JP6684626B2 - サイクルパージユニット - Google Patents
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Description
(2) バキュームジェネレータ
(3) ガス供給ライン
(4) 排気ライン
(5) 接続ライン
(6) 自動開閉弁開閉装置
(16) エア弁(自動開閉弁)
(21) 分岐ライン
(22) 電磁弁
(23) 制御装置
(30) サイクルパージユニット
(31) パージ接続ライン
(32) 真空接続ライン
(33) エア弁(開閉弁)
(35) エア弁(開閉弁)
Claims (7)
- 真空引きを行うバキュームジェネレータと、前記バキュームジェネレータにパージガスを供給するガス供給ラインと、前記バキュームジェネレータからガスを排気する排気ラインと、前記バキュームジェネレータとパージが必要な対象装置とを接続する接続ラインとを備え、前記対象装置のサイクルパージを行うサイクルパージユニットであって、
前記排気ラインに開閉弁が設けられており、前記開閉弁が開とされることで真空引き工程が実施され、前記開閉弁が閉とされることで加圧工程が実施されることを特徴とするサイクルパージユニット。 - 前記開閉弁が自動開閉弁であり、前記接続ラインの圧力値に応じて前記開閉弁を開閉する自動開閉弁開閉装置をさらに備えていることを特徴とする請求項1のサイクルパージユニット。
- 前記開閉弁がエア弁とされており、前記自動開閉弁開閉装置は、前記ガス供給ラインから分岐して前記開閉弁の駆動ガス導入部に通じる分岐ラインと、前記分岐ラインに設けられた電磁弁と、前記接続ラインに設けられた圧力計から出力された信号を取り込んで前記電磁弁を開閉する制御装置とを備えており、前記ガス供給ラインから導入されるガスは、パージガスとして使用されるとともに、前記分岐ラインを介して前記駆動ガス導入部に導入されることで開閉用の駆動ガスとしても使用される請求項2のサイクルパージユニット。
- 前記開閉弁が自動開閉弁であり、予め設定された時間に沿って前記開閉弁を開閉する自動開閉弁開閉装置をさらに備えていることを特徴とする請求項1のサイクルパージユニット。
- 前記対象装置に接続されるラインとして、前記対象装置のパージラインに接続されるパージ接続ラインと、前記対象装置の真空ラインに接続される真空接続ラインとが設けられており、前記パージ接続ラインおよび前記真空接続ラインにそれぞれ開閉弁が設けられていることを特徴とする請求項1から4までのいずれかに記載のサイクルパージユニット。
- 前記排気ラインの前記開閉弁は、常時開の自動開閉弁であり、前記パージ接続ラインの前記開閉弁は、常時閉の自動開閉弁であり、前記真空接続ラインの前記開閉弁は、常時開の自動開閉弁である請求項5のサイクルパージユニット。
- 前記排気ラインの前記開閉弁、前記パージ接続ラインの前記開閉弁および前記真空接続ラインの前記開閉弁は、一つの電磁弁により供給される駆動ガスにより開閉されることを特徴とする請求項6のサイクルパージユニット。
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