JP6598774B2 - レーザ持続プラズマ照明出力により試料を撮像するためのシステム及び方法 - Google Patents
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Description
Claims (30)
- レーザ持続プラズマ照明出力により試料を撮像するためのシステムであって、
レーザ持続プラズマ照明サブシステムであって、
1つ以上の第1の選択された波長を含むポンピング照明を発生させるように構成されるポンピング源と、
ある体積のガスを格納するように構成されるガス格納素子と、
前記ある体積のガス内でプラズマを発生させるために、前記ポンピング源からの前記ポンピング照明の焦点を前記ガス格納素子内に格納される前記ある体積のガスに合わせるように構成されるコレクタであって、前記プラズマが、1つ以上の第2の選択された波長を含む広帯域放射を放出するコレクタと、
を含むレーザ持続プラズマ照明サブシステムと、
1つ以上の試料を固定するための試料ステージと、
撮像サブシステムであって、
照明経路を介して前記レーザ持続プラズマ照明サブシステムの前記プラズマから放出される前記広帯域放射の少なくとも一部分により、前記1つ以上の試料の表面を照らすように構成される照明サブシステムと、
検出器と、
前記試料の表面からの照明を集光し、集光経路を介して前記集光された照明の焦点を検出器に合わせて、前記1つ以上の試料の前記表面の少なくとも一部分の画像を形成するように構成される対物レンズと、
を含む撮像サブシステムと、
選択されたパージガスを格納し、前記照明経路及び前記集光経路のうちの少なくとも一部分をパージするように構成されるパージチャンバと、
を備え、
前記ガス格納素子は、前記レーザ持続プラズマ照明サブシステムの出力と前記照明サブシステムを光学的に連結するように構成される透過部分を含み、前記透過部分は、前記パージチャンバの大気と前記レーザ持続プラズマ照明サブシステムの前記ガス格納素子内のガスとの間の分離を維持するように構成される
システム。 - 前記ガス格納素子は、
ある体積のガスを格納するように構成されるチャンバを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記ガス格納素子は、
ある体積のガスを格納するように構成されるプラズマセルを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記プラズマセルは、
透過素子と、
前記ガスを格納するために前記透過素子の1つ以上の端部に配置される1つ以上のフランジと、を備える、請求項3に記載のシステム。 - 前記ガス格納素子は、
ある体積のガスを格納するように構成されるプラズマバルブを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記ガス格納素子の前記透過部分は、前記ポンピング照明及び前記放出される広帯域放射のうちの少なくとも1つに対して透明である、請求項1に記載のシステム。
- 前記ガス格納素子の前記透過部分は、CaF2、MgF2、結晶水晶、及びサファイアのうちの少なくとも1つから形成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ガス格納素子は、少なくとも1つの不活性ガス、非不活性ガス、及び2つ以上のガスの混合物を含むガスを格納する、請求項1に記載のシステム。
- 前記ガス格納素子は、希ガスと1つ以上の微量材料との混合物を含むガスを格納する、請求項1に記載のシステム。
- 照明源は、
1つ以上のレーザを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記1つ以上のレーザは、
1つ以上の赤外線レーザ、1つ以上の可視レーザ、及び1つ以上の紫外線レーザのうちの少なくとも1つを含む、請求項10に記載のシステム。 - 前記1つ以上のレーザは、
ダイオードレーザ、連続波レーザ、または広帯域レーザのうちの少なくとも1つを含む、請求項10に記載のシステム。 - 前記1つ以上のレーザは、
第1の波長の光を放出する第1のレーザと、第2の波長の光を放出する少なくとも1つの第2のレーザとを含む、請求項10に記載のシステム。 - 前記検出器は、
CCD検出器及びTDI検出器のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記パージチャンバは、前記撮像サブシステムの前記照明サブシステム、前記対物レンズ、及び前記検出器のうちの少なくとも1つを格納する、請求項1に記載のシステム。
- 前記パージガスは、
希ガス、不活性ガス、非不活性ガス、及び2つ以上のガスの混合物のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記ポンピング照明及び前記広帯域放射は、少なくとも前記レーザ持続プラズマ照明サブシステム内において共通のNA空間を占有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記広帯域放射の少なくとも一部分に対して反射性であるコーティングを有するコールドミラーをさらに備え、前記コールドミラーが、前記広帯域放射を前記ポンピングされた照明から分離するように構成される、請求項17に記載のシステム。
- 全内部反射(TIR)分離素子をさらに備え、前記TIR分離素子は、前記広帯域放射を前記ポンピングされた照明から分離するように構成される、請求項17に記載のシステム。
- 前記ポンピング照明及び前記広帯域放射は、NA空間の異なる部分を占有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記レーザ持続プラズマ照明サブシステムの瞳を、前記ポンピング照明及び前記広帯域放射がNA空間の異なる部分を占有するように横方向に分割するように構成される、1つ以上の光学素子をさらに備える、請求項20に記載のシステム。
- 前記レーザ持続プラズマ照明サブシステムの瞳を、前記ポンピング照明が第1のNA範囲を有する前記瞳の第1の部分を占有し、前記広帯域放射が第2のNA範囲を有する前記瞳の第2の部分を占有するように分割するように構成される、1つ以上の光学素子をさらに備える、請求項20に記載のシステム。
- 前記レーザ持続プラズマ照明サブシステムの瞳を、前記ポンピング照明及び前記広帯域放射がNA空間の異なる部分を占有するように対称的に分割するように構成される、1つ以上の光学素子をさらに備える、請求項20に記載のシステム。
- 前記レーザ持続プラズマ照明サブシステムの瞳を、前記ポンピング照明及び前記広帯域放射がNA空間の異なる部分を占有するように非対称的に分割するように構成される、1つ以上の光学素子をさらに備える、請求項20に記載のシステム。
- 前記放出される広帯域放射のパワーレベルは、調節可能である、請求項1に記載のシステム。
- 前記放出される広帯域放射のパワーレベルは、前記発生されるプラズマの形状を変化させることによって調節可能である、請求項25に記載のシステム。
- 前記ポンピング源は、前記発生されるプラズマの形状を変化させることによって前記放出される広帯域放射のパワーレベルを調節するために、前記ポンピング照明のパワーレベルを変化させるように構成される、請求項26に記載のシステム。
- 前記ポンピング源は、前記発生されるプラズマの形状を変化させることによって前記放出される広帯域放射のパワーレベルを調節するために、前記ポンピング照明の波長を変化させるように構成される、請求項26に記載のシステム。
- 前記ポンピング源は、前記発生されるプラズマの形状を変化させることによって前記放出される広帯域放射のパワーレベルを調節するために、前記レーザ持続プラズマ照明サブシステム内の前記ガスのガス圧力を変化させるように構成される、請求項26に記載のシステム。
- 1つ以上の光学素子は、前記発生されるプラズマの形状を変化させることによって前記放出される広帯域放射のパワーレベルを調節するために、前記レーザ持続プラズマ照明サブシステムでのNAパワー分布を変化させるように構成される、請求項26に記載のシステム。
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