JP6689595B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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Description
例えば特許文献1,2には、基板に塗布材を吐出して塗布するインクジェット式の塗布装置の例が開示されている。
すなわち、基板は、ロボットハンドの支持アームによって部分的に支持されるため、支持アーム上で湾曲し、重力によって塗布材が基板上で動いてしまうおそれがある。また、ロボットハンドによる搬送中の振動や風等によっても塗布材が基板上で動いてしまうおそれがある。そして、搬送中にも塗布材の乾燥が若干進行するため、塗布材が基板上で動くと塗布材が本来の位置からずれた位置で硬化が始まってしまい、塗布材の基板への均一な成膜が困難となる。
また、本発明に係る塗布方法は、保持テーブルに保持されている基板にフラットパネルディスプレイ向け材料である塗布材を吐出して塗布する塗布ステップと、前記塗布材が塗布された状態の前記基板が保持されている前記保持テーブルを移動させる移動ステップと、前記移動ステップによる移動先において、前記塗布材が塗布されており前記保持テーブルに保持された状態の前記基板を予備的に乾燥する乾燥ステップと、前記乾燥ステップにおいて予備的に乾燥された前記基板を前記保持テーブルから搬出する搬出ステップと、前記搬出ステップにおいて搬出された前記基板に対して本乾燥処理を行う乾燥処理ステップと、を備えることを特徴とする。
制御部8は、テーブル移動機構5、ヘッドユニット水平移動機構44、ヘッドユニット鉛直移動機構45、およびカメラ移動機構73による各移動対象物の位置を制御できるようになっている。
また、制御部8は、保持テーブル2における基板100の吸着および離脱(吸着解除)を制御できるようになっている。また、制御部8は、複数ある塗布ヘッド46のノズルごとに有機EL材料の吐出の有無やタイミングを制御できるようになっている。また、制御部8は、検査用カメラ72で撮像された画像が入力されるようになっている。また、制御部8は、ヘッド回復装置47a,47bの稼働を制御できるようになっている。
図6は、有機EL材料の基板100への塗布方法の手順を示すフローチャートである。図7は、本実施形態における基板100の流れを説明するための概略平面図である。図8は、第1の塗布検査方法を説明するための図である。図9は、第2の塗布検査方法を説明するための図である。図10(a)は、基板100に有機EL材料を塗布した直後の状態を模式的に示す断面図、図10(b)は、本実施形態に係る塗布方法による基板100への成膜後の状態を模式的に示す断面図である。
制御部8は、まず、保持テーブル2に保持されている基板100に有機EL材料を吐出して塗布する制御を行う。すなわち、制御部8は、テーブル移動機構5を制御して基板100をX軸方向に移動させ、ヘッドユニット水平移動機構44を制御して塗布ヘッド46をY軸方向に移動させるとともに、塗布ヘッド46を制御してノズルから有機EL材料を吐出するタイミングを制御する。
ステップS4での乾燥は、有機EL材料が基板100上で動くことを抑制するために予備的に実施される乾燥であり、後記する本乾燥処理の前に実施されるものである。
すなわち、本実施形態によれば、有機EL材料の基板100への成膜をより均一化することができる。これにより、色ムラ等を抑制したより高品質な有機ELパネルを提供することができる。また、歩留まりが良くなるため、製造コストの低減、および生産性の向上が図られる。
これに対して、本実施形態に係る塗布方法によれば、例えば図11(a),(b)に示したような不均一な膜49a,49bの生成を抑制することができる。
図12は、他の実施形態における基板100の流れを説明するための概略平面図である。前記したように、図中の白抜き矢印は、基板100の流れを示している。
また、基板100は搬入出部3(搬出部3b)から搬出されるように構成されているが、これに限定されるものではなく、塗布部4または乾燥部6から直接搬出されるように構成されてもよい。
2 保持テーブル
3 搬入出部
3a 搬入部
3b 搬出部
4 塗布部
5 テーブル移動機構
6 乾燥部
7 塗布検査部
8 制御部
11 架台
21 吸着部
31 搬送アーム
32 吸着パッド
33 アクティブエリア
41,42 ガントリ
43 塗布ヘッドユニット
44 ヘッドユニット水平移動機構
45 ヘッドユニット鉛直移動機構
46 塗布ヘッド
47a,47b ヘッド回復装置
48 液滴
49 膜
61 チャンバ
62 下チャンバ
63 上チャンバ
64 ダクト
71 ガントリ
72 検査用カメラ
73 カメラ移動機構
74 画像
100 基板
101 基材
102 バンク
103 ピクセル領域
Claims (7)
- 基板を保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルに保持されている前記基板にフラットパネルディスプレイ向け材料である塗布材を吐出して塗布する塗布部と、
前記塗布材が塗布された状態の前記基板が保持されている前記保持テーブルを、前記塗布部から移動させるテーブル移動機構と、
前記テーブル移動機構による移動先において、前記塗布材が塗布されており前記保持テーブルに保持された状態の前記基板を予備的に乾燥する乾燥部と、
前記乾燥部によって予備的に乾燥された前記基板を前記保持テーブルから搬出する搬出手段と、
前記搬出手段によって搬出された前記基板に対して本乾燥処理を行う乾燥処理装置と、
を備えることを特徴とする塗布装置。 - 前記保持テーブルは、多孔質の吸着部を有し、該吸着部上で前記基板を吸着して保持する吸着テーブルであることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記保持テーブルは、二分割型のチャンバにおける上方が開口されている下チャンバに配置されており、
前記テーブル移動機構は、前記保持テーブルが配置されている前記下チャンバを前記塗布部から移動させ、
前記乾燥部は、前記移動先における前記下チャンバに対して上方から相対的に近接離反移動可能であり下方が開口されている上チャンバを有し、前記下チャンバの上に前記上チャンバが密着した状態の前記チャンバ内で前記基板を減圧乾燥することを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記基板を前記保持テーブル上に搬入する搬入部を備え、
前記搬入部は、前記基板の上面を吸着して搬送する搬送アームを有し、
前記テーブル移動機構は、前記基板が保持されている前記保持テーブルを、前記搬入部から前記塗布部に移動させることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記塗布部は、前記テーブル移動機構が前記保持テーブルを前記搬入部から前記乾燥部に移動させる途中で、前記基板に塗布材を塗布することを特徴とする請求項4に記載の塗布装置。
- 前記塗布部と前記乾燥部との間に、前記基板への前記塗布材の塗布状態を検査する塗布検査部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 保持テーブルに保持されている基板にフラットパネルディスプレイ向け材料である塗布材を吐出して塗布する塗布ステップと、
前記塗布材が塗布された状態の前記基板が保持されている前記保持テーブルを移動させる移動ステップと、
前記移動ステップによる移動先において、前記塗布材が塗布されており前記保持テーブルに保持された状態の前記基板を予備的に乾燥する乾燥ステップと、
前記乾燥ステップにおいて予備的に乾燥された前記基板を前記保持テーブルから搬出する搬出ステップと、
前記搬出ステップにおいて搬出された前記基板に対して本乾燥処理を行う乾燥処理ステップと、
を備えることを特徴とする塗布方法。
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