JP6614829B2 - フィルム回路基板の製造監視装置 - Google Patents
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Description
前記フィルム回路基板の前記回路パターンを撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された回路パターンの画像に基づいて、前記回路パターン内の任意の2点間の距離、連続する2つの前記回路パターン間の距離、前記回路パターンの回路線幅又は線間幅の少なくとも1つを計測する画像計測部と、
前記画像計測部で測定された計測データに基づいて、前記回路パターン内の任意の2点間の距離に基づく前記回路パターンの個片ピッチ、前記連続する2つの前記回路パターン間の距離に基づくシートピッチ、前記回路パターンの回路幅又は線間幅に基づくL/Sの少なくとも1つの変動を検知する検知部と、を備える、フィルム回路基板の製造監視装置を提供する。
前記判定出力部は、前記情報に前記ロール状のフィルムの搬送速度又は版の回転速度を制御する信号を含むことを特徴とする、第2から第4態様のいずれか1つのフィルム回路基板の製造監視装置を提供する。
前記判定出力部は、前記情報に前記スクリーン印刷機のインク吐出量を制御する信号を含むことを特徴とする、第2から第5態様のいずれか1つのフィルム回路基板の製造監視装置を提供する。
2 フィルム回路基板製造装置
3 搬送部
4 回路パターン形成部
5 撮像部
6 光源部
7 制御演算部
8 モニタ
9a,9b ローラー
10a,10b,10c ラインセンサカメラ
11 印刷ドラム
12 線状照明
13 画像計測部
14 検知部
15 判定出力部
16 データ蓄積部
Claims (6)
- 伸縮性を有するフィルムで構成された基板材料を搬送し、前記基板材料の表面に回路パターンを形成するフィルム回路基板を製造する製造装置の搬送経路中に使用配置され、前記フィルム回路基板の製造状況を監視するフィルム回路基板の製造監視装置であって、
前記フィルム回路基板の前記回路パターンを撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された回路パターンの画像に基づいて、前記回路パターン内の任意の2点間の距離、連続する2つの前記回路パターン間の距離、前記回路パターンの回路線幅又は線間幅の少なくとも1つを計測する画像計測部と、
前記画像計測部で測定された計測データに基づいて、前記回路パターン内の任意の2点間の距離に基づく前記回路パターンの個片ピッチ、前記連続する2つの前記回路パターン間の距離に基づくシートピッチ、前記回路パターンの回路幅又は線間幅に基づくL/Sの少なくとも1つの変動を検知する検知部と、を備えることを特徴とする、フィルム回路基板の製造監視装置。 - 前記検知部による検知結果により前記フィルム回路基板に欠陥が生じると判断される場合は、情報を出力する判定出力部を備えることを特徴とする、請求項1に記載のフィルム回路基板の製造監視装置。
- 前記検知部は、前記画像計測部によって計測された計測データを時系列的に比較し、前記計測データが閾値を超える予測値を導くことにより、前記フィルム回路基板に欠陥が生じると判断する分析手段を有することを特徴とする、請求項2に記載のフィルム回路基板の製造監視装置。
- 前記判定出力部は、前記予測値が閾値を超えると予測されるタイミングで、前記情報を出力することを特徴とする、請求項3に記載のフィルム回路基板の製造監視装置。
- 前記製造装置は、回転式の印刷機を用い、基板材料としてロール状のフィルムを利用し、前記ロール状フィルムを連続して送り出す経路搬送中に前記回路パターンを形成する構成であり、
前記判定出力部は、前記情報に前記ロール状のフィルムの搬送速度又は版の回転速度を制御する信号を含むことを特徴とする、請求項2から4のいずれか1つに記載のフィルム回路基板の製造監視装置。 - 前記製造装置は、スクリーン印刷機であり、
前記判定出力部は、前記情報に前記スクリーン印刷機のインク吐出量を制御する信号を含むことを特徴とする、請求項2から5のいずれか1つに記載のフィルム回路基板の製造監視装置。
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