JP6684745B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、半導体装置およびその制御方法に関する。
ホストからの電力供給を受け、電源ICを含んだ電源回路がコントローラ、NANDメ
モリ等に電力(電圧)を供給する半導体装置が提供されている。
特開2010−119262号公報
本発明の実施形態は、半導体装置に関してユーザの利便性を向上させる。
実施形態の半導体装置は、ホストと接続可能なコネクタと、前記コネクタを介して前記
ホストから第1電圧の供給を受ける入力部と、前記入力部と接続された出力部と、前記入
力部及び前記出力部と接続され、前記第1電圧を前記出力部に供給するか否かを制御可能
なスイッチと、を備え、前記第1電圧から、第2電圧及び第3電圧を生成する電源部と、
前記出力部からの前記第2電圧の供給を、第1チャネルを介して受ける半導体メモリと、
前記出力部からの前記第3電圧の供給を、第2チャネルを介して受けるとともに、前記半
導体メモリを制御可能なコントローラと、を備え、前記電源部は、前記第1電圧が第1閾
値を下回った場合、前記第1チャネルと前記第2チャネルとをオフする。
第1実施形態に係る半導体装置の外観の一例を示した図であり、(a)は平面図、(b)は下面図、(c)は側面図。 第1実施形態に係る半導体装置のシステム構成の一例を示した図。 第1実施形態に係る電源ICの構成を示したブロック図。 第1実施形態に係る電源ICの電源OFF時のシーケンスを示した図。 第1実施形態に係る電源ICの電源OFF時の動作を示したフローチャート図。 第1実施形態に係る電源チャネルCHの出力側の内部を示した略式回路図 第2実施形態に係る電源ICとその周辺の構成を示したブロック図。
以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。
本明細書では、いくつかの要素に複数の表現の例を付している。なおこれら表現の例は
あくまで例示であり、上記要素が他の表現で表現されることを否定するものではない。ま
た、複数の表現が付されていない要素についても、別の表現で表現されてもよい。
また、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係や各層の厚みの比率などは
現実のものと異なることがある。また、図面相互間において互いの寸法の関係や比率が異
なる部分が含まれることもある。
(第1実施形態)
図1は、本実施形態に係る半導体装置1の外観の一例を示す。図1において、(a)は
平面図、(b)は下面図、(c)は側面図である。また、図2は、第1実施形態に係る半
導体装置1のシステム構成の一例を示す。尚、本実施形態に係る半導体装置は例えばSS
D(Solid State Drive)等のメモリシステムであるが、これに限られない。
図2に示すように、半導体装置1は、ホスト2と接続される。尚、本実施形態において
ホスト2は、例えばノートブック型ポータブルコンピュータやタブレット端末、その他デ
タッチャブルノートPC、携帯電話のような種々の電子機器である。また、ホスト2は、
データセンタ等に用いられるサーバ装置でも良い。半導体装置1は、例えばこれらホスト
2の外部メモリとして用いられ得る。
図1及び図2に示すように半導体装置1は、基板11、不揮発性メモリ12、コントロ
ーラ13、不揮発性メモリ12よりも高速で動作可能な揮発性メモリ14、オシレータ(
OSC)15、EEPROM(Electrically Erasable and Programmable ROM)16、電
源回路17、温度センサ18、及び抵抗、コンデンサ等のその他の電子部品を有する。尚
、図1においては説明の便宜上、オシレータ15及びEEPROM16を省略している。
不揮発性メモリ12は例えばNAND型フラッシュメモリ(以下、NANDメモリと略
す)である。以降の説明では、不揮発性メモリ12を、「NANDメモリ12」として説
明するが、不揮発性メモリ12はこれに限らず、例えばMRAM(Magnetoresistive Ran
dom Access Memory)等の、不揮発性の他のメモリでも良い。
また、揮発メモリ14は例えばDRAM(Dynamic Random Access Memory)である。以
降の説明では、揮発性メモリ14を、「DRAM14」として説明するが、揮発性メモリ
14はこれに限らず、揮発性の他のメモリでも良い。
尚、本実施形態のNANDメモリ12やコントローラ13は、電子部品である半導体パ
ッケージとして実装される。例えばNANDメモリ12の半導体パッケージは、複数の半
導体チップ(メモリチップ)がスタックされ、1つのパッケージ内に封止されている。
基板11は、例えばガラスエポキシ樹脂等の材料で構成された略矩形状の回路基板であ
り、半導体装置1の外形寸法を規定する。基板11は、第1面11aと、該第1面11a
とは反対側に位置した第2面11bとを有する。尚、第1面11a及び第2面11bは、
例えば主面とも称され得る。また、本明細書において、基板11を構成する面の内、第1
面11a及び第2面11b以外の面を「側面」と定義する。半導体装置1において、第1
面11aは、NANDメモリ12、コントローラ13、DRAM14、オシレータ15、
EEPROM16、電源回路17、温度センサ18、及び抵抗、コンデンサ等のその他の
電子部品等が実装される部品実装面である。また、第2面11bは、NANDメモリ12
等の部品が実装されない非実装面である。第2面に部品が実装されないことにより、半導
体装置1の薄型化が可能となり省スペース化に繋がり、ひいては半導体装置1が実装され
るホスト2の小型化、薄型化を図ることもできる。
尚、半導体装置1において、第2面11bにもNANDメモリ12等の部品が実装され
ても良い。また、例えば製品の性能確認のためのテスト用のパッド等の他の機能が第2面
11bに設けられても良い。
図1に示す通り基板11は、第1縁部11cと、該第1縁部11cとは反対側に位置し
た第2縁部11dとを有する。第1縁部11cは、コネクタ21(インターフェース部、
基板インターフェース部、端子部、接続部)を有する。コネクタ21は、例えば複数の接
続端子21a(金属端子)を有する。コネクタ21は、ホスト2と電気的に接続され、ホ
スト2との間で信号(制御信号及びデータ信号)をやり取りする。
半導体装置1は、インターフェース3を介してホスト2と電気的に接続される。ホスト
2は、半導体装置1に対してデータアクセス制御を実行し、例えば半導体装置1に書き込
み要求、読み出し要求、及び消去要求を送ることで、半導体装置1に対してデータの書き
込み、読み出し、及び消去を実行する。
また、半導体装置1は電源線5を介して、ホスト電源部4(電源回路)に電気的に接続さ
れる。ホスト電源部4は、半導体装置1で使用される各種電源を、電源線5及びコネクタ
21を介して提供する。
本実施形態に係るインターフェース2は、例えばPCIe(Peripheral Component Int
erconnect Express)である。すなわち、コネクタ21とホスト2との間には、PCIe
の規格に則した高速信号(高速差動信号)が流れる。
尚、インターフェース2は、SAS(Serial Attached SCSI)やSATA(Serial Adv
anced Technology Attachment)、NVMe(Non Volatile Memory Express)、USB(
Universal Serial Bus)等の他の規格が用いられてもよい。
コネクタ21には、基板11の短手方向に沿った中心位置からずれた位置にスリット2
1bが形成されており、ホスト2のコネクタ側に設けられた突起等と嵌まり合うようにな
っている。これにより、半導体装置1が表裏逆に取り付けられることを防ぐことができる
電源回路17は、コネクタ21及び電源線5を介してホスト電源部4に電気的に接続さ
れる。電源回路17は、ホスト電源部5から半導体装置1に必要な電源が供給される。電
源回路17は、NANDメモリ12、コントローラ13、及びDRAM14に電力を供給
する。尚、電源回路17は、ホスト2から供給される電源の損失を抑えるために、コネク
タ21の近傍に設置されることが望ましい。
電源回路17は、電源IC17aを含み、電源IC17aには、抵抗、コンデンサ、イ
ンダクタ、等の電子部品が接続されている。電源IC17aについては、後述する。尚、
電源IC17aは、電源部、電源チップ、複合電源制御IC、と称されても良く、電源I
C17aは例えばPMIC(Power Management Integrated Circuit)である。
本実施形態に係る電源IC17aは、例えばWLCSP(Wafer Level Chip Size Pack
age)であり、少なくとも1つのチップがパッケージング(封止)される。尚、電源IC
17aはこれに限られない。
コントローラ13は、NANDメモリ12の動作を制御する。すなわち、コントローラ
13は、NANDメモリ12に対するデータの書き込み、読み出し、及び消去を制御する
。さらに、コントローラ13は、NANDメモリ12におけるガーベージコレクション処
理や、ウェアレベリング処理を制御する。
ガーベージコレクション処理は、NANDメモリ12の物理ブロック内の不要な(無効
な)データが書き込まれた領域を効率的に使用できるようにするため、不要なデータ以外
のデータを他の物理ブロックに移動させ、移動元の物理ブロックを解放する処理である。
換言すれば、物理ブロック内の有効なデータを他の物理ブロックに書き込み(コピーし)
、移動元の物理ブロックの全てのデータを消去する処理である。
ウェアレベリング処理は、書き換え回数がブロック間で均等に分散されるように制御す
る処理である。例えば、書き換え回数の多いブロックのデータを書き換え回数が少ない他
のブロックに移動させる処理である。また、書き換え頻度の多いデータを書き換え回数の
少ないブロックに移動させ、例えばコンピュータのOSファイル等の書き換え頻度の少な
いデータを書き換え回数の多いブロックに移動させることで、ブロック間の書き換え回数
を平準化しても良い。ウェアレベリング処理の具体的な処理はこれに限られない。
尚、本実施形態においてガーベージコレクション処理やウェアレベリング処理は、所定
の周期で行われるとするが、これに限らず、ホスト2からのコマンドに応じて処理が行わ
れても良いし、ホスト2からのコマンドに応じたNANDメモリ12に対するデータの書
き込み、読み出し、及び消去が終わる度に処理が行われても良い。
また、コントローラ13は、リセット入力を備えており、入力される信号に応じてコン
トローラ13自体の状態の初期化(リセット)や、リセット状態の解除を行い、半導体装
置1をシステムとして正常に起動させる。尚、リセット状態の解除に用いられる信号は、
例えばPOWER ON RESETと称される。また、本明細書中の説明において、「
リセット状態にする」と述べた場合、もともとリセット状態であるものをリセット状態に
保つ場合も含むものとする。
DRAM14は、前述のように揮発性メモリの一例であり、NANDメモリ12の管理
情報の保管やデータのキャッシュなどに用いられる。オシレータ15は、所定周波数の動
作信号をコントローラ13に供給する。EEPROM16は、制御プログラム等を固定情
報として格納している。
温度センサ18は、例えばコントローラ13の温度を監視する。尚、温度センサ18は
、例えば基板11においてコントローラ13の近傍に搭載されるが、温度センサ18の位
置はこれに限らない。さらに温度センサ18は、必ずしも基板11上に設けられる必要は
無く、コントローラ13の機能として設けられても良い。
また、温度センサ18は、温度センサ18が実装された位置の周辺の温度を計測するが
、温度センサ18によって計測された温度を「半導体装置1の温度」と称しても良い。ま
た、温度センサ18がコントローラ13の近傍に実装された場合、温度センサ18によっ
て計測された温度を「コントローラ13の温度」と称しても良い。
前述のように基板11に実装されるすべての部品が第1面11aのみに実装された場合
、第2面11bは、部品が実装されない非部品実装面である。この場合、表面から突出し
た基板搭載部品が基板11の両面に実装された場合と比較して、半導体装置1の薄型化を
図ることができ、ひいては半導体装置1が実装されるホスト2の小型化、薄型化を図るこ
ともできる。
図3は、本実施形態に係る電源IC17aの構成を示したブロック図である。本実施形
態において電源IC17aは、ロードスイッチ170、電源制御部171、及び複数の電
源チャネルCH1乃至電源チャネルCH4を備える。尚、各電源チャネルは、単に電源と
称されても良い。尚、電源チャネルの数はこれに限らない。
ロードスイッチ170の入力(入力部)Vin0は、基板11に備えられた配線(配線
層、内部配線)、コネクタ21、電源線5を介して、ホスト2(具体的には、ホスト電源
部4)と接続される。ロードスイッチ170の入力Vin0には、ホスト電源部4から電
力(第1電力)が供給される。
ロードスイッチ170の出力(出力部)Vout0は、例えば電源IC17aの外部を
経由して、各電源チャネルCHの入力Vin1乃至Vin4に電気的に接続される。換言
すれば、ロードスイッチ170の出力Vout0から、基板11に備えられた配線(配線
層、内部配線)を経由して、再度電源IC17a内の各電源チャネルCHに電力が供給さ
れる。
一方で、ロードスイッチ170がOffに切り替わった場合、各電源チャネルCHへの
電力の供給が停止(遮断、中断)される。
本実施形態において電源チャネルCH1は、例えばLDO(Low Drop Out)である。ま
た、電源チャネルCH2乃至電源チャネルCH4は、例えばDC/DCコンバータである
。尚、電源チャネルCH1乃至CH4は、それぞれレジスタR1乃至レジスタR4を備え
る。
LDOは、リニア・レギュレータであり、パワーMOSFET(Metal Oxide Semicond
uctor Field Effect Transistor)やパワー・トランジスタといったパワー・デバイス(
パス・トランジスタ)のオン抵抗を利用して、入力電力を強制的に消費することで所望の
出力電圧に変換する回路方式である。LDOとは、入力と出力の電位差が小さい場合にお
いてもレギュレータとして動作するものを指す。
また、DC/DCコンバータは、スイッチングレギュレータであり、入力電圧をスイッ
チングすることによってスイッチングパルスを出力し、その出力パルスをインダクタとコ
イルによるフィルタで平滑化することによってDC電源として働く。
本実施形態において、電源チャネルCH2の出力Vout2は、コントローラ13と接
続され、コントローラ13に所定の電圧(第3電力)を供給する。電源チャネルCH3の
出力Vout3は、DRAM14に接続され、DRAM14に所定の電圧を供給する。電
源チャネルCH4の出力Vout4は、NANDメモリ12に接続され、NANDメモリ
12に所定の電圧(第2電力)を供給する。尚、各電源チャネルCHの種類や接続関係は
、前述したものに限定されず適宜変更可能である。
電源チャネルCH1乃至電源チャネルCH4は、種々の保護機能を備える。尚、種々の
保護機能は、例えば、OVP(Over Voltage Protection)機能、UVP(Under Voltage
Protection)機能、OCP(Over Current Protection)機能等である。以降、これらを
総称して、保護機能と述べる。また、本実施形態においては、主にUVP機能が働く場合
について説明する。
本実施形態においてUVP機能は、各電源チャネルCHの出力電圧が、所定の値(UV
P閾値、閾値、第2/第3閾値)よりも小さくなった場合に働く(起動される)。より具
体的には、例えば、電源チャネルCH1の出力電圧Voutが、所定の値Vthよりも小
さくなると、電源チャネルCH1に備えられたUVP機能が働く。UVP機能は、例えば
、各電源チャネルCHの入力と出力とがショートして、出力側に過電圧が入力された場合
等に働く。
各電源チャネルCHに備えられた各レジスタRには、各電源チャネルCHで前述のUV
P機能が働いているかどうかを監視した結果が保存される。本実施形態では、UVP機能
の働いていない状態(初期状態)においては、各レジスタRには“1”が保持(記録、セ
ット)される。一方で、OVP機能の働いた電源チャネルCHに備えられたレジスタRに
は、“0”が保持(記録、セット)される。尚、このレジスタRは、例えば“POWER
GOOD(PG)レジスタ”と称されても良い。尚、各レジスタRは、各電源チャネル
CHを常に監視する構成としても良いし、周期的に(例えば、周期T1毎に)監視する構
成としても良いが、本実施形態においては、各レジスタRは、各電源チャネルCHを常に
監視するとして説明する。
また、レジスタRは、UVP機能の働いていない状態においては、“1”が保持(記録
、セット)され、さらにUVP機能の働いた電源チャネルCHに備えられたレジスタRに
は“0”が保持(記録、セット)される構成としても良い。その他、レジスタに記録され
る情報はこれに限られないが、少なくとも、各電源チャネルCHにおいてUVP機能が働
いている状態か否かを示した情報が記録される。
電源制御部171は、ロードスイッチ170のOn/Offを制御する。また、電源制
御部171は、電源チャネルCH1乃至電源チャネルCH4の各レジスタRを監視する。
電源制御部171は、監視対象のレジスタR1乃至レジスタR4の値が“1”から“0”
になった時、換言すれば、電源チャネルCHでUVP機能が働いた時、ロードスイッチ1
70をOffに切り替える。電源制御部171は、ロードスイッチ170をOffするこ
とで、各電源チャネル(各電源)への電力の供給を停止する。
尚、電源制御部171は、各レジスタRを常に監視する構成としても良いし、周期的に
(例えば、周期T2毎に)監視する構成としても良いが、本実施形態においては、電源制
御部171は、各レジスタRを常に監視するとして説明する。
次に、本実施形態に係る半導体装置1の電源OFF時における電源IC17aの動作に
ついて説明する。図4は、電源IC17aの電源OFF時のシーケンスを示した図である
。また、図5は、電源IC17aの電源OFF時の動作を示したフローチャート図である
前述のように、電源回路17(電源IC17a)には、ホスト2から電源が供給される
。ホスト2からの電源の供給が止まると(図4のA点)、ロードスイッチ170の入力V
in0の値が下がる。さらに、ロードスイッチ170の入力Vin0が、電源のUVLO
(Under Voltage LockOut)閾値(第1閾値)を下回った場合(図4のB点:図5のS1
01)、電源制御部171は、各電源チャネルCHをOFFする(図4のC点、図5のS
102)。
各電源チャネルCHをOFFすると、図4に示すように各電源チャネルCHの出力Vo
utが下がる。各電源チャネルCHの出力Voutが所定の値(UVP閾値、閾値)を下
回った場合(図4のD点、図5のS103がYES)、電源制御部171は、ロードスイ
ッチ170をOFFする(図4のE点)。換言すれば、各チャネルCHのレジスタRが0
となった時、電源制御部171は、ロードスイッチ170をOFFする。尚、この場合の
UVP閾値は、例えば0.3[V]や0.5[V]であるが、これに限られない。
以上、本実施形態によると、ロードスイッチ170の入力Vin0がUVLO閾値を下
回った場合、電源制御部171は、ロードスイッチ170をOFFせず、各チャネルCH
のみをOFFする。さらに、各チャネルCHの出力がUVP閾値を下回り、各チャネルC
HのレジスタRが“0”にセットされた後に、電源制御部171はロードスイッチ170
をOFFする構成である。
ここで、ロードスイッチ170の入力Vin0がUVLO閾値を下回った場合に、ロー
ドスイッチ170と、各チャネルCHと、を共にOFFする構成について、図6を参照し
て説明する。図6は、例えば電源チャネルCH2乃至CH4の出力側の内部を示した略式
回路図である。前述の通り、電源チャネルCH2乃至CH4は、例えばDC−DCコンバ
ータである。
ロードスイッチ170の入力Vin0がUVLO閾値を下回った場合に、ロードスイッ
チ170と、各電源チャネルCHと、を共にOFFする場合、電源チャネルCHの放電抵
抗Zが、放電抵抗制御素子ContZによりONされ、各電源チャネルCHが立ち下がる
。一方で、ロードスイッチ170の出力も立ち下がるため、電源チャネルCHの入力が放
電抵抗制御素子ContZの動作電圧以下になり、放電抵抗Zは電源チャネルCHの出力
から切り離される。このため、電源チャネルCHの立下りが緩やかになり、電源IC17
aの電源OFF処理にかかる時間が延びてしまう。
そこで本実施形態では、ロードスイッチ170の入力Vin0がUVLO閾値を下回っ
た場合、電源制御部171は、ロードスイッチ170をOFFせず、各チャネルCHのみ
をOFFし、さらに、各チャネルCHの出力がUVP閾値を下回り、各チャネルCHのレ
ジスタRが“0”にセットされた後に、電源制御部171はロードスイッチ170をOF
Fする構成である。各電源チャネルCHがOFFされてから、ロードスイッチ170がO
FFされる構成とすることで、電源OFF時間を短縮可能である。
(第2実施形態)
次に、第2実施形態について説明する。尚、第1実施形態と同様の構成については、同
様の符号を付してその詳細な説明を省略する。図7は、本実施形態に係る電源IC17b
とその周辺の構成を示したブロック図である。本実施形態においてロードスイッチ175
は、電源IC17bとは別個に(電源IC17bのパッケージの外側に/電源IC17b
とは独立して)設けられ、ロードスイッチ175の出力Vout0は、電源IC17bの
各電源チャネルCHの入力に接続される。
本実施形態において電源IC17bは、POWER GOOD出力を備える。POWE
R GOOD出力とは、電源IC内部で保護機能が働いているかどうかを示す信号であり
、保護機能が動作しているか否かを、例えば其々“Low”と“High”、もしくは“
Low”と“Hi−Z”として区別し、出力する。
尚、電源IC17bのPOWER GOOD出力は、例えばオープンドレイン出力であ
る。より具体的に述べると、電源IC17bの内部の出力回路には電界効果型トランジス
タ(FET:Field Effect Transistor)が設けられており、このドレインが、電源IC
17b内で接続されることなく、電源IC17b外まで引き回されている。
また、POWER GOOD出力は、ロードスイッチ175の入力側にプルアップ(Pu
ll-Up)されている。より具体的には、POWER GOOD出力は、プルアップ抵抗を
介してロードスイッチ175の入力側に接続される。
ロードスイッチ175には、イネーブル(EN:Enable)端子が設けられている。ロー
ドスイッチ175は、例えばENにHigh(H)が入力された場合にOnされ、ENに
Low(L)が入力された場合にOffされる。
本実施形態において電源チャネルCH1乃至CH4においてUVP機能が働いた時、P
OWER GOOD信号がLow出力し、ロードスイッチ175がOFFされる。このた
め、図6に示すような放電抵抗制御素子ContZの動作電圧を下回るタイミングを遅ら
せ、電源OFF時間を短縮可能である。
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示
したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は
、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、
種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の
範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等に含まれる
。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の
発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除
してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1:半導体装置、2:ホスト、3:インターフェース、4:ホスト電源部、5:電源線、
11:基板、12:NANDメモリ、13:コントローラ、14:DRAM、15:オシ
レータ(OSC)、16:EEPROM、17:電源回路、17a,17b:電源IC、
18:温度センサ、21:コネクタ、170,175:ロードスイッチ、171,176
:電源制御部。

Claims (5)

  1. ホストと接続可能なコネクタと、
    前記コネクタを介して前記ホストから第1電圧の供給を受ける入力部と、前記入力部と接続された出力部と、前記入力部及び前記出力部と接続され、前記第1電圧を前記出力部に供給するか否かを制御可能なスイッチと、を備え、前記第1電圧から、第2電圧及び第3電圧を生成する電源部と、
    前記出力部からの前記第2電圧の供給を、第1チャネルを介して受ける半導体メモリと、
    前記出力部からの前記第3電圧の供給を、第2チャネルを介して受けるとともに、前記半導体メモリを制御可能なコントローラと、を備え、
    前記電源部は、
    前記第1電圧が第1閾値を下回った場合、前記第1チャネルと前記第2チャネルとをオフし、
    前記第1チャネルの第1出力が第2閾値を下回り、且つ、前記第2チャネルの第2出力が第3閾値を下回った場合、前記スイッチをオフする、
    半導体装置。
  2. 前記電源部は、
    前記第1出力が前記第2閾値を下回った場合、前記第1出力が前記第2閾値を下回ったことを示す第1レジスタと、前記第2出力が前記第3閾値を下回った場合、前記第2出力が前記第3閾値を下回ったことを示す第2レジスタと、をさらに備える請求項に記載の半導体装置。
  3. 前記電源部は、前記第1チャネルと前記第2チャネルとを制御する制御部を備え、前記制御部は、前記第1レジスタ及び前記第2レジスタを常に監視する請求項に記載の半導体装置。
  4. 前記電源部は、前記第1チャネルと前記第2チャネルとを制御する制御部を備え、前記制御部は、前記第1レジスタ及び前記第2レジスタを、所定の周期で監視する請求項に記載の半導体装置。
  5. 前記第1チャネル及び前記第2チャネルは、DC−DCコンバータである請求項1乃至請求項に記載の半導体装置。
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