JP6678448B2 - 基板洗浄方法および基板洗浄装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 200
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 82
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 42
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 177
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 121
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 52
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 29
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 26
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims description 16
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 130
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 31
- 230000008569 process Effects 0.000 description 22
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 16
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 12
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000004044 response Effects 0.000 description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000012864 cross contamination Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical group 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Liquid Crystal (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
また、この発明の第2の態様は、一方主面にパターンを有する基板の他方主面を洗浄する基板洗浄方法であって、イオン性気体を水に溶解したイオン性気体溶解水の液膜で一方主面を覆う第1工程と、一方主面が液膜に覆われた状態で、処理液に超音波を印加した超音波印加液を他方主面へ供給して、他方主面を超音波で発生するキャビテーションにより洗浄する第2工程と、一方主面が液膜に覆われている間、液膜の周囲をイオン性気体と同じまたは異なる種類のイオン性気体の雰囲気にする第3工程と、を備えることを特徴としている。
さらに、この発明の第4の態様は、基板洗浄装置であって、基板の両主面のうちパターンを有する一方主面に対し、イオン性気体を水に溶解したイオン性気体溶解水を供給して液膜を形成する溶解水供給部と、一方主面が液膜に覆われた基板の他方主面に対し、処理液に超音波を印加した超音波印加液を供給して他方主面を超音波で発生するキャビテーションにより洗浄する超音波印加液供給部と、一方主面が液膜に覆われている間、液膜の周囲へイオン性気体と同じまたは異なる種類のイオン性気体を供給する気体供給部と、を備えることを特徴としている。
30…供給機構(溶解水供給部)
61…超音波ノズル(超音波印加液供給部)
DP…デバイスパターン
IW…イオン性気体溶解水
LF…液膜
UW…超音波印加水
W…基板
Wf…基板の表面(基板の一方主面)
Wb…基板の裏面(基板の他方主面)
Claims (9)
- 一方主面にパターンを有する基板の他方主面を洗浄する基板洗浄方法であって、
イオン性気体を水に溶解したイオン性気体溶解水の液膜で前記一方主面を覆う第1工程と、
前記一方主面が前記液膜に覆われた状態で、処理液に超音波を印加した超音波印加液を前記他方主面へ供給して、前記他方主面を前記超音波で発生するキャビテーションにより洗浄する第2工程と、を備え、
前記第1工程は、水を脱気して脱気水を生成する脱気工程と、前記脱気水に前記イオン性気体を溶解させて前記イオン性気体溶解水を生成する溶解工程とを有することを特徴とする基板洗浄方法。 - 一方主面にパターンを有する基板の他方主面を洗浄する基板洗浄方法であって、
イオン性気体を水に溶解したイオン性気体溶解水の液膜で前記一方主面を覆う第1工程と、
前記一方主面が前記液膜に覆われた状態で、処理液に超音波を印加した超音波印加液を前記他方主面へ供給して、前記他方主面を前記超音波で発生するキャビテーションにより洗浄する第2工程と、
前記一方主面が前記液膜に覆われている間、前記液膜の周囲を前記イオン性気体と同じまたは異なる種類のイオン性気体の雰囲気にする第3工程と、
を備えることを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項1に記載の基板洗浄方法であって、
前記脱気工程は、水に含まれる気体濃度を0.02ppm以下にする工程である基板洗浄方法。 - 請求項1または3に記載の基板洗浄方法であって、
前記溶解工程は、前記イオン性気体を水に対する飽和溶解量(常温)の0.7倍以上、前記脱気水に溶解させる工程である基板洗浄方法。 - 請求項4に記載の基板洗浄方法であって、
前記溶解工程は、前記飽和溶解量(常温)の1倍以上、2倍以下の前記イオン性気体を前記脱気水に溶解させる工程である基板洗浄方法。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の基板洗浄方法であって、
水と反応してイオン化し、常温常圧下において気体状態である気体を前記イオン性気体として用いる基板洗浄方法。 - 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の基板洗浄方法であって、
前記第1工程は、前記イオン性気体として二酸化炭素を用いる、基板洗浄方法。 - 基板の両主面のうちパターンを有する一方主面に対し、イオン性気体を水に溶解したイオン性気体溶解水を供給して液膜を形成する溶解水供給部と、
前記一方主面が前記液膜に覆われた前記基板の他方主面に対し、処理液に超音波を印加した超音波印加液を供給して前記他方主面を前記超音波で発生するキャビテーションにより洗浄する超音波印加液供給部と、を備え、
前記溶解水供給部は、水を脱気して脱気水を生成する脱気部と、前記脱気部により生成された前記脱気水に前記イオン性気体を溶解させて前記イオン性気体溶解水を生成する溶解部とを有することを特徴とする基板洗浄装置。 - 基板の両主面のうちパターンを有する一方主面に対し、イオン性気体を水に溶解したイオン性気体溶解水を供給して液膜を形成する溶解水供給部と、
前記一方主面が前記液膜に覆われた前記基板の他方主面に対し、処理液に超音波を印加した超音波印加液を供給して前記他方主面を前記超音波で発生するキャビテーションにより洗浄する超音波印加液供給部と、
前記一方主面が前記液膜に覆われている間、前記液膜の周囲へ前記イオン性気体と同じまたは異なる種類のイオン性気体を供給する気体供給部と、
を備えることを特徴とする基板洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015249333A JP6678448B2 (ja) | 2015-12-22 | 2015-12-22 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015249333A JP6678448B2 (ja) | 2015-12-22 | 2015-12-22 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017117860A JP2017117860A (ja) | 2017-06-29 |
JP6678448B2 true JP6678448B2 (ja) | 2020-04-08 |
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ID=59232399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015249333A Active JP6678448B2 (ja) | 2015-12-22 | 2015-12-22 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6678448B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11300301A (ja) * | 1998-04-27 | 1999-11-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄方法及びその装置 |
JP2000133626A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Hitachi Ltd | 基板洗浄装置 |
JP2004335525A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR101110905B1 (ko) * | 2003-06-11 | 2012-02-20 | 아크리온 테크놀로지즈 인코포레이티드 | 과포화된 세정 용액을 사용한 메가소닉 세정 |
JP2008021672A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-31 | Sony Corp | ガス過飽和溶液を用いた超音波洗浄方法及び洗浄装置 |
JP5019370B2 (ja) * | 2007-07-12 | 2012-09-05 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 基板の洗浄方法および洗浄装置 |
US7682457B2 (en) * | 2007-10-04 | 2010-03-23 | Applied Materials, Inc. | Frontside structure damage protected megasonics clean |
JP2010153475A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Sokudo Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2015
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017117860A (ja) | 2017-06-29 |
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