JP6598889B2 - システム的欠陥フィルターによるレチクル欠陥検査 - Google Patents
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Description
本出願は、先願(i)「Reticle Defect Inspection with Systematic Defect Filter」という名称の、Bing Liらによって2012年3月8日に出願された米国仮出願第61/608,445号、および(ii)「Reticle Defect Inspection with Systematic Defect Filter」という名称の、Bing Liらによって2012年4月9日に出願された米国仮出願第61/621,725号の利益を主張し、これらの出願はすべての目的のためにその全体が参照によって本明細書中に組み込まれる。
図6Aは、ある特定の実施形態に従ってマスクパターンをフォトマスクMからウェハーWへ転写するために使用されることが可能な、典型的リソグラフィシステム600の簡素化された略図である。当該システムの例は、スキャナおよびステッパを含み、より具体的には、ASML、フェルドホーフェン、オランダから入手可能なPAS 5500システムである。概して、照明源603は光ビームを照明レンズ605を通してマスク面602に位置決めされたフォトマスクMへ向ける。照明レンズ605はその面602において開口数601を有する。開口数601の値は、フォトマスク上のどの欠陥がリソグラフィ上顕著な欠陥であり、またどれがそうではないかに関して影響力を有する。フォトマスクMを通過するビームの一部分は、撮像光学系653を透過、ウェハーWへ向けられ、パターン転写を開始するパターン化された光学信号を形成する。
Claims (13)
- フォトリソグラフィレチクルを検査する方法であって、
レチクル検査システムから欠陥データのストリームを受け取ることであって、欠陥データはレチクルの複数の異なる部分に関して検出された複数の欠陥を識別し、
レチクルが検査を合格するかどうかを判定するために欠陥データを再検討する前、かつ欠陥データのストリームが継続して受け取られるにつれ、欠陥のいくつかを1つ以上の最も新しく受け取られた他の欠陥と自動的にグループ分けして、実質的に一致する欠陥のグループを形成することと、
レチクルが検査を合格するかどうかを判定するために欠陥データを再検討する前、かつレチクルに関するすべての欠陥データが受け取られた後に、欠陥データから欠陥の種類毎に異なるしきい値より高い数を有する欠陥のグループのうちの1つ以上を自動的にフィルタリングして、フィルタリングされた欠陥データを形成することと、
フィルタリングされた欠陥データを再検討ステーションに提供してレチクルが合格するかどうかを判定することと、を含む方法。 - レチクルが検査を合格するかどうかを判定するために前記欠陥データを再検討することが手動で実施される、請求項1に記載の方法。
- 欠陥データは一度に1つの欠陥像を受け取られ、自動的グループ分けが、
各欠陥像が受け取られるにつれ、当該欠陥像が、存在する場合の既存の種グループと一致するかどうかを判定し、当該欠陥像を当該一致する既存の種グループに加え、そうでなければ、当該欠陥像を含む新しい種グループを形成することによって達成される、請求項1に記載の方法。 - 各欠陥像が、存在する場合の既存の種グループと一致するかどうかを判定し、当該欠陥像を当該一致する既存の種グループに追加することは、存在する場合に一致が見つかるまで、当該欠陥像を一度に1つずつ複数の種グループと比較することによって達成される、請求項3に記載の方法。
- 存在する場合に一致が見つかるまで、当該欠陥像を一度に1つずつ複数の種グループと比較することは、最初に当該欠陥像が、前記種グループの1つと実質的に一致する形状を有するかどうかを判定し、実質的に一致する形状が存在する場合のみ、当該欠陥像を、実質的に一致する形状を有する種グループと画素ごとに比較することによって達成される、請求項3に記載の方法。
- 自動的グループ分けは、最後に受け取られた欠陥データから最初に受け取られた欠陥データへの時間的順序で達成される、請求項1に記載の方法。
- 自動的グループ分けおよびフィルタリングは人間の介入なしで実施される、請求項1に記載の方法。
- フォトリソグラフィレチクルを検査するための検査システムであって、
レチクル検査システムから欠陥データのストリームを受け取ることであって、欠陥データは前記レチクルの複数の異なる部分に関して検出された複数の欠陥を識別し、
レチクルが検査を合格するかどうかを判定するために欠陥データを再検討する前に、かつ欠陥データのストリームが継続して受け取られるにつれ、欠陥のいくつかを1つ以上の最も新しく受け取られた他の欠陥と自動的にグループ分けして、実質的に一致する欠陥のグループを形成することと、
レチクルが検査を合格するかどうかを判定するために欠陥データを再検討する前、かつレチクルに関するすべての欠陥データが受け取られた後に、欠陥データから欠陥の種類毎に異なるしきい値より高い数を有する欠陥のグループのうちの1つ以上を自動的にフィルタリングして、フィルタリングされた欠陥データを形成することと、
フィルタリングされた欠陥データを再検討ステーションに提供して、レチクルが合格するかどうかを判定することと、
を実施するように構成された少なくとも1つのメモリおよび少なくとも1つのプロセッサを含む、検査システム。 - 前記欠陥データは一度に1つの欠陥像を受け取られ、自動的グループ分けが、
各欠陥像が受け取られるにつれ、当該欠陥像が、存在する場合の既存の種グループと一致するかどうかを判定し、当該欠陥像を当該一致する既存の種グループに加え、そうでなければ、当該欠陥像を含む新しい種グループを形成することによって達成される、請求項8に記載の検査システム。 - 各欠陥像が、存在する場合の既存の種グループと一致するかどうかを判定し、当該欠陥像を当該一致する既存の種グループに追加することは、存在する場合に一致が見つかるまで、当該欠陥像を一度に1つずつ複数の種グループと比較することによって達成される、請求項9に記載の検査システム。
- 存在する場合に一致が見つかるまで、当該欠陥像を一度に1つずつ複数の種グループと比較することは、最初に当該欠陥像が、種グループの1つと実質的に一致する形状を有するかどうかを判定し、実質的に一致する形状が存在する場合のみ、当該欠陥像を、実質的に一致する形状を有する前記種グループと画素ごとに比較することによって達成される、請求項9に記載の検査システム。
- 自動的グループ分けは、最後に受け取られた欠陥データから最初に受け取られた欠陥データへの時間的順序で達成される、請求項8に記載の検査システム。
- 命令が記憶されたコンピュータ可読媒体であって、
レチクル検査システムから欠陥データのストリームを受け取ることであって、欠陥データはレチクルの複数の異なる部分に関して検出された複数の欠陥を識別し、
レチクルが検査を合格するかどうかを判定するために欠陥データを再検討する前に、かつ欠陥データのストリームが継続して受け取られるにつれ、欠陥のいくつかを1つ以上の最も新しく受け取られた他の欠陥と自動的にグループ分けして、実質的に一致する欠陥のグループを形成することと、
レチクルが検査を合格するかどうかを判定するために欠陥データを再検討する前、かつレチクルに関するすべての欠陥データが受け取られた後に、欠陥データから欠陥の種類毎に異なるしきい値より高い数を有する欠陥のグループのうちの1つ以上を自動的にフィルタリングして、フィルタリングされた欠陥データを形成することと、
フィルタリングされた欠陥データを再検討ステーションに提供して、レチクルが合格するかどうかを判定することと、
を実施する、コンピュータ可読媒体。
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