JP6627495B2 - 深紫外発光素子用基板、深紫外発光素子用連結基板、および深紫外発光装置 - Google Patents
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Description
実施形態の深紫外発光素子用基板は、深紫外発光素子が搭載される素子搭載部を有する基板本体と、この素子搭載部を囲むように配置された枠体と、を有する。また、基板本体および枠体は、ガラスと、このガラス中に分散されたセラミックス粒子とを含むガラスセラミックスを基材とする。なお、深紫外発光素子とは、深紫外線を発光するものであり、波長350nm以下に発光ピークを有するものである。
ガラスセラミックスを構成するガラスは、酸化物基準のモル%表示で、SiO2を57〜65%、B2O3を13〜18%、CaOを9〜23%、Al2O3を3〜8%、K2OおよびNa2Oから選ばれる少なくとも一種を0.5〜6%含有することが好ましい。
図1は、連結基板の一実施形態を示す上面図である。
連結基板1は、縦横に連結された複数の素子基板10と、これらの素子基板10を囲むように設けられた余剰部11とを有する。隣接する素子基板10の間、およびその延長線上には、隣接する素子基板10を互いに分割するための分割溝12が設けられている。また、分割溝12が交差する部分には、分割時の欠け等の発生を防止するための分割孔13が設けられている。分割孔13は、連結基板1を貫通するように設けられている。このような連結基板1は、例えば、分割溝12に応力を印加することにより素子基板10どうしが互いに分割される。
図2は、素子基板10の一実施形態を示す上面図である。また、図3は、図2に示す素子基板10のA−A線断面図であり、図4は、図2に示す素子基板10の下面図である。
図5は、深紫外発光装置の一実施形態を示す上面図である。なお、図5に示される深紫外発光装置においては、窓部材の図示が省略されている。また、図6は、図5に示す深紫外発光装置の断面図である。
連結基板1は、以下の(A)〜(D)の各工程を含む製造方法により製造できる。
ガラス粉末とセラミックス粉末とを含むガラスセラミックス組成物に、バインダー、必要に応じて可塑剤、分散剤、溶剤等を添加してスラリーを調製し、これをドクターブレード法等によりシート状に成形し、乾燥させてグリーンシートを製造する。
各グリーンシートには、必要に応じて、ガラスセラミックス以外の部分を形成するために、表面に金属ペーストを塗布し、または孔部に金属ペーストを充填する。ガラスセラミックス以外の部分としては、基板本体21については、接合部25、37、電極27、28、31、32、ビア33、35、接続層34、36、枠体22については、金属層42が挙げられる。
金属ペーストの塗布または充填が行われたグリーンシートは、所定の順序に積層された後、熱圧着により一体化される。一体化後、グリーンシート切断機等により分割溝12が形成されるとともに、孔開け機等により分割孔13が形成される。
積層および一体化されたグリーンシートは、バインダーを除去するための脱脂が行われた後、ガラスセラミックス組成物等を焼結させるための焼成が行われる。これにより連結基板1が製造される。
なお、例1が本発明の実施例であり、例2、3が本発明の比較例である。
酸化物換算のモル%表示で、SiO2 60.4%、B2O3 15.6%、CaO 15%、Al2O3 6%、K2O 1%、Na2O 2%となるように原料を配合、混合した。この混合物を白金ルツボに入れ、1600℃、60分の加熱により溶融させた後、溶融物を流し出して冷却した。この冷却物をアルミナ製ボールミルにより40時間粉砕してガラス粉末を製造した。なお、粉砕の溶媒にはエチルアルコールを用いた。
厚さ1mmの北陸セラミックス社製の96.0%アルミナ基板の表裏両面を研磨加工し、厚さ0.5mmの評価用基板(アルミナ基板)を作製した。
窒化アルミニウムの原料粉末、助剤として酸化イットリウム、および成形用のバインダーを配合し、これをプレス成形によって板状の成形体に成形した。この成形体を空気中で加熱し、成形体中のバインダーを除去し、成形体を非酸化性雰囲気中で1900℃まで3時間かけて昇温した後、焼結温度に1〜5時間保持して焼結した。この焼結体を切削加工し厚さ0.5mmの評価用基板(窒化アルミニウム基板)を作製した。
図11に示されるように、例1の評価用基板(ガラスセラミックス基板)は、深紫外線の反射率が非常に高く、その経時劣化も抑制されている。一方、例3の評価用基板(窒化アルミニウム基板)は、深紫外線の反射率が低く、反射率の経時劣化も大きい。例2の評価用基板(アルミナ基板)は、例3の評価用基板(窒化アルミニウム基板)に比べて反射率は高いが、必ずしも十分な反射率を得ることはできない。
Claims (7)
- 基板本体と、
前記基板本体上に設けられた枠体と、を有し、
前記基板本体および前記枠体は、ガラスと、前記ガラス中に分散されたセラミックス粒子とを含むガラスセラミックスを基材とし、
前記基板本体は、前記枠体に囲まれた枠内部を有し、
前記枠内部は、その内側にサブマウントが搭載されるサブマウント搭載部を有し、
前記サブマウント搭載部は、その内側に深紫外発光素子が搭載される素子搭載部を有し、
前記枠内部が四角形状であり、前記枠内部内に前記深紫外発光素子に電気的に接続される一対のサブマウント用電極が設けられ、前記一対のサブマウント用電極は、前記枠内部の四角形状の一辺に接触するように設けられており、
保護素子用電極が、前記一対のサブマウント用電極の間に設けられ、かつ前記枠内部の四角形状の前記一辺に接触しており、
前記ガラスは、酸化物基準のモル%表示で、SiO 2 を57〜65%、B 2 O 3 を13〜18%、CaOを9〜23%、Al 2 O 3 を3〜8%、K 2 OおよびNa 2 Oから選ばれる少なくとも一種を0.5〜6%含有し、
前記ガラスセラミックスは、波長280nmの光の反射率が75%以上である深紫外発光素子用基板。 - 前記セラミックス粒子はアルミナ粒子およびジルコニア粒子を含み、
前記ジルコニア粒子は、前記ガラスセラミックス中、10質量%以上含有される請求項1記載の深紫外発光素子用基板。 - 前記枠内部における前記サブマウント搭載部の面積での割合が60%以上である請求項1または2記載の深紫外発光素子用基板。
- 前記サブマウント搭載部の下部にサーマルビアを有し、
前記サブマウント搭載部における前記サーマルビアの面積での割合が20%以上である請求項1〜3のいずれか1項記載の深紫外発光素子用基板。 - 前記枠体は、開口側の端部に形成される段部と、前記段部の内側に形成される平面部とを有し、
前記平面部の表面の平坦度が1mmあたり5μm以下である請求項1〜4のいずれか1項記載の深紫外発光素子用基板。 - 請求項1〜5のいずれか1項記載の深紫外発光素子用基板と、
前記深紫外発光素子用基板に搭載された窒化アルミニウムからなるサブマウントと、
前記サブマウントに搭載された深紫外発光素子と、
を有する深紫外発光装置。 - 深紫外発光素子が搭載される深紫外発光素子用基板が複数連結され、
前記深紫外発光素子用基板が、基板本体と、前記基板本体上に設けられた枠体と、を有し、
前記基板本体および前記枠体が、ガラスと、前記ガラス中に分散されたセラミックス粒子とを含むガラスセラミックスを基材とし、
前記基板本体は、前記枠体に囲まれた枠内部を有し、
前記枠内部は、その内側にサブマウントが搭載されるサブマウント搭載部を有し、
前記サブマウント搭載部は、その内側に前記深紫外発光素子が搭載される素子搭載部を有し、
前記枠内部が四角形状であり、前記枠内部内に前記深紫外発光素子に電気的に接続される一対のサブマウント用電極が設けられ、前記一対のサブマウント用電極は、前記枠内部の四角形状の一辺に接触するように設けられており、
保護素子用電極が、前記一対のサブマウント用電極の間に設けられ、かつ前記枠内部の四角形状の前記一辺に接触しており、
前記ガラスは、酸化物基準のモル%表示で、SiO 2 を57〜65%、B 2 O 3 を13〜18%、CaOを9〜23%、Al 2 O 3 を3〜8%、K 2 OおよびNa 2 Oから選ばれる少なくとも一種を0.5〜6%含有し、
前記ガラスセラミックスは、波長280nmの光の反射率が75%以上である深紫外発光素子用連結基板。
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