JP6664007B2 - レコードを整合させる方法、保守のスケジュールを作成する方法、および装置 - Google Patents
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[0001] 本願は、2016年4月20日に出願された欧州特許出願公開第16166218.4号の優先権を主張するものであり、この特許は、参照によりその全体を本明細書に援用される。
(a)複数のデータ源からフィールドセットを選択するステップと、
(b)フィールド間で1つまたは複数の隔たり尺度を規定するステップと、
(c)規定した隔たり尺度に基づいて、厳密さが異なる整合ルールのセットを規定するステップと、
をさらに含んでもよく、
データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することは、
(d)整合ルールのセットの最も厳密なものを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合したレコードを、高い整合品質を示すインジケータに関連付けるステップと、
(e)整合ルールのセットの厳密さの緩いルールを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合したレコードを、低い整合品質を示すインジケータに関連付けるステップと、
を含む。
整合したレコードを取得するために、厳密さが連続的に緩くなる整合ルールを使用して、データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することで、データ源間にばらつきのある複数のデータ源からのレコードをデータの整合品質の点で整合させるステップであって、整合ルールは、整合品質のばらつきに基づいて規定される、ステップと、
整合したレコードを使用して、製造システムの一部で実施される1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成するステップと、
を含む。
(a)複数のデータ源からフィールドセットを選択するステップと、
(b)フィールド間で1つまたは複数の隔たり尺度を規定するステップと、
(c)規定した隔たり尺度に基づいて、厳密さが異なる整合ルールのセットを規定するステップと、
をさらに含んでもよく、
データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することは、
(d)整合ルールのセットの最も厳密なものを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合したレコードを、高い整合品質を示すインジケータに関連付けるステップと、
(e)整合ルールのセットの厳密さが緩いルールを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合したレコードを、低い整合品質を示すインジケータに関連付けるステップと、
を含む。
整合したレコードを取得するために、厳密さが連続的に緩くなる整合ルールを使用して、データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することで、データ源間にばらつきのある複数のデータ源からのデータを含むレコードをデータの整合品質の点で整合させるように構成された処理ユニットであって、整合ルールは、整合品質のばらつきに基づいて規定される、処理ユニットを備え、
整合したレコードを使用して、装置で実施される1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成する。
(a)複数のデータ源からフィールドセットを選択し、
(b)フィールド間で1つまたは複数の隔たり尺度を規定し、
(c)規定した隔たり尺度に基づいて、厳密さが異なる整合ルールのセットを規定する、
ようにさらに構成することができ、
処理ユニットは、
(d)整合ルールのセットの最も厳密なものを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合したレコードを、高い整合品質を示すインジケータに関連付けることと、
(e)整合ルールのセットの厳密さが緩いルールを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合したレコードを、低い整合品質を示すインジケータに関連付けることと、
によってデータ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理するようにさらに構成される。
1.機械生成データ(データ源=PMA)と、使用される部品を含むサービスオーダ情報(手作業、データ源はSAP)との間の根本エラーの隔たり。
a.PMA内の根本エラーコード=SAP内の根本エラーコードの場合、データ源間の隔たり=0。
b.PMA内の根本エラーコードがSAP内の根本エラーコードと同一ではなくて、部品を含むRERの「リストにある」場合、隔たり=1/相対頻度−1。
i.部品ごとに、その特定の部品に関して技術者によってかつて書き込まれたすべてのRERはカウントされる。これに基づいて、根本エラーコード出現の相対頻度を計算することができる。
2.2つの時間フィールド間の時間の隔たり。
a.隔たり(例えば、単位は任意)=2つのフィールド間の時間差。
3.部品点数の隔たり:特定のSOで一致を見つけることができる場合に、部品点数自体が隔たり尺度として使用される(隔たりについての概念:隔たりが大きいほど不確実性が高い)。
4.データ源の隔たり:各データ源は、非常に正確である、またはあまり正確でないとして事前に分類することができる。部品点数と同様に、これは、絶対的な隔たりであり得る。したがって、データ源は、選択したフィールドの精度に関してランクを付けることができる。
様々なデータ源のフィールド間の時間差。
データ源の手作業で生成したデータと、別のデータ源の機械で生成したデータとの間の相違。
様々なデータ源のフィールド間の装置部品点数の差。
様々なデータ源のフィールド間のエラー識別子の出現の相対頻度の逆数の差。
様々なデータ源間のデータ源の精度の相違。
1.データの整合品質の点でデータ源間にばらつきのある複数のデータ源からのレコードを整合させる方法であって、整合したレコードを取得するために、厳密さが連続的に緩くなる整合ルールを使用して、データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することを含み、整合ルールは、整合品質のばらつきに基づいて規定される、方法。
2.整合したレコードを取得するために使用された整合ルールの厳密さに対応する整合品質インジケータに、整合したレコードを関連付けることをさらに含む、条項1による整合方法。
3.整合したレコードは製造関連のイベントに関する、条項1または2による整合方法。
4.整合品質におけるデータ源間のばらつきには、それらのデータの精度におけるデータ源間の相違が含まれる、前出の何れかの条項による整合方法。
5.整合品質におけるデータ源間のばらつきには、それらのデータの適用範囲におけるデータ源間の相違が含まれる、前出の何れかの条項による整合方法。
6.整合ルールは、様々なデータ源のフィールド間の隔たり尺度に基づいて規定される、前出の何れかの条項による整合方法。
7.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間の時間差が含まれる、条項6による整合方法。
8.隔たり尺度には、データ源の手作業で生成したデータと、別のデータ源の機械で生成したデータとの間の相違が含まれる、条項6または7による整合方法。
9.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間の装置部品点数の差が含まれる、条項6〜8の何れかによる整合方法。
10.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間のエラー識別子の出現の相対頻度の逆数の差が含まれる、条項6〜9の何れかによる整合方法。
11.隔たり尺度には、様々なデータ源間のデータ源の精度の相違が含まれる、条項6〜10の何れかによる整合方法。
12.整合ルールは、隔たり尺度の重みを付けた総計に基づいて規定される、条項6〜11の何れかによる整合方法。
13.整合に先立って、データの少なくとも一部を変換する、または分割することをさらに含む、前出の何れかの条項による整合方法。
14.(a)複数のデータ源からフィールドセットを選択するステップと、
(b)フィールド間で1つまたは複数の隔たり尺度を規定するステップと、
(c)規定した隔たり尺度に基づいて、厳密さが異なる整合ルールのセットを規定するステップと、
をさらに含み、
データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することは、
(d)整合ルールのセットの最も厳密なものを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合レコードを、高い整合品質を示すインジケータに関連付けるステップと、
(e)整合ルールのセットの厳密さが緩いルールを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合レコードを、低い整合品質を示すインジケータに関連付けるステップと、
を含む、前出の何れかの条項による整合方法。
15.製造システムの少なくとも一部分での1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成する方法であって、
整合したレコードを取得するために、厳密さが連続的に緩くなる整合ルールを使用して、データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することで、データの整合品質の点でデータ源間にばらつきのある複数のデータ源からのレコードを整合させ、整合ルールは、整合品質のばらつきに基づいて規定されるステップと、
整合したレコードを使用して、製造システムの一部で実施される1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成するステップと、
を含む、スケジュールを作成する方法。
16.1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成することは、整合したレコードを使用して、予測障害モデルを実行することを含む、条項15によるスケジュールを作成する方法。
17.1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成することは、修正作業を特定するために、整合したレコードを使用して原因解析を実施することを含む、条項15によるスケジュールを作成する方法。
18.レコードは、スケジューラを使用して整合し、方法は、製造システムの一部において、スケジューラを使用して、1つまたは複数の保守作業の実施を管理することをさらに含む、条項15〜17の何れかによるスケジュールを作成する方法。
19.整合したレコードを取得するために使用された整合ルールの厳密さに対応する整合品質インジケータに、整合したレコードを関連付けることをさらに含む、条項15〜18の何れかによるスケジュールを作成する方法。
20.整合したレコードは製造関連のイベントに関する、条項15〜19の何れかによるスケジュールを作成する方法。
21.整合品質におけるデータ源間のばらつきには、それらのデータの精度におけるデータ源間の相違が含まれる、条項15〜20の何れかによるスケジュールを作成する方法。
22.整合品質におけるデータ源間のばらつきには、それらのデータの適用範囲におけるデータ源間の相違が含まれる、条項15〜21の何れかによるスケジュールを作成する方法。
23.整合ルールは、様々なデータ源のフィールド間の隔たり尺度に基づいて規定される、条項15〜22の何れかによるスケジュールを作成する方法。
24.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間の時間差が含まれる、条項23によるスケジュールを作成する方法。
25.隔たり尺度には、データ源の手作業で生成したデータと、別のデータ源の機械で生成したデータとの間の相違が含まれる、条項23または24によるスケジュールを作成する方法。
26.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間の装置部品点数の差が含まれる、条項23〜25の何れかによるスケジュールを作成する方法。
27.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間のエラー識別子の出現の相対頻度の逆数の差が含まれる、条項23〜26の何れかによるスケジュールを作成する方法。
28.隔たり尺度には、様々なデータ源間のデータ源の精度の相違が含まれる、条項23〜27の何れかによるスケジュールを作成する方法。
29.整合ルールは、隔たり尺度の重みを付けた総計に基づいて規定される、条項23〜28の何れかによるスケジュールを作成する方法。
30.整合に先立って、データの少なくとも一部を変換する、または分割することをさらに含む、条項15〜29の何れかによるスケジュールを作成する方法。
31.(a)複数のデータ源からフィールドセットを選択するステップと、
(b)フィールド間で1つまたは複数の隔たり尺度を規定するステップと、
(c)規定した隔たり尺度に基づいて、厳密さが異なる整合ルールのセットを規定するステップと、
をさらに含み、
データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することは、
(d)整合ルールのセットの最も厳密なものを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合レコードを、高い整合品質を示すインジケータに関連付けるステップと、
(e)整合ルールのセットの厳密さが緩いルールを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合レコードを、低い整合品質を示すインジケータに関連付けるステップと、
を含む、条項15〜30の何れかによるスケジュールを作成する方法。
32.プログラム可能なデータ処理装置に条項1〜14の何れかによる整合方法を実行させるための命令を含むコンピュータプログラム製品。
33.プログラム可能なデータ処理装置に条項15〜31の何れかによるスケジュールを作成する方法を実行させるための命令を含むコンピュータプログラム製品。
34.リソグラフィプロセスに関連する装置であって、
整合したレコードを取得するために、整合品質のばらつきに基づいて規定された、厳密さが連続的に緩くなる整合ルールを使用して、データ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理することで、データの整合品質の点でデータ源間にばらつきのある複数のデータ源からのデータを含むレコードを整合させるように構成された処理ユニットを含み、
整合したレコードを使用して、装置で実施される1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成する、装置。
35.整合したレコードを取得するために使用された整合ルールの厳密さに対応する整合品質インジケータに、整合したレコードを関連付けることをさらに含む、条項34による装置。
36.整合したレコードは製造関連のイベントに関する、条項34または35による装置。
37.整合品質におけるデータ源間のばらつきには、それらのデータの精度におけるデータ源間の相違が含まれる、条項34〜36の何れかによる装置。
38.整合品質におけるデータ源間のばらつきには、それらのデータの適用範囲におけるデータ源間の相違が含まれる、条項34〜37の何れかによる装置。
39.整合ルールは、様々なデータ源のフィールド間の隔たり尺度に基づいて規定される、条項34〜38の何れかによる装置。
40.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間の時間差が含まれる、条項39による装置。
41.隔たり尺度には、データ源の手作業で生成したデータと、別のデータ源の機械で生成したデータとの間の相違が含まれる、条項39または40による装置。
42.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間の装置部品点数の差が含まれる、条項39〜41の何れかによる装置。
43.隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間のエラー識別子の出現の相対頻度の逆数の差が含まれる、条項39〜42の何れかによる装置。
44.隔たり尺度には、様々なデータ源間のデータ源の精度の相違が含まれる、条項39〜43の何れかによる装置。
45.整合ルールは、隔たり尺度の重みを付けた総計に基づいて規定される、条項39〜44の何れかによる装置。
46.整合に先立って、データの少なくとも一部を変換する、または分割することをさらに含む、条項34〜45の何れかによる装置。
47.処理ユニットは、
(a)複数のデータ源からフィールドセットを選択し、
(b)フィールド間で1つまたは複数の隔たり尺度を規定し、
(c)規定した隔たり尺度に基づいて、厳密さが異なる整合ルールのセットを規定する、
ようにさらに構成され、
処理ユニットは、
(d)整合ルールのセットの最も厳密なものを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合レコードを、高い整合品質を示すインジケータに関連付けることと、
(e)整合ルールのセットの厳密さが緩いルールを使用してデータ源に照会し、それによって得られた整合レコードを、低い整合品質を示すインジケータに関連付けることと、
によってデータ源からのレコードを反復的に整合させ、フィルタ処理するようにさらに構成される、条項34〜46の何れかによる装置。
Claims (15)
- それらのデータの整合品質にばらつきのある複数のデータ源からのレコードを整合させる方法であって、
整合したレコードを取得するために、整合ルールのセットを使用して、前記データ源からのレコードを整合させることを含み、前記整合ルールのセットは、厳密さが連続的に緩くなり、前記整合品質の前記ばらつきに基づいて規定され、
前記データ源からのレコードを整合させることは、コントローラによって実行される、
(i)整合したレコードを取得するために、前記整合ルールのセットのうちの厳密なルールを使用して、前記データ源に照会するステップと、
(ii)整合したレコードを取得するために、未整合のレコードに対して前記整合ルールのセットのうちの厳密さがより緩いルールを使用して、前記データ源に照会するステップと、
(iii)前記ステップ(ii)を繰り返すステップと、
を含む、方法。 - 前記整合したレコードを取得するために使用された前記整合ルールの厳密さに対応する整合品質インジケータに、前記整合したレコードを関連付けることをさらに含む、請求項1に記載の整合方法。
- 整合品質における前記データ源間の前記ばらつきには、それらのデータの精度における前記データ源間の相違が含まれる、請求項1に記載の整合方法。
- 前記整合ルールは、様々なデータ源のフィールド間の前記整合品質の前記ばらつきに関連する隔たり尺度に基づいて規定される、請求項1に記載の整合方法。
- 前記隔たり尺度には、様々なデータ源の時間フィールド間の時間差が含まれる、請求項4に記載の整合方法。
- 前記隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間のサービスオーダの特定の群に対するエラー識別子の出現の相対頻度の逆数の差が含まれる、請求項4に記載の整合方法。
- 前記整合に先立って、前記データの少なくとも一部を変換する、または分割することをさらに含む、請求項1に記載の整合方法。
- (a)前記複数のデータ源からフィールドセットを選択するステップと、
(b)前記フィールド間で前記整合品質の前記ばらつきに関連する1つまたは複数の隔たり尺度を規定するステップと、
(c)前記規定した隔たり尺度に基づいて、厳密さが異なる整合ルールのセットを規定するステップと、
をさらに含む、請求項1に記載の整合方法。 - 製造システムの少なくとも一部分における1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成する方法であって、コントローラによって実行される、
整合したレコードを取得するために、整合ルールのセットを使用して、データ源からのレコードを整合させることで、それらのデータの整合品質にばらつきのある複数の前記データ源からのレコードを整合させるステップであって、前記整合ルールのセットは、厳密さが連続的に緩くなり、前記整合品質の前記ばらつきに基づいて規定される、ステップと、
前記整合したレコードを使用して、前記製造システムの一部で実施される1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成するステップと、
を含み、
前記データ源からのレコードを整合させることは、
(i)整合したレコードを取得するために、前記整合ルールのセットのうちの厳密なルールを使用して、前記データ源に照会するステップと、
(ii)整合したレコードを取得するために、未整合のレコードに対して前記整合ルールのセットのうちの厳密さがより緩いルールを使用して、前記データ源に照会するステップと、
(iii)前記ステップ(ii)を繰り返すステップと、
を含む、スケジュールを作成する方法。 - 1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成することは、前記整合したレコードを使用して、予測障害モデルを実行することを含む、請求項9に記載のスケジュールを作成する方法。
- 前記レコードは、スケジューラを使用して整合し、前記方法は、前記製造システムの一部において、前記スケジューラを使用して、前記1つまたは複数の保守作業の実施を制御することをさらに含む、請求項9に記載のスケジュールを作成する方法。
- リソグラフィプロセスに関連する装置であって、
整合したレコードを取得するために、整合ルールのセットを使用して、データ源からのレコードを整合させることで、それらのデータの整合品質にばらつきのある複数の前記データ源からのデータを含むレコードを整合させるように構成された処理ユニットであって、前記整合ルールは、厳密さが連続的に緩くなり、前記整合品質の前記ばらつきに基づいて規定される、処理ユニットを備え、
前記装置は、前記整合したレコードを使用して、前記装置で実施される1つまたは複数の保守作業のスケジュールを作成し、
前記処理ユニットは、
(i)整合したレコードを取得するために、前記整合ルールのセットのうちの厳密なルールを使用して、前記データ源に照会するステップと、
(ii)整合したレコードを取得するために、未整合のレコードに対して前記整合ルールのセットのうちの厳密さがより緩いルールを使用して、前記データ源に照会するステップと、
(iii)前記ステップ(ii)を繰り返すステップと、
を実行する、装置。 - 前記整合ルールは、様々なデータ源のフィールド間の前記整合品質の前記ばらつきに関連する隔たり尺度に基づいて規定される、請求項12に記載の装置。
- 前記隔たり尺度には、様々なデータ源の時間フィールド間の時間差が含まれる、請求項13に記載の装置。
- 前記隔たり尺度には、様々なデータ源のフィールド間のサービスオーダの特定の群に対するエラー識別子の出現の相対頻度の逆数の差が含まれる、請求項13に記載の装置。
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