と多塩基酸無水物との反応生成物(B2)と、オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物との反応生成物である感光性カルボキシル基含有樹脂)
(B)カルボキシル基含有樹脂が有する、オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物に由来する構造が、特にガラス転移温度および強度に寄与していると考えられる。
((B) Reaction product of epoxy resin and unsaturated carboxylic acid (B1) and reaction product of polybasic acid anhydride (B2), and reaction production of a compound having an oxylane ring and an ethylenically unsaturated group Photosensitive carboxyl group-containing resin)
It is considered that the structure derived from the compound having an oxylane ring and an ethylenically unsaturated group (B) of the carboxyl group-containing resin particularly contributes to the glass transition temperature and strength.

前記エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、例えば、(A)カルボキシル基含有樹脂を合成するための成分として挙げたエポキシ樹脂と同様のものが挙げられる。それらの中でも、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂およびビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂を特に好適に使用することができる。前記エポキシ樹脂は、軟化点が60℃以上であることが好ましい。前記エポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The epoxy resin is not particularly limited, and examples thereof include the same epoxy resins as those mentioned as the component for synthesizing the (A) carboxyl group-containing resin. Among them, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin and bisphenol A novolac type epoxy resin can be particularly preferably used. The epoxy resin preferably has a softening point of 60 ° C. or higher. One type of the epoxy resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.

前記不飽和カルボン酸としては、特に限定されないが、例えば、(A)カルボキシル基含有樹脂を合成するための成分として挙げた不飽和カルボン酸と同様のものが挙げられる。それらの中でも、アクリル酸は、エポキシ基との反応性が良好で、生成した樹脂の光硬化性が優れているので、特に好適に使用することができる。前記不飽和カルボン酸は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。不飽和モノカルボン酸は、エポキシ樹脂と反応することにより、エポキシ基とカルボキシル基との反応でオキシラン環が開裂し、水酸基とエステル結合が生成する。 The unsaturated carboxylic acid is not particularly limited, and examples thereof include the same unsaturated carboxylic acid as the component for synthesizing the (A) carboxyl group-containing resin. Among them, acrylic acid has good reactivity with an epoxy group and has excellent photocurability of the produced resin, so that it can be used particularly preferably. The unsaturated carboxylic acid may be used alone or in combination of two or more. When the unsaturated monocarboxylic acid reacts with the epoxy resin, the oxylan ring is cleaved by the reaction between the epoxy group and the carboxyl group, and an ester bond is formed with the hydroxyl group.

エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応は、適当な反応希釈剤中で加熱することにより行うことができる。 The reaction between the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid can be carried out by heating in a suitable reaction diluent.

エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応の希釈剤としては、光重合性モノマー又は有機溶剤を用いることができる。反応希釈剤として用いることができる光重合性モノマーとしては、特に限定されないが、例えば、後述するエチレン性不飽和基を有する化合物として挙げた光重合性モノマーと同様のものが挙げられる。希釈剤として用いることができる有機溶剤としては、特に限定されないが、後述する有機溶剤と同様のものが挙げられる。反応希釈剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。反応希釈剤は、反応系の総質量に対して20〜50質量%となるよう添加することが好ましい。 As the diluent for the reaction between the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid, a photopolymerizable monomer or an organic solvent can be used. The photopolymerizable monomer that can be used as the reaction diluent is not particularly limited, and examples thereof include the same photopolymerizable monomers as the compounds having an ethylenically unsaturated group described later. The organic solvent that can be used as the diluent is not particularly limited, and examples thereof include the same organic solvents as those described later. One type of reaction diluent may be used alone, or two or more types may be used in combination. The reaction diluent is preferably added so as to be 20 to 50% by mass with respect to the total mass of the reaction system.

エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との前記反応において、エポキシ樹脂のエポキシ基の量と、反応させる不飽和カルボン酸の量は、ほぼ当量であることが好ましい。ほぼ当量とすることによって、この後の合成反応時に目的としない反応を低減し、樹脂のゲル化や、硬化性樹脂組成物の保存安定性の低下を抑制できる。また、未反応のカルボキシル基を低減し、樹脂中の低分子量の化合物が減少し、硬化膜の特性が良好となる。エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応温度は、100〜120℃であることが好ましい。反応温度が100℃以上の場合、反応速度が良好であり、反応に長時間を要しない。反応温度が120℃以下の場合、不飽和カルボン酸の熱重合を防ぎ、反応中にゲル化が生じにくくなる。 In the reaction between the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid, the amount of the epoxy group of the epoxy resin and the amount of the unsaturated carboxylic acid to be reacted are preferably substantially the same amount. By setting the amount to approximately the same amount, it is possible to reduce unintended reactions during the subsequent synthetic reaction, and suppress gelation of the resin and deterioration of the storage stability of the curable resin composition. In addition, unreacted carboxyl groups are reduced, low molecular weight compounds in the resin are reduced, and the characteristics of the cured film are improved. The reaction temperature of the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid is preferably 100 to 120 ° C. When the reaction temperature is 100 ° C. or higher, the reaction rate is good and the reaction does not take a long time. When the reaction temperature is 120 ° C. or lower, thermal polymerization of the unsaturated carboxylic acid is prevented, and gelation is less likely to occur during the reaction.

エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応生成物(B1)に、さらに多塩基酸無水物を反応させる。エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸の反応生成物(B1)は、単離することなく、反応希釈剤溶液のまま、二塩基酸無水物との反応に供することができる。前記多塩基酸無水物としては、特に限定されないが、例えば、(A)カルボキシル基含有樹脂を合成するための成分として挙げた多塩基酸無水物と同様のものが挙げられる。それらの中でも、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸およびメチルテトラヒドロ無水フタル酸を特に好適に使用することができる。本発明において、多塩基酸無水物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。多塩基酸無水物は、エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応で生成した水酸基と反応し、エステル結合と遊離のカルボキシル基を生成する。 The reaction product (B1) of the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid is further reacted with the polybasic acid anhydride. The reaction product (B1) of the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid can be subjected to the reaction with the dibasic acid anhydride as it is in the reaction diluent solution without isolation. The polybasic acid anhydride is not particularly limited, and examples thereof include the same polybasic acid anhydrides mentioned as the components for synthesizing the (A) carboxyl group-containing resin. Among them, succinic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride and methyltetrahydrophthalic anhydride can be particularly preferably used. In the present invention, one type of polybasic acid anhydride may be used alone, or two or more types may be used in combination. The polybasic acid anhydride reacts with the hydroxyl group generated by the reaction of the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid to generate an ester bond and a free carboxyl group.

反応させる多塩基酸無水物の量は、エポキシ樹脂に反応させた不飽和カルボン酸の0.4〜1.0モル倍であることが好ましい。エポキシ樹脂には、反応させた不飽和カルボン酸のモル数に等しい当量数の水酸基が生成するほかに、エポキシ樹脂が最初から有していた水酸基が存在する。エポキシ樹脂に反応させた不飽和カルボン酸の0.4〜1.0モル倍の多塩基酸無水物を反応させることにより、樹脂が有する水酸基の一部をそのまま残し、残りの水酸基をエステル化することができる。反応させる多塩基酸無水物の量が、エポキシ樹脂に反応させた不飽和カルボン酸の0.4モル倍以上の場合、硬化性樹脂組成物の希アルカリ現像性が良好となる。反応させる多塩基酸無水物の量が、エポキシ樹脂に反応させた不飽和カルボン酸の1.0モル倍以下の場合、硬化性樹脂組成物の保存安定性が良好となる。 The amount of the polybasic acid anhydride to be reacted is preferably 0.4 to 1.0 mol times that of the unsaturated carboxylic acid reacted with the epoxy resin. In the epoxy resin, in addition to generating an equivalent number of hydroxyl groups equal to the number of moles of the reacted unsaturated carboxylic acid, there are hydroxyl groups that the epoxy resin had from the beginning. By reacting a polybasic acid anhydride 0.4 to 1.0 mol times as much as the unsaturated carboxylic acid reacted with the epoxy resin, some of the hydroxyl groups of the resin are left as they are, and the remaining hydroxyl groups are esterified. be able to. When the amount of the polybasic acid anhydride to be reacted is 0.4 mol times or more the amount of the unsaturated carboxylic acid reacted with the epoxy resin, the dilute alkali developability of the curable resin composition becomes good. When the amount of the polybasic acid anhydride to be reacted is 1.0 mol times or less of the unsaturated carboxylic acid reacted with the epoxy resin, the storage stability of the curable resin composition is good.

多塩基酸無水物は、エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応生成物(B1)に添加して反応させることができる。反応生成物(B1)が反応希釈剤の溶液として存在する場合は、この溶液に多塩基酸無水物を添加して溶解し、加熱することにより、反応を良好に進めることができる。反応温度は、70〜100℃であることが好ましい。エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応生成物(B1)に、多塩基酸無水物を反応して得られる反応生成物(B2)であるカルボキシル基含有樹脂は、酸価が60〜170mgKOH/gであることが好ましく、60〜160mgKOH/gであることがより好ましい。前記カルボキシル基含有樹脂の酸価は、反応する多塩基酸無水物の量を選択することにより、容易に調整することができる。酸価が60mgKOH/g以上の場合、硬化性樹脂組成物の希アルカリ現像性が良好となる。酸価が170mgKOH/g以下の場合、硬化性樹脂組成物の保存安定性が良好となる。 The polybasic acid anhydride can be added to and reacted with the reaction product (B1) of the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid. When the reaction product (B1) is present as a solution of the reaction diluent, the reaction can proceed satisfactorily by adding a polybasic acid anhydride to this solution, dissolving the reaction product (B1), and heating the solution. The reaction temperature is preferably 70 to 100 ° C. The carboxyl group-containing resin, which is a reaction product (B2) obtained by reacting a reaction product (B1) of an epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid with a polybasic acid anhydride, has an acid value of 60 to 170 mgKOH / g. It is preferably 60 to 160 mgKOH / g, and more preferably 60 to 160 mgKOH / g. The acid value of the carboxyl group-containing resin can be easily adjusted by selecting the amount of the polybasic anhydride to be reacted. When the acid value is 60 mgKOH / g or more, the dilute alkali developability of the curable resin composition becomes good. When the acid value is 170 mgKOH / g or less, the storage stability of the curable resin composition is good.

エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応生成物(B1)に、多塩基酸無水物を反応させて得られる反応生成物(B2)であるカルボキシル基含有樹脂は、エチレン性不飽和基とカルボキシル基を有する。前記カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基に、オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させる。カルボキシル基とオキシラン環が反応してエステル結合が生成することにより、エチレン性不飽和基が樹脂の主鎖に結合する。この反応によって結合されたエチレン性不飽和基は、(B)カルボキシル基含有樹脂の最外部に結合しているため、光照射による樹脂の光重合反応時の反応性が立体化学的に高い。そのため、この(B)カルボキシル基含有樹脂は、良好な光硬化性を有する。 The carboxyl group-containing resin, which is a reaction product (B2) obtained by reacting a reaction product (B1) of an epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid with a polybasic acid anhydride, has an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group. Has. A compound having an oxylane ring and an ethylenically unsaturated group is reacted with the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin. The carboxyl group reacts with the oxylan ring to form an ester bond, whereby the ethylenically unsaturated group is bonded to the main chain of the resin. Since the ethylenically unsaturated group bonded by this reaction is bonded to the outermost part of the (B) carboxyl group-containing resin, the reactivity of the resin during the photopolymerization reaction by light irradiation is stereochemically high. Therefore, this (B) carboxyl group-containing resin has good photocurability.

前記カルボキシル基含有樹脂と、オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物の反応比は、前記カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基1当量あたり、オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物0.05〜0.4モルであることが好ましい。0.05モル以上の場合、(B)カルボキシル基含有樹脂の光硬化性が良好となる。0.4モル以下の場合、硬化性樹脂組成物の希アルカリ現像性および硬化膜の耐薬品性が良好となる。オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、ペンタエリスリトールグリシジルエーテルトリアクリレート、下記一般式(3)で表される化合物などを挙げることができる。オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The reaction ratio of the carboxyl group-containing resin to the compound having an oxylan ring and an ethylenically unsaturated group is such that the compound having an oxylan ring and an ethylenically unsaturated group is 0.05 to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin. It is preferably 0.4 mol. When it is 0.05 mol or more, the photocurability of the (B) carboxyl group-containing resin becomes good. When it is 0.4 mol or less, the dilute alkali developability of the curable resin composition and the chemical resistance of the cured film are good. Examples of the compound having an oxylane ring and an ethylenically unsaturated group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, pentaerythritol glycidyl ether triacrylate, and a compound represented by the following general formula (3). As the compound having an oxylan ring and an ethylenically unsaturated group, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

Figure 0006783600
(式中、mは0、1または2であり、Rは水素又はメチル基であり、Aは6−オキサビシクロ[3.1.0]ヘキシル基、7−オキサビシクロ[4.1.0]ヘプチル基又は8−オキサビシクロ[5.1.0]オクチル基である。)
Figure 0006783600
(In the formula, m is 0, 1 or 2, R 4 is a hydrogen or methyl group, A is a 6-oxabicyclo [3.1.0] hexyl group, 7-oxabicyclo [4.1.0]. ] Heptyl group or 8-oxabicyclo [5.1.0] octyl group.)

前記カルボキシル基含有樹脂が、反応希釈剤の溶液として存在する場合は、この溶液にオキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物を添加して溶解することにより、好適に反応を進めることができる。また、反応時に、撹拌を効果的に行うために、さらに反応希釈剤を添加することができる。反応温度は、80〜120℃であることが好ましい。 When the carboxyl group-containing resin exists as a solution of a reaction diluent, the reaction can be suitably proceeded by adding and dissolving a compound having an oxylan ring and an ethylenically unsaturated group to this solution. In addition, a reaction diluent can be further added in order to effectively perform stirring during the reaction. The reaction temperature is preferably 80 to 120 ° C.

(B)カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲が好ましい。重量平均分子量が2,000以上の場合、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時に膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が150,000以下の場合、現像性が良好で、貯蔵安定性にも優れる。 The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (B) varies depending on the resin skeleton, but is preferably in the range of 2,000 to 150,000, more preferably 5,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is 2,000 or more, the tack-free performance is good, the moisture resistance of the coating film after exposure is good, film loss can be suppressed during development, and resolution deterioration can be suppressed. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, the developability is good and the storage stability is also excellent.

本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の硬化を損なわない範囲で、他のカルボキシル基含有樹脂等のアルカリ可溶性樹脂を含有してもよい。 The curable resin composition of the present invention may contain an alkali-soluble resin such as another carboxyl group-containing resin as long as the curing of the present invention is not impaired.

((C)光重合開始剤)
(C)光重合開始剤としては、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知のものであれば、いずれのものを用いることもできる。
((C) Photopolymerization Initiator)
As the photopolymerization initiator (C), any known photopolymerization initiator or photoradical generator can be used.

(C)光重合開始剤としては、例えば、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE TPO)等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル)−1−[4− (4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(2−(1−ピル−1−イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。これらの中でもモノアシルフォスフィンオキサイド類、オキシムエステル類が好ましく、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)がより好ましい。(C)光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the photopolymerization initiator (C) include bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, and bis-. (2,6-dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine oxide, Bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,4) , 6-trimethylbenzoyl) -bisacylphosphine oxides such as phenylphosphine oxide; 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl Monoacyls such as phenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (IRGACURE TPO manufactured by BASF Japan) Phosphine oxides; 1-hydroxy-cyclohexylphenylketone, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, etc. Hydroxyacetophenones; Benzoyls such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl ethers; benzophenone, p-methylbenzophenone, Michelers ketone, Benzoyls such as methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2 -Diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2 -Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl) -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl]- Acetphenones such as 1-butanone, N, N-dimethylaminoacetophenone; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4 -Thioxanthons such as diisopropylthioxanthone; anthracinones such as anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylantraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone; acetophenone Ketals such as dimethyl ketal, benzyl dimethyl ketal; benzoic acid esters such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2- (dimethylamino) ethyl benzoate, p-dimethylbenzoic acid ethyl ester; 1,2-octanedione, 1 -[4- (Phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], Etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1-( Oxime esters such as O-acetyloxime); bis (η5-2,4-cyclopentadiene-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrole-1-yl) phenyl) titanium, Bis (cyclopentadienyl) -bis [2,6-difluoro-3- (2- (1-pyr-1-yl) ethyl) phenyl] Titanosenes such as titanium; phenyldisulfide 2-nitrofluorene, butyroine, aniso Examples thereof include inethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthium disulfide and the like. Of these, monoacylphosphine oxides and oxime esters are preferable, and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole) −3-Il] −, 1- (O-acetyloxime) is more preferable. As the photopolymerization initiator (C), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

(C)光重合開始剤の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂及び(B)カルボキシル基含有樹脂の合計100質量部に対して、好ましくは0.01〜30質量部、より好ましくは0.01〜20質量部である。(C)光重合開始剤の配合量が、0.01質量部以上の場合、銅上での光硬化性が良好となり、塗膜が剥離しにくく、耐薬品性などの塗膜特性が良好となる。一方、(C)光重合開始剤の配合量が、30質量部以下の場合、(C)光重合開始剤の光吸収が良好となり、深部硬化性が向上する。 The blending amount of the (C) photopolymerization initiator is preferably 0.01 to 30 parts by mass, more preferably 0, based on 100 parts by mass of the total of the (A) carboxyl group-containing resin and (B) carboxyl group-containing resin. It is 0.01 to 20 parts by mass. (C) When the blending amount of the photopolymerization initiator is 0.01 parts by mass or more, the photocurability on copper is good, the coating film is hard to peel off, and the coating film characteristics such as chemical resistance are good. Become. On the other hand, when the blending amount of the (C) photopolymerization initiator is 30 parts by mass or less, the light absorption of the (C) photopolymerization initiator is good and the deep curability is improved.

((D)エポキシ樹脂)
(D)エポキシ樹脂としては、(A)カルボキシル基含有樹脂を合成するための成分として挙げたエポキシ樹脂と同様のものが挙げられる。(D)エポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
((D) Epoxy resin)
Examples of the (D) epoxy resin include the same epoxy resins as those mentioned as the components for synthesizing the (A) carboxyl group-containing resin. As the epoxy resin (D), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

(D)エポキシ樹脂の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂および(B)カルボキシル基含有樹脂に含まれるカルボキシル基の合計当量に対する、(D)エポキシ樹脂に含まれるエポキシ基の当量の比が、1.0〜2.4であることが好ましく、1.2〜2.2であることがより好ましい。前記当量の比が1.0以上の場合、カルボキシル基の残存量が低くなるため、また、前記当量の比が2.4以下の場合、エポキシ基の残存量が低くなるため、耐薬品性等が向上する。 The blending amount of the (D) epoxy resin is the ratio of the equivalent amount of the epoxy group contained in the (D) epoxy resin to the total equivalent amount of the carboxyl groups contained in the (A) carboxyl group-containing resin and (B) the carboxyl group-containing resin. , 1.0 to 2.4, more preferably 1.2 to 2.2. When the ratio of the equivalents is 1.0 or more, the residual amount of carboxyl groups is low, and when the ratio of the equivalents is 2.4 or less, the residual amount of epoxy groups is low, so that chemical resistance, etc. Is improved.

本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、オキセタン化合物、メラミン樹脂、シリコーン樹脂などの(D)エポキシ樹脂以外の熱硬化成分を含有してもよい。 The curable resin composition of the present invention may contain a thermosetting component other than the (D) epoxy resin such as an oxetane compound, a melamine resin, and a silicone resin as long as the effects of the present invention are not impaired.

(エチレン性不飽和基を有する化合物)
本発明の硬化性樹脂組成物は、エチレン性不飽和基を有する化合物を含有することができる。エチレン性不飽和基を有する化合物としては、公知慣用の光硬化性モノマーである光重合性オリゴマー、光重合性ビニルモノマー等を用いることができる。エチレン性不飽和基を有する化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Compound with ethylenically unsaturated group)
The curable resin composition of the present invention can contain a compound having an ethylenically unsaturated group. As the compound having an ethylenically unsaturated group, a photopolymerizable oligomer, a photopolymerizable vinyl monomer, or the like, which are known and commonly used photocurable monomers, can be used. As the compound having an ethylenically unsaturated group, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

光重合性オリゴマーとしては、不飽和ポリエステル系オリゴマー、(メタ)アクリレート系オリゴマー等が挙げられる。(メタ)アクリレート系オリゴマーとしては、フェノールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート等のエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリブタジエン変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the photopolymerizable oligomer include unsaturated polyester-based oligomers and (meth) acrylate-based oligomers. Examples of the (meth) acrylate-based oligomer include epoxy (meth) acrylates such as phenol novolac epoxy (meth) acrylate, cresol novolac epoxy (meth) acrylate, and bisphenol type epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, and epoxy urethane (meth). ) Acrylic, polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, polybutadiene-modified (meth) acrylate and the like.

光重合性ビニルモノマーとしては、公知慣用のもの、例えば、スチレン、クロロスチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン誘導体;酢酸ビニル、酪酸ビニルまたは安息香酸ビニルなどのビニルエステル類;ビニルイソブチルエーテル、ビニル−n−ブチルエーテル、ビニル−t−ブチルエーテル、ビニル−n−アミルエーテル、ビニルイソアミルエーテル、ビニル−n−オクタデシルエーテル、ビニルシクロヘキシルエーテル、エチレングリコールモノブチルビニルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルビニルエーテルなどのビニルエーテル類;アクリルアミド、メタクリルアミド、N−ヒドロキシメチルアクリルアミド、N−ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−ブトキシメチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類;トリアリルイソシアヌレート、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリルなどのアリル化合物;2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート類、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなどのポリオキシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジ(メタ)アクリレートなどのポリ(メタ)アクリレート類;トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレートなどのイソシアヌルレート型ポリ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。 As the photopolymerizable vinyl monomer, known and commonly used ones, for example, styrene derivatives such as styrene, chlorostyrene, α-methylstyrene; vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl butyrate or vinyl benzoate; vinyl isobutyl ether, vinyl- Vinyl ethers such as n-butyl ether, vinyl-t-butyl ether, vinyl-n-amyl ether, vinyl isoamyl ether, vinyl-n-octadecyl ether, vinyl cyclohexyl ether, ethylene glycol monobutyl vinyl ether, triethylene glycol monomethyl vinyl ether; acrylamide, (Meta) acrylamides such as methacrylicamide, N-hydroxymethylacrylamide, N-hydroxymethylmethacrylicamide, N-methoxymethylacrylamide, N-ethoxymethylacrylamide, N-butoxymethylacrylamide; triallyl isocyanurate, diallyl phthalate, Allyl compounds such as diallyl isophthalate; 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, tetrahydrofurfreel (meth) acrylate, isobolonyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, etc. (Meta) acrylic acid esters; hydroxyalkyl (meth) acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate; methoxyethyl (meth) acrylate, ethoxyethyl Alkoxyalkylene glycol mono (meth) acrylates such as (meth) acrylate; ethylene glycol di (meth) acrylate, butanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di ( Alkylene polyol poly (meth) acrylates such as meta) acrylate, trimethylolpropantri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate; diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di Polyoxyalkylene glycol poly (meth) acrylates, ethoxylated trimetylolpropan triacrylates, propoxylated trimethylol propantri (meth) acrylates, etc. Ta) Acrylate; Poly (meth) acrylates such as neopentyl glycol hydroxypylate di (meth) acrylate; Isocyanurate-type poly (meth) acrylates such as tris [(meth) acryloxyethyl] isocyanurate Can be mentioned.

エチレン性不飽和基を有する化合物の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂及び(B)カルボキシル基含有樹脂の合計100質量部に対し、0.1〜40質量部の範囲が適当である。エチレン性不飽和基を有する化合物の配合量が0.1質量部以上の場合、光硬化性効果が良好となる。一方、40質量部以下の場合、塗膜の指触乾燥性が良好となる。 The blending amount of the compound having an ethylenically unsaturated group is appropriately in the range of 0.1 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the (A) carboxyl group-containing resin and (B) carboxyl group-containing resin. When the compounding amount of the compound having an ethylenically unsaturated group is 0.1 parts by mass or more, the photocurable effect becomes good. On the other hand, when it is 40 parts by mass or less, the dryness to the touch of the coating film becomes good.

(熱硬化触媒)
本発明の硬化性樹脂組成物は、熱硬化触媒を含有することができる。熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。熱硬化触媒は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Thermosetting catalyst)
The curable resin composition of the present invention can contain a thermosetting catalyst. Examples of the thermosetting catalyst include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl imidazole, 2-ethyl-4-methyl imidazole, 2-phenyl imidazole, 4-phenyl imidazole, 1-cyanoethyl-2-phenyl imidazole, 1-. Imidazole derivatives such as (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzyl Examples thereof include amine compounds such as amines, 4-methyl-N and N-dimethylbenzylamine, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebasic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. In addition, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine-isocyanuric acid adduct and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine-isocyanulic acid adduct can also be used, preferably as these adhesion-imparting agents. A compound that also functions is used in combination with a thermosetting catalyst. One type of thermosetting catalyst may be used alone, or two or more types may be used in combination.

熱硬化触媒の配合量は、(D)エポキシ樹脂100質量部に対して、0.01〜25質量部が好ましく、より好ましくは0.1〜15質量部である。 The blending amount of the thermosetting catalyst is preferably 0.01 to 25 parts by mass, and more preferably 0.1 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the epoxy resin (D).

(無機フィラー)
本発明の硬化性樹脂組成物は、無機フィラーを含有することができる。無機フィラーとしては、例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素粉、微粉状酸化ケイ素、シリカ、タルク、ハイドロタルサイト、ノイブルグ珪土、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、雲母粉等の公知慣用のフィラーが使用できる。これらの中でも、硫酸バリウムおよびシリカが好ましい。無機フィラーは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Inorganic filler)
The curable resin composition of the present invention can contain an inorganic filler. Examples of the inorganic filler include barium sulfate, barium titanate, silicon oxide powder, finely divided silicon oxide, silica, talcite, hydrotalcite, Neuburg silica soil, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, and aluminum hydroxide. Known and commonly used fillers such as mica powder can be used. Among these, barium sulfate and silica are preferable. As the inorganic filler, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

無機フィラーは表面処理されていることが好ましい。ここで、無機フィラーの表面処理とは、樹脂成分との相溶性を向上させるための処理のことを言う。無機フィラーの表面処理は、無機フィラーの表面に硬化性反応基を導入可能な表面処理でも導入しない表面処理でもどちらでもよい。ここで、硬化性反応基とは、(A)、(B)カルボキシル基含有樹脂や(D)エポキシ樹脂などの硬化性化合物と硬化反応する基であれば特に限定されず、光硬化性反応基でも熱硬化性反応基でもよい。光硬化性反応基としては、メタクリル基、アクリル基、ビニル基、スチリル基等が挙げられ、熱硬化性反応基としては、エポキシ基、アミノ基、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、イミノ基、オキセタニル基、メルカプト基、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、オキサゾリン基等が挙げられる。無機フィラーの表面に硬化性反応基を導入する方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いて導入すればよく、硬化性反応基を有する表面処理剤、例えば、硬化性反応基を有機基として有するカップリング剤等で無機フィラーの表面を処理すればよい。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、ジルコニウムカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等を用いることができる。また、硬化性反応基を有しない表面処理された無機フィラーとしては、例えば、シリカ−アルミナ表面処理、チタネート系カップリング剤処理、アルミネート系カップリング剤処理、有機処理がされた無機フィラー等が挙げられる。 The inorganic filler is preferably surface-treated. Here, the surface treatment of the inorganic filler refers to a treatment for improving the compatibility with the resin component. The surface treatment of the inorganic filler may be either a surface treatment in which a curable reactive group can be introduced into the surface of the inorganic filler or a surface treatment in which a curable reactive group is not introduced. Here, the curable reactive group is not particularly limited as long as it is a group that cures with a curable compound such as (A), (B) carboxyl group-containing resin or (D) epoxy resin, and is a photocurable reactive group. However, it may be a thermosetting reactive group. Examples of the photocurable reactive group include a methacryl group, an acrylic group, a vinyl group, a styryl group and the like, and examples of the thermosetting reactive group include an epoxy group, an amino group, a hydroxyl group, a carboxyl group, an isocyanate group, an imino group and an oxetanyl. Examples thereof include a group, a mercapto group, a methoxymethyl group, a methoxyethyl group, an ethoxymethyl group, an ethoxyethyl group, an oxazoline group and the like. The method for introducing the curable reactive group onto the surface of the inorganic filler is not particularly limited, and it may be introduced by using a known and commonly used method, and a surface treatment agent having a curable reactive group, for example, a curable reactive group is introduced as an organic group. The surface of the inorganic filler may be treated with a coupling agent or the like having the above. As the coupling agent, a silane coupling agent, a titanium coupling agent, a zirconium coupling agent, an aluminum coupling agent and the like can be used. Examples of the surface-treated inorganic filler having no curable reactive group include silica-alumina surface treatment, titanate-based coupling agent treatment, aluminate-based coupling agent treatment, and organically treated inorganic filler. Can be mentioned.

無機フィラーの配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂と(B)カルボキシル基含有樹脂の合計100質量部に対し、10〜500質量部が好ましく、20〜200質量部であることがより好ましい。無機フィラーの配合割合が10〜500質量部の場合、組成物の粘度が高くなりすぎず、塗布性が良好であり、ソルダーレジストとして優れた特性を有する硬化物が得られる。 The blending amount of the inorganic filler is preferably 10 to 500 parts by mass, more preferably 20 to 200 parts by mass, based on 100 parts by mass of the total of the (A) carboxyl group-containing resin and (B) carboxyl group-containing resin. When the mixing ratio of the inorganic filler is 10 to 500 parts by mass, the viscosity of the composition does not become too high, the coatability is good, and a cured product having excellent properties as a solder resist can be obtained.

(着色剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は、着色剤を含有することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄、黒、白等の公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。着色剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Colorant)
The curable resin composition of the present invention can contain a colorant. As the colorant, known colorants such as red, blue, green, yellow, black, and white can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used. However, it is preferable that it does not contain halogen from the viewpoint of reducing the environmental load and affecting the human body. As the colorant, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

(有機溶剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、カルボキシル基含有樹脂の合成、組成物の調製、基材やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;エタノール、メタノール、プロパノール、イソプロパノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類:シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Organic solvent)
The curable resin composition of the present invention may contain an organic solvent for the purpose of synthesizing a carboxyl group-containing resin, preparing the composition, adjusting the viscosity when applied to a base material or a carrier film, and the like. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; alcohols such as ethanol, methanol, propanol, isopropanol, cyclohexanol, ethylene glycol and propylene glycol: cyclohexane. , Alicyclic hydrocarbons such as methylcyclohexane; cellosolve, methylcellosolve, butylcellosolve, carbitol, methylcarbitol, butylcarbitol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol Glycol ethers such as diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, Esters such as propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha. , Known and commonly used organic solvents can be used. One of these organic solvents may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.

(その他の成分)
本発明の硬化性樹脂組成物には、電子材料の分野において公知慣用の他の添加剤を配合してもよい。他の添加剤としては、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、密着性付与剤、チキソ性付与剤、光開始助剤、増感剤、光塩基発生剤、熱可塑性樹脂、有機フィラー、離型剤、表面処理剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、安定剤、蛍光体等が挙げられる。
(Other ingredients)
The curable resin composition of the present invention may contain other additives known and commonly used in the field of electronic materials. Other additives include thermal polymerization inhibitors, UV absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, anti-aging agents, antibacterial / antifungal agents, antifoaming agents, leveling agents, thickening agents. Agent, adhesion imparting agent, thixo property imparting agent, photoinitiator aid, sensitizer, photobase generator, thermoplastic resin, organic filler, mold release agent, surface treatment agent, dispersant, dispersion aid, surface modification Examples include pledge agents, stabilizers, and phosphors.

本発明の硬化性樹脂組成物は、エラストマーを含有することができるが、解像性の観点からは、エラストマーを配合しないことが好ましく、配合する場合であっても好ましくは、(A)カルボキシル基含有樹脂と(B)カルボキシル基含有樹脂の合計100質量部に対し、0.1〜5質量部である。 The curable resin composition of the present invention can contain an elastomer, but from the viewpoint of resolution, it is preferable not to blend the elastomer, and even if it is blended, the (A) carboxyl group is preferable. It is 0.1 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total of the containing resin and the (B) carboxyl group-containing resin.

エラストマーとしては、ポリエステル系エラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリエステルウレタン系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリエステルアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、オレフィン系エラストマーなどが挙げられる。また、種々の骨格を有するエポキシ樹脂の一部又は全部のエポキシ基を両末端カルボン酸変性型ブタジエン−アクリロニトリルゴムで変性した樹脂なども挙げられる。エポキシ含有ポリブタジエン系エラストマー、アクリル含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有イソプレン系エラストマーなどが挙げられる。 Examples of the elastomer include polyester-based elastomers, polyurethane-based elastomers, polyester-urethane-based elastomers, polyamide-based elastomers, polyesteramide-based elastomers, acrylic-based elastomers, and olefin-based elastomers. Further, a resin obtained by modifying a part or all of the epoxy groups of the epoxy resin having various skeletons with both-terminal carboxylic acid-modified butadiene-acrylonitrile rubber and the like can be mentioned. Examples thereof include epoxy-containing polybutadiene-based elastomers, acrylic-containing polybutadiene-based elastomers, hydroxyl group-containing polybutadiene-based elastomers, and hydroxyl group-containing isoprene-based elastomers.

本発明の硬化性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いても良い。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよいが、保存安定性の観点から2液性以上であることが好ましい。 The curable resin composition of the present invention may be used as a dry film or as a liquid. When used as a liquid, it may be one-component or two-component or more, but it is preferably two-component or more from the viewpoint of storage stability.

次に、本発明のドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。ドライフィルムを形成する際には、まず、本発明の硬化性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、40〜130℃の温度で1〜30分間乾燥することで、樹脂層を形成することができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、3〜150μm、好ましくは5〜60μmの範囲で適宜選択される。 Next, the dry film of the present invention has a resin layer obtained by applying the curable resin composition of the present invention on a carrier film and drying it. When forming a dry film, first, the curable resin composition of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate level, and then a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, and a squeeze coater. , Reverse coater, transfer coater, gravure coater, spray coater, etc., and apply to a uniform thickness on the carrier film. Then, the applied composition is usually dried at a temperature of 40 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer. The coating film thickness is not particularly limited, but is generally selected as appropriate in the range of 3 to 150 μm, preferably 5 to 60 μm after drying.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。より好ましくは15〜130μmの範囲である。 As the carrier film, a plastic film is used, and for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, a polystyrene film and the like can be used. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but is generally selected as appropriate in the range of 10 to 150 μm. More preferably, it is in the range of 15 to 130 μm.

キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した後、樹脂層の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、樹脂層の表面に、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。 After forming the resin layer made of the curable resin composition of the present invention on the carrier film, a peelable cover is further applied to the surface of the resin layer for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer. It is preferable to stack the films. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, surface-treated paper, or the like can be used. The cover film may be smaller than the adhesive force between the resin layer and the carrier film when the cover film is peeled off.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。 In the present invention, the curable resin composition of the present invention may be applied onto the cover film and dried to form a resin layer, and a carrier film may be laminated on the surface thereof. That is, either a carrier film or a cover film may be used as the film to which the curable resin composition of the present invention is applied when producing the dry film in the present invention.

本発明のプリント配線板は、本発明の硬化性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層から得られる硬化物を有するものである。また、本発明のプリント配線板の製造方法は、基材上に、前記硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥して、または、前記ドライフィルムの樹脂層をラミネートして、基材上に樹脂層を形成する工程、基材上の前記樹脂層に選択的に光照射して光硬化させる光硬化工程、光硬化工程後に現像により未照射部分を除去しパターン層を得る現像工程、パターン層に光照射する光照射工程、および、前記光照射されたパターン層を加熱する工程、を含むものである。例えば、本発明の硬化性樹脂組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を基材上に形成する。また、ドライフィルムの場合、ラミネーター等により樹脂層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、樹脂層を基材上に形成する。 The printed wiring board of the present invention has a cured product obtained from the curable resin composition of the present invention or the resin layer of a dry film. Further, in the method for producing a printed wiring board of the present invention, the curable resin composition is applied and dried on a base material, or the resin layer of the dry film is laminated and the resin layer is formed on the base material. The step of forming the resin layer, the photocuring step of selectively irradiating the resin layer on the base material with light to cure the resin, the developing step of removing the unirradiated portion by development after the photocuring step to obtain the pattern layer, and the light It includes a light irradiation step of irradiating and a step of heating the light-irradiated pattern layer. For example, the curable resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for the coating method using the above organic solvent, and the dip coating method, the flow coating method, the roll coating method, the bar coater method, etc. After coating by a method such as a screen printing method or a curtain coating method, the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried (temporarily dried) at a temperature of 60 to 100 ° C. to form a tack-free resin layer on the substrate. To form. Further, in the case of a dry film, the resin layer is formed on the base material by sticking it on the base material so that the resin layer comes into contact with the base material by a laminator or the like, and then peeling off the carrier film.

上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 The base material includes a printed wiring board and a flexible printed wiring board whose circuit is formed of copper or the like in advance, as well as paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / non-woven cloth epoxy, and glass cloth / paper epoxy. , Synthetic fiber epoxy, fluororesin / polyethylene / polyimideene ether, polyphenylene oxide / cyanate, etc. are used for high frequency circuit copper-clad laminates, etc., and all grades (FR-4, etc.) of copper-clad laminates are used. Plates, other metal substrates, polyimide films, PET films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like can be mentioned.

本発明の硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより樹脂層を有する基材に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 The drying performed after applying the curable resin composition of the present invention is performed by using a hot air circulation type drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, or the like (using a steam-based air heating type heat source) and hot air in the dryer. Can be carried out by using a method of countercurrent contact and a method of spraying from a nozzle onto a base material having a resin layer).

基材上に樹脂層を形成後、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に光照射し、未照射部分を例えば希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3質量%炭酸ソーダ水溶液)を用いて現像により除去し、硬化物のパターン層を形成する。さらに、硬化物に光を照射後加熱硬化(例えば、100〜220℃)することによって、最終仕上げ硬化(本硬化)させることにより、密着性、硬度等の諸特性に加え、本発明の効果を奏する硬化膜を容易に形成することができる。 After forming the resin layer on the base material, it is selectively irradiated with light through a photomask having a predetermined pattern formed, and the unirradiated portion is subjected to, for example, a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3 mass% sodium carbonate aqueous solution). It is removed by development to form a pattern layer of the cured product. Further, by irradiating the cured product with light and then heat-curing (for example, 100 to 220 ° C.), the final finish curing (main curing) is performed, so that the effects of the present invention can be obtained in addition to various properties such as adhesion and hardness. A working cured film can be easily formed.

上記光照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、300〜450nmの範囲で光照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が300〜450nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10〜1000mJ/cm、好ましくは20〜800mJ/cmの範囲内とすることができる。また、パターン層を得た後の光照射の条件は、露光量が500〜3000mJ/cmであることが好ましい。 The exposure machine used for the above light irradiation may be a device equipped with a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, etc., and irradiates light in the range of 300 to 450 nm. A drawing device (for example, a laser direct imaging device that directly draws an image with a laser based on CAD data from a computer) can also be used. The lamp light source or the laser light source of the direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 300 to 450 nm. The exposure amount for image formation varies depending on the film thickness and the like, but can be generally in the range of 10 to 1000 mJ / cm 2 , preferably 20 to 800 mJ / cm 2 . Further, the light irradiation condition after obtaining the pattern layer is preferably an exposure amount of 500 to 3000 mJ / cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 The developing method can be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, etc., and the developing solution includes potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, etc. Alkaline aqueous solutions such as ammonia and amines can be used.

本発明の硬化性樹脂組成物は、パッケージ基板などのプリント配線板上に硬化被膜を形成するために好適に使用され、より好適には、永久皮膜を形成するために使用され、さらに好適には、ソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイを形成するために、特に好適にはソルダーレジストを形成するために使用される。また、車載用途等の高温状態に晒されるプリント配線板のソルダーレジスト等の永久被膜の形成に好適に使用できる。 The curable resin composition of the present invention is suitably used for forming a cured film on a printed wiring board such as a package substrate, more preferably used for forming a permanent film, and more preferably. , Solder resists, interlayer insulating layers, coverlays, and more preferably used to form solder resists. Further, it can be suitably used for forming a permanent coating such as a solder resist of a printed wiring board exposed to a high temperature state for in-vehicle use.

以下、本発明を、実施例を用いてより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. In the following, "part" and "%" are all based on mass unless otherwise specified.

[アルカリ可溶性樹脂の合成]
(合成例1:カルボキシル基含有樹脂A−1の合成)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のECON−104S(日本化薬社製、エポキシ当量=220)220部(1当量)を撹拌機及び還流冷却器の付いた四つ口フラスコに入れ、カルビトールアセテート218部を加え、加熱溶解した。次に、重合禁止剤としてメチルハイドロキノン0.46部と、反応触媒としてトリフェニルホスフィン1.38部を加えた。この混合物を95〜105℃に加熱し、アクリル酸50.4部(0.7当量)、p−ヒドロキシフェネチルアルコール41.5部(0.3当量)を徐々に滴下し、16時間反応させた。この反応生成物(水酸基:1.3当量)を、80〜90℃まで冷却し、テトラヒドロフタル酸無水物91.2部(0.6当量)を加え、8時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして得られた感光性カルボキシル基含有樹脂の溶液は、不揮発分65質量%、固形物の酸価83mgKOH/gであった。以下、この溶液を(A)カルボキシル基含有樹脂A−1とする。
[Synthesis of alkali-soluble resin]
(Synthesis Example 1: Synthesis of Carboxylic Group-Containing Resin A-1)
Put 220 parts (1 equivalent) of cresol novolac type epoxy resin ECON-104S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent = 220) into a four-necked flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, and add 218 parts of carbitol acetate. In addition, it was melted by heating. Next, 0.46 parts of methyl hydroquinone was added as a polymerization inhibitor, and 1.38 parts of triphenylphosphine was added as a reaction catalyst. The mixture was heated to 95-105 ° C., 50.4 parts (0.7 equivalents) of acrylic acid and 41.5 parts (0.3 equivalents) of p-hydroxyphenethyl alcohol were gradually added dropwise, and the mixture was reacted for 16 hours. .. This reaction product (hydroxyl group: 1.3 equivalents) was cooled to 80 to 90 ° C., 91.2 parts (0.6 equivalents) of tetrahydrophthalic anhydride was added, reacted for 8 hours, cooled, and then taken out. .. The solution of the photosensitive carboxyl group-containing resin thus obtained had a non-volatile content of 65% by mass and a solid acid value of 83 mgKOH / g. Hereinafter, this solution will be referred to as (A) carboxyl group-containing resin A-1.

(合成例2:カルボキシル基含有樹脂B−1の合成)
2リットル容のセパラブルフラスコに、エチルカルビトールアセテート411.4g、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂[日本化薬社製、EOCN−103S、エポキシ当量215、軟化点83℃]430g及びアクリル酸144g(2モル)を仕込んだ。撹拌しつつ120℃まで加熱し、120℃を保ったまま10時間反応を続けた。いったん反応生成物を室温まで冷却し、無水コハク酸190g(1.9モル)を加え、80℃に加熱して4時間反応した。ふたたび、この反応生成物を室温まで冷却した。この反応生成物の溶液としての酸価は91mgKOH/gであり、樹脂としての酸価は140mgKOH/gであった。この反応生成物にグリシジルメタクリレート85.2g(0.6モル)及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテート45.9gを加え、撹拌しつつ110℃まで加熱し、110℃を保ったまま6時間反応を続けた。この反応生成物を室温まで冷却したところ、粘調な溶液が得られた。このようにして得られた感光性カルボキシル基含有樹脂の溶液の不揮発分は65質量%であり、溶液として56mgKOH/gの酸価を示した。この溶液を(B)カルボキシル基含有樹脂B−1とする。
(Synthesis Example 2: Synthesis of Carboxylic Acid Group-Containing Resin B-1)
In a 2 liter separable flask, 411.4 g of ethylcarbitol acetate, o-cresol novolac type epoxy resin [manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EOCN-103S, epoxy equivalent 215, softening point 83 ° C.] 430 g and 144 g of acrylic acid ( 2 mol) was charged. The mixture was heated to 120 ° C. with stirring, and the reaction was continued for 10 hours while maintaining 120 ° C. Once the reaction product was cooled to room temperature, 190 g (1.9 mol) of succinic anhydride was added, and the mixture was heated to 80 ° C. and reacted for 4 hours. Once again, the reaction product was cooled to room temperature. The acid value of this reaction product as a solution was 91 mgKOH / g, and the acid value of the resin was 140 mgKOH / g. 85.2 g (0.6 mol) of glycidyl methacrylate and 45.9 g of propylene glycol methyl ether acetate were added to this reaction product, and the mixture was heated to 110 ° C. with stirring, and the reaction was continued for 6 hours while maintaining 110 ° C. When the reaction product was cooled to room temperature, a viscous solution was obtained. The non-volatile content of the solution of the photosensitive carboxyl group-containing resin thus obtained was 65% by mass, and the solution showed an acid value of 56 mgKOH / g. This solution is referred to as (B) carboxyl group-containing resin B-1.

(実施例1〜3、比較例1、2)
下記の表1中に示す配合に従い、各成分を配合、攪拌して、3本ロールにて分散させて、それぞれ硬化性樹脂組成物を調製した。なお、表1中の配合量は、質量部を示す。
(Examples 1 to 3, Comparative Examples 1 and 2)
According to the formulation shown in Table 1 below, each component was compounded, stirred, and dispersed in three rolls to prepare a curable resin composition. The blending amount in Table 1 indicates a part by mass.

(ガラス転移温度(Tg)の測定)
硬化性樹脂組成物を銅箔上に全面塗布し、80℃30分で乾燥し、マイラーフィルム上600mJ/cmで高圧水銀灯により光照射し、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液で現像し、1000mJ/cmで高圧水銀灯により光照射し、150℃60分で熱硬化させて硬化膜を得た。得られた硬化膜を銅箔上より剥離した。
硬化膜のガラス転移点を下記条件下で動的粘弾性測定(DMA)より求めた。
測定温度:−30〜300℃
昇温速度:5℃/分
(Measurement of glass transition temperature (Tg))
The curable resin composition was applied to the entire surface on a copper foil, dried at 80 ° C. for 30 minutes, irradiated with light at 600 mJ / cm 2 on a mylar film with a high-pressure mercury lamp, developed with a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C., and 1000 mJ. / cm 2 and light irradiation by a high pressure mercury lamp gave the cured film by thermal curing at 0.99 ° C. 60 minutes. The obtained cured film was peeled off from the copper foil.
The glass transition point of the cured film was determined by dynamic viscoelasticity measurement (DMA) under the following conditions.
Measurement temperature: -30 to 300 ° C
Heating rate: 5 ° C / min

(破断点強度および破断点伸びの測定)
硬化性樹脂組成物を銅箔上に全面塗布し、80℃30分で乾燥し、マイラーフィルム上600mJ/cmで露光し、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液で現像し、1000mJ/cmで高圧水銀灯により光照射し、150℃60分で熱硬化させて得た硬化膜を銅箔上より剥離した。
硬化膜を幅約5mm、長さ約80mmの試験片に切断し、引っ張り試験機(島津製作所社製、オートグラフAGS−100N)を用いて、破断点での強度と破断点伸び率を測定した。測定条件は、サンプル幅約10mm、支点間距離約40mm、引っ張り速度は1.0mm/分とし、破断点での引っ張り弾性率を破断点強度とし、破断点までの伸び率を破断点伸び率とした。
(Measurement of breaking point strength and breaking point elongation)
The curable resin composition was spread over the entire surface on a copper foil, dried at 80 ° C. 30 min, then exposed Mylar film on 600 mJ / cm 2, developed with 1 wt% sodium carbonate aqueous solution of 30 ° C., at 1000 mJ / cm 2 The cured film obtained by irradiating light with a high-pressure mercury lamp and thermosetting at 150 ° C. for 60 minutes was peeled off from the copper foil.
The cured film was cut into test pieces having a width of about 5 mm and a length of about 80 mm, and the strength at the breaking point and the elongation at the breaking point were measured using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph AGS-100N). .. The measurement conditions were a sample width of about 10 mm, a distance between fulcrums of about 40 mm, a tensile speed of 1.0 mm / min, a tensile elastic modulus at the breaking point as the breaking point strength, and an elongation to the breaking point as the breaking point elongation. did.

(解像性の評価)
上記ガラス転移温度の測定と同様にして、銅上に、100μmの開口を有する硬化性樹脂組成物の硬化物パターンを形成し、SEM(走査型電子顕微鏡)により観察した。得られた開口形状を確認し、以下の基準にて評価した。
○:硬化物の開口部壁面に凹凸が生じることなく、良好に開口できる。
△:硬化物に開口を形成することは可能であるが、開口部壁面に凹凸が生じる。
×:開口できなかった。
(Evaluation of resolution)
In the same manner as in the measurement of the glass transition temperature, a cured product pattern of the curable resin composition having an opening of 100 μm was formed on copper and observed by an SEM (scanning electron microscope). The obtained opening shape was confirmed and evaluated according to the following criteria.
◯: Good opening can be performed without unevenness on the wall surface of the opening of the cured product.
Δ: It is possible to form an opening in the cured product, but unevenness is generated on the wall surface of the opening.
X: The opening could not be performed.

Figure 0006783600
*1:合成例1で合成したカルボキシル基含有樹脂A−1(固形分0.65質量%)
*2:合成例2で合成したカルボキシル基含有樹脂B−1(固形分0.65質量%)
*3:日本化薬社製EPPN−201
*4:三菱化学社製jER YX−4000
*5:日本化薬社製KAYARAD DPHA
*6:信越シリコーン社製
*7:BASFジャパン社製イルガキュアTPO(2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド)
*8:堺化学社製
*9:有機溶剤
Figure 0006783600
* 1: Carboxylic acid group-containing resin A-1 synthesized in Synthesis Example 1 (solid content 0.65% by mass)
* 2: Carboxylic acid group-containing resin B-1 synthesized in Synthesis Example 2 (solid content 0.65% by mass)
* 3: EPPN-201 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
* 4: Mitsubishi Chemical jER YX-4000
* 5: KAYARAD DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
* 6: Made by Shinetsu Silicone Co., Ltd. * 7: Irgacure TPO (2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide) manufactured by BASF Japan Ltd.
* 8: Made by Sakai Chemical Co., Ltd. * 9: Organic solvent

上記表中に示す結果から、本発明の硬化性樹脂組成物から得られた硬化物は、ガラス転移温度が高く、強度および柔軟性に優れることがわかる。
From the results shown in the above table, it can be seen that the cured product obtained from the curable resin composition of the present invention has a high glass transition temperature and is excellent in strength and flexibility.

Claims (6)

(A)エポキシ樹脂とフェノール性水酸基およびアルコール性水酸基を含む化合物と不飽和カルボン酸との反応生成物(A1)と、多塩基酸無水物との反応生成物である感光性カルボキシル基含有樹脂、
(B)エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応生成物(B1)と多塩基酸無水物との反応生成物(B2)と、オキシラン環およびエチレン性不飽和基を有する化合物との反応生成物である感光性カルボキシル基含有樹脂、
(C)光重合開始剤、および、
(D)エポキシ樹脂を含むことを特徴とする硬化性樹脂組成物。
(A) A photosensitive carboxyl group-containing resin, which is a reaction product of an epoxy resin, a compound containing a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, an unsaturated carboxylic acid (A1), and a polybasic acid anhydride.
(B) A reaction product of an epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid (B1), a reaction product of a polybasic acid anhydride (B2), and a reaction product of a compound having an oxylane ring and an ethylenically unsaturated group. Photosensitive carboxyl group-containing resin,
(C) Photopolymerization initiator and
(D) A curable resin composition containing an epoxy resin.
前記(A)カルボキシル基含有樹脂と前記(B)カルボキシル基含有樹脂との配合比(質量比)が、3:7〜7:3であることを特徴とする請求項1に記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin according to claim 1, wherein the compounding ratio (mass ratio) of the (A) carboxyl group-containing resin and the (B) carboxyl group-containing resin is 3: 7 to 7: 3. Composition. 請求項1または2に記載の硬化性樹脂組成物を、フィルム上に塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。 A dry film characterized by having a resin layer obtained by applying the curable resin composition according to claim 1 or 2 onto a film and drying the film. 請求項1または2に記載の硬化性樹脂組成物、または、請求項3に記載のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とする硬化物。 A cured product obtained by curing the curable resin composition according to claim 1 or 2 or the resin layer of the dry film according to claim 3. 請求項4に記載の硬化物を備えることを特徴とするプリント配線板。 A printed wiring board comprising the cured product according to claim 4. 基材上に、請求項1または2に記載の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥して、または、請求項3に記載のドライフィルムの樹脂層をラミネートして、基材上に樹脂層を形成する工程、
基材上の前記樹脂層に選択的に光照射して光硬化させる光硬化工程、
光硬化工程後に現像により未照射部分を除去しパターン層を得る現像工程、
パターン層に光照射する光照射工程、および、
前記光照射されたパターン層を加熱する工程、を含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
The curable resin composition according to claim 1 or 2 is applied and dried on the base material, or the resin layer of the dry film according to claim 3 is laminated to form a resin layer on the base material. The process of forming,
A photo-curing step of selectively irradiating the resin layer on a substrate with light to photo-curing the resin layer.
A development process that removes unirradiated parts by development after the photo-curing process to obtain a pattern layer.
A light irradiation process that irradiates the pattern layer with light, and
A method for manufacturing a printed wiring board, which comprises a step of heating the light-irradiated pattern layer.
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