JP6670546B2 - 薄膜の成膜方法 - Google Patents
薄膜の成膜方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6670546B2 JP6670546B2 JP2015028836A JP2015028836A JP6670546B2 JP 6670546 B2 JP6670546 B2 JP 6670546B2 JP 2015028836 A JP2015028836 A JP 2015028836A JP 2015028836 A JP2015028836 A JP 2015028836A JP 6670546 B2 JP6670546 B2 JP 6670546B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- specific
- gas
- peak
- wavelength range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007736 thin film deposition technique Methods 0.000 title 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 78
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 78
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 78
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 59
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 42
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 23
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 19
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 77
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 24
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 9
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 6
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 argon Chemical compound 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/52—Means for observation of the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02631—Physical deposition at reduced pressure, e.g. MBE, sputtering, evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
本発明の薄膜の成膜方法は次のステップを含む。
・構成物質に含まれる特定物質を選択するステップ。
・特定物質のプラズマの発する光のスペクトルに含まれる特定ピークを選択するステップ。
・特定ピークを含むプラズマ光を取得するステップ。
・プラズマ光をスペクトルに分解するステップ。
・特定ピーク波長が含まれ、かつ、特定ピーク強度の検出を阻害するノイズが排除されるように、特定ピーク強度の検出波長範囲を設定するステップ。
・検出波長範囲における特定ピーク強度を検出するステップ。
・特定ピーク強度を参照してガスの流量を調整するステップ。
本発明の薄膜の成膜方法においては、成膜材料およびガスの構成物質のそれぞれのプラズマを発生させ、プラズマの発光強度を参照してガスの流量を調整(PEM制御)しながら基材の表面に薄膜を成膜する。
まず成膜材料およびガスの構成物質のそれぞれのプラズマ光の固有スペクトルを調査し、PEM制御に最も適した構成物質を選択する。このような構成物質を「特定物質」という。例えばスパッタリングガスがアルゴン、反応性ガスが酸素、ターゲットがケイ素の場合、アルゴン、酸素、ケイ素のうちの一つを特定物質として選択する。
特定物質のプラズマ光のスペクトルには通常複数のピークが含まれる。特定物質のプラズマ光の複数のピークの中で、PEM制御に最も適したピークを「特定ピーク」として選択する。PEM制御に適したピークは当該ピークの近くに他の構成物質のピークがないものである。近くにある他の構成物質のピークは当該ピークの検出のときノイズとなる。例えば酸素を特定物質としたとき、酸素のプラズマのピークは複数あるが、近くにアルゴンおよびケイ素のピークのない酸素のピークを特定ピークとして選択する。
特定ピークを含むプラズマ光を取得するステップは、例えばコリメータ14にプラズマ光を入射させることにより実行される。コリメータ14で取得されるプラズマ光の波長範囲は広いため、通常、特定ピークはその中に含まれる。この波長範囲には、例えば、ガス21およびターゲット12の構成物質(例えばアルゴン、酸素、ケイ素)のそれぞれのプラズマ光に含まれる複数のスペクトルが重畳して含まれる。従って単にプラズマ光を取得し、その強度を検出しただけではPEM制御はできない。
プラズマ光をスペクトルに分解するステップは例えばコリメータ14からモノクロメータ17に伝送された光を、モノクロメータ17の内部に備えられた回折格子(図示しない)によりスペクトルに分解することにより実行される。プラズマ光をスペクトルに分解するステップは回折格子に限らず、例えばプリズム(図示しない)でも可能である。しかし一般に回折格子の方がプリズムより分解能が高く、また分解能が波長の影響を受けにくいため、回折格子の方が好ましい。
「検出波長範囲」とはプラズマ発光を検出できる波長範囲を意味する。従って「特定ピーク強度の検出波長範囲」とは特定ピーク強度を検出できる波長範囲を意味する。すなわち「特定ピーク強度の検出波長範囲」内に特定ピーク波長が含まれている。特定ピーク強度を検出する波長範囲を設定するステップにおいては、特定ピークが含まれ、かつ、特定ピーク強度の検出を阻害するノイズとなる他の構成物質のピークが排除される波長範囲を設定する。特定ピークと他の構成物質のピークが近接しているときは、波長範囲を狭く設定しなければならない。そのような場合、後述のように、モノクロメータ17では波長範囲の設定が可能であるが、バンドパスフィルタ(図示しない)では不可能なときがある。本願においては「特定ピークが含まれ、かつ、特定ピーク強度の検出を阻害するノイズとなる他の構成物質のピークが排除される波長範囲」を設定するが、これはモノクロメータ17、あるいは、バンドパスフィルタの限界の狭い波長範囲を設定するという意味ではない。ノイズが排除できるならば、できるだけ広い波長範囲を設定する方が望ましい。なぜならば波長範囲が広い方がS/N比(シグナル/ノイズ比)が高くなって検出精度が高くなるからである。本願は、できるだけ狭い波長範囲で特定ピーク強度を検出するという単純な方法ではない。
特定ピーク強度の検出を行なうステップは、特定物質のプラズマの量を推定するために用いられる。これは例えばモノクロメータ17の内部に備えられた光電子増倍管(図示しない)により行なわれる。光電子増倍管の代わりに、CCD(Charge Coupled Device)検出器やCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)検出器を用いることもできる。しかしCCD検出器やCMOS検出器の動作速度は光電子増倍管に比べて遅いため、プラズマ光の強度が短時間に変化する場合は光電子増倍管の方が好ましい。
特定ピーク強度を参照してガスの流量を調整するステップは、例えばPEM制御装置18により実行される。特定ピーク強度を参照してガスの流量を調整することにより、膜厚および膜特性のばらつきの少ない薄膜を成膜することができる。
[実施例1]
ターゲットとしてケイ素(Si)を、スパッタリングガスとしてアルゴン(Ar)を、反応性ガスとして酸素(O2)を用いて、反応性スパッタリング方法により酸化ケイ素(SiO2)の薄膜を成膜した。基材15として白板ガラスを用いた。電源16としてDCパルス電源を用いた。プラズマ22の領域にはアルゴンのプラズマ光、酸素のプラズマ光、ケイ素のプラズマ光が観察された。
ターゲットとしてニオブ(Nb)を、スパッタリングガスとしてアルゴン(Ar)を、反応性ガスとして酸素(O2)を用いて、反応性スパッタリング方法により酸化ニオブ(Nb2O5)の薄膜を成膜した。基材15として白板ガラスを用いた。電源16としてDCパルス電源を用いた。プラズマ22の領域には、アルゴンのプラズマ光、酸素のプラズマ光、ニオブのプラズマ光が観察された。
ターゲットとしてケイ素(Si)を、スパッタリングガスとしてアルゴン(Ar)を、反応性ガスとして酸素(O2)を用いて、反応性スパッタリング方法により酸化ケイ素(SiO2)の薄膜を成膜した。モノクロメータの代わりにバンドパスフィルタを用いた。バンドパスフィルタは波長範囲が酸素のピーク波長に近い772nm〜788nmのものを選択した。それ以外は実施例1と同様にして酸素のピーク強度を参照して酸素の流量を調整した。この場合図4と同様にPEM制御は適切に行なわれていた。
ターゲットとしてニオブ(Nb)を、スパッタリングガスとしてアルゴン(Ar)を、反応性ガスとして酸素(O2)を用いて、反応性スパッタリング方法により酸化ニオブ(Nb2O5)の薄膜を成膜した。モノクロメータの代わりにバンドパスフィルタを用いた。バンドパスフィルタは波長範囲が酸素のピーク波長に近い772nm〜788nmのものを選択した。それ以外は実施例2と同様にして酸素のピーク強度を参照して酸素ガスの流量を調整した。
モノクロメータとして堀場ジョバンイボン社製プラズマモニタH-20Vを使用した。
PEM制御装置としてGencoa社製Speedfloを使用した。
11 チャンバ
12 ターゲット
13 電極
14 コリメータ
15 基材
16 電源
17 モノクロメータ
18 PEM制御装置
19 マスフローコントローラ
20 ガス導入管
21 ガス
22 プラズマ
Claims (3)
- 少なくとも基材、薄膜の成膜材料および前記薄膜の成膜に使用されるガスが供給されたチャンバ内にて、前記成膜材料および前記ガスの構成物質のそれぞれのプラズマを発生させ、前記プラズマの発光強度を参照して前記ガスの流量を調整しながら前記基材の表面に前記薄膜を成膜する薄膜の成膜方法であって、
前記構成物質に含まれる特定物質を選択するステップと、
前記特定物質のプラズマの発する光のスペクトルに含まれる特定ピークを選択するステップと、
前記特定ピークを含むプラズマ光を取得するステップと、
モノクロメータの内部に備えられた回折格子により前記プラズマ光をスペクトルに分解するステップと、
前記特定ピークの波長すなわち特定ピーク波長が含まれ、かつ、前記特定ピークの強度すなわち特定ピーク強度の検出を阻害するノイズが排除されるように、前記特定ピーク強度の検出波長範囲を設定するステップと、
前記検出波長範囲における前記特定ピーク強度を検出するステップと、
前記特定ピーク強度を参照して前記ガスの流量を調整するステップを含み、
前記基材から生じるアウトガスに酸素が含まれ、前記特定物質が酸素であり、前記ガスの流量を調整するステップが特定プラズマ光のピーク強度が一定になるように、マスフローコントローラを通して供給する酸素を基材から発生した酸素の分だけリアルタイムに減らすことを特徴とする薄膜の成膜方法。 - 前記特定ピーク強度の検出波長範囲を連続的に設定可能なことを特徴とする請求項1に記載の薄膜の成膜方法。
- 前記特定ピーク強度の検出波長範囲の設定がモノクロメータにより行なわれることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜の成膜方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015028836A JP6670546B2 (ja) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | 薄膜の成膜方法 |
PCT/JP2016/052046 WO2016132823A1 (ja) | 2015-02-17 | 2016-01-25 | 薄膜の成膜方法 |
KR1020167029277A KR102443296B1 (ko) | 2015-02-17 | 2016-01-25 | 박막의 성막 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015028836A JP6670546B2 (ja) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | 薄膜の成膜方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016151040A JP2016151040A (ja) | 2016-08-22 |
JP6670546B2 true JP6670546B2 (ja) | 2020-03-25 |
Family
ID=56688797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015028836A Active JP6670546B2 (ja) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | 薄膜の成膜方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6670546B2 (ja) |
KR (1) | KR102443296B1 (ja) |
WO (1) | WO2016132823A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102161472B1 (ko) * | 2019-12-09 | 2020-10-06 | 주식회사 아바코 | 스퍼터링장치 및 스퍼터링장치 제어방법 |
US20230029343A1 (en) * | 2021-07-20 | 2023-01-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Sputtering apparatus, film formation method, and method for manufacturing product |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10152773A (ja) * | 1996-11-22 | 1998-06-09 | Sony Corp | スパツタ装置及びスパツタ方法 |
JP2002212720A (ja) | 2001-01-23 | 2002-07-31 | Canon Inc | スパッタリング方法およびスパッタリング装置 |
JP2003268540A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | 成膜方法および成膜装置 |
JP2008251866A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP6101533B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2017-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 酸化アルミニウムの成膜方法 |
-
2015
- 2015-02-17 JP JP2015028836A patent/JP6670546B2/ja active Active
-
2016
- 2016-01-25 WO PCT/JP2016/052046 patent/WO2016132823A1/ja active Application Filing
- 2016-01-25 KR KR1020167029277A patent/KR102443296B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170117308A (ko) | 2017-10-23 |
WO2016132823A1 (ja) | 2016-08-25 |
JP2016151040A (ja) | 2016-08-22 |
KR102443296B1 (ko) | 2022-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102583883B1 (ko) | 개선된 투과를 갖는 근적외선 광학 간섭 필터 | |
TWI647490B (zh) | 具有傳輸改良之近紅外線光學干涉濾波器 | |
JP6670546B2 (ja) | 薄膜の成膜方法 | |
DE10296448T5 (de) | Verfahren zum Abscheiden einer Schicht mit einer verhältnismässig hohen Dielektrizitätskonstante auf ein Substrat | |
US10408744B2 (en) | System and method for monitoring atomic absorption during a surface modification process | |
JP2023113733A (ja) | 基板上に少粒子層を形成するための方法および装置 | |
JP2000026967A (ja) | 反応性スパッタリング装置のカスケ―ド制御 | |
Zhao et al. | Structural and optical properties of zirconia thin films deposited by reactive high-power impulse magnetron sputtering | |
US20180265961A1 (en) | Reactive sputtering apparatus and reactive sputtering method | |
GB2441582A (en) | Process monitoring and control | |
WO2020078860A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur regelung der temperatur in einem cvd-reaktor | |
JP2007224322A (ja) | 反応性スパッタリング装置及び成膜方法 | |
JP4792242B2 (ja) | 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 | |
WO2014033784A1 (ja) | 光学フィルターの製造方法 | |
TWI485277B (zh) | 多靶反應性濺鍍製程穩定控制方法 | |
Wallendorf et al. | Optical investigations in a PEM controlled reactive magnetron sputter process for aluminium doped zinc oxide layers using metallic alloy targets | |
Hoffmann et al. | Interference phenomena at transparent layers in glow discharge optical emission spectrometry | |
Aubry et al. | Enhanced tunability of the composition in silicon oxynitride thin films by the reactive gas pulsing process | |
DE10341513A1 (de) | Verfahren zur Regelung des Reaktivgasflusses in reaktiven plasmagestützten Vakuumbeschichtungsprozessen | |
JP5246862B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
DE102009059097B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Auswertung des von einem Plasma emittierten Lichtes zur Regelung von plasmagestützten Vakuumprozessen | |
DE3623044A1 (de) | Verfahren zur regelung der dampfdichte bei plasmagestuetzten beschichtungsverfahren mit bogenentladungsverdampfern und einrichtung dazu | |
JP2012153976A (ja) | 真空析出プロセスのプロセス的に重要なデータを求めるための方法 | |
JP2010222596A (ja) | 光学薄膜の成膜方法および成膜装置 | |
Klein et al. | Profiling of BaTiO3 ion beam sputtering by optical spectroscopy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190719 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6670546 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |