JP6580977B2 - センサ素子 - Google Patents
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Description
前記支持部よりも温度拡散係数の低い第1皮膜と、前記第1皮膜上に位置する、温度を検出可能な第2検出部とを備え、前記第2検出部は、抵抗部およびヒーター部を具備する熱浸透率センサであり、前記第1皮膜の厚みをdとし、前記第1皮膜の温度拡散係数をaとしたときに、d 2 /4a≧0.1を満たす。
9には、右手系のXYZ座標系を付しており、以下では、便宜上、Z軸方向を上下方向として説明をするが、上下方向が必ずしも鉛直方向に限定されない。また、鉛直方向における上下が逆であってもよい。
、例えば5〜100μmに設定される。このように接続部3を薄くすることによって可撓性が発現される。
抗値が変化し、この抵抗値の変化に基づく出力電圧の変化が電気信号として取り出される。そして、この電気信号を外部のIC(integrated circuit)で演算処理することによって可動部2に加わった力の方向および大きさが検知される。
持部1の側面に位置していてもよく、下面に位置していてもよい。また、第1配線導体は、支持部1の表面または内部に位置している。また、第1配線導体は、接続部2の表面または内部に位置していてもよい。
図7は、変形例としての第2実施形態のセンサ素子200の斜視図であり、図8は、センサ素子200の断面図である。なお、図8の断面図は図3のセンサ素子100の断面と同じ断面を示している。図7および図8において、センサ素子100と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
図9は、変形例としての第3実施形態のセンサ素子300の断面図である。なお、図9の断面図は図3のセンサ素子100の断面と同じ断面を示している。図9において、センサ素子100と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
2:可動部
3、33:接続部
4:第1検出部
5:第1皮膜
6:第2検出部
7:第2皮膜
100、200、300:センサ素子
Claims (6)
- 可動部と、
平面視して前記可動部を取り囲む孔部を有する支持部と、
前記可動部と前記支持部とを接続する可撓性を有する接続部と、
前記可動部の変位量または前記接続部の変形量を検出可能な第1検出部と、
前記支持部上に位置する、前記支持部よりも温度拡散係数の低い第1皮膜と、
前記第1皮膜上に位置する、温度を検出可能な第2検出部と
を備え、
前記第2検出部は、抵抗部およびヒーター部を具備する熱浸透率センサであり、前記第1皮膜の厚みをdとし、前記第1皮膜の温度拡散係数をaとしたときに、
d 2 /4a≧0.1を満たす
センサ素子。 - 前記抵抗部から最短の前記第1皮膜の側面までの距離をLとし、前記第1皮膜の温度拡散係数をaとしたときに、L2/4a≧0.1を満たす、請求項1に記載のセンサ素子。
- 前記第1皮膜は樹脂を母材として含む、請求項1または2に記載のセンサ素子。
- 前記支持部は無機物を主として含む、請求項1乃至3のいずれかに記載のセンサ素子。
- 前記第1皮膜と間隔をあけて前記可動部上に位置している第2皮膜をさらに具備している、請求項1乃至4のいずれかに記載のセンサ素子。
- 前記第1皮膜と前記第2皮膜とは同じ材料からなる、請求項5に記載のセンサ素子。
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JP2015247747A JP6580977B2 (ja) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | センサ素子 |
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JP2017111096A JP2017111096A (ja) | 2017-06-22 |
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