JP6580137B2 - 真空バルブ - Google Patents

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Description

本発明は、真空バルブに関し、本発明は、上述した問題点を解決するために考案されたもので、本発明の目的は、駆動ブロック両側面に、突出溝区間、第１、及び第２傾斜溝区間を含む開閉駆動ガイド溝を形成し、エルモーションブロック（L-Motion Block）に、前記開閉駆動ガイド溝に引き込まれて移動可能なエルモーションローラー（L-Motion Roller）を形成し、エルモーションローラー（L-Motion Roller）が第１傾斜溝区間の末端部に位置すると、バルブブレードの一側面が、流入部を閉鎖し、エルモーションローラー（L-Motion Roller）が第２傾斜溝区間の末端部に位置することになると、バルブブレードの一側面が、ハウジングの内部面に密着して、バルブブレードの閉鎖面に具備したパッキンリングが、空気及び流体に接触することを基本的に防止することで、パッキンリングの製品性を増進させ、パッキンリングの交換周期を延長することを特徴とする真空バルブに関するものである。
一般的に、半導体素子を製造するための半導体製造工程は、高精度を要求するので、高い清浄度と特殊な製造技術が要求されている。
このため、半導体素子は、空気中に含まれた異物の接触を完璧に防止した状態、つまり、真空状態で製造されることで、製品の信頼性と完成度の高い製品を生産できる。
一方、半導体素子を製造する工程チャンバー内部の真空状態を維持するために工程チャンバーの外部には、工程チャンバー内部の空気及び、その他気体を吸入する真空ポンプが設置される。
また、前記工程チャンバーと真空ポンプとの間には、真空バルブが設置され、工程チャンバー内部の、空気及びその他気体を外部に排出する場合には、真空バルブを開放し、工程チャンバー内部の真空状態を維持する場合には、真空バルブを閉鎖することにより、工程チャンバー内部を常に清浄な真空状態に維持することができる。
下記特許文献１に開示された「ゲートバルブ」は、バルブボックスと前記バルブボックス内に設置されたバルブシートに対向して接するように、前記バルブボックス内に配置されたバルブデスクと、前記バルブデスクに連結された前記バルブボックス内から、前記バルブボックスの外へベローズを介して上下運動及び傾斜運動できるように気密に突出するバルブロッドと、前記バルブロッドを介して、前記バルブデスクを前記バルブシートに対向する位置と対向しない位置に移動できるようにし、前記バルブデスクが前記バルブシートから離間して対向する位置になった後、前記バルブロッドを傾斜運動させ、前記バルブデスクが前記バルブシートに押されるようにしたバルブボックスの外部に設置された移動手段によって構成され、前記移動手段が、ピストンシリンダー装置と、前記ピストンシリンダー装置のピストンロッドと、前記バルブロッドを相互に連結させるために、これら一方及び他の側にそれぞれ設置されたローラー及び前記ローラーに結合される傾斜長孔と、前記ピストンロッド及びバルブロッドを軸方向へ互いに離間するように抑制するスプリングと、前記バルブロッドを上下運動及び、傾斜運動可能に案内するために、前記ピストンシリンダー装置のシリンダーに形成したガイドによって構成され、前記ピストンシリンダー装置により前記ピストンロッドを前記バルブロッドに対して接近させるように押したときに、前記ローラー及び、傾斜長孔を介して前記バルブロッドが傾いて、前記バルブデスクが前記バルブシートに押されるようになることが特徴であり、前記バルブボックス内には、前記バルブデスクを前記バルブシートに対して押すための機械部品がすべて含まれているわけではなく、前記バルブボックス内で摩耗などによる不純物が発生する恐れがないという長所があった。
しかし、特許文献１に開示された「ゲートバルブ」は、前記バルブデスクがバルブシートを押し、バルブを閉鎖した状態からバルブロッドを垂直に移動して、バルブデスクがバルブシートから離間してバルブを開放する場合に、前記バルブデスクの前面部がバルブシートの内側空間に露出した状態を維持するため、前記バルブシート内側に空気とその他気体が移動する過程で、前記空気とその他気体が前記バルブデスクの前面部に具備した弾性材料のＯリングと接触することにより、前記Ｏリングが腐食したり、変形が早く進行して、前記Ｏリングの交換周期を短縮するという問題があった。
大韓民国登録特許第１０−０３３８１６４号公報
本発明は、上述した問題点を解決するために考案されたもので、本発明の目的は、駆動ブロック両側面に、突出溝区間、第１傾斜溝区間、及び第２傾斜溝区間が含まれる開閉駆動ガイド溝を形成し、エルモーションブロック（L-Motion Block）に、前記開閉駆動ガイド溝に引き込まれて移動可能なエルモーションローラー（L-Motion Roller）を形成し、エルモーションローラー（L-Motion Roller）が第１傾斜溝区間の末端部に位置すると、バルブブレードの一側面が、流入部を閉鎖し、エルモーションローラー（L-Motion Roller）が第２傾斜溝区間の末端部に位置すると、バルブブレードの一側面が、ハウジングの内部面に密着して、バルブブレードの閉鎖面に具備したパッキンリングが、空気及び流体に接触することを基本的に防止することで、パッキンリングの製品性を増進させ、パッキンリングの交換周期を延長することができる真空バルブを提供する。
前記のような問題点を解決するために、本発明に係る真空バルブ１は、内側に流体移動ホール１０１を形成し、流体を流入する流入部１１０と流体を流出する流出部１２０を形成するバルブハウジング１００と、
前記バルブハウジング１００の内側に位置し、前記流入部１１０を開閉するバルブブレード２００と、
前記バルブブレード２００と連結され、上部に突出し形成される連結突起３１０が形成されるバルブロッド３００と、
前記連結突起３１０と連結され、下部両側面にストロークローラー４１０がそれぞれ形成され、上部両側面にエルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０がそれぞれ形成されるエルモーションブロック（L-Motion Block）４００と、
前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００と連結され、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０がそれぞれ引き込まれて上下に移動できるように、両側面に開閉駆動ガイド溝５１０がそれぞれ形成される駆動ブロック５００と、
前記駆動ブロック５００の一面に具備するスプリングピン６００と、前記スプリングピン６００と、
前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０の間に具備する弾性部材７００と、
前記バルブハウジング１００の上部に結合され、両側の内面には、前記ストロークローラー４１０がそれぞれ導入されるように陥没し形成されるストロークローラーレール溝８１０が構成されるガイドハウジング８００と、
前記ガイドハウジング８００の上部に着脱可能に結合されるシリンダー９００と、
前記シリンダー９００の内部から外部へ気密を維持すると、突出して駆動ブロック５００と連結され、油圧によって垂直運動するピストン９１０と、を含んで構成されることを特徴とする。
また、前記ストロークローラー４１０は、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０より
閉鎖方向Ｃ側に偏心されるように設置することを特徴とする。
さらに、開閉駆動ガイド溝５１０は、閉鎖方向Ｃ側に突出し形成される突出溝区間５１１が構成され、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が、前記突出溝区間５１１に位置すると、前記ストロークローラー４１０を中心に、前記バルブブレード２００が開放方向Ｏ側に傾いた状態を維持することを特徴とする。
また、前記突出溝区間５１１から上方向へ向かいながら、開放方向Ｏ側に傾くように形成される第１傾斜溝区間５１２が構成され、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が、前記第１傾斜溝区間５１２の末端部５１２ａに位置すると、前記ストロークローラー４１０を中心に、前記バルブブレード２００が閉鎖方向Ｃ側に移動し、前記バルブブレード２００が前記流入部１１０を閉鎖することを特徴とする。
また、前記突出溝区間５１１から下方向へ向かいながら、開放方向Ｏ側に傾くように形成される第２傾斜溝区間５１３が構成され、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が前記第２傾斜溝区間５１３の末端部５１３ａに位置すると、前記ストロークローラー４１０を中心に、前記バルブブレード２００が閉鎖方向Ｃ側に移動し、前記バルブブレード２００が前記バルブハウジング１００の内部面１０２に密着されることを特徴とする。
本発明によれば、本発明は、上述した問題点を解決するために考案されたもので、本発明の目的は、駆動ブロック両側面に、突出溝区間、第１傾斜溝区間、及び第２傾斜溝区間が含まれる開閉駆動ガイド溝を形成し、エルモーションブロック（L-Motion Block）に、前記開閉駆動ガイド溝に引き込まれて移動可能なエルモーションローラー（L-Motion Roller）を形成し、エルモーションローラー（L-Motion Roller）が第１傾斜溝区間の末端部に位置すると、バルブブレードの一側面が、流入部を閉鎖し、エルモーションローラー（L-Motion Roller）が第２傾斜溝区間の末端部に位置するようになると、バルブブレードの一側面が、ハウジングの内部面に密着して、バルブブレードの閉鎖面に具備したパッキンリングが、空気及び流体に接触することを基本的に防止することで、パッキンリングの製品性を増進させ、パッキンリングの交換周期を延長するという長所がある。
本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの全体の様子を示す斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、ガイドハウジングの内部に形成された構成要素間の組立状態を示す組立状態図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの分解された様子を示す分解斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、ガイドハウジングの内部に形成された構成要素間の組立状態を示す正面図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、流入部が閉鎖される様子を示す作動状態図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、流入部が閉鎖される様子を示す作動状態図である。 （ｃ）、（ｄ）は、本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、流入部が閉鎖される様子を示す作動状態図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、流入部が開放される様子を示す作動状態図である。 （ｃ）、（ｄ）は、本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、流入部が開放される様子を示す作動状態図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、バルブハウジングとバルブブレードクリーンガイド装置が結合される様子を示す分解斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中から、バルブハウジングとバルブブレードクリーンガイド装置の断面の様子を示す部分断面図である。
以下では、添付された図面を参照して、本発明の一実施例に係る真空バルブ１を詳細に説明する。まず、図面の中から、同一の構成要素または部品は、できる限り同一の参照符号で示していることに注意しなければならない。本発明を説明することにおいて、関連した公知機能あるいは構成についての具体的な説明は、本発明の要旨を曖昧ではないようにするために略する。
本発明は、図２または図３に示すように、概ね、バルブハウジング１００とバルブブレード２００、バルブロッド３００、エルモーションブロック（L-Motion Block）４００、駆動ブロック５００、ガイドハウジング８００及び、シリンダー９００で構成される。
説明に先立ち、図２、４、６、７、８、９に示すように、ガイドハウジング８００の正面部または側面部には、内部の構成要素であるベローズ３２０、エルモーションブロック（L-Motion Block）４００、駆動ブロック５００の構成を明確に把握できるようにするために、その表現を省略し、図５、６、７、８、９に示すように、バルブハウジング１００、ベローズ３２０、駆動ブロック５００、シリンダー９００は、本発明の作動状態を明確に表現するために、その形状を点線で表現したことに留意しなければならない。
また、図４、６、７、８、９に示すように、図面の左側を閉鎖方向Ｃ、右側を開放方向Ｏに設定することに留意しなければならない。
まず、バルブハウジング１００について説明する。バルブハウジング１００は、図１または図３に示すように、工程チャンバー（不図示）と真空ポンプ（不図示）の間に設置される構成要素として、流体を流入する流入部１１０と、流体を流出する流出部１２０を形成する。
次に、バルブブレード２００について説明する。バルブブレード２００は、図３または図４に示すように、流体移動ホール１０１の内部に位置し、前記流入部１１０を開閉する構成要素として、前記バルブブレード２００は、後述するピストン９１０の上方向及び下方向へ移動されることにより、前記流入部１１０末端側の周囲に形成されたバルブシート１１１に、前記バルブブレード２００の閉鎖面２１０が密着し、前記流入部１１０を閉鎖したり、開放することができる。
本発明において、前記バルブブレード２００は、前記流入部１１０を開放した状態で、前記バルブハウジング１００の内部面１０２に、前記バルブブレード２００の閉鎖面２０１が密着するように構成することにより、密閉の気密性を増加させるために、前記閉鎖面２０１に具備するパッキンリング２１０が、前記流体移動ホール１０１上に露出しないようになり、空気及び流体に接触することを基本的に防止することができる。
次に、バルブロッド３００について説明する。前記バルブロッド３００は、図３に示すように、上部に連結突起３１０が形成され、後述するエルモーションブロック（L-Motion Block）４００と連結され、下部には、前記バルブブレード２００と結合される構成要素として、前記バルブロッド３００は、後述する駆動ブロック５００の開閉駆動ガイド溝５１０に停止される後述するエルモーションブロック（L-Motion Block）４００のエルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０の位置によって垂直及び水平へ移動することができるようになる。
一方、前記バルブハウジング１００とエルモーションブロック（L-Motion Block）４００の間には、図２または図３に示すように、気密を維持し、前記バルブロッド３００を取り囲むベローズ３２０を具備することにより、前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００の垂直運動をガイドすることができる。
また、前記ベローズ３２０は、前記バルブロッド３００と、後述するガイドハウジング８００を離間させる役割をすることで、前記流入部１１０が開放される場合に、前記流入部１１０を介して前記ガイドハウジング８００内部に進入することができる空気及び流体を遮断する。
次に、エルモーションブロック（L-Motion Block）４００について説明する。前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００は、図２または図３に示すように、逆「Ｔ」型の形状に形成され、下部は前記バルブロッド３００に結合され、上部には駆動ブロック５００と連結される構成要素として、ストロークローラー４１０とエルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０を含む。
前記ストロークローラー４１０は、前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００の下部両側面に回転可能に設置されるもので、本発明の作動過程で、前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００が垂直方向へ移動することをガイドする。
一方、本発明において、前記ストロークローラー４１０は、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０より閉鎖方向Ｃ側に偏心されるように設置されることが特徴として、前記ストロークローラー４１０は、図６〜図９に示すように、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が閉鎖方向Ｃへ突出し形成された後述する突出溝区間５１１に位置する場合に、前記バルブロッド３００は傾いた状態となり、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が開放方向Ｏへ傾くように形成された後述する第１、第２傾斜溝区間５１２、５１３のそれぞれの末端部５１２ａ、５１３ａに位置する場合に、前記バルブロッド３００は直立状態となることで、前記流入部１１０の開閉動作及び、前記バルブハウジング１００の内部面１０２密着動作が円滑に行われることができる。
また、前記ストロークローラー４１０は、前記開閉駆動ガイド溝５１０に停止され、移動するエルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０の位置によって、前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００が水平方向へ移動する場合に、前記ストロークローラー４１０が挿入される、後述するガイドハウジング８００のストロークローラーレール溝８１０により、前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００の下部は、水平方向へ移動しないように中心軸の役割をし、前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００の上部だけ水平方向へ移動することができる。
エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０は、エルモーションブロック（L-Motion Block）４００の上部両側面に回転可能に設置されるもので、開閉駆動ガイド溝５１０に停止されて垂直方向へ移動する位置によって、バルブロッド３００を閉鎖方向Ｃまたは開放方向Ｏへ移動させることができる。
次に、駆動ブロック５００について説明する。駆動ブロック５００は、図２または図３に示すように、内側にエルモーションブロック（L-Motion Block）４００の上部が引き込まれ、上部はピストン９１０と連結される構成要素として、開閉駆動ガイド溝５１０とガイドローラー５２０を含む。
前記開閉駆動ガイド溝５１０は、図５に示すように、駆動ブロック５００の両側に形成され、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が停止されることにより、突出溝区間５１１、第１傾斜溝区間５１２、第２傾斜溝区間５１３で構成される。
前記突出溝区間５１１は、図５に示すように、閉鎖方向Ｃ側へ突出し形成される区間で、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が前記突出溝区間５１１に位置すると、前記ストロークローラー４１０を中心に、前記バルブブレード２００が開放方向Ｏ側へ傾いた状態を維持することができる。
前記第１傾斜溝区間５１２は、図５に示すように、突出溝区間５１１から上方向へ向かいながら、開放方向Ｏ側へ傾くように形成される区間で、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が、第１傾斜溝区間５１２の末端部５１２ａに位置すると、前記ストロークローラー４１０を中心に、バルブブレード２００が閉鎖方向Ｃ側へ移動し、バルブブレード２００が流入部１１０を閉鎖することができる。
前記第２傾斜溝区間５１３は、図５に示すように、前記突出溝区間５１１から下方向へ向かいながら、開放方向Ｏ側へ傾くように形成される区間で、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が、前記第２傾斜溝区間５１３の末端部５１３ａに位置すると、前記ストロークローラー４１０を中心に、前記バルブブレード２００が閉鎖方向Ｃ側へ移動し、前記バルブブレード２００が前記バルブハウジング１００の内部面１０２に密着することができる。
一方、本発明において、ガイドローラー５２０は、駆動ブロック５００の上部両側面に、回転可能にそれぞれ設置されるもので、円滑な作動のためには、駆動ブロック５００が垂直方向へのみ移動するようにし、水平方向へ移動しないように、２つ以上具備することが好ましい。
また、前記ガイドローラー５２０は、前記開閉駆動ガイド溝５１０と干渉しない位置に形成され、本発明の作動過程で、前記駆動ブロック５００が垂直方向へ移動することをガイドすることができる。
一方、図３または図４に示すように、前記開閉駆動ガイド溝５１０に停止される前記ストロークローラー４１０と、前記駆動ブロック５００の一面に設置されるスプリングピン６００の間には、弾性力を提供する弾性部材７００を具備することが好ましい。
本発明において、弾性部材７００は、真空バルブ１が作動する過程で、流入部１１０を開閉するために、前記バルブロッド２００が昇降作動する場合、ピストン９１０の昇降により前記ストロークローラー４１０が、ストロークローラーレール溝８１０に沿って移動し、後述するストロークローラーレール溝の末端部８１０ａまたは上端部８１０ｂに到達し、バルブロッド３００、エルモーションブロック（L-Motion Block）４００の昇降が完了するまで、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０を、前記突出溝区間５１１に引き込まれた状態に維持させる役割をする。
また、図７の（ｄ）に示すように、弾性部材７００は、ストロークローラー４１０が、ストロークローラーレール溝８１０の末端部８１０ａまたは上端部８１０ｂに着いた後、続けて昇降するピストン９１０の圧力により弾性変形を起こし、駆動ブロック５００を昇降させ、エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が、第１傾斜溝区間５１２の末端部５１２ａまたは、第２傾斜溝区間５１３の末端部５１３ａに位置するようにすることにより、本発明の意図に合わせて円滑な作動を行うことができる。
次に、ガイドハウジング８００について説明する。前記ガイドハウジング８００は、図３に示すように、前記バルブハウジング１００の上部に結合され、前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００及び、駆動ブロック５００等の駆動要素を保護し内蔵する機能を持つ構成要素として、前記ガイドハウジング８００の両側内面には、前記ストロークローラー４１０が挿入されて移動するように、陥没し形成されるストロークローラーレール溝８１０と、前記ガイドローラー５２が挿入されて移動するように、陥没し形成されるガイドローラーレール溝８２０がそれぞれ構成されている。
次に、シリンダー９００について説明する。前記シリンダー９００は、図３に示すように、前記ガイドハウジング８００の上部に結合する構成要素として、前記シリンダー９００の内部から外部へ気密を維持すると、突出して駆動ブロック５００と連結され、油圧によって垂直運動するピストン９１０を具備する。
前記シリンダー９００を構成し、作動される原理は、本発明が属する分野で広く知られた水準の技術水準に該当するので、詳細な説明は省略する。
以下、図６〜図９を参照して、本発明の好ましい例による真空バルブ１の作動状態について説明する。
図６及び図７は、本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ１の構成の中から、流入部１１０が閉鎖される様子を示す作動状態図であり、図８と図９は、本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ１の構成の中から、流入部１１０が開放される様子を示す作動状態図である。
図８及び図９を参照して、本発明の特徴である、前記流入部１１０が開放され、前記バルブブレード２００が前記バルブハウジング１００の内部面１０２に密着される過程を説明する。
まず、図８の（ａ）に示すように、前記流入部１１０は、前記ピストン９１０の下降が終了すると、前記バルブブレード２００の閉鎖面２０１が、前記流入部１１０末端側の周囲に形成されたバルブシート１１１に密着して閉鎖された状態を維持する。
この場合、前記ストロークローラー４１０は、前記ストロークローラーレール溝８１０の末端部８１０ａに位置し、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０は、前記第１傾斜溝区間５１２の末端部５１２ａに位置した状態となり、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０と前記スプリングピン６００の間に連結されている前記弾性部材７００は、下方向へ引張られた状態を維持する。
また、前記ベローズ３２０は、前記ピストン９１０の下降完了により圧縮された状態となる。
前記のような状態では、前記ピストン９１０を上昇させると、前記弾性部材７００の引張力が解除されることにより、駆動ブロック５００が上昇し、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が、前記第１傾斜溝区間５１２の末端部５１２ａから前記突出溝区間５１１に移動する。
前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が前記突出溝区間５１１から前記突出溝区間５１１に移動する過程で、図８の（ｂ）に示すように、前記バルブロッド３００は、前記ストロークローラー４１０を中心に開放方向Ｏへ水平移動するようになり、直立状態から傾いた状態に移動し、これと同時に、前記バルブシート１１１と密着していた前記バルブブレード２００は、前記バルブロッド３００と一緒に水平移動することにより、前記流入部１１０が開放される。
前記のような状態では、前記ピストン９１０が続けて上昇すると、図９の（ｃ）に示すように、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０は、前記突出溝区間５１１に停止された状態を維持しながら、前記ベローズ３２０が圧縮状態で元の状態に回復され、前記バルブロッド３００と、前記エルモーションブロック（L-Motion Block）４００及び駆動ブロック５００は上昇する。
前記バルブロッド３００が上昇することによって、前記バルブブレード２００は、前記流入部１１０と流出部１２０の水平経路から脱した、前記流体移動ホール１０１の上部に位置することで、前記流入部１１０は、完全に開放された状態となる。
一方、前記ピストン９１０が続けて上昇し、前記ストロークローラー４１０が前記ストロークローラーレール溝８１０の上端部８１０ａに位置した状態となり、前記ストロークローラー４１０が前記ストロークローラーレール溝８１０の上端部８１０ａに位置した状態で、前記ピストン９１０が続けて上昇すると、前記駆動ブロック５００が上昇し、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０は、前記突出溝区間５１１から前記第２傾斜溝区間５１３へ移動し、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０と前記スプリングピン６００の間に連結されている前記弾性部材７００は、前記駆動ブロック５００の上昇により上方向へ引張られた状態を維持する。
前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）４２０が、前記突出溝区間５１１から前記第２傾斜溝区間５１３に移動する過程で、図９の（ｄ）に示すように、前記バルブロッド３００は、前記ストロークローラー４１０を中心に閉鎖方向Ｃへ水平移動し、傾いた状態で直立状態に変更される同時に、前記バルブロッド３００が前記流入部１１０と流出部１２０の水平経路から脱した位置で、前記バルブロッド３００と一緒に水平移動することにより、前記バルブブレード２００の閉鎖面２０１と、前記バルブハウジング１００の内部面１０２は密着した状態を維持する。
前記のような状態によって、前記バルブブレード２００の閉鎖面２０１に具備したパッキンリング２１０の気密を維持することで、空気及び流体に接触することを基本的に防止し、前記パッキンリング２１０の製品性を増進させ、前記パッキンリング２１０の交換周期を延長することができる。
一方、前記流入部１１０の閉鎖過程は、図６または図７に示すように、前述した前記流入部１１０の開放過程の逆順で進行される。
一方、図１０または図１１に示すように、前記流入部１１０が形成された前記バルブハウジング１００の側面には、打孔し形成される結合ホール１３０が構成され、前記結合ホール１３０に結合するバルブブレードクリーンガイド装置１０００が構成される。
これにより、前記バルブブレード２００の閉鎖面２０１が、前記バルブハウジング１００の内部面１０２に密着した状態で、浄化されたガスを注入させると、浄化されたガスがガス移動ホール１１００を経て、前記バルブブレード２００の閉鎖面２０１に存在する工程副産物を除去することにより、前記バルブブレード２００及びパッキンリング２１０の製品の寿命を延長することができる。
図面と明細書で最適の実施例を開示した。ここで特定の用語を用いたが、これは単に本発明を説明するための目的で用いたものであり、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するために用いたものではない。従って、当該技術分野の通常の知識を有する者であれば、多様な変形および均等な他の実施例が可能であることを理解すべきである。また、本発明の真の技術的保護範囲は、添付された特許請求の範囲の技術的思想によって定められる。

Claims (6)

  1. 内側に流体移動ホール（１０１）を形成し、流体を流入する流入部（１１０）と流体を流出する流出部（１２０）を形成するバルブハウジング（１００）と、
    前記バルブハウジング（１００）の内側に位置し、前記流入部（１１０）を開閉するバルブブレード（２００）と、
    前記バルブブレード（２００）と連結され、上部に突出し形成される連結突起（３１０）が形成されるバルブロッド（３００）と、
    前記連結突起（３１０）と連結され、下部両側面にストロークローラー（４１０）がそれぞれ形成され、上部両側面にエルモーションローラー（L-Motion Roller）（４２０）がそれぞれ形成されるエルモーションブロック（L-Motion Block）（４００）と、
    前記エルモーションブロック（L-Motion Block）（４００）と連結され、前記のエルモーションローラー（L-Motion Roller）（４２０）がそれぞれ引き込まれ、上下に移動可能なように両側面に開閉駆動ガイド溝（５１０）がそれぞれ形成される駆動ブロック（５００）と、
    前記駆動ブロック（５００）の一面に具備したスプリングピン（６００）と、
    前記スプリングピン（６００）と、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）（４２０）の間に具備する弾性部材（７００）と、
    前記バルブハウジング（１００）の上部に結合され、両側の内面には、前記ストロークローラー（４１０）がそれぞれ引き込みされるように陥没し形成されるストロークローラーレール溝（８１０）が構成されるガイドハウジング（８００）と、
    前記ガイドハウジング（８００）の上部に結合されるシリンダー（９００）と、
    前記シリンダー（９００）の内部から外部へ気密を維持すると、突出して駆動ブロック（５００）と連結され、油圧によって垂直運動するピストン（９１０）と、を含んで構成されることを特徴とする真空バルブ（１）。
  2. 前記ストロークローラー（４１０）は、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）（４２０）より閉鎖方向（Ｃ）側に偏心されるように設置することを特徴とする、請求項１に記載の真空バルブ（１）。
  3. 前記開閉駆動ガイド溝（５１０）は、閉鎖方向（Ｃ）側に突出し形成される突出溝区間（５１１）が構成され、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）（４２０）が前記突出溝区間（５１１）に位置すると、前記ストロークローラー（４１０）を中心に、前記バルブブレード（２００）が開放方向（Ｏ）側へ傾いた状態を維持することを特徴とする、請求項２に記載の真空バルブ（１）。
  4. 前記突出溝区間（５１１）から上方向へ向かいながら、開放方向（Ｏ）側へ傾くように形成される第１傾斜溝区間（５１２）が構成され、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）（４２０）が、前記第１傾斜溝区間（５１２）の末端部（５１２ａ）に位置すると、前記ストロークローラー（４１０）を中心に、前記バルブブレード（２００）が閉鎖方向（Ｃ）側へ移動し、前記バルブブレード（２００）が前記流入部（１１０）を閉鎖することを特徴とする、請求項３に記載の真空バルブ（１）。
  5. 前記突出溝区間（５１１）から下方向へ向かいながら、開放方向（Ｏ）側へ傾くように形成される第２傾斜溝区間（５１３）が構成され、前記エルモーションローラー（L-Motion Roller）（４２０）が前記第２傾斜溝区間（５１３）の末端部（５１３ａ）に位置すると、前記ストロークローラー（４１０）を中心に、前記バルブブレード（２００）が閉鎖方向（Ｃ）側へ移動し、前記バルブブレード（２００）が前記バルブハウジング（１００）の内部面（１０２）に密着することを特徴とする、請求項４に記載の真空バルブ（１）。
  6. 前記流入部（１１０）が形成された前記バルブハウジング（１００）の側面には、打孔し形成される結合ホール（１３０）が構成され、前記結合ホール（１３０）に結合され、前記バルブブレード（２００）の閉鎖面（２０１）に存在する工程副産物が除去されるように浄化されたガスが移動するガス移動ホール（１１００）が形成されたバルブブレードクリーンガイド装置（１０００）が構成されることを特徴とする、請求項１に記載の真空バルブ（１）。
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