JP6686636B2 - 光学フィルターおよび光学フィルターを用いた装置 - Google Patents

Description

本発明は、光学フィルターおよび光学フィルターを用いた装置に関する。詳しくは、可視光線を透過し、かつ、近赤外線の一部を遮断する光学フィルター、ならびに該光学フィルターを用いた固体撮像装置およびカメラモジュールに関する。

ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、カメラ機能付き携帯電話などの固体撮像装置にはカラー画像の固体撮像素子であるＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサーが使用されているが、これら固体撮像素子は、その受光部において人間の目では感知できない近赤外線に感度を有するシリコンフォトダイオードが使用されている。これらの固体撮像素子では、人間の目で見て自然な色合いにさせる視感度補正を行うことが必要であり、特定の波長領域の光線を選択的に透過もしくはカットする光学フィルター（例えば近赤外線カットフィルター）を用いることが多い。

このような光学フィルターとしては、従来から、各種方法で製造されたものが使用されている。例えば、ガラスなどの支持体を含む透明基材の表面に銀等の金属を蒸着して近赤外線を反射するようにしたもの、透明基材に屈折率の異なる金属酸化物を交互に積層したもの、アクリル樹脂やポリカーボネート樹脂等の透明樹脂に近赤外線吸収色素を添加したもの、などが実用に供されている。

特許文献１には、ガラス基板と、前記ガラス基板の一方の主面上にガラス基板側から順に下地層と、透明樹脂および近赤外線吸収色素を含む近赤外線吸収層とを有する近赤外線吸収フィルタであって、前記下地層は、特定の平均粒子径を有する金属酸化物微粒子の凝集体からなり、かつ、前記近赤外線吸収層側の面の表面粗さＲａが３０〜５００ｎｍの層である近赤外線吸収フィルタが開示され、これにより、ガラス基板と近赤外線吸収層との間の接着性が強固になる旨が記載されている。しかしながら、金属酸化物微粒子の凝集体が近赤外線吸収層側の面近傍に存在することで表面平滑性が十分でない場合があり、画像に曇りを生じやすいという問題がある。

特許文献２には、表面に誘電体多層膜が形成された基板であって、算術平均粗さＲａが０．９ｎｍ以下でかつ二乗平均粗さＲｍｓが１．５ｎｍ以下である表面粗さを有する光学デバイス用ガラス基板が開示され、これにより、画像装置において画像の曇りが生じない光学デバイスが得られる旨が記載されている。しかしながら、特許文献２の表面粗さは、研磨処理が可能なガラス基板のみからなる基材の平滑性を規定したものである。特許文献２のように、樹脂層を持たない基材を用いた場合、薄型化と割れにくさを両立させることは非常に困難であった。

特開２０１４−０４４３０１号公報 特開２００２−３６２９４３号公報

本発明は、白色光源を撮影した時に生じる画質の悪化を低減することができ、薄型化と割れにくさを両立可能な光学フィルター、ならびに、該光学フィルターを具備する固体撮像装置およびカメラモジュールを提供することを課題とする。

本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意検討した結果、特定の表面粗さを有する樹脂層上に誘電体多層膜を形成することにより、白色光源を撮影した場合でも画質の悪化を低減しつつ、薄型化と割れにくさを両立することができる光学フィルターが得られることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明の態様の例を以下に示す。

［１］ 支持体および樹脂層を有する基材と、該樹脂層上に形成された誘電体多層膜とを含むこと、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定される、該樹脂層における該誘電体多層膜と接している表面の表面粗さＲａが０．７μｍ以下であること、および、可視光線を透過し、かつ、近赤外線の少なくとも一部を遮断することを特徴とする光学フィルター。
［２］ 前記基材が近赤外線吸収剤を含むことを特徴とする項［１］に記載の光学フィルター。
［３］ 前記支持体を構成する材料が樹脂であることを特徴とする項［１］または［２］に記載の光学フィルター。
［４］ 前記支持体を構成する材料がガラスであることを特徴とする項［１］または［２］に記載の光学フィルター。
［５］ 前記樹脂層が近赤外線吸収剤を含むことを特徴とする項［１］〜［４］のいずれか１項に記載の光学フィルター。
［６］ 前記近赤外線吸収剤が、スクアリリウム系化合物、フタロシアニン系化合物、シアニン系化合物、ジチオール系化合物、ジイモニウム系化合物、ポルフィリン系化合物およびクロコニウム系化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物であることを特徴とする項［１］〜［５］のいずれか１項に記載の光学フィルター。
［７］ 前記近赤外線吸収剤が、有機溶剤可溶性であることを特徴とする項［１］〜［６］のいずれか１項に記載の光学フィルター。
［８］ 項［１］〜［７］のいずれか１項に記載の光学フィルターを具備することを特徴とする固体撮像装置。
［９］ 項［１］〜［７］のいずれか１項に記載の光学フィルターを具備することを特徴とするカメラモジュール。
［１０］ 可視光線を透過し、かつ、近赤外線の少なくとも一部を遮断する光学フィルターの製造方法であって、支持体および樹脂層を有する基材の樹脂層上に誘電体多層膜を形成する工程を含み、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定される、該樹脂層における該誘電体多層膜と接している表面の表面粗さＲａが０．７μｍ以下であることを特徴とする光学フィルターの製造方法。

本発明によれば、白色光源を撮影した場合でも画質の悪化を低減することができるとともに、薄型化と割れにくさを両立可能な光学フィルターを提供することができる。

以下、本発明について具体的に説明する。
［光学フィルター］
本発明に係る光学フィルターは、支持体および樹脂層を有する基材（i）と、該樹脂層上に形成された誘電体多層膜とを含むこと、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定される、該樹脂層における該誘電体多層膜と接している表面の表面粗さＲａが０．７μｍ以下であること、および、可視光線を透過し、かつ、近赤外線の少なくとも一部を遮断することを特徴とする。

前記表面粗さＲａは、好ましくは０．６５μｍ以下、より好ましくは０．１〜０．６μｍ、さらに好ましくは０．２〜０．５５μｍである。前記表面粗さＲａが０．７μｍ以下であることにより、白色光源を撮影した場合でも画質の悪化を低減することができる。なお、前記表面粗さＲａは光学フィルター製造工程に使用するプロテクトフィルムの選択、基材表面のコロナ処理やプラズマ処理により調整することができる。

本発明の光学フィルターは、前記基材（i）が近赤外線吸収剤を含むことが好ましい。具体的には、前記樹脂層が近赤外線吸収剤を含む態様や、前記支持体が近赤外線吸収剤を含む樹脂からなる態様などが挙げられる。また、前記支持体が、近赤外波長領域に吸収極大を有するガラス（以下「近赤外線吸収ガラス」ともいう。）からなる態様も好ましい。

上記のような構成を有する本発明の光学フィルターは、近赤外線カット特性に優れ、入射角依存性が少なく、可視波長領域での透過率特性および近赤外波長領域の多重反射光低減効果に優れた光学フィルターである。

本発明の光学フィルターを固体撮像素子用に使用する場合、近赤外波長領域の透過率が低い方が好ましい。特に、波長８００〜１０００ｎｍの領域は固体撮像素子の受光感度が比較的高いことが知られており、この波長領域の透過率を低減させることにより、カメラ画像と人間の目の視感度補正を効果的に行うことができ、優れた色再現性を達成することができる。

本発明の光学フィルターは、波長８００〜１０００ｎｍの領域において、光学フィルターの垂直方向から測定した場合の平均透過率が５％以下、好ましくは４％以下、さらに好ましくは３％以下、特に好ましくは２％以下である。波長８００〜１０００ｎｍの平均透過率がこの範囲にあると、近赤外線を十分にカットすることができ、優れた色再現性を達成できるため好ましい。

本発明の光学フィルターを固体撮像素子などに使用する場合、可視光透過率が高い方が好ましい。具体的には、波長４３０〜５８０ｎｍの領域において、光学フィルターの垂直方向から測定した場合の平均透過率が好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上、さらに好ましくは８３％以上、特に好ましくは８５％以上である。この波長領域において平均透過率がこの範囲にあると、本発明の光学フィルターを固体撮像素子用途として使用した場合、優れた撮像感度を達成することができる。

本発明の光学フィルターは、波長５６０〜８００ｎｍの範囲において、光学フィルターの垂直方向から測定した時の透過率が５０％となる最も短い波長の値（Ｘａ）と、光学フィルターの垂直方向に対して３０°の角度から測定した時の透過率が５０％となる波長の値（Ｘｂ）との差の絶対値が小さい方が好ましい。（Ｘａ）と（Ｘｂ）との差の絶対値は、好ましくは２０ｎｍ未満、より好ましくは１５ｎｍ未満、特に好ましくは１０ｎｍ未満である。このような光学フィルターは、前記基材（i）上に誘電体多層膜を形成することで得られる。

本発明の光学フィルターの厚みは、所望の用途に応じて適宜選択すればよいが、近年の固体撮像装置の薄型化、軽量化等の流れによれば、本発明の光学フィルターの厚みも薄いことが好ましい。本発明の光学フィルターは、前記基材（i）を含むため、薄型化が可能である。

本発明の光学フィルターの厚みは、例えば、好ましくは２００μｍ以下、より好ましくは１８０μｍ以下、さらに好ましくは１５０μｍ以下、特に好ましくは１２０μｍ以下であることが望ましく、下限は特に制限されないが、例えば、２０μｍであることが望ましい。

＜支持体＞
前記支持体を構成する材料としては、特に限定されないが、例えば、樹脂、ガラス、水晶、合成石英、ニオブ酸リチウムおよびサファイアなどが挙げられる。

前記支持体を構成するガラスとしては、特に限定されないが、例えば、ホウケイ酸塩系ガラス、ケイ酸塩系ガラス、ソーダ石灰ガラス、および近赤外線吸収ガラスなどが挙げられる。前記近赤外線吸収ガラスは、入射角依存性を低減できる点で好ましく、その具体例としては、フツリン酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラスなどが挙げられる。

前記支持体を構成する樹脂としては、透明樹脂が挙げられる。前記透明樹脂は、１種単独でもよいし、２種以上でもよい。
透明樹脂としては、本発明の効果を損なわないものである限り特に制限されないが、例えば、熱安定性およびフィルムへの成形性を確保し、かつ、１００℃以上の蒸着温度で行う高温蒸着により誘電体多層膜を形成しうるフィルムとするため、ガラス転移温度（Ｔｇ）が、好ましくは１１０〜３８０℃、より好ましくは１１０〜３７０℃、さらに好ましくは１２０〜３６０℃である樹脂が挙げられる。また、前記樹脂のガラス転移温度が１４０℃以上であると、誘電体多層膜をより高温で蒸着形成しえるフィルムが得られるため、特に好ましい。

透明樹脂としては、当該樹脂からなる厚さ０．１ｍｍの樹脂板を形成した場合に、この樹脂板の全光線透過率（ＪＩＳ Ｋ７１０５）が、好ましくは７５〜９５％、さらに好ましくは７８〜９５％、特に好ましくは８０〜９５％となる樹脂を用いることができる。全光線透過率がこのような範囲となる樹脂を用いれば、得られる光学フィルムの透明性が良好となる。

透明樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定される、ポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）は、通常１５，０００〜３５０，０００、好ましくは３０，０００〜２５０，０００であり、数平均分子量（Ｍｎ）は、通常１０，０００〜１５０，０００、好ましくは２０，０００〜１００，０００である。

透明樹脂としては、例えば、環状（ポリ）オレフィン系樹脂、芳香族ポリエーテル系樹脂、ポリイミド系樹脂、フルオレンポリカーボネート系樹脂、フルオレンポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド（アラミド）系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリサルホン系樹脂、ポリエーテルサルホン系樹脂、ポリパラフェニレン系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）系樹脂、フッ素化芳香族ポリマー系樹脂、（変性）アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、アリルエステル系硬化型樹脂、シルセスキオキサン系紫外線硬化型樹脂、アクリル系紫外線硬化型樹脂およびビニル系紫外線硬化型樹脂を挙げることができる。

≪環状（ポリ）オレフィン系樹脂≫
環状（ポリ）オレフィン系樹脂としては、下記式（Ｘ₀）で表される単量体および下記式（Ｙ₀）で表される単量体からなる群より選ばれる少なくとも１種の単量体から得られる樹脂、および当該樹脂を水素添加することで得られる樹脂が好ましい。

式（Ｘ₀）中、Ｒ^x1〜Ｒ^x4はそれぞれ独立に、下記（i'）〜（ix'）より選ばれる原子または基を表し、ｋ^x、ｍ^xおよびｐ^xはそれぞれ独立に、０または正の整数を表す。
（i'）水素原子
（ii'）ハロゲン原子
（iii'）トリアルキルシリル基
（iv'）酸素原子、硫黄原子、窒素原子またはケイ素原子を含む連結基を有する、
置換または非置換の炭素数１〜３０の炭化水素基
（v'）置換または非置換の炭素数１〜３０の炭化水素基
（vi'）極性基（但し、（iv'）を除く。）
（vii'）Ｒ^x1とＲ^x2またはＲ^x3とＲ^x4とが、相互に結合して形成されたアルキリデン基
（但し、前記結合に関与しないＲ^x1〜Ｒ^x4は、それぞれ独立に前記（ｉ'）〜（vi'）より選ばれる原子または基を表す。）
（viii'）Ｒ^x1とＲ^x2またはＲ^x3とＲ^x4とが、相互に結合して形成された単環もしくは多環の炭化水素環または複素環（但し、前記結合に関与しないＲ^x1〜Ｒ^x4は、それぞれ独立に前記（i'）〜（vi'）より選ばれる原子または基を表す。）
（ix'）Ｒ^x2とＲ^x3とが、相互に結合して形成された単環の炭化水素環または複素環（但し、前記結合に関与しないＲ^x1とＲ^x4は、それぞれ独立に前記（i'）〜（vi'）より選ばれる原子または基を表す。）

式（Ｙ₀）中、Ｒ^y1およびＲ^y2はそれぞれ独立に、前記（i'）〜（vi'）より選ばれる原子または基を表すか、Ｒ^y1とＲ^y2とが、相互に結合して形成された単環もしくは多環の脂環式炭化水素、芳香族炭化水素または複素環を表し、ｋ^yおよびｐ^yはそれぞれ独立に、０または正の整数を表す。

≪芳香族ポリエーテル系樹脂≫
芳香族ポリエーテル系樹脂は、下記式（１）で表される構造単位および下記式（２）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種の構造単位を有することが好ましい。

式（１）中、Ｒ¹〜Ｒ⁴はそれぞれ独立に、炭素数１〜１２の１価の有機基を示し、ａ〜ｄはそれぞれ独立に、０〜４の整数を示す。

式（２）中、Ｒ¹〜Ｒ⁴およびａ〜ｄはそれぞれ独立に、前記式（１）中のＲ¹〜Ｒ⁴およびａ〜ｄと同義であり、Ｙは、単結合、−ＳＯ₂−または＞Ｃ＝Ｏを示し、Ｒ⁷およびＲ⁸はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１〜１２の１価の有機基またはニトロ基を示し、ｇおよびｈはそれぞれ独立に、０〜４の整数を示し、ｍは０または１を示す。但し、ｍが０のとき、Ｒ⁷はシアノ基ではない。

また、前記芳香族ポリエーテル系樹脂は、さらに下記式（３）で表される構造単位および下記式（４）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種の構造単位を有することが好ましい。

式（３）中、Ｒ⁵およびＲ⁶はそれぞれ独立に、炭素数１〜１２の１価の有機基を示し、Ｚは、単結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ₂−、＞Ｃ＝Ｏ、−ＣＯＮＨ−、−ＣＯＯ−または炭素数１〜１２の２価の有機基を示し、ｅおよびｆはそれぞれ独立に、０〜４の整数を示し、ｎは０または１を示す。

式（４）中、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｙ、ｍ、ｇおよびｈはそれぞれ独立に、前記式（２）中のＲ⁷、Ｒ⁸、Ｙ、ｍ、ｇおよびｈと同義であり、Ｒ⁵、Ｒ⁶、Ｚ、ｎ、ｅおよびｆはそれぞれ独立に、前記式（３）中のＲ⁵、Ｒ⁶、Ｚ、ｎ、ｅおよびｆと同義である。

≪ポリイミド系樹脂≫
ポリイミド系樹脂としては、特に制限されず、繰り返し単位にイミド結合を含む高分子化合物であればよく、例えば、特開２００６−１９９９４５号公報や特開２００８−１６３１０７号公報に記載されている方法で合成することができる。

≪フルオレンポリカーボネート系樹脂≫
フルオレンポリカーボネート系樹脂としては、特に制限されず、フルオレン部位を含むポリカーボネート樹脂であればよく、例えば、特開２００８−１６３１９４号公報に記載されている方法で合成することができる。

≪フルオレンポリエステル系樹脂≫
フルオレンポリエステル系樹脂としては、特に制限されず、フルオレン部位を含むポリエステル樹脂であればよく、例えば、特開２０１０−２８５５０５号公報や特開２０１１−１９７４５０号公報に記載されている方法で合成することができる。

≪フッ素化芳香族ポリマー系樹脂≫
フッ素化芳香族ポリマー系樹脂としては、特に制限されないが、フッ素原子を少なくとも１つ有する芳香族環と、エーテル結合、ケトン結合、スルホン結合、アミド結合、イミド結合およびエステル結合からなる群より選ばれる少なくとも１つの結合を含む繰り返し単位とを含有するポリマーであることが好ましく、例えば特開２００８−１８１１２１号公報に記載されている方法で合成することができる。

≪アクリル系紫外線硬化型樹脂≫
アクリル系紫外線硬化型樹脂としては、特に制限されないが、分子内に一つ以上のアクリル基もしくはメタクリル基を有する化合物と、紫外線によって分解して活性ラジカルを発生させる化合物を含有する樹脂組成物から合成されるものを挙げることができる。

≪市販品≫
透明樹脂の市販品としては、以下の市販品等を挙げることができる。環状（ポリ）オレフィン系樹脂の市販品としては、ＪＳＲ（株）製アートン、日本ゼオン（株）製ゼオノア、三井化学（株）製ＡＰＥＬ、ポリプラスチックス（株）製ＴＯＰＡＳなどを挙げることができる。ポリエーテルサルホン系樹脂の市販品としては、住友化学（株）製スミカエクセルＰＥＳなどを挙げることができる。ポリイミド系樹脂の市販品としては、三菱ガス化学（株）製ネオプリムＬなどを挙げることができる。ポリカーボネート系樹脂の市販品としては、帝人（株）製ピュアエースなどを挙げることができる。フルオレンポリカーボネート系樹脂の市販品としては、三菱ガス化学（株）製ユピゼータＥＰ−５０００などを挙げることができる。フルオレンポリエステル系樹脂の市販品としては、大阪ガスケミカル（株）製ＯＫＰ４ＨＴなどを挙げることができる。アクリル系樹脂の市販品としては、（株）日本触媒製アクリビュアなどを挙げることができる。シルセスキオキサン系紫外線硬化型樹脂の市販品としては、新日鐵化学（株）製シルプラスなどを挙げることができる。

≪近赤外線吸収剤≫
前記支持体を構成する透明樹脂には近赤外線吸収剤を含有させてもよい。近赤外線吸収剤は、波長６００ｎｍ以上８００ｎｍ未満に吸収極大を有する化合物であれば特に制限されないが、樹脂中での凝集を抑制できるという観点から溶剤可溶型の色素化合物であることが好ましい。このような近赤外線吸収の例としては、スクアリリウム系化合物、フタロシアニン系化合物、シアニン系化合物、ジチオール系化合物、ジイモニウム系化合物、ポルフィリン系化合物およびクロコニウム系化合物などが挙げられる。これらの中ではスクアリリウム系化合物が好ましい。近赤外線吸収剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。２種以上の近赤外線吸収剤を用いる場合、スクアリリウム系化合物とその他の近赤外線吸収剤をそれぞれ１種以上含むことが好ましく、その他の近赤外線吸収剤としてはフタロシアニン系化合物およびシアニン系化合物が好ましい。

前記フタロシアニン系化合物としては、特に構造は限定されないが、例えば、下記式（７）で表される化合物が挙げられる。

式（７）中、Ｍは２個の水素原子、２個の１価の金属原子、２価の金属原子、または３価もしくは４価の金属原子を含む置換金属原子を表し、
複数あるＲ_a、Ｒ_b、Ｒ_c、Ｒ_d、Ｒ_e、Ｒ_f、Ｒ_gおよびＲ_hは、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、アミノ基、アミド基、イミド基、シアノ基、シリル基、炭素数１〜９の脂肪族炭化水素基、炭素数６〜１４の芳香族炭化水素基または炭素数３〜１４の複素芳香族炭化水素基、−Ｏ−Ｌ¹、−Ｓ−Ｌ²、−ＳＳ−Ｌ²、−ＣＯ−Ｌ³、−ＳＯ₂−Ｌ⁴、−Ｎ＝Ｎ−Ｌ⁵、−Ｌ⁶−Ａ、または、Ｒ_aとＲ_b、Ｒ_bとＲ_cおよびＲ_cとＲ_dのうち少なくとも１つの組み合わせが結合した、下記式（8-a）〜（8-h）で表される基からなる群より選ばれる少なくとも１種の基を表し、同じ芳香環に結合したＲ_a、Ｒ_b、Ｒ_cおよびＲ_dのうち少なくとも１つが水素原子ではない。

前記アミノ基、アミド基、イミド基、シリル基、炭素数１〜９の脂肪族炭化水素基、炭素数６〜１４の芳香族炭化水素基および炭素数３〜１４の複素芳香族炭化水素基は、炭素数１〜９の脂肪族炭化水素基、炭素数４〜１４の脂環式炭化水素基、炭素数１〜９のハロゲン化アルキル基、炭素数６〜１４の芳香族炭化水素基および炭素数３〜１４の複素芳香族炭化水素基からなる群より選ばれる少なくとも１種の置換基Ｌを有してもよい。

Ｌ¹は、水素原子または下記Ｌ^a〜Ｌ^hのいずれかを表し、
Ｌ²は、水素原子または下記Ｌ^a〜Ｌ^dのいずれかを表し、
Ｌ³は、水素原子、水酸基または下記Ｌ^a〜Ｌ^dのいずれかを表し、
Ｌ⁴は、水酸基または下記Ｌ^a〜Ｌ^dのいずれかを表し、
Ｌ⁵は、下記Ｌ^a〜Ｌ^dのいずれかを表す。
（Ｌ^a）置換基Ｌを有してもよい炭素数１〜９の脂肪族炭化水素基
（Ｌ^b）置換基Ｌを有してもよい炭素数４〜１４の脂環式炭化水素基
（Ｌ^c）置換基Ｌを有してもよい炭素数６〜１４の芳香族炭化水素基
（Ｌ^d）置換基Ｌを有してもよい炭素数３〜１４の複素芳香族炭化水素基
（Ｌ^e）置換基Ｌを有してもよい炭素数１〜９の脂肪族炭化水素基を有するケイ素原子
（Ｌ^f）置換基Ｌを有してもよい炭素数４〜１４の脂環式炭化水素基を有するケイ素原子
（Ｌ^g）置換基Ｌを有してもよい炭素数６〜１４の芳香族炭化水素基を有するケイ素原子
（Ｌ^h）置換基Ｌを有してもよい炭素数３〜１４の複素芳香族炭化水素基を有するケイ素原子
Ｌ⁶は、
置換基Ｌを有してもよい炭素数１〜９の２価の脂肪族炭化水素基、
置換基Ｌを有してもよい炭素数４〜１４の２価の脂環式炭化水素基、
置換基Ｌを有してもよい炭素数６〜１４の２価の芳香族炭化水素基、または
置換基Ｌを有してもよい炭素数３〜１４の２価の複素芳香族炭化水素基
を表す。

Ａは、ハロゲン原子、水酸基、ニトロ基、アミノ基、アミド基、イミド基、シアノ基、シリル基、カルボキシル基、スルホキシル基またはリン酸基を表し、Ｌ⁶に複数結合してもよい。

式（8-a）〜（8-h）中、Ｒ_xとＲ_yの組み合わせは、Ｒ_aとＲ_b、Ｒ_bとＲ_cまたはＲ_cとＲ_dの組み合わせであり、複数あるＲ_A〜Ｒ_Lは、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、置換基Ｌを有してもよいアミノ基、置換基Ｌを有してもよいアミド基、置換基Ｌを有してもよいイミド基、置換基Ｌを有してもよいシリル基、−Ｏ−Ｌ¹、−Ｓ−Ｌ²、−ＳＳ−Ｌ²、−ＣＯ−Ｌ³、−ＳＯ₂−Ｌ⁴、−Ｎ＝Ｎ−Ｌ⁵、−Ｌ⁶−Ａ、置換基Ｌを有してもよい炭素数１〜９の脂肪族炭化水素基、置換基Ｌを有してもよい炭素数４〜１４の脂環式炭化水素基、置換基Ｌを有してもよい炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基、または置換基Ｌを有してもよい炭素数３〜１４の複素芳香族炭化水素基を表す（ＬおよびＬ¹〜Ｌ⁶は、前記ＬおよびＬ¹〜Ｌ⁶と同義である。）。

≪その他の色素≫
前記透明樹脂には、さらに、前記近赤外線吸収剤に該当しない、その他の色素を含有させてもよい。

その他の色素としては、吸収極大波長が６００ｎｍ未満もしくは８００ｎｍ超のものであれば特に制限されないが、吸収極大波長が８００ｎｍ超のものが好ましい。このような色素としては、例えば、スクアリリウム系化合物、フタロシアニン系化合物、シアニン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、クロコニウム系化合物、オクタフィリン系化合物、ジイモニウム系化合物、ペリレン系化合物、および金属ジチオラート系化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が挙げられる。

≪その他成分≫
前記透明樹脂には、本発明の効果を損なわない範囲において、その他成分として、さらに酸化防止剤、近紫外線吸収剤、蛍光消光剤および金属錯体系化合物等の添加剤を含有してもよい。前記添加剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

前記近紫外線吸収剤としては、例えばアゾメチン系化合物、インドール系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、トリアジン系化合物などが挙げられる。
前記酸化防止剤としては、例えば２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール、２，２'−ジオキシ−３，３'−ジ−ｔ−ブチル−５，５'−ジメチルジフェニルメタン、およびテトラキス［メチレン−３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］メタンなどが挙げられる。

なお、前記添加剤は、樹脂層を製造する際に、樹脂などとともに混合してもよいし、樹脂を合成する際に添加してもよい。また、添加量は、所望の特性に応じて適宜選択されるものであるが、樹脂１００重量部に対して、通常０．０１〜５．０重量部、好ましくは０．０５〜２．０重量部である。

＜樹脂層＞
本発明の光学フィルターは、前記支持体の片面または両面に光学フィルターの表面を平滑にする目的の樹脂層を有する基材（i）と、該樹脂層上に形成された誘電体多層膜とを含む。誘電体多層膜は、基材（i）の片面に設けても、両面に設けてもよい。樹脂層には、支持体の表面硬度の向上、耐薬品性の向上、帯電防止、傷消し、誘電体多層膜との密着性向上、近赤外光吸収などの機能を適宜持たせることができる。

本発明の光学フィルターは、前記樹脂層を片面または両面にそれぞれ１層含んでもよく、２層以上含んでもよい。本発明の光学フィルターが前記樹脂層を２層以上含む場合には、同様の層を２層以上含んでもよいし、異なる層を２層以上含んでもよい。

前記樹脂層は１種もしくは２種以上の近赤外線吸収剤を含んでもよい。前記近赤外線吸収剤としては、前述した支持体の構成材料が透明樹脂の場合に含有させてもよい近赤外線吸収剤として例示したものと同様のものが挙げられる。

前記コーティング剤としては、紫外線（ＵＶ）／電子線（ＥＢ）硬化性樹脂や熱硬化性樹脂などが挙げられ、具体的には、ビニル化合物類や、ウレタン系、ウレタンアクリレート系、アクリレート系、エポキシ系およびエポキシアクリレート系樹脂などが挙げられる。これらのコーティング剤を含む前記硬化性組成物としては、ビニル系、ウレタン系、ウレタンアクリレート系、アクリレート系、エポキシ系およびエポキシアクリレート系硬化性組成物などが挙げられる。

また、前記コーティング剤は、前記支持体の構成材料として例示した透明樹脂でもよい。
前記アクリレート系硬化性組成物に含まれる成分としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシフェノキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリε−カプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニロキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニロキシエチル（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート等が挙げられるが、これらの例示に限定されるものではない。これら成分は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

前記ウレタン系もしくはウレタンアクリレート系硬化性組成物に含まれる成分としては、例えば、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、ビス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、分子内に２以上の（メタ）アクリロイル基を有するオリゴウレタン（メタ）アクリレート類を挙げることができるが、これらの例示に限定されるものではない。これら成分は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。さらに、ポリウレタン（メタ）アクリレート等のオリゴマーまたはポリマーや、ポリエステル（メタ）アクリレート等のオリゴマーまたはポリマーを配合してもよい。

前記ビニル化合物類としては、例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、ジビニルベンゼン、エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル等を挙げることができるが、これらの例示に限定されるものではない。これら成分は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

前記エポキシ系もしくはエポキシアクリレート系硬化性組成物に含まれる成分としては、特に限定されないが、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、分子内に２以上の（メタ）アクリロイル基を有するオリゴエポキシ（メタ）アクリレート類等を挙げることができる。これら成分は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。さらに、ポリエポキシ（メタ）アクリレート等のオリゴマーまたはポリマーを配合してもよい。

前記コーティング剤（コーティング剤などを含む硬化性組成物）の市販品としては、東洋インキ製造株式会社製ＬＣＨ、ＬＡＳ；荒川化学工業株式会社製ビームセット；ダイセル・サイテック株式会社製ＥＢＥＣＲＹＬ、ＵＶＡＣＵＲＥ；ＪＳＲ株式会社製オプスターなどが挙げられる。

また、前記硬化性組成物は、重合開始剤を含んでいてもよい。前記重合開始剤としては、公知の光重合開始剤または熱重合開始剤を用いることができ、光重合開始剤と熱重合開始剤を併用してもよい。重合開始剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

前記硬化性組成物中、重合開始剤の配合割合は、硬化性組成物の全量を１００重量％とした場合、好ましくは０．１〜１０重量％、より好ましくは０．５〜１０重量％、さらに好ましくは１〜５重量％である。

さらに、前記硬化性組成物には溶剤として有機溶剤を加えてもよく、有機溶剤としては、公知のものを使用することができる。有機溶剤の具体例としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール等のアルコール類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のエーテル類；ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド類を挙げることができる。これら溶剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

また、前記硬化性組成物は、レベリング剤を含んでいてもよい。前記レベリング剤としては、公知のレベリング剤を用いることができ、２種以上を併用してもよい。
前記レベリング剤の市販品としては、ＡＧＣセイミケミカル社製サーフロン；共栄社化学社製ポリフロー；ＤＩＣ社製メガファック；ＢＹＫ社製ＢＹＫＥＴＯＬなどが挙げられる。

前記硬化性組成物には、本発明の目的や効果を損なわない範囲において、光増感剤、重合禁止剤、重合開始助剤、可塑剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、帯電防止剤、シランカップリング剤、顔料、染料、スリップ剤等の添加剤をさらに含有させてもよい。

前記樹脂層の厚さは、好ましくは０．１μｍ〜５０μｍ、さらに好ましくは０．５μｍ〜２０μｍ、特に好ましくは０．７μｍ〜１０μｍである。
また、支持体と樹脂層および／または誘電体多層膜との密着性や、樹脂層と誘電体多層膜との密着性を上げる目的で、支持体や樹脂層の表面にコロナ処理やプラズマ処理等の表面処理をしてもよい。

＜基材（i）＞
波長６００ｎｍ以上８００ｎｍ未満の領域において、前記基材（i）の垂直方向から測定した最も低い透過率（Ｚａ）は、好ましくは４０％以下、さらに好ましくは２５％以下、特に好ましくは１０％以下である。

波長６００ｎｍ以上の領域における前記基材（i）の垂直方向から測定した透過率が５０％超から５０％以下となる最も短い波長（Ｘｃ）は、好ましくは６１０〜６７０ｎｍ、さらに好ましくは６２０〜６６５ｎｍ、特に好ましくは６３０〜６６０ｎｍである。

基材（i）の（Ｚａ）および（Ｘｃ）がこのような範囲にあれば、不要な近赤外線を選択的に効率よくカットすることができるとともに、基材（i）上に誘電体多層膜を製膜した際、可視波長〜近赤外波長領域付近の光学特性の入射角依存性を低減することができる。

基材（i）の波長４３０〜５８０ｎｍにおける平均透過率は、好ましくは７５％以上、さらに好ましくは７８％以上、特に好ましくは８０％以上である。このような透過特性を有する基材を用いると、可視領域において高い光線透過特性を達成でき、高感度なカメラ機能を達成することができる。

前記基材（i）の厚みは、所望の用途に応じて適宜選択することができ、特に制限されないが、得られる光学フィルターの入射角依存性を低減するように適宜選択することが望ましく、好ましくは１０〜２００μｍ、さらに好ましくは１５〜１８０μｍ、特に好ましくは２０〜１５０μｍである。基材（i）の厚みが前記範囲にあると、該基材（i）を用いた光学フィルターを薄型化および軽量化することができ、固体撮像装置等の様々な用途に好適に用いることができる。

≪基材（i）の製造方法≫
前記支持体に、必要に応じて近赤外線吸収剤を含む樹脂溶液（コーティング剤）を溶融成形またはキャスト成形することで、好ましくはスピンコート、スリットコート、インクジェットなどの方法にて塗工した後に溶媒を乾燥除去し、必要に応じてさらに光照射や加熱を行うことで、支持体上に樹脂層が形成された基材（i）を製造することができる。また、必要に応じて、さらに、反射防止剤、ハードコート剤および／または帯電防止剤等の他のコーティング剤をコーティングしてオーバーコート層を積層してもよい。

前記溶融成形としては、具体的には、樹脂と必要に応じて近赤外線吸収剤等とを溶融混練りして得られたペレットを溶融成形する方法；樹脂と必要に応じて近赤外線吸収剤等とを含有する樹脂組成物を溶融成形する方法；または、樹脂と溶剤と必要に応じて近赤外線吸収剤等とを含む樹脂組成物から溶剤を除去して得られたペレットを溶融成形する方法などが挙げられる。溶融成形方法としては、射出成形、溶融押出成形またはブロー成形などを挙げることができる。

前記キャスト成形としては、樹脂、溶剤および必要に応じて近赤外線吸収剤等を含む樹脂組成物を適当な支持体の上にキャスティングして溶剤を除去する方法；または紫外線（ＵＶ）／電子線（ＥＢ）硬化性樹脂および／または熱硬化性樹脂と必要に応じて近赤外線吸収剤等とを含む硬化性組成物を適当な支持体の上にキャスティングして溶媒を除去した後、紫外線照射や加熱などの適切な手法により硬化させる方法などにより製造することもできる。

前記方法で得られた樹脂層中の残留溶剤量は可能な限り少ない方がよい。具体的には、前記残留溶剤量は、樹脂層の重さに対して、好ましくは３重量％以下、より好ましくは１重量％以下、さらに好ましくは０．５重量％以下である。残留溶剤量が前記範囲にあると、変形や特性が変化しにくい、所望の機能を容易に発揮できる樹脂層が得られる。

＜プロテクトフィルム＞
樹脂層形成後の基材表面の傷つき及び汚れ防止のため、基材（i）の両面にプロテクトフィルムを貼り合せることがある。プロテクトフィルムは透明または着色に限定されないが、その成分はポリエチレン、ポリプロピレン、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポバール、酢酸ビニル共重合体などである。

誘電体多層膜を形成する前にプロテクトフィルムを剥離すると、基材表面に糊残りおよび張付け跡が生じる。基材表面の平滑性は光学フィルターの画像評価に影響するため、この場合、表面粗さＲａを測定する。プロテクトフィルムの種類によって剥離後の表面粗さＲａが変化するので、所望のＲａとなるプロテクトフィルムを選択することが望ましい。例えば、基材および樹脂層に対して、密着性と剥離性の両方の性質を有するプロテクトフィルムが望ましい。

市販のプロテクトフィルムとして、東レフィルム加工社製トレテック；サンエー化研社製サニテクト；パナック社製パナテクト；きもと社製キモテクト、プロセーブ；藤森工業社製マスタック；三井化学東セロ社製ピュアテクト、日立化成社製；ヒタレックスなどが挙げられる。

＜誘電体多層膜＞
本発明における誘電体多層膜は、近赤外線を反射する能力を有する膜である。本発明では、誘電体多層膜は、前記基材（i）の片面に設けてもよいし、両面に設けてもよい。片面に設ける場合、製造コストや製造容易性に優れ、両面に設ける場合、高い強度を有し、反りやねじれが生じにくい光学フィルターを得ることができる。光学フィルターを固体撮像素子用途に適用する場合、光学フィルターの反りやねじれが小さい方が好ましいことから、誘電体多層膜を前記基材（i）の両面に設けることが好ましい。

前記誘電体多層膜は、波長７００〜１１００ｎｍの範囲全体にわたって反射特性を有することが好ましく、さらに好ましくは波長７００〜１１５０ｎｍ、特に好ましくは７００〜１２００ｎｍの範囲全体にわたって反射特性を有することが好ましい。基材（i）の両面に誘電体多層膜を有する形態として、光学フィルターの垂直方向に対して５°の角度から測定した場合に波長７００〜９５０ｎｍ付近に主に反射特性を有する第一光学層を基材（i）の片面に有し、基材（i）の他方の面上に光学フィルターの垂直方向に対して５°の角度から測定した場合に９００ｎｍ〜１１５０ｎｍ付近に主に反射特性を有する第二光学層を有する形態や、光学フィルターの垂直方向に対して５°の角度から測定した場合に波長７００〜１１５０ｎｍ付近に主に反射特性を有する第三光学層を基材（i）の片面に有し、基材（i）の他方の面上に可視域の反射防止特性を有する第四光学層を有する形態などが挙げられる。

誘電体多層膜としては、高屈折率材料層と低屈折率材料層とを交互に積層したものが挙げられる。高屈折率材料層を構成する材料としては、屈折率が１．７以上の材料を用いることができ、屈折率が通常は１．７〜２．５の材料が選択される。このような材料としては、例えば、酸化チタン、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、五酸化ニオブ、酸化ランタン、酸化イットリウム、酸化亜鉛、硫化亜鉛または酸化インジウム等を主成分とし、酸化チタン、酸化錫および／または酸化セリウム等を少量（例えば、主成分に対して０〜１０重量％）含有させたものが挙げられる。

低屈折率材料層を構成する材料としては、屈折率が１．６以下の材料を用いることができ、屈折率が通常は１．２〜１．６の材料が選択される。このような材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、フッ化ランタン、フッ化マグネシウムおよび六フッ化アルミニウムナトリウムが挙げられる。

高屈折率材料層と低屈折率材料層とを積層する方法については、これらの材料層を積層した誘電体多層膜が形成される限り特に制限はない。例えば、基材（i）上に、直接、ＣＶＤ法、スパッタ法、真空蒸着法、イオンアシスト蒸着法またはイオンプレーティング法等により、高屈折率材料層と低屈折率材料層とを交互に積層した誘電体多層膜を形成することができる。

高屈折率材料層および低屈折率材料層の各層の厚さは、通常、遮断しようとする近赤外線波長をλ（ｎｍ）とすると、０．１λ〜０．５λの厚さが好ましい。λ（ｎｍ）の値としては、例えば７００〜１４００ｎｍ、好ましくは７５０〜１３００ｎｍである。厚さがこの範囲であると、屈折率（ｎ）と膜厚（ｄ）との積（ｎ×ｄ）がλ／４で算出される光学的膜厚と、高屈折率材料層および低屈折率材料層の各層の厚さとがほぼ同じ値となって、反射・屈折の光学的特性の関係から、特定波長の遮断・透過を容易にコントロールできる傾向にある。

誘電体多層膜における高屈折率材料層と低屈折率材料層との合計の積層数は、光学フィルター全体として１６〜７０層であることが好ましく、２０〜６０層であることがより好ましい。各層の厚み、光学フィルター全体としての誘電体多層膜の厚みや合計の積層数が前記範囲にあると、十分な製造マージンを確保できる上に、光学フィルターの反りや誘電体多層膜のクラックを低減することができる。

本発明では、前記近赤外線吸収剤の吸収特性に合わせて高屈折率材料層および低屈折率材料層を構成する材料種、高屈折率材料層および低屈折率材料層の各層の厚さ、積層の順番、積層数を適切に選択することで、可視域に十分な透過率を確保した上で近赤外波長域に十分な光線カット特性を有し、且つ、斜め方向から近赤外線が入射した際の反射率を低減することができる。

ここで、前記条件を最適化するには、例えば、光学薄膜設計ソフト（例えば、Ｅｓｓｅｎｔｉａｌ Ｍａｃｌｅｏｄ、Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｃｅｎｔｅｒ社製）を用い、可視域の反射防止効果と近赤外域の光線カット効果を両立できるようにパラメーターを設定すればよい。上記ソフトの場合、例えば第一光学層の設計にあたっては、波長４００〜７００ｎｍの目標透過率を１００％、Ｔａｒｇｅｔ Ｔｏｌｅｒａｎｃｅの値を１とした上で、波長７０５〜９５０ｎｍの目標透過率を０％、Ｔａｒｇｅｔ Ｔｏｌｅｒａｎｃｅの値を０．５にするなどのパラメーター設定方法が挙げられる。これらのパラメーターは基材（ｉ）の各種特性などに合わせて波長範囲をさらに細かく区切ってＴａｒｇｅｔ Ｔｏｌｅｒａｎｃｅの値を変えることもできる。

＜機能膜（密着層）＞
本発明の光学フィルターは、基材（ｉ）と誘電体多層膜の間に機能膜（密着層）を有していてもよい。特に、前記支持体としてガラス基板を使用し、ガラス基板上に近赤外線吸収層（樹脂層）を形成する場合には、前記近赤外線吸収層とガラス基板は、互いに化学的な組成および熱線膨張率が異なるため、近赤外線吸収層とガラス基板との間に密着層を設けて、それらの十分な密着性を確保することが好ましい。前記密着層は近赤外線吸収層とガラス基板との間の密着性を確保できる材料からなれば、特に限定されないが、例えば、（ａ）（メタ）アクリロイル基含有化合物に由来する構造単位（以下「構造単位（ａ）」ともいう。）、（ｂ）カルボン酸基含有化合物に由来する構造単位（以下「構造単位（ｂ）」）ともいう。）、および（ｃ）エポキシ基含有化合物に由来する構造単位（以下「構造単位（ｃ）」ともいう。）を有すると、近赤外線吸収層とガラス基板との密着性が高くなるため好ましい。

〈構造単位（ａ）〉
構造単位（ａ）としては、（メタ）アクリロイル基含有化合物に由来する構造単位であれば特に限定されるものではない。（メタ）アクリロイル基含有化合物としては、例えば、単官能、２官能または３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルが、重合性が良好である点から好ましい。本発明において、「（メタ）アクリル」は、「アクリル」または「メタクリル」を意味する。

上記単官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、（２−アクリロイルオキシエチル）（２−ヒドロキシプロピル）フタレート、（２−メタクリロイルオキシエチル）（２−ヒドロキシプロピル）フタレートおよびω―カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレートを挙げることができる。

これらの市販品としては、商品名で、例えば、アロニックスＭ−１０１、同Ｍ−１１１、同Ｍ−１１４、同Ｍ−５３００（以上、東亞合成（株）製）；ＫＡＹＡＲＡＤ ＴＣ−１１０Ｓ、同 ＴＣ−１２０Ｓ（以上、日本化薬（株）製）；ビスコート１５８、同２３１１（以上、大阪有機化学工業（株）製）を挙げることができる。

上記２官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えばエチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、９，９−ビス[４−（２−アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、１，９−ノナンジオールジアクリレートおよび１，９−ノナンジオールジメタクリレートを挙げることができる。

これらの市販品としては、商品名で、例えばアロニックスＭ−２１０、同Ｍ−２４０、同Ｍ−６２００（以上、東亞合成（株）製）；ＫＡＹＡＲＡＤ ＨＤＤＡ、同 ＨＸ−２２０、同 Ｒ−６０４（以上、日本化薬（株）製）；ビスコート２６０、同３１２、同３３５ＨＰ（以上、大阪有機化学工業（株）製）；ライトアクリレート１，９−ＮＤＡ（共栄社化学（株）製）を挙げることができる。

上記３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ（２−アクリロイルオキシエチル）フォスフェート、トリ（２−メタクリロイルオキシエチル）フォスフェートのほか、直鎖アルキレン基および脂環式構造を有し且つ２個以上のイソシアネート基を有する化合物と、分子内に１個以上の水酸基を有し且つ３個、４個または５個の（メタ）アクリロイルオキシ基を有する化合物とを反応させて得られる多官能ウレタンアクリレート系化合物を挙げることができる。

３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルの市販品としては、商品名で、例えばアロニックスＭ−３０９、同Ｍ−３１５、同Ｍ−４００、同Ｍ−４０５、同Ｍ−４５０、同Ｍ−７１００、同Ｍ−８０３０、同Ｍ−８０６０、同ＴＯ−１４５０（以上、東亞合成（株）製）；ＫＡＹＡＲＡＤ ＴＭＰＴＡ、同 ＤＰＨＡ、同 ＤＰＣＡ−２０、同 ＤＰＣＡ−３０、同 ＤＰＣＡ−６０、同 ＤＰＣＡ−１２０、同 ＤＰＥＡ−１２（以上、日本化薬（株）製）；ビスコート２９５、同３００、同３６０、同ＧＰＴ、同３ＰＡ、同４００（以上、大阪有機化学工業（株）製）；や、多官能ウレタンアクリレート系化合物を含有する市販品として、ニューフロンティア Ｒ−１１５０（第一工業製薬（株）製）；ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬（株）製）を挙げることができる。
上記（メタ）アクリロイル基含有化合物は、１種単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

〈構造単位（ｂ）〉
構造単位（ｂ）としては、カルボン酸基を含有する化合物に由来する構造単位であれば特に限定されるものではない。カルボン酸基含有化合物としては、例えばモノカルボン酸、ジカルボン酸、ジカルボン酸の無水物およびカルボン酸基を有する重合体を挙げることができる。

上記モノカルボン酸としては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、２−アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、２−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸および２−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸を挙げることができる。

上記ジカルボン酸としては、例えばマレイン酸、フマル酸およびシトラコン酸を挙げることができる。
上記ジカルボン酸の無水物としては、上記ジカルボン酸の無水物等を挙げることができる。

上記カルボン酸基を有する重合体としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸および無水マレイン酸等のカルボン酸基を有する重合性化合物からなる重合体、または、これらの化合物と前記（メタ）アクリロイル基含有化合物との共重合体を好適に用いることができる。

これらの中では、共重合反応性の点から、アクリル酸、メタクリル酸、２−アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸および無水マレイン酸が好ましい。

〈構造単位（ｃ）〉
構造単位（ｃ）としては、エポキシ基含有化合物に由来する構造単位であれば特に限定されるものではない。エポキシ基(オキシラニル基)含有化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸オキシラニル（シクロ）アルキルエステル、α−アルキルアクリル酸オキシラニル（シクロ）アルキルエステルおよび不飽和結合を有するグリシジルエーテル化合物等のオキシラニル基を有する不飽和化合物；オキセタニル基を有する（メタ）アクリル酸エステル等のオキセタニル基を有する不飽和化合物を挙げることができる。

上記（メタ）アクリル酸オキシラニル（シクロ）アルキルエステルとしては、例えば（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸２−メチルグリシジル、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートグリシジルエーテル、（メタ）アクリル酸３，４−エポキシブチル、（メタ）アクリル酸６，７−エポキシヘプチル、（メタ）アクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルおよび（メタ）アクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチルを挙げることができる。

上記α−アルキルアクリル酸オキシラニル（シクロ）アルキルエステルとしては、例えばα−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸６，７−エポキシヘプチルおよびα−エチルアクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルを挙げることができる。

上記不飽和結合を有するグリシジルエーテル化合物としては、例えばｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテルおよびｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテルを挙げることができる。

上記オキセタニル基を有する（メタ）アクリル酸エステルとして、例えば３−（（メタ）アクリロイルオキシメチル）オキセタン、３−（（メタ）アクリロイルオキシメチル）−３−エチルオキセタン、３−（（メタ）アクリロイルオキシメチル）−２−メチルオキセタン、３−（（メタ）アクリロイルオキシエチル）−３−エチルオキセタン、２−エチル−３−（（メタ）アクリロイルオキシエチル）オキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロイルオキシメチルオキセタンおよび３−エチル−３−（メタ）アクリロイルオキシメチルオキセタンを挙げることができる。

これらの中では、重合性の点から、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸２−メチルグリシジル、メタクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシル、メタクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチル、３−メタクリロイルオキシメチル−３−エチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロイルオキシメチルオキセタンおよび３−エチル−３−メチルオキセタンが好ましい。

［光学フィルターの製造方法］
本発明の光学フィルターの製造方法は、上記支持体および上記樹脂層を有する基材（i）の該樹脂層上に誘電体多層膜を形成する工程を含むことを特徴とする。樹脂層上に誘電体多層膜を形成する方法は前述のとおりである。また、必要に応じて、上記基材（i）上に機能膜を形成する工程を含んでもよい。

なお、誘電体多層膜を形成した際に光学フィルターに反りが生じてしまう場合には、これを解消するために、光学フィルター両面に誘電体多層膜を形成したり、光学フィルターの誘電体多層膜を形成した面に紫外線等の電磁波を照射したりする方法等をとることができる。なお、電磁波を照射する場合、誘電体多層膜の形成中に照射してもよいし、形成後に別途照射してもよい。

［光学フィルターの用途］
本発明の光学フィルターは、視野角が広く、優れた近赤外線カット能等を有する。したがって、カメラモジュールのＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサー等の固体撮像素子の視感度補正用として有用である。特に、デジタルスチルカメラ、スマートフォン用カメラ、携帯電話用カメラ、デジタルビデオカメラ、ウェアラブルデバイス用カメラ、ＰＣカメラ、監視カメラ、自動車用カメラ、テレビ、カーナビゲーション、携帯情報端末、ビデオゲーム機、携帯ゲーム機、指紋認証システム、デジタルミュージックプレーヤー等に有用である。さらに、自動車や建物等のガラス板等に装着される熱線カットフィルターなどとしても有用である。

［固体撮像装置］
本発明の固体撮像装置は、本発明の光学フィルターを具備する。ここで、固体撮像装置とは、ＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサー等といった固体撮像素子を備えたイメージセンサーであり、具体的にはデジタルスチルカメラ、スマートフォン用カメラ、携帯電話用カメラ、ウェアラブルデバイス用カメラ、デジタルビデオカメラ等の用途に用いることができる。例えば、本発明のカメラモジュールは、本発明の光学フィルターを具備する。

以下、実施例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。なお、「部」は、特に断りのない限り「重量部」を意味する。また、各物性値の測定方法および物性の評価方法は以下のとおりである。

＜分子量＞
樹脂の分子量は、各樹脂の溶剤への溶解性等を考慮し、下記の（ａ）または（ｂ）の方法にて測定を行った。

（ａ）ウオターズ（ＷＡＴＥＲＳ）社製のゲルパーミエ−ションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）装置（１５０Ｃ型、カラム：東ソー社製Ｈタイプカラム、展開溶剤：ｏ−ジクロロベンゼン）を用い、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）を測定した。

（ｂ）東ソー社製ＧＰＣ装置（ＨＬＣ−８２２０型、カラム：ＴＳＫｇｅｌα‐Ｍ、展開溶剤：ＴＨＦ）を用い、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）を測定した。

＜ガラス転移温度（Ｔｇ）＞
エスアイアイ・ナノテクノロジーズ株式会社製の示差走査熱量計（ＤＳＣ６２００）を用いて、昇温速度：毎分２０℃、窒素気流下で測定した。

＜表面粗さ＞
表面粗さに影響を与えずに可視光を反射させるため、約１０ｍｍ角に切り出した光学フィルターの両面に厚さ３００ÅずつＡｕをめっきした後、白色光の干渉を利用した非接触式の表面粗さ計Ｎｅｗ Ｖｉｅｗ ５０３２（ＺＹＧＯ社製）および１００倍の対物レンズを用いて、入射面及び非入射面の表面形状測定を実施し、自動計算により算術平均表面粗さＲａを求めた。

＜画質評価＞
ＣＭＯＳを有する市販のデジタルカメラから光学フィルターを取り外し、取り外した光学フィルターの代わりに本発明の光学フィルターを搭載し、白色光源を撮影して、画像の鮮明さを評価した。
○：白色光源を撮影時、光学フィルター交換前の輪郭の幅が同程度
△：白色光源撮影時、光学フィルター交換前の輪郭の幅が少し広い（１．２〜１．９倍）
×：白色光源撮影時、光学フィルター交換前の輪郭の幅が明らかに広い（２．０倍以上）

［合成例および調製例］
下記実施例で用いた近赤外線吸収剤は、一般的に知られている方法で合成した。一般的な合成方法としては、例えば、特許第３３６６６９７号公報、特許第２８４６０９１号公報、特許第２８６４４７５号公報、特許第３７０３８６９号公報、特開昭６０−２２８４４８号公報、特開平１−１４６８４６号公報、特開平１−２２８９６０号公報、特許第４０８１１４９号公報、特開昭６３−１２４０５４号公報、「フタロシアニン −化学と機能―」（アイピーシー、１９９７年）、特開２００７−１６９３１５号公報、特開２００９−１０８２６７号公報、特開２０１０−２４１８７３号公報、特許第３６９９４６４号公報、特許第４７４０６３１号公報などに記載されている方法を挙げることができる。

＜樹脂合成例１＞
下記式（ａ）で表される８−メチル−８−メトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］ドデカ−３−エン（以下「ＤＮＭ」ともいう。）１００部、１−ヘキセン（分子量調節剤）１８部およびトルエン（開環重合反応用溶媒）３００部を、窒素置換した反応容器に仕込み、この溶液を８０℃に加熱した。次いで、反応容器内の溶液に、重合触媒として、トリエチルアルミニウムのトルエン溶液（０．６ｍｏｌ／リットル）０．２部と、メタノール変性の六塩化タングステンのトルエン溶液（濃度０．０２５ｍｏｌ／リットル）０．９部とを添加し、この溶液を８０℃で３時間加熱攪拌することにより開環重合反応させて開環重合体溶液を得た。この重合反応における重合転化率は９７％であった。

このようにして得られた開環重合体溶液１，０００部をオートクレーブに仕込み、この開環重合体溶液に、ＲｕＨＣｌ（ＣＯ）［Ｐ（Ｃ₆Ｈ₅）₃］₃を０．１２部添加し、水素ガス圧１００ｋｇ／ｃｍ²、反応温度１６５℃の条件下で、３時間加熱撹拌して水素添加反応を行った。得られた反応溶液（水素添加重合体溶液）を冷却した後、水素ガスを放圧した。この反応溶液を大量のメタノール中に注いで凝固物を分離回収し、これを乾燥して、水素添加重合体（以下「樹脂Ａ」ともいう。）を得た。得られた樹脂Ａは、数平均分子量（Ｍｎ）が３２，０００、重量平均分子量（Ｍｗ）が１３７，０００であり、ガラス転移温度（Ｔｇ）が１６５℃であった。また、得られた樹脂Ａからなる樹脂層の弾性率は３ＧＰａであった。

＜調製例１＞
トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（新中村化学工業製、商品名：ＮＫエステル Ａ−ＤＣＰ）１００重量部に対して、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（Ｃｉｂａ製、商品名「Ｉｒｇａｃｕｒｅ１８４」）３重量部、サーフロンＳ−３８６（ＡＧＣセイミケミカル製）０．０２重量部を加えて、樹脂濃度が５０重量％の樹脂溶液（Ｂ−１）を得た。

＜調製例２＞
トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（新中村化学工業製、商品名：ＮＫエステル Ａ−ＤＣＰ）１００重量部に対して、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（Ｃｉｂａ製、商品名「Ｉｒｇａｃｕｒｅ１８４」）３重量部、サーフロンＳ−３８６（ＡＧＣセイミケミカル製）０．０２重量部を加えて、近赤外線吸収剤として下記式（ｂ）で表わされるフタロシアニン系化合物（ジクロロメタン中での吸収極大波長７３３ｎｍ；以下「化合物（ｂ）」ともいう。）０．３部を加え、樹脂濃度が５０重量％の樹脂溶液（Ｂ−２）を得た。

＜調製例３＞
ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物(商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ(日本化薬（株）製)２０重量部、９，９−ビス[４−（２−アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン３０重量部、メタクリル酸２０重量部、メタクリル酸グリシジル３０重量部、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン３重量部、ＩＲＧＡＣＵＲＥ１８４(チバ・スペシャリティ・ケミカル（株）製)５重量部、サンエイドＳＩ−１１０主剤(三新化学工業（株）製)１重量部を混合し、固形分濃度が５０ｗｔ％になるようにジエチレングリコールエチルメチルエーテルに溶解した後、孔径０．２μｍのミリポアフィルタでろ過し、硬化性組成物溶液（Ｃ−１）を得た。

［実施例１］
樹脂合成例１で得られた樹脂Ａ１００部に、近赤外線吸収剤として前記化合物（ｂ−２）０．０３部を加え、さらに塩化メチレンを加えて溶解し、固形分が２０％の溶液を得た。次いで、得られた溶液を平滑なガラス板上にキャストし、６０℃で８時間、１００℃で８時間、さらに減圧下１００℃で８時間乾燥後に剥離し、厚さ０．１ｍｍの樹脂フィルム（以下「支持体（Ａ−１）」という。）を得た。

続いて、前記支持体（Ａ−１）の片面（入射面とする）に、調製例１で得られた樹脂溶液（Ｂ−１）を、コーターバ―を用いて厚さ２μｍになるように塗布した後、イナートオーブンを用いて、７０℃で３分間乾燥した。その後、ＵＶコンベアを用いて、メタルハライド２７０ｍＷ/ｃｍ²、積算光量 ５００ｍＪ/ｃｍ²でＵＶ硬化させて樹脂層を形成した。

続いて、形成した樹脂層の表面に、傷つき及び汚れ防止用のプロテクトフィルムとしてサンエー化研社製サニテクトＰＡＣ-３-５２-ＴＨＫを張合した。
さらに、前記支持体（Ａ−１）のもう一方の面（非入射面とする）に上述と同様の方法で樹脂層を形成した後、該樹脂層の表面に上述と同様にプロテクトフィルムを張合した。

続いて、両面のプロテクトフィルムを剥がし、基材のそれぞれの面の表面粗さを測定した。結果を表１に示す。
プロテクトフィルムを剥がして得られた基材の片面（入射面）に、蒸着温度１００℃で、近赤外線を反射する多層蒸着膜〔シリカ（ＳｉＯ₂：膜厚８３〜１９９ｎｍ）層とチタニア（ＴｉＯ₂：膜厚１０１〜１２５ｎｍ）層とが交互に積層されてなるもの、積層数２０〕を形成し、さらに基材のもう一方の面（非入射面）に、蒸着温度１００℃で、近赤外線を反射する多層蒸着膜〔シリカ（ＳｉＯ₂：膜厚７７〜１８９ｎｍ） 層とチタニア（ＴｉＯ₂：膜厚８４〜１１８ｎｍ）層とが交互に積層されてなるもの，積層数２６〕を形成し、両面の蒸着膜の厚さの合計が０.００５ｍｍの近赤外線カットフィルターを得た。多層蒸着膜（誘電体多層膜）は基材屈折率の波長依存性等を考慮した上で設計した。得られた近赤外線カットフィルターを用いて撮像効果に関する画質評価を行った。結果を表１に示す。

［実施例２］
前記樹脂フィルムの代わりに帝人（株）製のポリエチレンナフタレートフィルム（ネオテックス）（以下「支持体（Ａ−２）」という。）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして近赤外線カットフィルターを作成し、評価した。得られた近赤外線カットフィルターの評価結果を表１に示す。

［実施例３］
樹脂合成例１で得られた樹脂Ａ１００部に、塩化メチレンを加えて溶解し、固形分が２０％の溶液を得た。次いで、得られた溶液を平滑なガラス板上にキャストし、６０℃で８時間、１００℃で８時間、さらに減圧下１００℃で８時間乾燥後に剥離し、厚さ０．１ｍｍの樹脂フィルム（以下「支持体（Ａ−３）」という。）を得た。

続いて、得られた支持体（Ａ−３）の片面（入射面）に、調製例２で得られた樹脂溶液（Ｂ−２）を、コーターバ―を用いて厚さ２μｍになるように塗布した後、イナートオーブンを用いて、７０℃で３分間乾燥した。その後、ＵＶコンベアを用いて、メタルハライド２７０ｍＷ/ｃｍ²、積算光量 ５００ｍＪ/ｃｍ²でＵＶ硬化させて樹脂層を形成した。

続いて、形成した樹脂層の表面に、傷つき及び汚れ防止用のプロテクトフィルムとしてサンエー化研社製サニテクトＰＡＣ-３-５２-ＴＨＫを張合した。
さらに、前記支持体（Ａ−３）のもう一方の面（非入射面とする）に、上述と同様の方法で樹脂層を形成した後、該樹脂層の表面に上述と同様にプロテクトフィルムを張合した。

続いて、両面のプロテクトフィルムを剥がし、基板の入射面および非入射面のそれぞれの面の表面粗さを測定した。結果を表１に示す。
プロテクトフィルムを剥がして得られた基材の両面に、実施例１と同様にして、近赤外線を反射する多層蒸着膜（誘電体多層膜）を形成して近赤外線カットフィルターを得た。得られた近赤外線カットフィルターを用いて撮像効果に関する画質評価を行った。結果を表１に示す。

［実施例４］
ホウケイ酸塩系ガラス（ＳＣＨＯＴＴ社製「Ｄ２６３Ｔ」）の両面に、調製例３で得られた硬化性組成物溶液（Ｃ−１）をスピンコートで塗布した後、ホットプレート上８０℃で２分間加熱し溶剤を揮発除去した。この際、硬化性組成物の膜厚が０．８μｍ程度となるようにスピンコーターの塗布条件を調整し、ガラスフィルム（以下「支持体（Ａ−４）という。」を得た。

続いて、前記支持体（Ａ−４）の片面（入射面）に、調製例１で得られた樹脂溶液（Ｂ−１）を、コーターバ―を用いて厚さ２μｍになるように塗布した後、イナートオーブンを用いて、７０℃で３分間乾燥した。その後、ＵＶコンベアを用い、メタルハライド２７０ｍＷ/ｃｍ²、積算光量 ５００ｍＪ/ｃｍ²でＵＶ硬化させて樹脂層を形成した。

続いて、形成した樹脂層の表面に、傷つき及び汚れ防止用のプロテクトフィルムとしてサンエー化研社製サニテクトＰＡＣ-３-５２-ＴＨＫを張合した。
さらに、前記支持体（Ａ−４）のもう一方の面（非入射面）に、上述と同様の方法で樹脂層を形成した後、該樹脂層の表面に上述と同様にプロテクトフィルムを張合した。

続いて、両面のプロテクトフィルムを剥がし、基板の入射面および非入射面のそれぞれの面の表面粗さを測定した。結果を表１に示す。
プロテクトフィルムを剥がして得られた基板の両面に、実施例１と同様にして、近赤外線を反射する多層蒸着膜（誘電体多層膜）を形成して近赤外線カットフィルターを得た。得られた近赤外線カットフィルターを用いて撮像効果に関する画質評価を行った。結果を表１に示す。

［比較例１］
プロテクトフィルムとしてサニテックＰＡＣ-３-５２-ＴＨＫの代わりにきもと製プロセーブ２５ＴＨＳを用いたこと以外は、実施例１と同様にして近赤外線カットフィルターを作成し、評価した。得られた近赤外線カットフィルターの評価結果を表１に示す。

［比較例２］
プロテクトフィルムとしてサニテックＰＡＣ-３-５２-ＴＨＫの代わりにサンエー化研製 サニテクトＰＡＣ−４−５０を用いたこと以外は実施例２と同様にして近赤外線カットフィルターを作成し、評価した。得られた近赤外線カットフィルターの評価結果を表１に示す。

［比較例３］
プロテクトフィルムとしてサニテックＰＡＣ-３-５２-ＴＨＫの代わりに三井化学東セロ社製ピュアテクトＶＬＨ１２を用いたこと以外は実施例３と同様にして近赤外線カットフィルターを作成し、評価した。得られた近赤外線カットフィルターの評価結果を表１に示す。

本発明の光学フィルターは、デジタルスチルカメラ、携帯電話用カメラ、デジタルビデオカメラ、パーソナルコンピューター用カメラ、監視カメラ、自動車用カメラ、テレビ、カーナビゲーションシステム用車載装置、携帯情報端末、ビデオゲーム機、携帯ゲーム機、指紋認証システム用装置、デジタルミュージックプレーヤー等に好適に用いることができる。さらに、自動車や建物などのガラス等に装着される熱線カットフィルターなどとしても好適に用いることができる。

Claims (9)

1. 可視光線を透過し、かつ、近赤外線の少なくとも一部を遮断する光学フィルターの製造方法であって、
   支持体および樹脂層を有する基材の樹脂層上にプロテクトフィルムを張合する工程、および
   該プロテクトフィルムを剥がした後、該プロテクトフィルムを剥がした面に誘電体多層膜を形成する工程を含み、
   ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定される、該樹脂層における該誘電体多層膜と接している表面の表面粗さＲａが０．７μｍ以下であることを特徴とする光学フィルターの製造方法。
2. 前記基材が近赤外線吸収剤を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルターの製造方法。
3. 前記樹脂層が近赤外線吸収剤を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の光学フィルターの製造方法。
4. 前記近赤外線吸収剤が、スクアリリウム系化合物、フタロシアニン系化合物、シアニン系化合物、ジチオール系化合物、ジイモニウム系化合物、ポルフィリン系化合物およびクロコニウム系化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物であることを特徴とする請求項２または３に記載の光学フィルターの製造方法。
5. 前記近赤外線吸収剤が、有機溶剤可溶性であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載の光学フィルターの製造方法。
6. 前記支持体を構成する材料が樹脂であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学フィルターの製造方法。
7. 前記支持体を構成する材料がガラスであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学フィルターの製造方法。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の製造方法により得られた光学フィルターを、固体撮像素子の視感度補正用部材として搭載する工程を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
9. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の製造方法により得られた光学フィルターを、固体撮像素子の視感度補正用部材として搭載する工程を含むことを特徴とするカメラモジュールの製造方法。