JP6643202B2 - プラズマ処理装置及びプラズマ処理データを解析する解析方法 - Google Patents
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Description
閾値1欄27bには、後述する解析処理にて相関係数の判定に用いる閾値が格納される。
閾値2欄27cには、後述する解析処理にて変動係数の判定に用いる閾値が格納される。
そして閾値3欄27dには、後述する解析処理にて標準偏差比の判定に用いる閾値が格納される。モニタ候補データ記憶領域28には、予測モデルの作成に用いるデータ項目の候補について発光強度モニタ値を特定する情報が格納される。
また、a3、b3は、予測モデル作成後にAPCを行う際に新たに取得された発光強度モニタ値と処理結果指標の例を示している。a3、b3などの各点は、a1、b1等の各点から発光強度モニタ値を同じ割合(Δm)だけ減じた点である。これは、分光器の接する計測窓の曇りなどにより、発光強度モニタ値がある一定の割合で減少した状態を示している。a1を用いて処理結果指標の予測モデルを作成する場合には、各点からの距離が最小となる直線としてa2の直線を示す関数が作成される。また、同様にb1を用いて予測モデルを作成する場合には、b2の直線を示す関数が作成される。
Claims (14)
- プラズマを用いて試料がプラズマ処理される処理室と、前記プラズマの発光のデータを解析する解析部とを備えるプラズマ処理装置において、
前記解析部は、プラズマ処理結果と相関がある前記発光の波長を求めるとともに前記試料間における前記発光の強度分布のばらつきを示す第一の指標が第一の所定の値より大きい波長を前記求められた波長の中から選択し、前記選択された波長を用いて前記プラズマ処理結果を予測する、
または、複数波長の各々の発光強度を用いて演算され前記プラズマ処理結果と相関がある値を求めるとともに前記求められた値の分布のばらつきを示す第二の指標が第二の所定の値より大きい値を前記求められた値の中から選択し、前記選択された値を用いて前記プラズマ処理結果を予測することを特徴とするプラズマ処理装置。 - プラズマを用いて処理が行われる処理室と、前記プラズマの発光のデータを解析する解析部とを備えるプラズマ処理装置において、
前記解析部は、プラズマ処理結果と相関がある前記発光の波長を求めるとともに前記発光の強度分布のばらつきを示す第一の指標が第一の所定の値より大きい波長を前記求められた波長の中から選択し、前記選択された波長を用いて前記プラズマ処理結果を予測する、
または、複数波長の各々の発光強度を用いて演算され前記プラズマ処理結果と相関がある値を求めるとともに前記求められた値の分布のばらつきを示す第二の指標が第二の所定の値より大きい値を前記求められた値の中から選択し、前記選択された値を用いて前記プラズマ処理結果を予測し、
前記第一の所定の値は、前記選択された波長を用いて求められた予測式の予測誤差が許容値となるように規定された値であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記第一の指標は、標準偏差または前記標準偏差の二乗値を用いて求められる値であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置において、
前記第一の指標は、標準偏差を前記発光の強度の平均値により除した値であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - プラズマを用いて処理が行われる処理室と、前記プラズマの発光のデータを解析する解析部とを備えるプラズマ処理装置において、
前記解析部は、プラズマ処理結果と相関がある前記発光の波長を求めるとともに前記発光の強度分布のばらつきを示す第一の指標が第一の所定の値より大きい波長を前記求められた波長の中から選択し、前記選択された波長を用いて前記プラズマ処理結果を予測する、
または、複数波長の各々の発光強度を用いて演算され前記プラズマ処理結果と相関がある値を求めるとともに前記求められた値の分布のばらつきを示す第二の指標が第二の所定の値より大きい値を前記求められた値の中から選択し、前記選択された値を用いて前記プラズマ処理結果を予測し、
前記第一の指標は、前記プラズマの処理が行われる試料の異なる2つの集まりから求められた各々の標準偏差の比であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - プラズマを用いて処理が行われる処理室と、前記プラズマの発光のデータを解析する解析部とを備えるプラズマ処理装置において、
前記解析部は、プラズマ処理結果と相関がある前記発光の波長を求めるとともに前記発光の強度分布のばらつきを示す第一の指標が第一の所定の値より大きい波長を前記求められた波長の中から選択し、前記選択された波長を用いて前記プラズマ処理結果を予測する、
または、複数波長の各々の発光強度を用いて演算され前記プラズマ処理結果と相関がある値を求めるとともに前記求められた値の分布のばらつきを示す第二の指標が第二の所定の値より大きい値を前記求められた値の中から選択し、前記選択された値を用いて前記プラズマ処理結果を予測し、
標準偏差を前記発光の強度の平均値により除した値と前記プラズマの処理が行われる試料の異なる2つの集まりから求められた各々の標準偏差の比が前記第一の指標として用いられることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記予測されたプラズマ処理結果に基づいてプラズマ処理条件を調整する制御が行われる制御部をさらに備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記予測されたプラズマ処理結果が所定の範囲を超える場合、異常とする処理が行われる制御部をさらに備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 試料のプラズマ処理に用いられるプラズマの発光のデータを解析する解析方法において、
プラズマ処理結果と相関がある前記発光の波長を求めるとともに前記試料間における前記発光の強度分布のばらつきを示す第一の指標が第一の所定の値より大きい波長を前記求められた波長の中から選択し、前記選択された波長を用いて前記プラズマ処理結果を予測する、
または、複数波長の各々の発光強度を用いて演算され前記プラズマ処理結果と相関がある値を求めるとともに前記求められた値の分布のばらつきを示す第二の指標が第二の所定の値より大きい値を前記求められた値の中から選択し、前記選択された値を用いて前記プラズマ処理結果を予測することを特徴とする解析方法。 - プラズマの発光のデータを解析する解析方法において、
プラズマ処理結果と相関がある前記発光の波長を求めるとともに前記発光の強度分布のばらつきを示す第一の指標が第一の所定の値より大きい波長を前記求められた波長の中から選択し、前記選択された波長を用いて前記プラズマ処理結果を予測する、
または、複数波長の各々の発光強度を用いて演算され前記プラズマ処理結果と相関がある値を求めるとともに前記求められた値の分布のばらつきを示す第二の指標が第二の所定の値より大きい値を前記求められた値の中から選択し、前記選択された値を用いて前記プラズマ処理結果を予測し、
前記第一の所定の値は、前記プラズマ処理結果を予測する予測式の予測誤差が許容値となるように規定された値であることを特徴とする解析方法。 - 請求項9に記載の解析方法において、
前記第一の指標は、標準偏差または前記標準偏差の二乗値を用いて求められる値であることを特徴とする解析方法。 - 請求項9または請求項10に記載の解析方法において、
前記第一の指標は、標準偏差を前記発光の強度の平均値により除した値であることを特徴とする解析方法。 - プラズマの発光のデータを解析する解析方法において、
プラズマ処理結果と相関がある前記発光の波長を求めるとともに前記発光の強度分布のばらつきを示す第一の指標が第一の所定の値より大きい波長を前記求められた波長の中から選択し、前記選択された波長を用いて前記プラズマ処理結果を予測する、
または、複数波長の各々の発光強度を用いて演算され前記プラズマ処理結果と相関がある値を求めるとともに前記求められた値の分布のばらつきを示す第二の指標が第二の所定の値より大きい値を前記求められた値の中から選択し、前記選択された値を用いて前記プラズマ処理結果を予測し、
前記第一の指標は、前記プラズマの処理が行われる試料の異なる2つの集まりから求められた各々の標準偏差の比であることを特徴とする解析方法。 - プラズマの発光のデータを解析する解析方法において、
プラズマ処理結果と相関がある前記発光の波長を求めるとともに前記発光の強度分布のばらつきを示す第一の指標が第一の所定の値より大きい波長を前記求められた波長の中から選択し、前記選択された波長を用いて前記プラズマ処理結果を予測する、
または、複数波長の各々の発光強度を用いて演算され前記プラズマ処理結果と相関がある値を求めるとともに前記求められた値の分布のばらつきを示す第二の指標が第二の所定の値より大きい値を前記求められた値の中から選択し、前記選択された値を用いて前記プラズマ処理結果を予測し、
標準偏差を前記発光の強度の平均値により除した値と前記プラズマの処理が行われる試料の異なる2つの集まりから求められた各々の標準偏差の比が前記指標として用いられることを特徴とする解析方法。
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