JP6599471B2 - スマートパッケージ - Google Patents

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関連出願の相互参照
本出願は、２０１５年２月１５日にＪｏｓｅｐｈ Ｄ． Ｓｗｅｅｎｅｙらの名義で「ＳＭＡＲＴ ＰＡＣＫＡＧＥ」として出願された米国仮特許出願第６２／１１５，５６９号の、米国特許法第１１９条に基づく優先権の利益を主張する。米国仮特許出願第６２／１１５，５６９号の開示は、あらゆる目的のためにその全体が参照によって本明細書に組み込まれる。

本開示は、流体、例えば半導体製品、フラットパネルディスプレイ、およびソーラパネルの製造において利用される流体を、貯蔵および分注するための流体供給パッケージに、ならびに、そのようなパッケージを備える処理ツール組立体に関し、この流体供給パッケージは、「スマート」パッケージとして情報的に拡張されている。

半導体製品、フラットパネルディスプレイ、およびソーラパネルを製造する上述の用途におけるものなどの流体供給パッケージの使用において、そのようなパッケージの設置および動作を高いレベルの効率で管理するのが望ましい。受け手のツールに流体を提供するための流体利用施設内に流体供給パッケージを設置するための余分な時間要件はどのようなものであれ、新しい流体を導入するために流体供給パッケージを交換するときに処理ツール設定の必要な調節が行えないこと、または所望の処理動作に対して誤った種類の流体パッケージを設置することなどの、そのようなパッケージと関連付けられた流体管理問題に伴うような、深刻な経済的不利益を伴う。

このため、当該技術は、流体供給パッケージにおいておよびこれを用いて利用される処理において、そのような流体供給パッケージの設置および動作の問題を回避するための改善を絶えず模索している。

本開示は、流体貯蔵および送達するための流体供給パッケージに、およびそのようなパッケージを備える処理ツール組立体に関し、この流体供給パッケージは、情報的に拡張されている。

一態様では、本開示は、流体貯蔵兼分注容器と、この容器に結合され分注条件下でこの容器からの流体の放出を可能にするように構成された流体分注組立体と、を備える流体供給パッケージに関し、この流体供給パッケージはその表面に、パッケージの情報拡張のための情報拡張デバイス、例えばクイックリード（ＱＲ）コードおよび／または無線周波数識別（ＲＦＩＤ）タグを備える。

別の態様では、本開示は、本明細書において様々に記載するような、本開示の流体供給パッケージを備える流体供給キット、および、情報拡張デバイスを読み取るように構成された機械リーダーに関する。

さらなる態様では、本開示は、本明細書において様々に記載するような、本開示の少なくとも１つの流体供給パッケージと、分注条件下で少なくとも１つの流体供給パッケージから流体を受けるように構成された流体利用処理ツールと、を備える処理システムに関する。

本開示のさらなる態様は、処理システムにおいて処理ツールがこのツールを動作させるために流体源から流体を受ける動作を向上させる方法に関し、前記方法は、少なくとも１つの本明細書において様々に記載するような流体供給パッケージから流体を供給することによって処理システムを情報的に拡張することを含む。

本開示の他の態様、特徴、および実施形態は、続く説明および付属の特許請求の範囲から、より完全に明らかになるであろう。

本開示の一実施形態による、情報的に拡張された流体供給パッケージおよび情報的に拡張されたイオン注入機処理ツールを利用するイオン注入システムを、概略的に表現したものである。 本開示の別の実施形態による、気体を送達するように構成された情報的に拡張された流体供給パッケージを含む処理システムである。

本開示は、処理ツール組立体において対応する情報的に拡張された動作を実現するために利用できる、情報的に拡張された流体供給パッケージに関する。

そのような流体供給パッケージは、後で分注できるように流体が貯蔵される流体貯蔵容器、および、この容器に結合され分注条件下でのこの容器からの流体の放出を可能とするように構成された流体分注組立体を備える。

特定の実施形態では、流体供給パッケージは、容器の内部容積内に、貯蔵条件下で流体を貯蔵された状態に維持するように、および分注条件下で流体を解放して容器から放出するように適合されるような、貯蔵媒体を備えてよい。貯蔵媒体任意の好適な種類のものであってよく、例えば固相物理吸着剤、例えば、炭素吸着剤、ゼオライト、モレキュラーシーブ吸着剤、有機金属構造体（ＭＯＦ）、エアロゲル、アルミナ、シリカ、アルミノケイ酸塩、多孔質金属酸化物、または表面に流体を可逆的に吸着可能な他の多孔質固体吸着剤含んでよく、吸着剤からの流体の解放は、熱、真空、もしくは他の圧力差の適用、濃度勾配が媒介する流体の脱着および脱着された流体のキャリア流体への取り込みを達成するための、容器の内部容積を通るキャリア流体の流れによる濃度勾配の付加、またはそのような流体解放様式のうちの２つ以上の組み合わせ、あるいは流体が表面に貯蔵されている吸着剤からの、その流体の脱係合をもたらすための他の技法によって、もたらされる。

別法として、貯蔵媒体は、中に流体が可逆的に溶解されるかまたはそれ以外の方法で液体貯蔵媒体中に維持される液体、例えばイオン性液体貯蔵媒体を含んでよく、この中では、流体がイオン性液体と可逆的に反応して反応生成物として貯蔵され、分注条件下では、流体を解放してオン性液体を保持している容器から放出するための逆の反応が行われる。

中で流体貯蔵媒体として炭素吸着剤が採用される、前述の種類の吸着剤ベースの流体供給パッケージは、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ（米国マサチューセッツ州Ｂｉｌｌｅｒｉｃａ）からＳＤＳの商標で市販されている。

他の実施形態における流体供給パッケージは、容器の内部容積内に配設された１つまたは複数の圧力規制装置を収容する容器を利用する場合があり、この場合規制装置は、流体供給パッケージの容器内の単一のまたは下流の最後の規制装置の圧力設定点を下回る、流体供給パッケージに接続された分注流れ回路内の圧力に応じて、規制装置デバイスの設定点において流体の分注をもたらすのに適切な設定点構成で配置構成される。

そのような種類の圧力によって規制される流体供給パッケージは、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ（米国マサチューセッツ州Ｂｉｌｌｅｒｉｃａ）からＶＡＣの商標で市販されている。

本開示の幅広い実施において採用され得る他の流体供給パッケージとしては、流体供給容器が、流体供給容器の内部容積内に、規制装置の上流に配置された毛管作用型の流れ制限デバイス、真空作動式逆止弁、または他の流れ規制デバイスを収容する、流体供給パッケージが挙げられる。

より一般的には、本開示の流体供給パッケージは、貯蔵条件および移送条件中に流体を収容するのに、ならびに分注条件下で流体供給パッケージから流体を放出するのに有効な、任意の好適な構成のものであってよい。分注条件は、流体分注組立体を作動させて分注をもたらすことによって、例えば、パッケージの流体分注組立体の弁ヘッド内の弁を開くことによって、可能とされてよい。

本明細書で使用される場合、および付属の特許請求の範囲において、単数形の「１つの（ａ）」、「１つの（ａｎ）」および「その（ｔｈｅ）」は、そうではないと文脈によって明確に規定されない限りは、複数の言及対称を含む。

本明細書で使用される場合、「流体」という用語は、そのような用語の範囲内で、気体、蒸気、液体、ならびに前述のものの組み合わせおよび混合物を含むように、広く解釈されることを意図している。

本明細書において開示される流体供給パッケージ、処理システム、および処理ツール組立体は、本明細書において例示的に記載される特定の部品、構成要素、および構造のうちの任意のものを備えることができるか、これらから成ることができるか、またはこれらから本質的に成ることができる。本開示は、例えば、本開示の有効な実施形態を定義する際に、特定的に記載された部品、構成要素、および構造のうちの１つまたは複数を特定的に省略することができるような、制限的に定義された流体供給パッケージ、処理システム、および処理ツール組立体を、さらに企図する。

一態様では、本開示は、流体貯蔵兼分注容器と、この容器に結合され分注条件下でこの容器からの流体の放出を可能にするように構成された流体分注組立体と、を備える流体供給パッケージに関し、この流体供給パッケージはその表面に、パッケージの情報拡張のための情報拡張デバイス、例えばクイックリード（ＱＲ）コードおよび無線周波数識別（ＲＦＩＤ）タグの少なくとも一方を備える。

そのような目的にとって有用なＲＦＩＤタグは、任意の好適な種類のものであってよく、例えば、アクティブリーダーパッシブタグ（ＡＲＰＴ）、パッシブリーダーアクティブタグ（ＰＲＡＴ）、またはアクティブリーダーアクティブタグ（ＡＲＡＴ）のうちのいずれか１つであってよい。

したがって、例示として、様々な実施形態における流体供給パッケージは、その表面にクイックリード（ＱＲ）コードを、またはその表面にＲＦＩＤタグを、またはその表面にクイックリード（ＱＲ）コードおよびＲＦＩＤタグの両方を備えてよい。

より一般的には、流体供給パッケージは、任意の他の１つのまた複数の情報拡張デバイスを備えてよい。本明細書で使用される場合、「情報拡張デバイス」という用語は、流体供給パッケージおよび／またはその使用に関連する情報ｉを直接的におよび／または間接的に提供するのに有効なハードウェアおよび／またはソフトウェアを含むデバイスを意味し、この場合情報には、機械によってまたは機械の助けを得てアクセス可能である。情報拡張デバイスは例えば、上述のクイックリード（ＱＲ）コード、ＲＦＩＤタグ、トランスポンダーデバイス、符号化デバイス、近接型カード、近接型バッジ、ワイヤレス通信デバイス、およびそのようなデバイスのうちの任意の２つ以上の組み合わせを含んでよい。情報拡張デバイスは、デバイスの構成要素、サブアセンブリ、集積回路、または貯蔵媒体に保存された情報を含んでよく、そのような情報は、セキュリティまたは他の目的のために符号化または暗号化されてよい。

流体供給パッケージ内の容器は、貯蔵条件下で流体を貯蔵された状態に維持するように、および分注条件下で流体を解放して容器から放出するように適合される貯蔵媒体、例えば、炭素吸着剤などの物理吸着材料を収容してよい。他の実施形態における貯蔵媒体は、イオン性液体などの液体を含んでよい。

他の実施形態における流体供給パッケージはその中に、圧力規制装置の設定点によって決定された圧力で、容器から流体分注組立体に流体を分注するように構成された、少なくとも１つの内設された圧力規制装置を収容してよい。したがって容器はその中に、１つの内設された圧力規制装置を収容してよく、または別法として、容器は、複数の連続して配置構成された圧力規制装置を収容してよい。

流体供給パッケージは、任意の好適な流体を保持するように構築および配置構成されてよい。流体供給パッケージは例えば、半導体製品、フラットパネルディスプレイ、ソーラパネル、ＬＥＤ、ＬＥＤディスプレイ、ならびにそのような製品の構成要素、サブアセンブリ、および一部のうちの、少なくとも１つの製造に有用である流体を保持してよい。

様々な実施形態における流体供給パッケージは、ウェブサイトへのアクセス、ウェブページの表示、ｅメールの送信、あるいは流体供給パッケージ、その中にパッケージングされた流体、または流体供給パッケージもしくは流体の使用に関連する情報を提供する他の電気通信動作を開始するために、機械リーダー、例えばＱＲコードリーダーによって読み取り可能な情報拡張デバイス、例えばクイックリード（ＱＲ）コードを有して構成されてよい。

他の実施形態では、流体供給パッケージは、流体供給パッケージ、その中にパッケージングされた流体、または流体供給パッケージもしくは流体の使用に関連する情報を収容するＲＦＩＤタグを有して構成されてよい。ＲＦＩＤタグは、読み取り／書き込み特性のあるものであってよく、情報貯蔵能力ならびに情報送信能力を有してよい。

例えば、ＲＦＩＤタグは、流体供給パッケージ内の流体の温度を示す出力を提供するのに有効な、熱抵抗性のＲＦＩＤデバイスであってよい。流体が望ましくは大気圧未満で貯蔵される事例では、熱抵抗性のＲＦＩＤデバイスからの流体温度読み取り値を利用して、パッケージの容器内の流体が所望の大気圧未満の圧力条件にあるかどうか、または容器の温度条件（熱的曝露）が大気圧未満の圧力レベルを超える圧力の上昇を引き起こしているかどうかを判定できる。

したがって、パッケージの流体貯蔵兼分注容器が、容器内で大気圧未満の圧力を達成するために望ましくは表面に流体が吸着された物理吸着剤を収容している場合、所望のベースライン条件からの温度の逸脱の結果、吸着剤の加熱および吸着剤からの流体の脱着が生じ、このことにより、流体貯蔵の所望の大気圧未満のまたは他の標的となる圧力レベルを超えて容器内の圧力が引き上げられる場合がある。結果としてこれは、流体供給パッケージが設置され流体分注組立体内の弁が開いており、望まれている大気圧未満の圧力の流体の分注ではなく高圧の気体の突然の流出が生じる場合、不利であり得る。

他の例として、流体供給パッケージは、流体貯蔵兼分注容器を封入するオーバーパックを有して、または容器ならびに関連付けられた流体分注組立体を封入するオーバーパックを有して成ることができ、この場合、オーバーパック配置構成は、パッケージの容器内の流体に断熱された環境を提供する役割を果たすことになる。そのような目的のために、オーバーパックは、オーバーパックハウジングまたは収容構造内に、冷却剤媒体および／または断熱材を備えてよい。そのような事例では、熱抵抗性のＲＦＩＤデバイスから温度読み取り値を取得する能力を利用して、オーバーパックを容器および分注組立体から取り外すべきかどうか、または、容器内の流体の所望の温度を達成するためにパッケージに冷蔵または他の温度調節工程を受けさせるべきかどうかを判定できる。

上で様々に記載したような流体供給パッケージは、生成するのに情報拡張デバイスからの情報が必要なロック解除信号によってロック解除されない限りは、流体貯蔵兼分注容器からの流体分注を行わないように構成された、インターロック構造をさらに備えてよい。例えば、インターロック構造は、生成するのにクイックリード（ＱＲ）コードおよび／またはＲＦＩＤタグなどの情報拡張デバイスからの情報が必要なロック解除信号によって、ロック解除可能であってよく、この場合、流体供給パッケージは、そのような情報拡張デバイスを含むように構成される。そのような手法では、情報拡張デバイスからの情報を使用したロック解除信号の生成は、流体供給パッケージからの流体に関与する所望の動作のための必須条件として採用されてよい。

別の態様では、本開示は、本明細書において様々に記載するような、本開示の流体供給パッケージを備える流体供給キット、および、情報拡張デバイスからの情報を読み取るように構成された機械リーダーに関する。流体供給キットは、流体供給パッケージの情報拡張デバイス、例えばクイックリード（ＱＲ）コードおよびＲＦＩＤタグのうちの少なくとも一方を読み取るように構成された、スマートフォン、タブレット、またはスマートウォッチを備える機械リーダーを有して構成されてよく、この場合、流体供給パッケージは、そのような情報拡張デバイスを有して構成される。

別の態様では、本開示は、本明細書において様々に記載するような、本開示の少なくとも１つの流体供給パッケージと、分注条件下で少なくとも１つの流体供給パッケージから流体を受けるように構成された流体利用処理ツールと、を備える処理システムに関する。

そのような処理システムは、処理ツールの動作を可能にするための流体供給パッケージ上のクイックリード（ＱＲ）コードおよびＲＦＩＤタグのうちの少なくとも一方などの流体供給パッケージの情報拡張デバイスと通信可能に相互作用する少なくとも１つの通信用デバイスを含む処理ツールを有して成ることができる。例えば、処理システムは、流体供給パッケージ上の情報拡張デバイスとの処理ツール通信用デバイスの通信相互作用が所定の動作通信プロトコルを満足するまで、処理ツールが動作可能とならないように成っていてよい。

所定の動作通信プロトコルは、例えば、流体供給パッケージ上の情報拡張デバイス、例えばＲＦＩＤタグに収容されている流体供給パッケージ情報からの流体供給パッケージの身元の検証を含んでよい。流体供給パッケージ情報は、流体供給パッケージ内に収容される流体の身元、処理ツール動作設定、流体供給パッケージ内の流体に関する処理プロトコル、流体を処理ツールに供給するための処理システムの流体供給パッケージの設置に関連する情報、または任意の他の好適な情報を含んでよい。

そのような処理システム内の処理ツールは任意の好適な種類のものであってよく、例えば、イオン注入処理ツール、化学気相成長処理ツール、エッチングツール、または他の好適なツールを備えてよい。

処理システムは、半導体製品、フラットパネルディスプレイ、ソーラパネル、ＬＥＤ、ＬＥＤディスプレイ、ならびにそのような製品の構成要素、サブアセンブリ、および一部のうちの、少なくとも１つの製造に適合されたツールを備える処理ツールを有して成ることができる。

処理システムは様々な実施形態において、複数の流体供給パッケージを備えてよい。いくつかの実施形態では、処理システムは、少なくとも１つの流体供給パッケージを備えてよく、この場合、流体供給パッケージは、大気圧未満で流体が表面に吸着される物理吸着剤を収容する容器を備え、またこの場合、流体供給パッケージは換気ガスを用いて換気されるガスボックス内に収容されており、処理ツールは、情報拡張デバイスと通信可能に相互作用する少なくとも１つの通信用デバイス、例えば、流体供給パッケージ上のクイックリード（ＱＲ）コードおよびＲＦＩＤタグのうちの少なくとも一方を含み、流体供給パッケージ上の情報拡張デバイスは、流体供給パッケージ容器内の大気圧未満の圧力を示す情報を含み、少なくとも１つの通信用デバイスは、大気圧未満の圧力の情報を受信するように、および、流体供給パッケージ内の流体の大気圧未満の圧力に応じてガスボックスを通る換気ガスの流量を制御可能に調節するための制御信号を出力するように、構成されている。

本開示のさらなる態様は、処理システムにおいて処理ツールがこのツールを動作させるために流体源から流体を受ける動作を向上させる方法に関し、この方法は、少なくとも１つの本明細書において様々に記載するような流体供給パッケージから流体を供給することによって処理システムを情報的に拡張することを含む。

そのような方法では、処理ツールは、処理ツールの動作を可能とするための流体供給パッケージ上の情報拡張デバイス、例えばクイックリード（ＱＲ）コードおよびＲＦＩＤタグのうちの少なくとも一方と、通信可能に相互作用する少なくとも１つの通信用デバイスを含んでよい。そのような方法論が実行される処理システムは、流体供給パッケージ上の情報拡張デバイスとの処理ツール通信用デバイスの通信相互作用が所定の動作通信プロトコルを満足するまで、処理ツールが動作可能とならないように構成されてよい。そのような方法論における動作通信プロトコルは、流体供給パッケージ上のＲＦＩＤタグに収容されている流体供給パッケージ情報からの流体供給パッケージの身元の検証を含んでよい。流体供給パッケージ情報は、流体供給パッケージ内に収容される流体の身元、処理ツール動作設定、流体供給パッケージ内の流体に関する処理プロトコル、流体を処理ツールに供給するための処理システムにおける流体供給パッケージの設置に関連する情報、または任意の他の適切な情報を含んでよい。

そのような方法論において利用される処理ツールは、同様に任意の好適な種類のものであってよく、例えば様々な実施形態において、イオン注入処理ツール、化学気相成長処理ツール、エッチングツール、または任意の他の好適なツールを備えてよい。処理ツールは他の実施形態では、半導体製品、フラットパネルディスプレイ、ソーラパネル、ＬＥＤ、ＬＥＤディスプレイ、ならびにそのような製品の構成要素、サブアセンブリ、および一部のうちの、少なくとも１つの製造に適合されたツールを備えてよい。

前述の方法は、流体または異なる流体の組み合わせを提供するために複数の流体供給パッケージを利用して実行されてよい。

ここまで検討したことに従って、少なくとも１つの流体供給パッケージが、表面に大気圧未満で流体が吸着される物理吸着剤を収容する容器を備え、少なくとも１つのそのような流体供給パッケージが換気ガスを用いて換気されるガスボックス内に収容され、処理ツールが、流体供給パッケージ上の情報拡張デバイス、例えばクイックリード（ＱＲ）コードおよびＲＦＩＤタグのうちの少なくとも一方と、通信可能に相互作用する少なくとも１つの通信用デバイスを含み、流体供給パッケージ上の情報拡張デバイスが、流体供給パッケージ容器内の大気圧未満の圧力を示す情報を含み、少なくとも１つの通信用デバイスが、大気圧未満の圧力の情報を受信するように、および流体供給パッケージ内の流体の大気圧未満の圧力に応じてガスボックスを通る換気ガスの流量を制御可能に調節するための制御信号を出力するように構成されている、方法を実行できる。このようにして、流体供給パッケージ内の大気圧未満の圧力の流体、および、そのような大気圧未満の圧力の流体の流体供給パッケージを使用することの、従来の高圧ガスシリンダーの使用と比べた場合の向上した安全性を活用するために、ガスボックスを通る換気率が実質的に低減されてよい。

ここで図面を参照すると、図１は、本開示の一実施形態による、情報的に拡張された流体供給パッケージおよび情報的に拡張されたイオン注入機１２を利用するイオン注入システム１０を、概略的に表現したものである。

そのような流体供給パッケージおよびイオン注入処理ツールを含むイオン注入処理システムは、基板のドーピングのために適合されており、イオン注入機１２は、注入機に気体を送達するための気体供給パッケージ１４、１６および１８に対して受け手となる関係で配置構成されている。

気体供給パッケージは、ドーパント源ガスを収容する容器２０を含む、ドーパントガス供給パッケージ１４を含む。気体供給パッケージ１４は、ドーパント源ガス送給ライン４４に接合された放出ポート２４を有する弁ヘッド組立体２２を含む。弁ヘッド組立体２２は、弁ヘッド組立体内の弁を手動で調節して、これをドーパントガスの分注および貯蔵にそれぞれ対応する完全に開いた位置と完全に閉じた位置との間で並進移動させるための、ハンドホイール３８を装備されている。

ドーパントガス供給パッケージ１４は、容器２０上に配設された、クイックリード（ＱＲ）コード８６およびＲＦＩＤタグ９２も含む。他の実施形態では、容器は、そのような情報拡張デバイスのうちの１つ、すなわちＱＲコードおよびＲＦＩＤタグの一方を含んでよい。さらに他の実施形態では、容器は、操作者または他の個人がアクセスするために、または、流体供給パッケージの使用を容易にする目的で協働する情報利用デバイス、プロセッサ、もしくは組立体がアクセスおよび利用するために、流体供給パッケージおよび／またはその使用に関連する情報を直接的にまたは間接的に提供するように適合された、１つまたは複数の他の情報拡張デバイスを含んでよい。弁ヘッド組立体２２は、弁ヘッドインターロック９８を含む。

気体供給パッケージ１６および１８内にも気体が収容され、これらの各々は、気体供給パッケージ１４と同様に構築されてよい。気体供給パッケージ１６は、ハンドホイール４０が結合された弁ヘッド組立体２８を装備された、容器２６を備える。弁ヘッド組立体２８は、並行流気体送給ライン５２が接合される、放出ポート３０を含む。気体供給パッケージ１６は、容器２６上に配設された、クイックリード（ＱＲ）コード８８およびＲＦＩＤタグ９４も含む。上述したように、他の実施形態では、そのような情報拡張デバイスのいずれかを個別に使用してよいか、または別法として、追加のもしくは他の情報拡張デバイスもしくはデバイスの組み合わせを採用してよい。弁ヘッド組立体２８は、弁ヘッドインターロック１００も含む。

気体供給パッケージ１８は、弁ヘッド組立体３４内での弁の並進移動用のハンドホイール４２が結合された弁ヘッド組立体３４を装備された、容器３２を含む。弁ヘッド組立体３４は、ガス放出ライン６０に接合された放出ポート３６を含む。弁ヘッド組立体３４は、弁ヘッドインターロック１０２を含む。容器３２の外部表面上に、クイックリード（ＱＲ）コード９０およびＲＦＩＤタグ９６が設けられる。他の実施形態では、そのようなＱＲコードおよびＲＦＩＤタグのいずれかを単独で利用してよい。さらに他の実装形態では、他の情報拡張デバイスまたはデバイスの組み合わせを採用してよい。

示されている配置構成では、１つまたは複数のドーパント源ガスが供給されてよく、または、ドーパント源ガスおよび非ドーパントガスが、任意の所望の組み合わせで供給されてよい。例えば、図示した配置構成により、３つのドーパント源ガス、または別法として１つのドーパント源ガスおよび２つの並行流ガス、または別法として２つのドーパント源ガスおよび１つの並行流ガスを、混合チャンバ６８への並行流として選択的に分注することが可能になる。気体供給パッケージ１４によって単一のドーパント源ガスが供給されるとき、流体供給パッケージ１６および１８によって供給される気体は、希釈剤、共通の種類の気体、洗浄ガス、安定化ガス、または所望のイオン注入動作を実行するのにドーパント源ガスと有利に組み合わされる任意の他の好適な気体を含んでよい。そのような追加の気体は、ドーパント源ガスと同時に流体利用ツールへと流される並行流ガスであってよいか、または、個別に利用される気体、例えば、下流の流れ回路および流体利用ツールを洗浄するために定期的に使用される洗浄ガスであってよい。

それぞれの供給源からの流れを制御する目的で、それぞれの気体送給ライン４４、５２および６０の中には、流れ制御弁４６、５４および６２がそれぞれ設けられている。

流れ制御弁４６は、アクチュエータをＣＰＵ７８に接続する信号伝送線５０を有する自動式弁アクチュエータ４８を装備されてよく、この場合、ＣＰＵ７８は、信号伝送線５０で弁アクチュエータに制御信号を送信して、弁４６の位置を調整し、これに応じて容器２０から混合チャンバ６８への気体の流れを制御できる。

同様に、気体放出ライン５２は、弁アクチュエータ５６と結合された流れ制御弁５４を包含し、そして弁アクチュエータ５６は、信号伝送線５８によってＣＰＵ７８に結合される。これに対応するように、気体放出ライン６０における流れ制御弁６２は、信号伝送線６６によってＣＰＵ７８に結合された弁アクチュエータ６４が装備されている。

この配置構成によって、ＣＰＵは、対応する容器２０、２６および３２からのそれぞれの気体の流れを動作可能に制御できる。

そのような流れ制御配置構成の代替として、システムは、様々な気体供給パッケージと関連付けられた流れ回路のそれぞれのラインにおいて、質量流量制御装置を採用してよく、質量流量制御装置は、中央コンピュータもしくはプロセッサのグラフィックユーザーインターフェース（ＧＵＩ）から入力を受信するように配置構成されているか、または、質量流量制御装置は、処理レシピに基づいて設定もしくは調節されている。

複数の気体が混合チャンバ６８に同時に流される（並行して流される）事態が生じた場合、結果的な気体混合物は、送給ライン７０に放出されて、イオン注入機１２に通される。

これに対応するように、分注モードにおいて単一の気体供給パッケージ１４、１６または１８のみが動作される場合には、対応する単一の気体が、関連付けられた流れ制御弁によって調整された混合チャンバを通って流れ、送給ライン７０でイオン注入機へと通される。

送給ライン７０は、図１の実施形態では、送給ラインとおよびバイパス流ループ内に配設された気体分析装置７４と連通しているバイパスライン７２および７６から成るバイパス流ループと結合されたものとして示されている。この配置構成における気体分析装置７４は、送給ライン７０内の主要な流れから副流を受け、これに応じて気流の濃度、流量、等と相関する監視信号を生成し、分析装置７４をＣＰＵ７８と結合する信号伝送線で、監視信号を送信する。そのようにして、ＣＰＵ７８は、気体分析装置７４から監視信号を受信し、これを処理し、これに応じてそれぞれの弁アクチュエータ４８、５６および６４またはこれらのうちの選択された１つもしくは複数に適宜送られる出力制御信号を生成して、気体をイオン注入機に分注する所望の動作を行わせる。

図１に示すバイパス流ループおよび気体分析装置は、任意選択の構成要素である。任意の特定の気体供給パッケージからの送給速度を制御するために質量流量制御装置（ＭＦＣ）が採用される代替の配置構成では、気体分析装置がなくても混合比率を決定および調整可能であることが認識されるであろう。

イオン注入機１２は、排出ライン８０で排気処置ユニット８２に流される排気を生み出し、この排気処置ユニット８２は、スクラビング、触媒酸化、等などの好適な排気処置工程によってこの排気を処置して、処置ユニット８２から通気ライン８４に放出され、場合によっては放出されるかまたは別法としてさらなる処置もしくは他の処分へと通される、処置済みの排出気体を生成する。

別法として、処理システムは、他の実施形態では、排気ライン８０内の排気の流れの副流を受けこれに応じて気体分析装置１１２をＣＰＵ７８と結合する信号伝送線１１４において監視信号を生成する気体分析装置１１２が間に配設された、ライン１１０および１１４を有する任意選択のバイパスループを有して構成されてよく、この結果、ＣＰＵ７８は、気体組成を受信および監視し、それぞれの弁アクチュエータ４８、５６、および６４に対して出力制御信号を生成することができ、このことにより処理および気体使用効率を最適化する。

ＣＰＵ７８は任意の好適な種類のものであってよく、汎用プログラマブルコンピュータ、専用プログラマブルコンピュータ、プログラマブル論理制御装置、マイクロプロセッサ、または、上記したような監視信号の信号処理および１つもしくは複数の出力制御信号の生成に有効な他の演算ユニットを、様々に備えてよい。

ＣＰＵはしたがって、周期的な動作、例えば、供給源１４、１６および１８のうちの２つもしくは３つ全てからの気体の同時の流れ、またはそれぞれの気体の連続的な流れをもたらすように、プログラムによって構成されてよい。したがって、気体の並行流または連続的な気体の流れを含む、任意の流れモードに対応可能である。

したがって、イオン注入機における基板のドーピングが、ドーパントガスを単独でまたは他の気体種類と組み合わせて利用するための様々な手法のうちのいずれかで実行できることが認識されるであろう。図１に示すイオン注入システムの様々な実装形態において、または本開示に従って動作するように相応に構成されたイオン注入システムにおいて、ドーパントガスを、水素化物ガス、フッ化物ガス、希ガス、酸化物ガス、または他の気体と様々に組み合わせてよいことが諒解されるであろう。

イオン注入機１２内に配設される基板（図１には図示せず）は、任意の好適な種類のものであってよい。様々な具体的な実施形態において、基板は、微細電子基板、光電子基板、光学基板、超伝導基板、半導体性基板、光起電基板、または他の種類の基板を含んでよい。他の具体的な実施形態において、基板は、半導体基板、ソーラパネル基板、ＬＥＤ基板、およびフラットパネル基板の中から選択された基板を備え得る。

上で検討したように、図１に示す流体供給パッケージ１４、１６、および１８の各々は、容器の外側表面上にクイックリード（ＱＲ）コードおよび／もしくはＲＦＩＤタグを、または容器と関連付けられた他の情報拡張デバイスを有し得る、容器を含む。ＲＦＩＤタグは任意の好適な種類のものであってよく、例えば、パッケージおよび／またはその中の流体に関する情報を収容するメモリ要素を含む読み取り−書き込みＲＦＩＤタグを備えてよい。イオン注入機１２は、それぞれの流体供給パッケージ容器２０、２６、および３２のＲＦＩＤタグ９２、９４、および９６と通信するように構成される、関連付けられたＲＦＩＤタグ機械リーダーを含む。ＲＦＩＤタグ機械リーダー１０４は、プロセッサと、イオン注入機およびその動作に関する情報をリーダー１０４からそれぞれの容器上のＲＦＩＤタグに、ならびに／またはそのような容器と関連付けられた監視および／もしくは制御デバイスに送信できる、無線周波数送信機とを含むように、さらに構成されてよい。加えて、または別法として、機械リーダー１０４は、イオン注入システム内の流体供給パッケージおよび／またはイオン注入機処理ツールの動作の調整のために、情報をＣＰＵ７８に送信するように、または別法として情報をＣＰＵ７８から受信するように、配置構成されてよい。

図１のシステムでは、流体供給パッケージ１４、１６、および１８、ならびにこれらの関連付けられた弁要素および流れ回路は、ガスボックス１０６内に収容されている。ガスボックスは、これを通る換気ガス流れによって換気される。換気ガスは、換気ブロワ１２０によって換気ガス送給ライン１２２に導入されて、ガスボックス封入体の内部容積を通って流れ、換気ガス放出ライン１２４でガスボックスから放出される。

図１に示す処理システムは、例えばイオン注入処理レシピのライブラリ、イオン注入処理条件、イオン注入動作に関する参照基準、処理システムにおけるイオン注入の実行に関するプロトコル、イオン注入の各稼働の履歴記録、ならびに演算動作および通信動作のためにサーバ組立体８１１のサーバユニットがアクセス可能な他のデータを収容できるリレーショナルデータベース８１２に作動的に連結された複数のサーバユニットを備える、サーバ組立体８１１をさらに備えてよい。サーバ組立体８１１は、ガスボックス１０６およびイオン注入機１２を備えるイオン注入処理システムに対して、ローカルにまたは遠隔に位置付けられてよい。サーバ組立体のサーバは、イオン注入システムの操作者または技術者８１０のコンピュータ８２０およびスマートフォン８２２と信号通信関係となるように配置構成されてよい。別法として、データおよびレシピは、イオン注入機の一部であるコンピュータ上にローカルで保存されてよい。

図１に示す処理システム全体の通信構成要素は、単純で効率的で信頼性の高い手法でイオン注入システムの動作を促進するために、システム内の他の通信構成要素と双方向通信するように配置構成されてよい。

示される処理システム配置構成により、スマートフォンにＱＲコードリーダーのアプリケーションがロードされているとき、操作者または技術者のスマートフォン８２２によって、それぞれの流体供給容器上のクイックリード（ＱＲ）コードをスキャンすることができる。そのようにして、ＱＲコードを用いて、スマートフォン８２２上で、またはコンピュータ８２０、ＣＰＵ７８、もしくはサーバ組立体８１１などのシステムの他の通信構成要素上で、ウェブサイトを立ち上げることができ、あるいは、ＱＲコードを用いて、ｅメールを送信すること、または他の動作を開始することができる。したがって、ＱＲコードは、操作者または技術者への情報の供給のためのトリガとして機能することができる。そのような情報は、特定の容器内に収容されている流体に関する製品安全データシート、または容器をガスボックス１０６内に素早く効率的に配設できるようにする容器の設置説明書、またはそのようなＱＲコードを担持する容器から供給された流体を処理するためのイオン注入機１２のパラメータを設定するための、もしくはそれ以外で処理システムの通信構成要素と対話してイオン注入システムの動作およびその中の流体供給容器の利用を行わせるための説明書を含んでよい。ＱＲコードは、スマートフォンまたは他のプロセッサもしくはコンピュータ上のアプリケーション（アプリ）にリンクしてもよい。

具体的な例として、ＱＲコードにより、ＱＲコードを担持している容器によって供給される流体に関する製品専用ウェブサイトを立ち上げることができる。別の例として、操作者または技術者は、関連付けられた流れ回路への流体供給パッケージの接続部に適用すべき特定のトルクを知らない場合があり、スマートフォン、タブレット、スマートウォッチ、または他の通信用デバイスを用いてＱＲコードをスキャンし、そのような情報を包含するユーザーガイドを有するウェブサイトに案内される場合がある。さらなる例として、操作者または技術者は、それぞれのパッケージ容器からの特定の気体混合物を初めて利用している場合があり、流れ回路内の質量流量制御装置に適用すべき補正係数を知らない場合がある。そのような事例では、ＱＲコードをスキャンすることで、そのような情報を包含するウェブページを、操作者または技術者のスマートフォン、コンピュータ、または他のデバイス上で立ち上げることができる。別の動作のモードでは、ＱＲコードをスキャンすることで、スマートフォン８２２またはコンピュータ８２０から、流体の供給業者の取引先担当者へのｅメールの送信をトリガして、製品情報を要求することができる。流体供給パッケージ、その中に収容されている流体、関連付けられた流体分注動作、流体を利用する処理動作、および／または関連付けられた処理システム内の処理設備に関する設定、較正、相関、等に関係する情報にアクセスするためにＱＲコードを利用できることが、諒解されるであろう。操作者または技術者に送信される結果的な情報は、任意の好適な種類のものであってよく、データシート、アプリケーションノート、ユーザーガイド、推奨処理レシピ、等を含んでよい。

したがって、図１のシステムにおける流体供給パッケージ１４、１６、および１８は、それぞれの容器上にＲＦＩＤタグを含んでよく、示されるように、そのようなタグは、読み取り／書き込み特性のあるものであってよい。そのようなタグは、イオン注入機１２上のタグ機械リーダー１０４と相互作用してよく、この結果タグ機械リーダーは、気体供給流れ回路の各気体スティック内にどの流体供給パッケージが設置されるかを認識し、これに対応してイオン注入システムの性能を最適化する。

例えば、タグ機械リーダー１０４は、それぞれの流体供給パッケージのタグ９２、９４、および９６を読み取り、このことによりそのような容器が全て、それぞれの容器内に大気圧未満で流体を保持する固相物理吸着剤を収容した種類のものであることを確認してよい。そのような大気圧未満の圧力の流体供給パッケージの存在の確認と関連し、機械リーダー１０４はこれに応答して出力制御信号を送信して、例えば、換気ガスをガスボックスに送給するブロワ１２０の出力を下げる、ならびに／または換気ガス送給ライン１２２および換気ガス放出ライン１２４のそれぞれの中の流れ制御弁（図示せず）を部分的に閉じる制御信号によって、ガスボックス１０６を通して流される換気ガスの体積流量を低減してよく、このことにより、そのような低圧の流体供給パッケージの使用の結果得られるエネルギー節減を活用できる。これは、１０００〜２０００ｐｓｉ（６．９ＭＰａ〜１３．８ＭＰａ）の圧力の流体を収容する高圧ガスシリンダーが採用されるときに安全性を保証するために必要となる、高いスループットの換気ガス流量を必要としない。

別の例として、タグ機械リーダー１０４は、それぞれの流体供給パッケージのタグ９２、９４、９６を読み取り、これに対応して、ガスボックス内の流体供給パッケージから供給されている気体の種類に基づいて、ガスボックス１０６内に装着された有毒ガスモニター（図示せず）のアラーム境界値を設定してよい。

別のさらなる例として、容器上のＲＦＩＤタグ内に収容された情報は、タグ機械リーダー１０４によって監視されてよく、またこれにはシリンダー内の流体の量を含めてよく、そのような流体手持ち量の読み取りを次いで、監視および制御システムと相関した信号を生成するために、流量に基づいて流体使用料を追跡するために、および特定の流体供給パッケージに関する作動中の分注動作の終了点を予測するために、使用できる。このことは、流体供給パッケージが適当な時間に流れを止められること、および流体供給パッケージ内の流体の総手持ち量が利用されることを、操作者または技術者が保証するのを助けるであろう。

本開示による流体供給パッケージの容器のタグ付けは、流体供給パッケージの追跡が容易になるというさらなる利益を有し、これは、数千の工業用気体パッケージが在庫にあり、任意の所与の時間に流体利用施設の複数の場所を移動するので、大きな利点である。こうして、多くの異なる流体のパッケージの在庫全体中の特定の種類の流体を追跡するために、ＲＦＩＤタグ付けおよびＱＲコード化を用いることができる。さらに、そのようなタグ付けおよびコード化により、特定の流体供給パッケージ内の気体の圧力を遠隔で監視するのを、および特定のパッケージ内の流体の身元を確認するのを、助けることができる。

特定の実施形態では、タグ付けは、流体供給パッケージの容器に取り付け可能な低コストのセンサパッチを含んでよい。これらのパッチは、ＩＳＯ１４４４３ａ、ｂ、もしくはｃ通信プロトコル、または所与の用途において必要なもしくは望ましい他のプロトコルを利用するＲＦＩＤチップを収容してよい。１４４４３規格は、チップおよび周辺のセンサチップを動作させるためのチップへの電力伝送を組み込んでいる。データおよび電力の両方を包含する入来するＡＣ信号は整流され、また、チップ上のまたはパッケージ内のコンデンサに電荷が貯蔵される。バッテリ要件を回避するために、および非常にコスト効果の高いシステムを実現するために、遠隔の電力を使用する動作が好ましい。ＲＦＩＤタグは、パッケージの貯蔵履歴、パッケージの輸送履歴、等についてのデータを保存するための不揮発性メモリを包含してよい。容器内の流体の圧力を検知するためにセンサパッチを採用でき、その容器の表面における音響測定とともに、例えば、導波路セル内での音響測定用のＨ２Ｍモニター（Ｅｎｔｅｇｒｉｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、米国マサチューセッツ州Ｂｉｌｌｅｒｉｃａ）を利用することによって、そのような圧力を採用して、パッケージ内の流体の身元を検証することができる。

図１のシステムの流体供給パッケージ１４、１６、および１８は、それぞれの弁ヘッドインターロック９８、１００、および１０２を特徴とするそれぞれの弁ヘッド２２、２８、および３４を有し、これらは、イオン注入機１２と関連付けられた機械リーダー１０４と通信関係となるように配置構成される。この構成により、機械リーダー１０４は、それぞれの流体供給パッケージのＲＦＩＤタグ９２、９４、９６から情報を読み取ること、および、規定された動作のために対応する流体をイオン注入機に流すための流れ回路にそのような流体供給パッケージが適切に結合されていることを検証することができる。機械リーダーは次いで、これに応じてそれぞれの流体供給容器上の弁ヘッドインターロック９８、１００、および１０２に信号を送信して、そのような弁ヘッドインターロックをロック解除し、このことにより、各事例において容器から弁ヘッドを通って関連付けられた流れ回路までの流体の流れに対して、弁ヘッドを開く。この場合、弁ヘッドインターロックは、イオン注入機１２と関連付けられた機械リーダーによって信号が送られるまで、ロックされた状態に維持される。

この配置構成は、例えば、半導体製品物品、ソーラパネルもしくはソーラセル、ＬＥＤ、ＬＥＤディスプレイ、フラットパネルディスプレイ、またはそのような製品の構成要素、サブアセンブリ、もしくは一部の製造において、特定の流体供給パッケージおよび特定の処理ツールが互いと相互接続されること、ならびに処理ツールが所望の処理動作を行うのに適切な特定の流体を用いなければ動作できないことを保証するのに非常に有効な、「フェイルセーフ」配置構成を提供する。

この配置構成は、流体供給パッケージが、承認済みのガスボックス内に位置付けられ、適切な処理ツールに結合され、または、それぞれの流体供給容器上の弁ヘッドインターロック９８、１００、および１０２がロック解除され弁が開かれて流体が流れることが可能になる前に、再充填のために供給品製造施設に戻されることを保証することによって、特定の流体供給パッケージの輸送および貯蔵のための非常に有効な強化された安全配置構成も提供する。

したがって、本開示による流体供給パッケージおよび処理ツールの情報拡張により、流体供給パッケージの設置およびそこからの流体の供給の、ならびに関連付けられた流体利用処理ツールの動作の、効率の向上が実現される。情報拡張構成要素は、例えばデータ通信および信号通信の双方向の送信および受信によって、演算動作および通信動作を行わせるための多種多様な構成として構成でき、そのような通信は、インターネットまたは他のネットワークなどの世界規模通信ネットワークを利用して行われてよい。

図１のシステムのサーバ組立体８１１内のサーバは、通信されたシステム内で生成された情報を、任意の好適な様式で処理するように配置構成されてよい。例えば、サーバは、参照基準と流体情報のアルゴリズムによる比較を行い、ＣＰＵ７８、コンピュータ８２０、スマートフォン８２２、またはシステム内の他の通信デバイスもしくは構成要素に、比較データを提供してよい。

図２は、本開示の別の実施形態による、気体を送達するように構成された情報的に拡張された流体供給パッケージを含む処理システム３００を概略的に表現したものである。

図２に図示されているように、流体供給パッケージは、流体貯蔵兼分注容器３０２を含み、その上端部には空気圧弁アクチュエータ３０６と結合された弁ヘッド３０４が接合されている。弁ヘッドはＶＣＲ接続部品３０８に結合され、そしてＶＣＲ接続部品３０８は、流れ導管３１２に結合される。流れ導管３１２は、圧力変換器３１０、ならびに逆止弁３１４および窒素パージ入口３１６と連通している。窒素パージ入口は、後で容器３０２から気体を分注できるように、分注組立体の流れの通路および関連付けられた流れ回路の通路を一掃するための、窒素または他のパージガスの導入のために採用される。

流れ導管３１２はその中に、流れ制御弁３０７、スパンゲージ３２０、質量流量制御装置３２２、および流れ制御弁３０９が配設されている。流れ導管３１２はまた、バイパス弁３２４を有しているバイパス導管３２５に、流れ回路を形成するような関係で結合されている。流れ導管３１２は、示されるように右手において、ガスボックスマニホールド導管３２６に接合されている。導管３２６においては弁３１１が配置されており、またガスボックスマニホールドと連通する端部の反対側に、流体貯蔵兼分注パッケージを、イオン注入ツール、化学気相成長ツール、およびエッチングツール、または他のツールなどの下流の流体利用処理ツールと結合するための、カプリング３３０を有する。この流れ回路は様々に構成でき、他の実施形態では、弁３０７および３０９が単純な遮断弁または流れアクセス弁として成ることができること、ならびに／または、構成要素３２２が、質量流量制御装置である代わりに、流れを検知するようにおよびこれに応じて流れ回路内の流れ制御弁の調整のための信号を送信するように構成される、質量流量メータであってよいことが、認識されるであろう。

動作中、流体貯蔵兼分注容器３０２からの気体は、流れ導管３１２およびガスボックスマニホールド導管３２６で下流の流体利用処理ツールへと、質量流量制御装置３２２によって制御されるような制御可能な流量で流される。圧力変換器３１０は、質量流量制御装置３２２に、ならびに、流体利用処理に流せるように気体の分注を実行するための流れ回路内の他の要素、例えば弁に、好適な手法で作動的に結合されてよい。

図２に示すように、流体貯蔵兼分注容器３０２は、その外部表面上に、ＱＲコード３５０およびＲＦＩＤタグ３５２が配設されている。ＶＣＲ接続部品３０８の中には、弁カプリングインターロック機構３６２が設けられている。これにより、下流の処理ツール上の機械リーダーがＲＦＩＤタグ３５２内に収容された情報を読み取り、流体供給パッケージが動作に用いるのに適切であると検証し、しかる後に機械リーダー（図２には図示せず）が弁カプリングインターロック機構３６２に、接続部品をロック解除してこれを流体供給パッケージの弁ヘッド３０４に接続できるようにするための信号を送信しない限りは、流れ導管３１２が流体供給パッケージの弁ヘッド３０４に結合されなくなる。

弁ヘッド３０４上には、弁ヘッド分注インターロック機構３６４の形態の、さらなる弁ヘッドインターロック機構が設けられており、これは同様に、弁ヘッド内の弁を分注動作のためにロック解除するために、処理ツール上の機械リーダーから作動信号が送信されることを必要とする。このことは、流体供給パッケージ使用のさらなるフェイルセーフの態様を提供する。

別法として、または加えて、流れ制御弁３０７上にインターロック機構３７２を設けてよく、この場合、そのような流れ制御弁は、処理ツール上の機械リーダーから送信される作動信号によってロック解除される。

したがって、流体供給パッケージの動作を処理ツールの動作と協働的に統合するために、ならびに処理ツールの動作にとって適切な流体および流体供給パッケージが採用されていることを保証するために、処理システムに任意の適切な数および種類のインターロック機構を設けてよい、ことが諒解されるであろう。

本明細書では本開示を、具体的な態様、特徴、および例示的な実施形態に言及して提示したが、本開示の有用性はこのことにより限定されず、むしろ、本明細書の説明に基づいて本開示の当業者には明らかであるように、多数の他の変形形態、修正形態、および代替の実施形態にまで及び、これらを包含していることが、諒解されるであろう。これに対応して、以下で特許請求される本開示は、そのような変形形態、修正形態、および代替の実施形態の全てをその精神および範囲の中に含むように、広く理解され解釈されることを意図している。

Claims (11)

1. 流体貯蔵兼分注容器と、前記容器に結合され分注条件下で前記容器からの流体の放出を可能にするように構成された流体分注組立体と、を備える流体供給パッケージであって、その表面に情報拡張デバイスを備え、前記流体分注組立体は弁ヘッドを備え、前記弁ヘッドは、信号生成に前記情報拡張デバイスからの情報が必要なロック解除信号によってロック解除されない限りは、前記流体貯蔵兼分注容器からの流体分注を行わないように構成された弁ヘッドインターロック構造を備える、流体供給パッケージ。
2. 前記情報拡張デバイスが、クイックリード（ＱＲ）コードおよびＲＦＩＤタグの少なくとも一方を備える、請求項１に記載の流体供給パッケージ。
3. 前記情報拡張デバイスが、アクティブリーダーパッシブタグ（ＡＲＰＴ）、パッシブリーダーアクティブタグ（ＰＲＡＴ）、およびアクティブリーダーアクティブタグ（ＡＲＡＴ）から成る群から選択されたタグをさらに備えるＲＦＩＤタグを備える、請求項１に記載の流体供給パッケージ。
4. 前記ＲＦＩＤタグが、前記流体供給パッケージ内の流体の温度を示す出力を提供するのに有効な熱抵抗性のＲＦＩＤデバイスを備える、請求項３に記載の流体供給パッケージ。
5. 前記容器が、貯蔵条件下で流体を貯蔵された状態に維持するように、および分注条件下で前記流体を解放して前記容器から放出するように適合されている貯蔵媒体を収容している、請求項１に記載の流体供給パッケージ。
6. 前記流体供給パッケージが、炭素吸着剤、ゼオライト、モレキュラーシーブ吸着剤、有機金属構造体（ＭＯＦ）、エアロゲル、アルミナ、シリカ、アルミノケイ酸塩、多孔質金属酸化物、および前述したもののうちの２つ以上の組み合わせから成る群から選択された吸着剤を含む物理吸着材料を含む貯蔵媒体を備える、請求項１に記載の流体供給パッケージ。
7. 前記容器がその中に、圧力規制装置の設定点によって決定された圧力で前記容器から前記流体分注組立体に流体を分注するように構成された、少なくとも１つの内設された前記圧力規制装置を収容している、請求項１に記載の流体供給パッケージ。
8. 請求項１から７までのいずれか一項に記載の少なくとも１つの流体供給パッケージと、前記分注条件下で前記少なくとも１つの流体供給パッケージから流体を受けるように構成された流体利用処理ツールと、を備える、処理システム。
9. 前記処理ツールが、前記処理ツールの動作を可能にするために前記流体供給パッケージ上の情報拡張デバイスと通信可能に相互作用する少なくとも１つの通信用デバイスを含む、請求項８に記載の処理システム。
10. 前記流体供給パッケージ上の情報拡張デバイスとの処理ツール通信用デバイスの通信相互作用が所定の動作通信プロトコルを満足するまで、前記処理ツールが動作可能とならない、請求項８に記載の処理システム。
11. 所定の動作通信プロトコルが、前記流体供給パッケージ上の情報拡張デバイス内に収容されている流体供給パッケージ情報からの前記流体供給パッケージの身元の検証を含む、請求項８に記載の処理システム。

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