JP2004054446A - 画像処理方法、および画像処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】自動生産工法の早期確立と安定化に供する画像処理方法を提供する。
【解決手段】生産工程において、画像処理による測定値を時系列に並べたロギングデータをロギングデータベース15に保存し、データ解析エンジン16により、このロギングデータに所定の演算処理を施してその変化傾向を得た後、この演算結果である測定値の変化傾向をモニタ12に表示する。
【選択図】 図1
【解決手段】生産工程において、画像処理による測定値を時系列に並べたロギングデータをロギングデータベース15に保存し、データ解析エンジン16により、このロギングデータに所定の演算処理を施してその変化傾向を得た後、この演算結果である測定値の変化傾向をモニタ12に表示する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的な生産工程において被検査物である生産品の検査のための各種測定を行う画像処理方法、および画像処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、生産品の高精度化や複雑化に伴い、生産工程において、画像処理装置を用いた多種にわたる測定・検査が行われている。例えば、電池の生産工程においては、極板の巻きずれ量などを測定・検査するのに画像処理装置が用いられている。しかし、従来の画像処理装置は、単に被検査物である生産品を測定・検査するのみであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
一方、近年、生産工程の自動化が推進されており、この自動生産による生産性を向上させるために、生産工法の早期確立と安定化が要請されている。
【0004】
そこで、本発明は、従来のように単に被検査物を測定・検査するのみに留まらず、画像処理による測定値を時系列に記録して所定の演算処理を施し、測定値の変化傾向や一定時間経過後の予測値を教示し、生産工法の改善や異常発生の防止などを行えるようにすることで、生産工法の早期確立と安定化に供する画像処理方法、および画像処理装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1記載の画像処理方法は、被検査物を撮像し前記被検査物を画像処理することで測定値を求め、被検査物ごとに求めた測定値を時系列に記録していき、これら時系列に記録した測定値に対して一定数ごとに順次平均値あるいは標準偏差値の少なくとも一方を求める演算処理を施した後、この演算結果を出力して教示することを特徴とする。
【0006】
本発明の請求項2記載の画像処理方法は、請求項1記載の画像処理方法であって、上記演算結果をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする。
【0007】
本発明の請求項3記載の画像処理方法は、請求項1もしくは2のいずれかに記載の画像処理方法であって、上記演算結果に、現在から一定時間後の測定値を予測する演算処理を施すことを特徴とする。
【0008】
本発明の請求項4記載の画像処理方法は、請求項3記載の画像処理方法であって、予測した値をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする。
【0009】
本発明の請求項5記載の画像処理装置は、被検査物を撮像し得られたデータを処理することで検査を行う画像処理装置であって、前記被検査物を撮像し画像処理して求めた測定値を時系列に並べたロンギングデータを保存するロンギングデータベースと、前記ロンギングデータに所定の演算を施してその変化傾向を得るデータ解析エンジンとを有し、この演算結果を出力して教示することを特徴とする。
【0010】
本発明の請求項6記載の画像処理装置は、請求項5記載の画像処理装置であって、上記演算結果をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする。
【0011】
本発明の請求項7記載の画像処理装置は、請求項5もしくは6のいずれかに記載の画像処理装置であって、前記データ解析エンジンが、上記演算結果に、現在から一定時間後の測定値を予測する演算処理を施すことを特徴とする。
【0012】
本発明の請求項8記載の画像処理装置は、請求項7記載の画像処理装置であって、予測した値をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする。
【0013】
以上のように、本発明によれば、測定値の変化傾向や一定時間経過後の予測値を把握して生産工法の改善や異常発生の防止などを行えるようになり、生産工法の早期確立と安定化を図ることができるようになる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による画像処理方法、および画像処理装置について、図1〜4を参照して説明する。
【0015】
図1に画像処理装置の基本構成を示す。図1において、10は画像処理装置、11は画像処理装置本体、12はモニタ、13は被検査物を撮像する撮像装置、14は画像処理装置10を使用するためのマウスやキーボードなどの入力装置である。また、画像処理装置10は、被検査物の測定・検査のための画像処理機能に加え、画像処理による測定値を時系列に記録したロンギングデータを保存するためのロギングデータベース15、ロンギングデータに所定の演算を施すデータ解析エンジン16、ロンギングデータや、データ解析エンジン16による演算結果を表示し、モニタ12などを介して検査者へ教示する結果表示機能17を備えている。
【0016】
図2はロギングテータをグラフ化した一例である。図2に示すように、画像処理装置10は、ロギングデータベース15に保存されているロンギングデータをモニタ12に表示させる。
【0017】
図2において、縦軸は各種画像処理による測定値軸、横軸は時間軸であり、測定値がグラフ上に離散的にプロットされている。なお、図2においては、プロットのピッチが時間軸方向に一定ピッチで描画されているが、被検査物が一定時間毎に測定されるとは限らない。
【0018】
画像処理装置10は、図3に示すように、データ解析エンジン16によりロンギングデータに所定の演算を施し、その結果をモニタ12に表示させる。図3は、ロギングデータを一定プロット数毎に平均化しその平均値を図2に示すグラフ上に重ね合わせたものであり、◎で表示されているプロットは測定値の一定回数分の平均値を表している。また点線は、平均値を求めている測定値群を明示するために設けた、説明上の補助線である。ここでは、演算の一例として平均値を求めているが、これは、毎回の測定のバラツキによる影響を軽減し、大局的な測定値の変動を求めるためであり、平均値を求めることにより被検査物の均一性がどのように推移しているのかを判断することができるようになる。
【0019】
グラフ上の一点鎖線31は、測定値が正常かどうかを判断するしきい値として例示した下限値を表している。このようにしきい値をモニタ12に表示することにより、大局的に異常発生に至っているかどうかを判断することができるようになる。
【0020】
また、例えば、平均値がしきい値(下限値)を下回ると異常と判断される場合、画像処理装置10は、データ解析エンジン16により、平均値がこのしきい値以上かどうかについて平均値を求める演算の都度評価する。そして、このしきい値を下回るときには、異常である旨を画像処理装置10のモニタや外部表示器、もしくは画像処理装置10を管理しているホストへ出力し、異常発生を検査者へ通知することで警告を行う。
【0021】
さらに、画像処理装置10は、各平均値を最小自乗近似法などに適用して求めた近似直線を演算し、今後の測定値の変化を予測する。
図3において、時間軸上の点xは現在位置であり、ここまでの測定値が求められていることを明示する。また、直線32は各平均値を最小自乗近似法に適用して求めた近似直線である。
【0022】
画像処理装置10は、この近似直線32としきい値(一点鎖線31)の交点を求め、異常発生時点yを予測する。図3に示すように、現在までの傾向がこの先続けば、時間軸上の点yの時点で近似直線32としきい値(一点鎖線31)が交わることが予測できる。すなわち、時間軸上の点yの時点で異常が発生すると予測することができる。
【0023】
画像処理装置10は、予測される異常発生時点yまでの現在からの時間が一定値より小さいか否か判断し、小さいと判断したとき、すなわち、近々異常発生が予測されると判断したときには、異常発生が予測される旨を画像処理装置10のモニタや外部表示器、もしくは画像処理装置10を管理しているホストへ出力し、予測される異常発生時点を検査者へ通知することで警告を行う。
【0024】
また、図4は、平均値に代えて、一定プロット数毎に標準偏差値を求め、その標準偏差値を図2に示すグラフ上に重ね合わせたものであり、◎で表示されているプロットは測定値の一定回数分の標準偏差値を表している。また点線は、標準偏差値を求めている測定値群を明示するために設けた、説明上の補助線である。ここでは、演算の一例として標準偏差値を求めているが、これは、大局的な測定値のばらつきの変動を求めるためであり、標準偏差値を求めることにより被検査物の均一性がどのように推移しているのかを判断することができるようになる。
【0025】
グラフ上の一点鎖線41は、標準偏差値が正常かどうかを判断するしきい値として例示した上限値を表している。このようにしきい値をモニタ12に表示することにより、大局的に異常発生に至っているかどうかを判断することができるようになる。
【0026】
また、例えば、標準偏差値がしきい値(上限値)を上回ると異常と判断される場合、画像処理装置10は、データ解析エンジン16により、標準偏差値がこのしきい値以上かどうかについて標準偏差値を求める演算の都度評価する。そして、このしきい値を上回るときには、異常である旨を画像処理装置10のモニタや外部表示器、もしくは画像処理装置10を管理しているホストへ出力し、異常発生を検査者へ通知することで警告を行う。
【0027】
さらに、画像処理装置10は、各標準偏差値を最小自乗近似法などに適用して求めた近似直線を演算し、今後の標準偏差値の変化を予測する。
図4において、時間軸上の点xは現在位置であり、ここまでの測定値が求められていることを明示する。また、直線42は各標準偏差値を最小自乗近似法に適用して求めた近似直線である。
【0028】
画像処理装置10は、この近似直線42としきい値(一点鎖線41)の交点を求め、異常発生時点yを予測する。図4に示すように、現在までの傾向がこの先続けば、近似直線42としきい値(一点鎖線41)が交わることが予測できる。すなわち、時間軸上の点yの時点(図示せず)で異常が発生すると予測することができる。
【0029】
画像処理装置10は、予測される異常発生時点yまでの現在からの時間が一定値より小さいか否か判断し、小さいと判断したとき、すなわち、近々異常発生が予測されると判断したときには、異常発生が予測される旨を画像処理装置10のモニタや外部表示器、もしくは画像処理装置10を管理しているホストへ出力し、予測される異常発生時点を検査者へ通知することで警告を行う。
【0030】
なお、本実施の形態では、異常発生の検出や予測を行うのに、平均値や標準偏差値、またはこれらの予測値としきい値とを比較したが、これに限るものではない。例えば、近似直線の傾きを求め、この傾きがあらかじめ設定されたしきい値を越えると、異常と判断するようにしてもよい。また、平均値と標準偏差値それぞれの各しきい値との比較結果を組み合わせてなる条件をあらかじめ設定しておき、実際に求めた比較結果とこの条件とを比較し、条件を外れると異常と判断するようにしてもよい。
【0031】
以上のような構成および処理によって、測定値の変化傾向や一定時間経過後の予測値を把握して生産工法の改善や異常発生の防止などを行えるようになる。このように生産工法の早期確立と安定化に供することができ、また生産性の向上にも大きく寄与することができるので、利用価値の高いものとなる。
【0032】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、測定値の変化傾向や一定時間経過後の予測値を把握できるようになるので、生産工法の改善や異常発生の防止など、生産工法の早期確立と安定化に供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による画像処理装置の基本構成を示す図
【図2】本発明の実施の形態におけるロギングデータの一例を示すグラフ図
【図3】本発明の実施の形態における平均値を利用した測定値の傾向解析と予測を説明するための図
【図4】本発明の実施の形態における標準偏差値を利用した測定値の傾向解析と予測を説明するための図
【符号の説明】
11 画像処理装置本体
12 モニタ
13 撮像装置
14 入力装置
15 ロギングデータベース
16 データ解析エンジン
17 結果表示機能
31、41 しきい値
32 各平均値の近似直線
42 各標準偏差値の近似直線
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的な生産工程において被検査物である生産品の検査のための各種測定を行う画像処理方法、および画像処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、生産品の高精度化や複雑化に伴い、生産工程において、画像処理装置を用いた多種にわたる測定・検査が行われている。例えば、電池の生産工程においては、極板の巻きずれ量などを測定・検査するのに画像処理装置が用いられている。しかし、従来の画像処理装置は、単に被検査物である生産品を測定・検査するのみであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
一方、近年、生産工程の自動化が推進されており、この自動生産による生産性を向上させるために、生産工法の早期確立と安定化が要請されている。
【0004】
そこで、本発明は、従来のように単に被検査物を測定・検査するのみに留まらず、画像処理による測定値を時系列に記録して所定の演算処理を施し、測定値の変化傾向や一定時間経過後の予測値を教示し、生産工法の改善や異常発生の防止などを行えるようにすることで、生産工法の早期確立と安定化に供する画像処理方法、および画像処理装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1記載の画像処理方法は、被検査物を撮像し前記被検査物を画像処理することで測定値を求め、被検査物ごとに求めた測定値を時系列に記録していき、これら時系列に記録した測定値に対して一定数ごとに順次平均値あるいは標準偏差値の少なくとも一方を求める演算処理を施した後、この演算結果を出力して教示することを特徴とする。
【0006】
本発明の請求項2記載の画像処理方法は、請求項1記載の画像処理方法であって、上記演算結果をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする。
【0007】
本発明の請求項3記載の画像処理方法は、請求項1もしくは2のいずれかに記載の画像処理方法であって、上記演算結果に、現在から一定時間後の測定値を予測する演算処理を施すことを特徴とする。
【0008】
本発明の請求項4記載の画像処理方法は、請求項3記載の画像処理方法であって、予測した値をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする。
【0009】
本発明の請求項5記載の画像処理装置は、被検査物を撮像し得られたデータを処理することで検査を行う画像処理装置であって、前記被検査物を撮像し画像処理して求めた測定値を時系列に並べたロンギングデータを保存するロンギングデータベースと、前記ロンギングデータに所定の演算を施してその変化傾向を得るデータ解析エンジンとを有し、この演算結果を出力して教示することを特徴とする。
【0010】
本発明の請求項6記載の画像処理装置は、請求項5記載の画像処理装置であって、上記演算結果をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする。
【0011】
本発明の請求項7記載の画像処理装置は、請求項5もしくは6のいずれかに記載の画像処理装置であって、前記データ解析エンジンが、上記演算結果に、現在から一定時間後の測定値を予測する演算処理を施すことを特徴とする。
【0012】
本発明の請求項8記載の画像処理装置は、請求項7記載の画像処理装置であって、予測した値をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする。
【0013】
以上のように、本発明によれば、測定値の変化傾向や一定時間経過後の予測値を把握して生産工法の改善や異常発生の防止などを行えるようになり、生産工法の早期確立と安定化を図ることができるようになる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による画像処理方法、および画像処理装置について、図1〜4を参照して説明する。
【0015】
図1に画像処理装置の基本構成を示す。図1において、10は画像処理装置、11は画像処理装置本体、12はモニタ、13は被検査物を撮像する撮像装置、14は画像処理装置10を使用するためのマウスやキーボードなどの入力装置である。また、画像処理装置10は、被検査物の測定・検査のための画像処理機能に加え、画像処理による測定値を時系列に記録したロンギングデータを保存するためのロギングデータベース15、ロンギングデータに所定の演算を施すデータ解析エンジン16、ロンギングデータや、データ解析エンジン16による演算結果を表示し、モニタ12などを介して検査者へ教示する結果表示機能17を備えている。
【0016】
図2はロギングテータをグラフ化した一例である。図2に示すように、画像処理装置10は、ロギングデータベース15に保存されているロンギングデータをモニタ12に表示させる。
【0017】
図2において、縦軸は各種画像処理による測定値軸、横軸は時間軸であり、測定値がグラフ上に離散的にプロットされている。なお、図2においては、プロットのピッチが時間軸方向に一定ピッチで描画されているが、被検査物が一定時間毎に測定されるとは限らない。
【0018】
画像処理装置10は、図3に示すように、データ解析エンジン16によりロンギングデータに所定の演算を施し、その結果をモニタ12に表示させる。図3は、ロギングデータを一定プロット数毎に平均化しその平均値を図2に示すグラフ上に重ね合わせたものであり、◎で表示されているプロットは測定値の一定回数分の平均値を表している。また点線は、平均値を求めている測定値群を明示するために設けた、説明上の補助線である。ここでは、演算の一例として平均値を求めているが、これは、毎回の測定のバラツキによる影響を軽減し、大局的な測定値の変動を求めるためであり、平均値を求めることにより被検査物の均一性がどのように推移しているのかを判断することができるようになる。
【0019】
グラフ上の一点鎖線31は、測定値が正常かどうかを判断するしきい値として例示した下限値を表している。このようにしきい値をモニタ12に表示することにより、大局的に異常発生に至っているかどうかを判断することができるようになる。
【0020】
また、例えば、平均値がしきい値(下限値)を下回ると異常と判断される場合、画像処理装置10は、データ解析エンジン16により、平均値がこのしきい値以上かどうかについて平均値を求める演算の都度評価する。そして、このしきい値を下回るときには、異常である旨を画像処理装置10のモニタや外部表示器、もしくは画像処理装置10を管理しているホストへ出力し、異常発生を検査者へ通知することで警告を行う。
【0021】
さらに、画像処理装置10は、各平均値を最小自乗近似法などに適用して求めた近似直線を演算し、今後の測定値の変化を予測する。
図3において、時間軸上の点xは現在位置であり、ここまでの測定値が求められていることを明示する。また、直線32は各平均値を最小自乗近似法に適用して求めた近似直線である。
【0022】
画像処理装置10は、この近似直線32としきい値(一点鎖線31)の交点を求め、異常発生時点yを予測する。図3に示すように、現在までの傾向がこの先続けば、時間軸上の点yの時点で近似直線32としきい値(一点鎖線31)が交わることが予測できる。すなわち、時間軸上の点yの時点で異常が発生すると予測することができる。
【0023】
画像処理装置10は、予測される異常発生時点yまでの現在からの時間が一定値より小さいか否か判断し、小さいと判断したとき、すなわち、近々異常発生が予測されると判断したときには、異常発生が予測される旨を画像処理装置10のモニタや外部表示器、もしくは画像処理装置10を管理しているホストへ出力し、予測される異常発生時点を検査者へ通知することで警告を行う。
【0024】
また、図4は、平均値に代えて、一定プロット数毎に標準偏差値を求め、その標準偏差値を図2に示すグラフ上に重ね合わせたものであり、◎で表示されているプロットは測定値の一定回数分の標準偏差値を表している。また点線は、標準偏差値を求めている測定値群を明示するために設けた、説明上の補助線である。ここでは、演算の一例として標準偏差値を求めているが、これは、大局的な測定値のばらつきの変動を求めるためであり、標準偏差値を求めることにより被検査物の均一性がどのように推移しているのかを判断することができるようになる。
【0025】
グラフ上の一点鎖線41は、標準偏差値が正常かどうかを判断するしきい値として例示した上限値を表している。このようにしきい値をモニタ12に表示することにより、大局的に異常発生に至っているかどうかを判断することができるようになる。
【0026】
また、例えば、標準偏差値がしきい値(上限値)を上回ると異常と判断される場合、画像処理装置10は、データ解析エンジン16により、標準偏差値がこのしきい値以上かどうかについて標準偏差値を求める演算の都度評価する。そして、このしきい値を上回るときには、異常である旨を画像処理装置10のモニタや外部表示器、もしくは画像処理装置10を管理しているホストへ出力し、異常発生を検査者へ通知することで警告を行う。
【0027】
さらに、画像処理装置10は、各標準偏差値を最小自乗近似法などに適用して求めた近似直線を演算し、今後の標準偏差値の変化を予測する。
図4において、時間軸上の点xは現在位置であり、ここまでの測定値が求められていることを明示する。また、直線42は各標準偏差値を最小自乗近似法に適用して求めた近似直線である。
【0028】
画像処理装置10は、この近似直線42としきい値(一点鎖線41)の交点を求め、異常発生時点yを予測する。図4に示すように、現在までの傾向がこの先続けば、近似直線42としきい値(一点鎖線41)が交わることが予測できる。すなわち、時間軸上の点yの時点(図示せず)で異常が発生すると予測することができる。
【0029】
画像処理装置10は、予測される異常発生時点yまでの現在からの時間が一定値より小さいか否か判断し、小さいと判断したとき、すなわち、近々異常発生が予測されると判断したときには、異常発生が予測される旨を画像処理装置10のモニタや外部表示器、もしくは画像処理装置10を管理しているホストへ出力し、予測される異常発生時点を検査者へ通知することで警告を行う。
【0030】
なお、本実施の形態では、異常発生の検出や予測を行うのに、平均値や標準偏差値、またはこれらの予測値としきい値とを比較したが、これに限るものではない。例えば、近似直線の傾きを求め、この傾きがあらかじめ設定されたしきい値を越えると、異常と判断するようにしてもよい。また、平均値と標準偏差値それぞれの各しきい値との比較結果を組み合わせてなる条件をあらかじめ設定しておき、実際に求めた比較結果とこの条件とを比較し、条件を外れると異常と判断するようにしてもよい。
【0031】
以上のような構成および処理によって、測定値の変化傾向や一定時間経過後の予測値を把握して生産工法の改善や異常発生の防止などを行えるようになる。このように生産工法の早期確立と安定化に供することができ、また生産性の向上にも大きく寄与することができるので、利用価値の高いものとなる。
【0032】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、測定値の変化傾向や一定時間経過後の予測値を把握できるようになるので、生産工法の改善や異常発生の防止など、生産工法の早期確立と安定化に供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による画像処理装置の基本構成を示す図
【図2】本発明の実施の形態におけるロギングデータの一例を示すグラフ図
【図3】本発明の実施の形態における平均値を利用した測定値の傾向解析と予測を説明するための図
【図4】本発明の実施の形態における標準偏差値を利用した測定値の傾向解析と予測を説明するための図
【符号の説明】
11 画像処理装置本体
12 モニタ
13 撮像装置
14 入力装置
15 ロギングデータベース
16 データ解析エンジン
17 結果表示機能
31、41 しきい値
32 各平均値の近似直線
42 各標準偏差値の近似直線
Claims (8)
- 被検査物を撮像し前記被検査物を画像処理することで測定値を求め、被検査物ごとに求めた測定値を時系列に記録していき、これら時系列に記録した測定値に対して一定数ごとに順次平均値あるいは標準偏差値の少なくとも一方を求める演算処理を施した後、この演算結果を出力して教示することを特徴とする画像処理方法。
- 請求項1記載の画像処理方法であって、上記演算結果をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする画像処理方法。
- 請求項1もしくは2のいずれかに記載の画像処理方法であって、上記演算結果に、現在から一定時間後の測定値を予測する演算処理を施すことを特徴とする画像処理方法。
- 請求項3記載の画像処理方法であって、予測した値をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする画像処理方法。
- 被検査物を撮像し得られたデータを処理することで検査を行う画像処理装置であって、前記被検査物を撮像し画像処理して求めた測定値を時系列に並べたロンギングデータを保存するロンギングデータベースと、前記ロンギングデータに所定の演算を施してその変化傾向を得るデータ解析エンジンとを有し、この演算結果を出力して教示することを特徴とする画像処理装置。
- 請求項5記載の画像処理装置であって、上記演算結果をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする画像処理装置。
- 請求項5もしくは6のいずれかに記載の画像処理装置であって、前記データ解析エンジンが、上記演算結果に、現在から一定時間後の測定値を予測する演算処理を施すことを特徴とする画像処理装置。
- 請求項7記載の画像処理装置であって、予測した値をあらかじめ設定した値や条件と比較し、これを外れると警告を行うことを特徴とする画像処理装置。
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JP (1) | JP2004054446A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016186779A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 東レ株式会社 | 工程診断装置、工程診断方法および工程診断プログラム |
JP2017020850A (ja) * | 2015-07-09 | 2017-01-26 | 倉敷紡績株式会社 | フィルム回路基板の製造監視装置 |
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2002
- 2002-07-18 JP JP2002208973A patent/JP2004054446A/ja active Pending
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JP2016186779A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 東レ株式会社 | 工程診断装置、工程診断方法および工程診断プログラム |
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