JP6583013B2 - 粗さ測定機 - Google Patents
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Description
図2は、測定部12の全体斜視図である。図3は、測定部12の組立斜視図である。図4は、検出器22の概略構成図である。
測定部本体16は、外観視において直方体の箱型に構成される。測定部本体16は、角筒状の外装ケース28、及び外装ケース28に覆われた骨格部30を備える。骨格部30の所定の位置に検出器22、移動体24及び駆動部26等が配置されて測定部12の主要部が構成される。
図2〜図4の如く、検出器22は、その長手方向が移動軸Aに沿って配置されたアーム40を備える。アーム40の先端部には、触針18の基端部が固定されている。触針18は、その長手方向がアーム40の長手方向に対して直交する方向に固定されている。ここで、触針18の基端部から先端部に向かう長手方向が、前述した触針18の測定方向であり、触針18の測定方向が検出器22の向きに相当する。また、触針18の先端部には、例えばダイヤモンド製のコンタクト42が取り付けられ、このコンタクト42が被測定物の表面(測定面)に実質的に当接される。ここで、測定部本体16の長手方向において、検出器22が備えられた部分を測定部本体16の先端部16Aと称し、先端部16Aに対して反対側の部分を測定部本体16の基端部16Bと称する。
図3の如く、移動体24は、検出器22の基端部に連結される。
図3の如く、駆動部26は、送りネジ56及びモータ58を備える。また、駆動部26は、移動体24に摺接されて移動体24を移動軸Aに沿った第2方向に移動自在に案内するガイド機構部60を備える。
ガイド機構部60は、移動軸Aに沿って配置され、移動体24の左右方向から移動体24を挟んで対向配置された一対のガイドレール(ガイド部)62、62を有する。ガイドレール62、62は、骨格部30に固定され、又は骨格部30の一部を成し、互いに対向する内側面には、移動軸Aに沿ったV字状の溝64が備えられる。なお、溝64の形状はU字状であってもよい。
角度調整部70は、測定部本体16の外装ケース28の2つの側面28A、28Bから突出自在な脚部34、38と、脚部34、38の突出量を調整する調整部68と、を備える。
図1の如くデータ処理部14は、箱状の本体部72を備える。本体部72は、上部にコネクタ74を備え、このコネクタ74と測定部本体16のコネクタ78とが、破線で示すケーブル76を介して接続されることにより、測定部12とデータ処理部14とが電気的に接続される。
<第1の測定形態及び第2の測定形態での測定方法>
実施形態の粗さ測定機10を用いて図5の第1の測定形態、及び図6の第2の測定形態での測定方法について説明する。
まず、測定部12のセッティングを行う。すなわち、測定部12の側面28Aを下面として脚部32、34を測定台100に載置する。そして、検出器22をホルダ部44に対し、必要に応じて回転させて、触針18の測定方向を側面28Aの法線方向に向ける。そして、測定台100に被測定物W1を載置するとともに、被測定物W1の表面に対する検出器22の高さを高さ調整部55によって調節する。
まず、測定部12のセッティングを行う。すなわち、図6の如く、測定部12の側面28Aを上面としてプレート102の溝102Aに被測定物W2を直接載置する。そして、触針18の測定方向が側面28Aの法線方向に向いていることを確認後、被測定物W2の測定面に対する検出器22の高さを高さ調整部55によって調節する。
図5に示した第1の測定形態において、被測定物W1の高さ寸法H1が、高さ調整部55による検出器22の上下の移動範囲を超えた場合の第3の測定形態について説明する。
Claims (5)
- 第1面を第1方向の一方側に向けた第1姿勢と、前記第1面とは反対側の第2面を前記第1方向の一方側に向けた第2姿勢との間で反転可能な測定部本体と、
前記測定部本体に設けられ、前記第1方向に直交する第2方向に移動可能な移動体と、
前記移動体を移動させる駆動部と、
前記移動体に設けられた検出器ホルダと、
前記検出器ホルダに保持され、被測定物の表面粗さを検出する検出器と、
前記第1面側又は前記第2面側に配置された被測定物の表面に対する前記検出器の高さを調整する高さ調整部と、
前記検出器の向きを前記第1面側と前記第2面側との間で切り替える切替部と、
を備える、粗さ測定機。 - 前記測定部本体の前記第1面及び前記第2面には、前記被測定物に対する前記測定部本体の傾きを調整する角度調整部が設けられている、
請求項1に記載の粗さ測定機。 - 前記測定部本体には、前記移動体を挟んで対向配置され、前記移動体の前記第1方向の移動を規制しつつ前記第2方向に沿って案内する一対のガイド部が設けられている、
請求項1又は2に記載の粗さ測定機。 - 前記検出器は、前記検出器ホルダに対して前記第1方向を中心に回転自在に保持され、
前記検出器及び前記検出器ホルダの一方には係合部、他方には被係合部が設けられ、
前記切替部は、前記検出器を前記検出器ホルダに対して回転させたときに、前記係合部と前記被係合部とを係合させることで、前記検出器の向きを前記第1面側又は前記第2面側のいずれか一方に位置決めすることにより、前記検出器の向きを前記第1面側と前記第2面側との間で切り替える、
請求項1、2又は3に記載の粗さ測定機。 - 前記角度調整部は、前記測定部本体の前記第1面及び前記第2面から突出自在な脚部と、前記脚部の突出量を調整する調整部と、を備える、請求項2に記載の粗さ測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019159562A Division JP6861359B2 (ja) | 2019-09-02 | 2019-09-02 | 測定装置 |
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CN114674193B (zh) * | 2022-03-04 | 2024-05-07 | 海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司 | 自定心测量装置及测量机 |
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