JPH05164987A - マイクロビーム走査方法および走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】試料を動かすことなく、Ｘ線やレーザのマイク
ロビームの走査を可能にする走査方法および走査装置を
提供する 【構成】Ｘ線ビームを一点に集光するＸ線集光素子と、
前記Ｘ線集光素子を光軸に垂直な方向に駆動する駆動手
段とを備え、前記Ｘ線集光素子を駆動することによりＸ
線ビームの集光する点を走査することを特徴とするＸ線
マイクロビーム走査装置。 レーザビームを一点に集光
する集光レンズと、前記集光レンズを光軸に垂直な方向
に駆動する駆動手段とを備え、前記集光レンズを駆動す
ることによりレーザビームの集光する点を走査すること
を特徴とするレーザマイクロビーム走査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＸ線やレーザ等のマイク
ロビーム照射装置において、マイクロビームを走査する
方法と走査する装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、マイクロビームを試料上で走査す
るにあたっては、反射鏡を振動させるか偏向板の印加電
圧を振動させてビームを振る、あるいは試料台を動かす
という方法がとられている。

【０００３】例えば、レーザ照射装置では反射鏡でレー
ザビームを振ることにより照射位置を設定している。走
査型電子顕微鏡では電磁レンズ及び試料を固定しておい
て偏向板で電子ビームを振ることにより走査像を得てい
る。走査型Ｘ線顕微鏡では光学系を固定しておいて試料
を動かすことにより走査像を得ている。走査型レーザ顕
微鏡では反射鏡によってレーザ光を振るか試料を動かす
ことによって走査像を得ている。

【０００４】Ｘ線マイクロビームにおいては反射率が十
分高い反射鏡が存在せず、また、反射鏡を用いたとして
も照射位置の設定が難しい。Ｘ線は電磁波であるため偏
向板も使えない。そこで、試料台を動かすという方法が
とられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｘ線マ
イクロビームやレーザマイクロビームの走査において、
試料を動かすことが好ましくない、あるいは動かせない
場合がある。例えば、Ｘ線やレーザのマイクロビーム照
射を電気生理学的手法と共に行なう実験では、試料に何
本かのガラスマイクロキャビラリー電極が刺してあり、
電極はマイクロマニピュレータに固定してあるため、試
料を動かすと試料が電極で傷つけられ、また電極がたわ
むことによってその抵抗値が変化し測定に影響を与え
る。

【０００６】また、水中に浮遊する試料にマイクロビー
ム照射を行なう場合には、試料漕を動かしても慣性力の
ため、試料は試料漕と一緒に動かず、鮮明な走査像が得
難く、マイクロビーム照射位置を設定することも難し
い。

【０００７】また、反射鏡を用いてレーザマイクロビー
ムを動かす場合には、反射鏡の角度位置とマイクロビー
ム照射位置との対応をあらかじめ調べておかなければな
らないという煩雑さがあり、視野内の任意の一点に照射
するにはコンピュータの助けが必要となる。

【０００８】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、試料を動かすことなく、Ｘ線やレーザのマイ
クロビームの走査を可能にする走査方法および走査装置
を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解消するための手段】上記目的のために、本発
明では、マイクロビームを集光する集光手段と、該集光
手段をマイクロビームの光軸に垂直な方向に駆動する駆
動手段とを備えたマイクロビーム走査装置により、マイ
クロビームを走査するようにした。

【００１０】

【作用】図２を用いて本発明の第１の態様であるＸ線マ
イクロビーム走査装置の作用を説明する。図２（ａ）に
おいて、ゾーンプレート等のＸ線集光素子１の中心を
Ｏ，Ｘ線源２の位置をＡ，Ｘ線源２からのＸ線３の集光
点４の位置をＢとし、Ｆ，Ｆ′をそれぞれ後焦点，前焦
点とする。ａ＝ＡＯ，ｂ＝ＯＢ，ｆ＝ＯＦ＝ＯＦ′とす
ると、レンズの公式 １／ｆ＝１／ａ＋１／ｂ （１） が成り立つ。

【００１１】Ｘ線源を図２（ｂ）のように上にｃだけ動
かすと、集光点は下方に動き、その移動量ｄは ｄ＝ｂｃ／ａ （２） となる。このとき、Ｘ線集光素子の軸Ｚは動いておら
ず、これは従来のビームを振る方式に対応する。

【００１２】図２（ｃ）のようにＸ線源を動かさずにＸ
線集光素子を下方にｃだけ動かしても、図２（ｂ）と同
様に、集光点を動かすことができる。Ｘ線集光素子の中
心はＯ′に移り、集光点はＢからＢ′に移ることにな
る。このとき、集光点の移動量はｃ＋ｄであり、Ｘ線集
光素子と集光点の移動の方向は同じである。集光点をｅ
だけ動かしたいときには、 ｅ＝ｃ＋ｄ＝ｃ＋ｂｃ／ａ＝（ａ＋ｂ）ｃ／ａ （３） であるから ｃ＝ａｅ／（ａ＋ｂ） （４） だけＸ線集光素子を、集光点を動かしたい方向に、動か
せばよい。ｂ＜＜ａならｅ≒ｃとなり、Ｘ線集光素子と
集光点の移動量が等しくなる。

【００１３】Ｘ線集光素子１を照射部位観察用可視光顕
微鏡の対物レンズ５と一体化した場合、たとえば図３
（ａ）の原理図に示す配置となる。焦点距離ｆ′で中心
に穴をあけた可視光用対物レンズ５をＰ点に置き、試料
のＸ線照射部位Ｂの観察用可視光６による像の位置Ｃに
十字線７を置く。

【００１４】ａ′＝ＣＰ，ｂ′＝ＰＢとすると １／ｆ′＝１／ａ′＋１／ｂ′ （５） となる。この時、定数ｋ（図３ではｋ＞１となっている
が、ｋ≦１でも良い）を用いて、 ｆ′＝ｋｆ，ａ′＝ｋａ，ｂ′＝ｋｂ （６） となるように、ｆ′，ａ′，ｂ′を設定すれば、すなわ
ちＸ線集光素子１と可視光用対物レンズ５の倍率が一致
する配置をとれば、図３（ｂ）に示したように、Ｘ線集
光素子と可視光用対物レンズを一緒にｃだけ動かすこと
によって、Ｘ線照射部位がｃ＋ｄだけ動くが、その像は
十字線５の交点Ｃに留まる。

【００１５】これは以下のようにして説明される。移動
後の対物レンズの光軸Ｚ′から点Ｂ′までの距離はｄで
ある。軸Ｚから像点までの距離をｘとすると、ｘ＝ｄ
ａ′／ｂ′となり、これに（６）式を代入して（２）式
と比較すると、ｘ＝ｃを得る。ｘの値はｄによらず常に
ｃであり、対物レンズを移動させても像は点Ｃに留まる
ことになる。

【００１６】実際には、可視光の結像点をＸ線の経路上
に置いても観察ができないので、図１のように中心に穴
をあけた反射鏡８を挿入し、その反射鏡による像を観察
することになる。図１の配置で点Ｂの像位置Ｄに十字線
７を配すると、Ｘ線集光素子１と可視光用対物レンズ５
を一体化したもの（以下、一体化レンズ系と呼ぶ）を移
動し、図１（ｂ）のようにその軸がＺからＺ′に変わっ
たときに、集光点の位置はＢからＢ′にかわるが、その
像は常に点Ｄに留まる。つまり、可視光顕微鏡下あるい
はテレビ画面上で観察しながら、一体化レンズ系を動か
して、試料のＸ線マイクロビームを照射したい位置に十
字線の交点を合わせ、Ｘ線を発生させれば試料上の所望
の位置にマイクロビームが照射される。このように、十
字線を照準として用いてＸ線マイクロビーム照射位置を
設定できる。

【００１７】つぎに、図９を用いて本発明の別の態様で
あるレーザマイクロビーム走査装置の作用を説明する。
平行レーザ光入射の場合、図９（ａ）に示すように、光
軸Ｚ上の点Ｏに配した焦点距離ｆの対物レンズ１０１で
入射レーザ光１０２を集光することによって、試料１０
３上の点Ｂにレーザマイクロビームを照射できる。ＯＢ
＝ｆとなる。このとき、光軸Ｚ上の位置Ｑに、光軸Ｚに
対して例えば４５°で半透鏡１０４を配し、焦点距離
ｆ′の結像用レンズ１０５を、その軸Ｙが光軸Ｚと垂直
になるように、配することによって、試料１０３の像を
結像用レンズ１０５の中心Ｐから距離ｆ′の焦点面に得
る。集光点Ｂの像は光軸Ｙと結像用レンズ１０５の焦点
面との交点に形成される。この交点に十字線１０６を配
する。

【００１８】図９（ｂ）のように対物レンズ１０１を下
方にｃだけ動かすと、集光点も対物レンズ１０１と同じ
方向にｃだけ動く。レンズ１０１の軸はＺ′に移り、レ
ンズ１０１の中心はＯ′に、集光点Ｂ′に移る。このと
き、平行光はすべて焦点に集まり、焦点より発する光は
平行光になるというレンズの基本性質から、集光点Ｂ′
の像は十字線の交点Ｃに形成されることになる。すなわ
ち、対物レンズ１０１を動かしても集光点の像は常に十
字線１０６の交点上に形成されるので、レーザマイクロ
ビームの照射前に、試料１０３を観察しながらレンズ１
０１を動かし、照射位置を設定することができる。

【００１９】

【実施例】

（実施例１）本発明の一実施例を図面を用いて説明す
る。Ｘ線源として、レーザプラズマＸ線源を用いた例を
図４に示す。レーザ管９からのレーザ光１０を集光レン
ズ１１で絞りターゲット材１２に当てるとプラズマ１３
生成し、このプラズマがＸ線３を発生する。このＸ線３
をＸ線多層膜反射鏡１４で分光および集光してピンホー
ル１５を通してＸ線点光源としている。

【００２０】本実施例のＸ線走査装置は、真空容器２０
内に、Ｘ線の光源用ターゲット１２と、Ｘ線分光集光用
多層膜反射鏡１４と、ピンホール１５と、Ｘ線集光素子
１と可視光用対物レンズ５との一体化レンズ３５と、試
料観察用可視光反射鏡８とで光学系を構成している。可
視光用対物レンズ５は中央部に貫通孔を有しており、貫
通孔内にＸ線集光素子１を同軸に配置した一体型レンズ
の構成をとっている。また、一体化レンズ３５にはＸＹ
ステージ２３が取り付けられており、容器２０の外から
一体化レンズ３５を光軸に垂直な方向に駆動可能であ
る。

【００２１】また、容器２０には、ターゲット１２にレ
ーザ光を入射するためのレーザ光用窓２４、試料観察用
窓２５ａ、２５ｂ、およびＸ線用窓２６が設けられてい
る。また、容器の一部には、蛇腹２１が設けられてお
り、一体化レンズ３５の部分を真空容器可動部分２２と
一緒に動かすことができる。試料１７を可視光で観察す
るための照明系１６は、真空容器２０の外部に設けてあ
る。

【００２２】照明系からの可視光６によって、反射鏡８
を介して十字線７の位置に結像する試料１７の像を、ビ
デオカメラ１８で撮り、モニタ画面１９で観察する。ビ
デオカメラ１８の代わりに接眼レンズを用いて肉眼で観
察してもよい。図４（ａ）はモニタ画面の中心に写った
照準用十字線７を示す。この時試料１７は画面中央に写
っている。Ｘ線マイクロビームを、たとえば、試料の端
に照射したい時にはＸＹステージ２３を駆動し、一体化
レンズ系３５を動かすことによって試料上のＸ線を図４
（ｂ）のように、照射したい位置を十字線と一致させて
からＸ線マイクロビームを照射する。ＸＹステージ２３
を駆動する時、図４（ｂ）に見られるように、十字線７
すなわちＸ線マイクロビーム照射位置は画面の中心に留
まり、試料１７の像だけが画面内を動く。一体化レンズ
系３５の駆動は、一体化レンズ系３５全体を真空容器２
０の内側に設置した場合、真空容器の蛇腹２１でつなが
れた部分２２をＸＹステージ２３で、真空容器ごと外か
ら動かすことによって行う。

【００２３】一体化レンズ系３５を駆動するＸＹステー
ジ２３を真空容器の内部に設置する場合には蛇腹２２は
必要ない。また、レーザ導入用窓２４および試料観察用
窓２５はガラス材で良いが、Ｘ線用窓２６は窒化硅素等
のＸ線透過材でなければならない。

【００２４】つぎに、電子線源２７からの電子線２８を
電磁レンズ２９で絞り薄膜ターゲット３０に当てたとき
に発生するＸ線３を用いた例を図５に示す。Ｘ線集光素
子１はＸ線透過窓２６で試料側の端部を封じた真空鏡筒
３１の内側に設置してあり、可視光用対物レンズ５と試
料観察用反射鏡８は真空外に設置してある。鏡筒の蛇腹
３１ａでつながった部分３１ｂをＸＹステージ２３で動
かすことにより一体化レンズ系を駆動する。

【００２５】シンクロトロン放射光を用いた例を図６に
示す。図中、図５と同一の機能を有する構成部品に対し
ては同一符号を付してその説明を省略する。電子蓄積リ
ング３２から放射されるＸ線３をＸ線多層膜反射鏡１４
で分光および集光してピンホール１５を通してＸ線点光
源としている。Ｘ線集光素子１はＸ線透過窓２６の外側
に設置してある。

【００２６】さらに、Ｘ線集光素子としてウォルター鏡
３３を用いた例を図７に示す。

【００２７】試料に影響を与えない程度の弱いＸ線マイ
クロビームを用いて走査像を得、それによって照射位置
を決める例を図８に示す。モニタ用ブラウン管１９の電
子線の走査をＸ線集光素子１の走査と同期させ、透過し
たＸ線，蛍光Ｘ線，オージェ電子等の検出器３４からの
信号をモニタ１９に入力させることにより、モニタ画面
上に試料の走査像を得る。モニタ画面上でＸ線マイクロ
ビーム照射位置の座標を決定し、それに従ってＸ線集光
素子を移動する。この後、Ｘ線源の強度を上げて照射を
行う。

【００２８】以上のように、図４，図５，図６に示した
実施例では、それぞれ、Ｘ線集光素子と可視光用対物レ
ンズの相互の位置関係が異なり、真空容器の形状及び一
体化レンズ系の設置の仕方が異なっているが、Ｘ線源と
の位置関係はどの実施例も同じであるので、各Ｘ線源と
組合せることができる。また、可視光用対物レンズは単
レンズで図示してあるが、実際には諸収差の補正のため
に組合せレンズを用いることが望ましい。

【００２９】図４，図５，図６に示した実施例で、可視
光での観察用の照明例としてクリティカル照明法を示し
ているが、照明および観察に位相差法，微分干渉法など
既存の感度の良い方法も使える。

【００３０】図４，図５，図６に示した実施例におい
て、Ｘ線集光素子としてゾーンプレートを用いる場合に
Ｘ線の波長を変えると、ゾーンプレートの焦点距離が波
長に逆比例して変わるため、（６）式すなわちＸ線集光
素子と可視光用対物レンズの倍率が一致する配置にしな
ければならないという条件が満たされなくなる。これ
は、図１で点Ｑと点Ｄの間に補助レンズを挿入すること
によって回避できる。

【００３１】Ｘ線集光素子としてウォルター鏡を用いた
場合には、図７の実施例に示したように可視光用対物レ
ンズの方が小さくなることがあり、対物レンズはウォル
ター鏡の中，前，あるいは後ろに置くことになるが、そ
のレンズあるいは観察用反射鏡をウォルター鏡のセント
ラルストップの径に合わせれば、セントラルストップを
設置する必要がなくなる。

【００３２】以上のように本発明によれば、試料を動か
すことなくＸ線マイクロビームを走査できるので、動か
すことが好ましくない試料や動かせない試料にＸ線マイ
クロビームを照射できる。

【００３３】また図８の実施例に示したように、試料に
影響を与えない弱いＸ線マイクロビームを用いて走査像
が得られる場合には、可視光用レンズ等がなくても、Ｘ
線集光素子を振るだけで試料の観察が行え、照射位置を
決めることができる。

【００３４】（実施例２）つぎに本発明の別の実施例を
図面を用いて説明する。図１０にレーザマイクロビーム
走査装置を示す。本実施例の走査装置は、レーザ管１０
７側から、半透鏡１０４と、レーザ集光用を兼ねる試料
観察用対物レンズ１０１と、結像用レンズ１０５を順に
配置して光路を形成している。また、レンズ１０１には
ＸＹステージが取り付けられており、レンズ１０１を光
軸に垂直な方向に駆動することができる。図１０の実施
例では、レーザ管１０７からのレーザ光１０２を、直
接、照射用光源としている。試料１０３を観察するため
の照明系１０８は外部に設けてある。

【００３５】照明系１０８からの可視光１０９によっ
て、半透鏡１０４及び結像用レンズ１０５を介して十字
線１０６の位置に結像する試料１０３の像を、ビデオカ
メラ１１０で撮り、観察者は、モニタ画面１１１で観察
している。ビデオカメラ１１０の代わりに接眼レンズを
用いて肉眼で観察してもよい。図１０（ａ）はモニタ画
面の中心に照準用十字線１０６が写っている。この時、
試料１０３は画面中央に写っている。レーザマイクロビ
ーム１０２を、たとえば、試料１０３の端に照射したい
時には（ｂ）のように、ＸＹステージ１１２を用いて対
物レンズ１０１を光軸に垂直な方向に動かすことによっ
て、試料１０１上のマイクロビームを照射したい位置を
十字線１０６と一致させてからレーザマイクロビーム１
０２を照射する。（ｂ）に見られるように、十字線１０
６すなわちレーザマイクロビーム照射位置は画面の中心
に留まり、試料１０３だけが画面内を動く。

【００３６】図１１の実施例では、レーザ管１０７から
のレーザ光１０２を第１の補助レンズ１１３によって一
度集光し、ピンホールを１１４を通してから第２の補助
レンズ１１５によって、径の大きい平行レーザ光１１６
を得、対物レンズ１０１への入射光としている。ピンホ
ール１１４は、ビームの整形を行う空間フィルタであ
り、試料上でのビーム径を小さくする作用がある。

【００３７】また、図１２の実施例では、試料に影響を
与えない程度に強度を落としたレーザ光１０２を試料上
に集光し、試料を透過した光量を信号とすることによっ
て走査像を得て、走査位置の座標によって照射位置を設
定する。モニタ用ブラウン管１１１の電子線の走査を対
物レンズ１０１の走査と同期させ、透過光の検出器１１
７からの信号をモニタ１１１に入力させることにより、
モニタ画面上に試料の走査像を得る。モニタ画面上でレ
ーザマイクロビーム照射位置の座標を決定し、それに従
って対物レンズを移動する。この後、レーザ光の強度を
上げて照射を行う。

【００３８】図１０、図１１の実施例では観察用の照射
例としてクリティカル照明法を示しているが、照明およ
び観察にケーラ照明法、暗視野照明法、位相差法、微分
干渉法など既存の感度の良い方法も使える。すべての図
において、レンズは単レンズで図示してあるが、実際は
諸収差の補正のために組合せレンズを用いることが望ま
しい。

【００３９】図１０の実施例のように、細いレーザビー
ムを平行光のまま対物レンズに入射する場合には、半透
鏡の代わりに中心にレーザビームが通る小穴を開けた反
射鏡も使える。

【００４０】また、図１２の実施例に示したように、試
料に影響を与えない弱いレーザマイクロビームを用いて
走査像が得られる場合には、観察用の照明系を用いずに
対物レンズを振るだけで試料の観察が行え、照射位置を
決めることができるが、コンピュータの助けが必要とな
る。照射位置を設定するには、たとえばモニタ画面上で
照射したい位置にマウスによってカーソルを合わせコン
ピュータでその座標を読み取り、その情報を用いてＸＹ
ステージを動かせばよい。

【００４１】以上のように、本発明によれば、試料を動
かすことなく、レーザマイクロビームを動かせるので、
動かすことが好ましくない試料や動かせない試料にレー
ザマイクロビームを照射できる。さらに、ビームの照射
位置を観察者が確認しながら容易に設定できる。

【００４２】

【発明の効果】このように、本発明のマイクロビーム走
査装置は、Ｘ線を一点に集光するＸ線集光素子またはレ
ーザビームを一点に集光する集光レンズを、光軸に垂直
な方向に駆動することにより、試料を動かすことなく、
Ｘ線またはレーザのマイクロビームを走査することがで
きる。従って、電気生理学的手法を用いる試料を傷つけ
ることなく、また水中に浮遊する試料であっても、鮮明
に走査できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ｘ線集光素子と可視光用対物レンズとを一体化
したものを用いてＸ線マイクロビーム走査及び照射位置
ろ設定する方法の説明図。

【図２】Ｘ線集光素子の移動によるＸ線集光点の移動を
説明する原理図。

【図３】Ｘ線集光素子と可視光用対物レンズとを一体化
したものを移動したときのＸ線集光点の可視光による像
の不動を説明する原理図。

【図４】レーザプラズマＸ線源を用いた一実施例の構成
を示す説明図。

【図５】マイクロフォーカスＸ線源を用いた一実施例の
構成を示す説明図。

【図６】シンクロトロン放射光を用いた一実施例の構成
を示す説明図。

【図７】Ｘ線集光素子としてウォルター鏡を用いた一実
施例の構成を示す説明図。

【図８】Ｘ線集光素子を単体で用いた一実施例の構成を
示す説明図。

【図９】レーザ光集光用を兼ねる試料観察用顕微鏡対物
レンズを光軸に対して垂直な面内で動かすことにより結
像面に配した十字線を照準とすることができることを説
明する原理図。

【図１０】レーザ管からのレーザ光を照射に直接用いる
一実施例の構成を示す説明図。

【図１１】レーザ管からのレーザ光を整形し径を大きく
してから用いる一実施例の構成を示す説明図。

【図１２】弱いレーザマイクロビーム走査によって試料
観察を行い照射位置を設定する一実施例の構成を示す説
明図。

【符号の説明】

１…Ｘ線集光素子、２…Ｘ線源、３…Ｘ線、４…Ｘ線集
光点、５…可視光用対物レンズ、６…試料観察用可視
光、７…十字線、８…試料観察用可視光反射鏡、９…レ
ーザ管、１０…レーザ光、１１…集光レンズ、１２…タ
ーゲット、１３…プラズマ、１４…Ｘ線分光集光用多層
膜反射鏡、１５…ピンホール、１６…照明系、１７…試
料、１８…ビデオカメラ、１９…モニタ、２０…真空容
器、２１…蛇腹、２２…真空容器可動部分、２３…Ｘ−
Ｙステージ、２４…レーザ光用窓、２５…試料観察用
窓、２６…Ｘ線用窓、２７…電子線源、２８…電子線、
２９…電磁レンズ、３０…薄膜ターゲット、３１…真空
鏡筒可動部分、３２…シンクロトロン電子蓄積リング、
３３…ウォルター鏡、３４…信号検出器、３５…一体型
レンズ、１０１…レーザ光集光用を兼ねる試料観察用顕
微鏡対物レンズ、１０２…レーザ光、１０３…試料、１
０４…半透鏡、１０５…結像用レンズ、１０６…十字
線、１０７…レーザ管、１０８…試料観察用照明系、１
０９…試料観察用照明光、１１０…ビデオカメラ、１１
１…モニタ、１１２…Ｘ−Ｙステージ、１１３…第１の
補助レンズ、１１４…ピンホール、１１５…第２の補助
レンズ、１１６…大口径レーザ光、１１７…透過光検出
器

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マイクロビームを集光する集光手段を、
   マイクロビームの光軸に対して垂直な方向に駆動するこ
   とにより、前記ビームの集光点を走査することを特徴と
   するマイクロビーム走査方法。
2. 【請求項２】 マイクロビームを集光する集光手段と、
   該集光手段をマイクロビームの光軸に垂直な方向に駆動
   する駆動手段とを備えたことを特徴とするマイクロビー
   ム走査装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載のマイクロビーム走査装置
   において、 前記集光手段と同軸上に設置されたマイクロビームの集
   光点を観察するための可視光用対物レンズと、該対物レ
   ンズの結像面に設けられた照準とを備え、 前記駆動手段がこれら対物レンズおよび集光手段を一括
   して駆動することを特徴とするマイクロビーム走査装
   置。
4. 【請求項４】 請求項２記載のマイクロビーム走査装置
   において、 前記マイクロビームがＸ線ビームであり、このＸ線ビー
   ムの集光点を観察する前記集光手段と同軸上に設置され
   た可視光用対物レンズを有する可視光用光学系と、前記
   可視光用対物レンズの結像面に設けられた照準とを備
   え、 前記集光手段によるＸ線ビームの縮小率の逆数と、前記
   可視光用光学系の拡大倍率とが同一であることを特徴と
   するマイクロビーム走査装置。
5. 【請求項５】 請求項２記載のマイクロビーム走査装置
   において、 前記マイクロビームの集光点を観察するための複数のレ
   ンズからなる可視光用対物レンズ群と、この対物レンズ
   群の結像面に設けられた照準とを備え、 前記対物レンズ群の少なくとも一部が、前記集光手段を
   兼ねることを特徴とするマイクロビーム走査装置。