JP6667626B2 - 異なる反射対透過比を有する少なくとも２つのビーム分割面を備えたビームスプリッタ装置 - Google Patents

Description

本発明は、顕微鏡特に立体顕微鏡用のビームスプリッタ装置、このようなビームスプリッタ装置を含む顕微鏡、および顕微鏡撮像方法に関する。

ビームスプリッタ装置は、様々な目的のために顕微鏡で使用される。１つの目的は、観察対象物の入射光の一部をカメラ、特に３Ｄカメラに向けて変向させると同時に、対象物を、例えば双眼鏡筒により観察することができるようにすることである。

しかしながら場合によっては、カメラで利用可能な光は、満足できる画質を得るには不十分である。

したがって、本発明の課題は、公知のビームスプリッタ装置を改良して、例えば双眼鏡筒または単眼鏡筒により、対象物を見る能力を妥協することなく、カメラの十分な画質を利用できるようにすることである。

この課題は、冒頭で述べた形式のビームスプリッタ装置であって、このビームスプリッタ装置は、少なくとも２つのビーム分割面を支持しており、前記少なくとも２つのビーム分割面のそれぞれは、異なる反射対透過比を提供するように構成されており、前記ビームスプリッタ装置はさらに光路を有しており、前記少なくとも２つのビーム分割面のうちの少なくとも１つは、少なくとも２つのビーム分割面のうちの第１のビーム分割面が前記光路内に位置する第１作動位置から、前記少なくとも２つのビーム分割面のうち第２のビーム分割面が前記光路内に位置する第２作動位置へと移動されるように構成されている、ビームスプリッタ装置により達成される。

冒頭で述べた形式の顕微鏡撮像法に関しては、上記課題は、観察したい対象物からの光を光路に沿って１つの出口ポートに向け、前記出口ポートで利用可能な光を、第１のビーム分割面の代わりに第２のビーム分割面が前記光路内に入るように切り換えることにより変化させ、前記第２のビーム分割面は、前記第１のビーム分割面とは異なる反射対透過比を有していることにより解決される。

しばしばＲ：Ｔと称される、ビーム分割面の反射対透過比は、入射光の反射により、どの程度の量の光が光路の第１分岐路へと変向されるか、および入射光の透過により、どの程度の量の入射光が光路の第２分岐路へと変向されるか、を示している。光路の透過分岐路はビーム分割面を通過するのに対し、反射光は、前記分割面で反射され、したがって透過部分から分割された、光路の分岐路を画定する。反射対透過比は、０：１００、すなわち、入射光の全てが透過され、反射は全くされず、光路の反射分岐路は存在しないような反射対透過比から、Ｒ：Ｔ＝１００：０、すなわち全ての入射光が反射され、反射光によって画定された分岐路のみが存在し、透過光の光路の分岐路は存在しないような反射対透過比までの任意の値を考慮することができる。別の典型的な値は、Ｒ：Ｔ＝２０：８０、５０：５０、または８０：２０であってもよい。Ｒ：Ｔ＝２０：８０は、入射光の２０％がビーム分割面により反射され、８０％がビーム分割面を透過することを意味する。

ビームスプリッタ装置は、異なる反射対透過比を有する少なくとも２つのビーム分割面を支持するので、どちらのビーム分割面が光路内へと移動したかに応じて、単一のビームスプリッタ装置によって光路の反射分岐路および透過分岐路において様々な相対光強度を実現することができる。これにより、例えば、光路のうちの１つの分岐路に配置されているカメラシステムを十分に使用することができる。例えば、非常に弱い照明しかないので、カメラが非常に低い光条件で動作しなければならない場合には、より多くの光をカメラに向ける光路内への高い反射率を有する面に切り替えることができ、したがってカメラに通じる光路の分岐路における強度を高めることができる。

本発明による解決手段は、互いに独立しており独立的に組み合わせることのできる以下の有利な特徴により、改善することができる。

例えば、第２作動位置で、第２のビーム分割面が位置する、光路内の位置に、第１作動位置では第１のビーム分割面が位置するならば、有利である。

一般的に、作動位置の数は、ビームスプリッタ装置により支持されるビーム分割面の数に対応するべきである。好適には、複数のビーム分割面のそれぞれが、好適には、他のビーム分割面が光路内に移動する場合に、この他のビーム分割面が位置する場所で、光路内へと移動するように適合されている。利用可能な作動位置のうち少なくとも１つでは、光路の１つの分岐路のみが存在することができ、これに対して別の作動位置のうちの少なくとも１つでは、光路の２つ以上の分岐路が存在することができる。目下光路に位置しているビーム分割面が０：１００または１００：０のＲ：Ｔ比を有しているならば、光路の１つの分岐路のみが存在することができる。

ビーム分割面のうち少なくとも１つが光路内へと移動する動きは、回転運動および並進運動のうちの少なくとも一方であってもよい。少なくとも１つのビーム分割面は、光路の外へと、かつ／または光路内へと回転されてもよく、かつ／または少なくとも１つのビーム分割面は、光路から離れるように、かつ／または光路内へ入るように並進運動されてもよい。特に、少なくとも１つのビーム分割面は、回転および並進の両方により光路から離れるように、または光路内へ入るように移動されてもよい。

例えば、第１作動位置では、第１および第２のビーム分割面のうちの少なくとも一方が、第２作動位置に対して回転軸を中心として回転することができる。回転軸は、目下光路内に位置しているそれぞれのビーム分割面の後方に位置する光路の少なくとも一区分に対して平行および垂直のうちの少なくとも一方に向けられていてもよい。

少なくとも２つのビーム分割面は、好適には可動の単一の光学エレメントに位置していてもよい。このような光学エレメントはミラーまたはビームスプリッタであってもよい。付加的にまたは選択的に、少なくとも２つのビーム分割面は、異なる光学エレメントに位置していてもよく、これら異なる光学エレメントのうちの少なくとも１つは可動である。

例えばコンパウンドビームスプリッタが光学エレメントとして使用される場合、異なる反射対透過比を提供するその面のうちの２つを、ビーム分割面として使用することができる。特に、１つの作動位置、例えば第１作動位置では、コンパウンドビームスプリッタの内側のビーム分割面が光路内に移動することができ、効果的に光路を２つの分岐路に分割する、または全反射または全透過を可能にするのに対し、別の作動位置では、異なる反射対透過比を提供する、コンパウンドビームスプリッタの外側の面が光路内へと移動することができる。

一方の作動位置から他方の作動位置への光学エレメントの切換は、特に、この光学エレメントの回転および／または並進移動を含んでいてもよい。

ビームスプリッタ装置は、顕微鏡の双眼鏡筒に取り付けるために準備された単一のアッセンブリとして予め組み立てることができる光学ユニットとして構成されてもよい。このために、ビームスプリッタ装置は、双眼鏡筒に取り付けるように適合された出口ポートを有していてもよい。ビームスプリッタ装置は、カメラ、特に３Ｄカメラに取り付けるように適合された第２の出口ポートを有していてもよい。

少なくとも２つのビーム分割面のうちの少なくとも１つによって生成された光路の２つの分岐路は、各ビーム分割面の少なくとも出口で互いに対して垂直に向けられてもよい。

カメラ用の出口ポートに通じる光路の分岐路は、双眼鏡筒用の出口ポートに通じる光路より、特に整数倍以上長くてもよい。カメラ出口ポートは、双眼鏡筒に対して傾斜する角度で向けられてもよい。傾斜角でカメラを取り付けることができるように、ビームスプリッタ装置は、光路の１つの分岐路に、特にカメラ用の出口ポートに通じる分岐路にミラーを有していてもよい。

光路の少なくとも一部、好適にはカメラ用の出口ポートに通じる部分は、リレーレンズ系を有していてもよい。このようなリレーレンズ系により、出口ポートのための瞳孔の位置に良好に影響を与えることができる。リレーレンズ系により、殆ど口径食（vignetting）のない画像をカメラ出口ポートで形成することができる。

リレーレンズ系の代わりに、またはリレーレンズ系に加えて、アフォーカルズーム系を使用することもできる。これにより出口ポートにおける拡大係数を変化させることができる。

リレーレンズ系および／またはアフォーカルズーム系のレンズのうち少なくとも１つは、微細な焦点合わせを可能にするために可動であってもよい。

ビームスプリッタ装置が有する全ての構成要素は、１つのハウジングに組み込むことができるので、既存の顕微鏡に後付けすることができる。

第１作動位置から第２作動位置への切り換えを行うための、少なくとも１つのビーム分割面の移動は、手動操作することができ、例えば純粋に機械的手段によって行うことができる。ビーム分割面の動きをガイドするために、スロットガイドシステムを使用することができる。少なくとも２つのビーム分割面を一方の作動位置から他方の作動位置へと移動させるために、ビームスプリッタ装置には、スムーズな操作のために、機械的、電気的、または電子機械的アクチュエータが設けられていてもよい。

ビームスプリッタ装置はさらに、少なくとも２つのビーム分割面を定置に取り付けることができるマガジンを有していてもよい。マガジンは、ビームスプリッタ装置のフレームによって可動に支持されてもよい。マガジンの操作のために、ビームスプリッタ装置の外部からアクセス可能なマニピュレータが設けられていてもよい。操作に応じて、マニピュレータは、少なくとも２つのビーム分割面を第１の位置から第２の位置へと、かつ／または第２の位置から第１の位置へと切り換えることができる。

出口ポートの１つにおけるカメラと組み合わせて、２つのビーム分割面のうちの少なくとも一方が、１００：０または０：１００の反射対透過比を有しているならば特に有利である。これにより、観察したい対象物からの入射光の全てを、カメラ出口ポートに向けることができる。

上記態様のうちの１つによるビームスプリッタ装置は、顕微鏡の一体部分を構成することなく顕微鏡内に組み込むこともできる。したがって、本発明は、このようなビームスプリッタ装置を有した顕微鏡にも関する。

以下に、添付の図面を参照して、例としての実施態様を使用して本発明をより詳しく説明する。実施態様における様々な特徴は、上述したように自由に組み合わせられてもよい。特定の用途に対して、特別な特徴によって実現される利点が不要である場合、この特徴を省いてもよい。

図面では、同じ参照符号は、設計および／または機能が互いに対応する要素に対して使用される。

第１作動位置にある本発明によるビームスプリッタ装置の第１の実施態様を断面して概略的に示した図である。 第２作動位置にある図１の実施態様を断面して概略的に示した図である。 第１作動位置にある本発明によるビームスプリッタ装置の第２の実施態様を断面して概略的に示した図である。 第２作動位置にある図３の実施態様を断面して概略的に示した図である。 第１作動位置にある本発明によるビームスプリッタ装置の別の実施態様の一部を概略的に示した斜視図である。 第２作動位置にある図５の実施態様を概略的に示した斜視図である。

まず、図１および図２に示した実施態様を参照して、本発明によるビームスプリッタ装置の設計と機能とを例として説明する。

図１からわかるように、本発明によるビームスプリッタ装置１は、単に概略的に二点鎖線で示された顕微鏡２に、単一の事前組み立て部品として取り付けることができるユニットとして構成することができる。

ビームスプリッタ装置１は、別個に取り付け可能な、または取り付け不可能なユニットなしで、顕微鏡に組み込むこともできる。

ビームスプリッタ装置１は光路３を有しており、この光路３をビーム分割面４によって２つの分岐路３ａ，３ｂに分割することができる。観察したい対象物Ｏからの入射光６は入口ポート５で、ビームスプリッタ装置１に入り、ビーム分割面４に衝突する。光路３の２つの分岐路３ａ，３ｂは、ビームスプリッタ装置１内で、２つのそれぞれの出口ポート７，８へと向けられる。

ビーム分割面４は予め規定された反射対透過比Ｒ：Ｔを有している。この比は、面４を透過して光路３の分岐路３ａへと変向された光量と比較して、入射光６のうちどれほどの量が、面４における入射光６の反射により生じる、光路３の分岐路３ｂへと変向されるのかを示す。ビーム分割面４の反射対透過比は固定されているが、Ｒ：Ｔ＝０：１００〜Ｒ：Ｔ＝１００：０の範囲にある。Ｒ：Ｔ＝０：１００の比は、入射光６の全てが透過されて、反射は全くされないことを意味し、Ｒ：Ｔ＝０：１００の比は、入射光６の全てが、ビーム分割面４によって反射されて、透過は全くされないことを意味している。

単なる一例として、ビーム分割面４を透過した光路３の分岐路３ａは、顕微鏡２の双眼鏡筒９を受容するように適合させることができる出口ポート７に向けられる。反射光１１は、カメラを受容するように適合させることができる出口ポート８に向けることができる。

ビームスプリッタ装置１は特に、立体顕微鏡に適していてもよく、したがって光路３は実際には、光軸が互いに平行であって、並んで位置する２つの観察瞳孔を備えていてもよい。これについては、図５および図６につき例として詳しく後述する。

光路３の分岐路３ｂには、ミラー１２が配置されていてもよく、これによりカメラ出口ポート８における分岐路３ｂは、別の出口ポート７における分岐路３ａおよび入口ポート５における光路３のうちの少なくとも一方に対して、９０°未満の角度で傾けられている。

カメラ出口ポート８に通じる光路の分岐路３ｂには、リレーレンズ系１３が配置されていてもよい。レンズ系１３は、口径食に対処するリレーレンズシステム、および／またはカメラ出口ポート８において利用可能な倍率を変更するアフォーカルズームレンズであってもよい。

単なる例であるが、図１の光路３に配置されたビーム分割面４は、コンパウンドビームスプリッタである。勿論、偏光ビームスプリッタ、半透明の薄いコーティングから成るビームスプリッタ、スイスチーズ型ビームスプリッタ、またはダイクロイックミラー型プリズム、のような別の形式のビームスプリッタを使用してもよい。

ビームスプリッタ装置１は、ビーム分割面４とは異なる反射対透過比を有する少なくとも１つの別のビーム分割面１４を有している。このビームスプリッタ装置１は、異なる反射対透過比をそれぞれ有する、２つ以上の異なるビーム分割面４を有していてもよい。

図１に示した実施態様では、図１では光路３内に配置されていない第２のビーム分割面１４は、１００：０の反射対透過比を提供することができる。

ビーム分割面４，１４はビームスプリッタ装置に可動に支持されているので、図１に示した第１作動位置１５から図２に示した第２作動位置１６へと移動することができる。第２作動位置１６では、ビーム分割面１４が光路３内に位置していて、ビーム分割面４は光路には位置していない。

再び単なる例によるが、図１に示した第１作動位置１５から図２に示した第２作動位置１６への切換は、光路３およびその分岐路３ａ，３ｂに対して垂直な回転軸１７を中心としたビーム分割面４，１４の少なくとも一方、好適には両方の回転により行うことができる。第１作動位置１５から第２作動位置１６への移動は、手動で、またはばねデバイスやソレノイド、または電気モータのようなアクチュエータ（図示せず）により行うことができる。２つのビーム分割面４，１４の反射対透過比が異なるので、出口ポート７およびカメラ出口ポート８へと向けられた光１０，１１の量は、第２作動位置１６と比較して第１作動位置１５では変化する。

例えば、第２作動位置１６では、全ての光が第２のビーム分割面１４によって反射されるので、全ての入射光６がカメラ出口ポート８へと向けられる。

図２に示した第２作動位置１６では、提供される光は完全にカメラ画像を形成するために使用されるので、品質を向上させることができる。

再度、出口ポート７を使用しなければならない場合には、ビーム分割面４，１４は第２作動位置１６から第１作動位置１５へと戻される。

２つ以上のビーム分割面がビームスプリッタ装置１に設けられている場合には、例えば、ビームスプリッタをさらに回転させることにより、または別のビーム分割面を光路３内へと移動させる付加的な並進移動により、さらなる作動位置を考慮することができる。

第１のビーム分割面４は、光学エレメント１８に配置されていてもよい。この光学エレメント１８は例えば、図１および図２ではミラー１９の部分である第２のビーム分割面１４を支持する光学エレメント１９とは別個の、ビームスプリッタの構成部分である。選択的な実施態様では、ビーム分割面４，１４の両方、またはそれ以上は、単一光学エレメントに配置されていてもよく、例えば１つのコンパウンドビームスプリッタの２つの異なる面を成す。

ビーム分割面４，１４のうちの一方が光路３内へと移動する第１作動位置１５から、ビーム分割面４，１４のうちの他方が光路内へと移動する第２作動位置１６への、少なくとも２つのビーム分割面４，１４、および／またはそれぞれの光学エレメント１８，１９の移動は、ビーム分割面４，１４の回転移動と並進移動との任意の組み合わせにより得られる。

これは、図３および図４のビームスプリッタ装置１による例である。このビームスプリッタ装置１は、図３では第１作動位置１５で、図４では第２作動位置１６で示されている。

この場合も、ビームスプリッタ装置１は少なくとも２つのビーム分割面４，１４を有している。第１作動位置１５では、ビーム分割面４が光路６内に位置していて、このビーム分割面は、０：１００および１００：０とは異なる反射対透過比を有しているので、光路３は２つの分岐路３ａ，３ｂに分割される。第２のまたは任意の別のビーム分割面１４は、光路３，３ａ，３ｂの外へ移動させられる。ビーム分割面４によって提供される比に対して異なる反射対透過比が必要な場合、回転ノブまたは変位レバーのようなマニピュレータ（図示せず）、またはソレノイドや電気モータのようなアクチュエータに接続されて操作可能な電気スイッチを作動させて、図３の第１作動位置１５から図４の第２作動位置１６への切換を行うことができる。

図３および図４の例としての実施態様では、ビーム分割面４は、矢印２０で示したように光路３の外に並進的に移動させられる。同時に、ビーム分割面１４は、並進移動２１と回転移動２２との組み合わせにより移動させられる。このような移動は、ビーム分割面４，１４が内部でガイドされるスロットガイドシステムにより簡単な形式で実現することができる。並進移動２０，２１の長さは同じでよいので、これらの並進移動は機械的に連結することができる。回転移動２２は、並進移動２１の最後に行うことができる。

組み合わせられた動き２０，２１，２２により、ビーム分割面４は光路から外に移動し、ビーム分割面１４は光路３内へと移動する。この場合もビーム分割面１４は、１００：０の反射対透過比を有するミラーであってもよいので、入射光６の全ては、反射光１１としてカメラ出口ポート８に向かって反射される。

勿論、少なくとも２つのビーム分割面４，１４の回転移動と並進移動との任意の他の組み合わせも可能である。

少なくとも２つのビーム分割面４，１４は、並進的に、かつ／または回転的に移動可能であってもよいマガジン２３に設けられていてもよい。図５および図６には、２つのビーム分割面４，１４のためのキャリアとして機能する回転マガジン２３が示されている。図示したように、光路３とその分岐路３ａ，３ｂとは実際には、２つの出口ポート７，８における２つの観察瞳孔２４，２５に対応する２つの平行な光路により形成されている。ビーム分割面４，１４のそれぞれは、光路３の分岐路３ａの側では２つの観察瞳孔２４を、光路３の分岐路３ｂでは２つの観察瞳孔２５を収容するように寸法設計されている。

マガジン２３は、顕微鏡に対して定置であるフレーム２４において軸線１７を中心として回転可能に保持されている。図５の第１作動位置１５から図６の第２作動位置１６へと切り換えるために、マガジン２３は回転軸１７を中心として単に回転される。回転軸１７はこの場合、光路３の少なくとも一方の部分３，３ａに対して平行に延在していてもよく、光路３の他方の部分３ｂに対して垂直に延在していてもよい。

マガジン２３は、一度の連続的な運動で、光路内へと、かつ／または光路外へと、異なるビーム分割面４，１４を連続的に移動させるように構成されている。例えば、マガジンの回転により、ビーム分割面４は光路３の外に移動し、他方のビーム分割面１４は光路３内へと移動する。

この場合も、ビーム分割面４，１４は異なる反射対透過比を有しており、第１作動位置１５から第２作動位置１６へと切り換えることにより、分岐路３ａ，３ｂ間で異なる光強度分布を得ることができる。

図５および図６に示した実施態様は、光路３の両部分３ａ，３ｂに対して垂直に、マガジン２３の回転軸１７を配置することにより簡単に変更することができる。

２つよりも多くのビーム分割面を収容するためにマガジンは単に、異なるビーム分割面がこれに沿って配置されているより大きな円弧をカバーするように延在している。

１ ビームスプリッタ装置
２ 顕微鏡
３ 光路
３ａ，３ｂ ビーム分割後の光路の分岐路
４ 第１のビーム分割面
５ 入口ポート
６ 観察対象物からの入射光
７ （双眼）出口ポート
８ （カメラ）出口ポート
９ 双眼鏡筒
１０ 透過光
１１ 反射光
１２ （カメラ）出口ポートへの光路におけるミラー
１３ レンズ系、特にリレーレンズ系および／またはアフォーカルズームレンズ
１４ 第２のビーム分割面
１５ 第１作動位置
１６ 第２作動位置
１７ 回転軸
１８ 第１のビーム分割面を支持する光学エレメント
１９ 第２のビーム分割面を支持する別個の光学エレメント
２０ （第１の）ビーム分割面の移動を示す矢印
２１ （第２の）ビーム分割面の並進移動を示す矢印
２２ （第２の）ビーム分割面の回転移動を示す矢印
２３ 少なくとも２つのビーム分割面を保持するマガジン
２４ マガジンを保持するためのフレーム
Ｏ 観察したい対象物

Claims (14)

1. 顕微鏡（２）用のビームスプリッタ装置（１）であって、前記ビームスプリッタ装置（１）は、第１のビーム分割面（４）および第２のビーム分割面（１４）を含む少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）を支持しており、前記少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）のそれぞれは、異なる反射対透過比を提供するように構成されており、前記ビームスプリッタ装置（１）は、さらに光路（３，３ａ，３ｂ）を有しており、前記少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）は、前記第１のビーム分割面（４）が前記光路（３）内に位置するとともに前記第２のビーム分割面（１４）が前記光路（３）外に位置する第１作動位置（１５）から、前記第２のビーム分割面（１４）が前記光路（３）内に位置するとともに前記第１のビーム分割面（４）が前記光路（３）外に位置する第２作動位置（１６）へと移動されるように構成されており、
   前記第２作動位置（１６）では、前記少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）のうちの少なくとも１つが、前記第１作動位置（１５）に対して回転軸（１７）を中心として回転する、
   ビームスプリッタ装置（１）。
2. 前記第２作動位置（１６）で、前記第２のビーム分割面（１４）が位置する、前記光路（３）内の位置に、前記第１作動位置（１５）では前記第１のビーム分割面（４）が位置する、
   請求項１記載のビームスプリッタ装置（１）。
3. 前記第１作動位置（１５）では、前記光路（３）が少なくとも２つの分岐路（３ａ，３ｂ）に分割され、前記第２作動位置（１６）では、前記光路（３）の１つの分岐路（３ｂ）のみが維持される、
   請求項１または２記載のビームスプリッタ装置（１）。
4. 少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）は、単一の可動な光学エレメント（１８）に位置している、
   請求項１から３までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）。
5. 少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）は、異なる光学エレメント（１８，１９）に位置している、
   請求項１から４までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）。
6. 前記第２作動位置（１６）では、前記少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）のうちの少なくとも一方が、前記第１作動位置（１５）に対して並進的に変位されている、
   請求項１から５までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）。
7. 前記ビームスプリッタ装置（１）は、前記少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）が取り付けられるマガジン（２３）をさらに有していて、前記マガジン（２３）は、フレーム（２４）によって可動に支持されていて、マニピュレータに接続されていて、前記マニピュレータは、前記ビームスプリッタ装置（１）の外側からアクセス可能であり、作動時に、前記少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）を、第１位置から第２位置へ、および第２位置から第１位置へ、のうちの少なくとも一方で切り換える、
   請求項１から６までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）。
8. 前記光路（３）の少なくとも１つの分岐路（３ｂ）内にリレーレンズ系（１３）が配置されている、
   請求項１から７までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）。
9. 前記光路（３）の少なくとも１つの分岐路（３ｂ）内にアフォーカルズームレンズ（１３）が配置されている、
   請求項１から８までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）。
10. 少なくとも１つのレンズが、前記ビームスプリッタ装置（１）内に焦点を合わせるように変位可能に保持されている、
    請求項７または９記載のビームスプリッタ装置（１）。
11. 前記光路（３）の１つの分岐路（３ｂ）は、カメラを収容するように構成された出口ポート（８）に向けられている、
    請求項１から１０までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）。
12. 前記少なくとも２つのビーム分割面（４，１４）のうちの１つ（１４）は、１００：０の反射対透過比を有している、
    請求項１から１１までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）。
13. 請求項１から１２までのいずれか１項記載のビームスプリッタ装置（１）を有した顕微鏡（２）。
14. 観察したい対象物（Ｏ）からの光（６）を光路（３，３ａ，３ｂ）に沿って少なくとも２つの出口ポート（７，８）に向け、前記出口ポート（７，８）で利用可能な光（１０，１１）を、第１のビーム分割面（４）の代わりに第２のビーム分割面（１４）が前記光路（３）内に入るように、前記第１のビーム分割面（４）および前記第２のビーム分割面（１４）のうちの少なくとも１つを、回転軸（１７）を中心として回転することで切り換えることにより変化させ、前記第１のビーム分割面（４）および前記第２のビーム分割面（１４）は、異なる反射対透過比を有している、
    顕微鏡撮像法。

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