JP6571317B2 - ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の態様に係るライン状照明装置は、それぞれ複数の光源がX方向に直線状に並ぶように実装され、前記複数の光源が前記X方向に一直線状に並ぶように照明装置本体に取付けられた複数の基板付きブロックと、前記X方向に延びるように前記照明装置本体に取付けられ、前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズと、前記複数の光源の光軸方向をZ方向とした時、前記複数の基板付きブロックのうち少なくとも一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、又は、前記集光レンズの前記X方向の一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、前記複数の光源のうち少なくとも一部と前記集光レンズとの前記Z方向の距離を調整する調整手段と、を備える。
このライン状照明装置は、ラインセンサカメラ等の検査用センサの検出位置をライン状(線状)に照明するものであり、照明装置本体10と、それぞれ複数のLED(光源)1が直線状に並ぶように実装された複数の基板付きのブロック20と、複数のLED1が一直線状に並ぶように各ブロック20をそれぞれ照明装置本体10に締結する複数のボルト(締結手段)30と、複数のLED1の並設方向に延びるように照明装置本体10に取付けられ、複数のLED1の光をライン状に集光するロッドレンズ(集光レンズ)40と、ロッドレンズ40から出た光を主にLED1の並設方向に拡散する拡散レンズ41とを備えている。集光位置の光の幅は数mm程度であっても良く、十数mmであっても良く、場合によっては数十mmであっても良く、何れの場合もライン状である。集光レンズの幅(本実施形態の場合はロッドレンズの直径)が30mm以上の場合は、集光位置の光の幅が20mm以上になることもある。以下の説明において、LED1の並設方向をX方向とし、各LED1の光軸およびX方向に直交する方向(各LEDの中心およびライン状の集光位置を含む仮想面に直交する方向)をY方向とし、X方向およびY方向に直交する方向をZ方向(光軸方向)とする。
本実施形態では前記隙間GAの設定により各ブロック20の回転方向の移動を許容しているが、他の方向で回転方向の移動を許容することも可能である。例えば、各ブロック20のX方向の両端部のY方向の中央部を当該X方向の両端部の他の部分よりもX方向に突出させ、隣り合うブロック20同士を当該突出しているY方向の中央部のみで接触させることも可能である。この場合前記隙間GAが無くなるが、前記突出部の分だけ、ブロック20のX方向の両端部における前記他の部分ではブロック20同士の間に隙間ができ、前記回転方向の移動が許容される。前記突出部は、ブロック20のX方向の端部におけるY方向の中央部に1mm程度のフエルト生地を貼り付けることでも設けられ、ブロック20のX方向の端部をX方向に突出する円弧状に形成することでも設けられる。ブロック20の底面は、図2のように、Y方向に延びる軸線に対して所定の角度αだけ傾斜しており、X方向に沿う軸に対しては傾斜していない。
先ず、支持部110に支持されたライン状照明装置の集光位置において、X方向に延びる第1の仮想線上の複数位置で微小点照度を測定する。このために、センサホルダ122が微小点照度センサ123をY方向の所定位置(Y1)に保持した状態でセンサホルダ122をX方向に移動させ、微小点照度センサ123がX方向に数mm移動する毎に微小点照度を測定する。この測定は、X方向における各レーザー光源2による照射位置の範囲まで行う。
続いて、前記第1の仮想線と平行に延び前記第1の仮想線に対してY方向に所定距離(例えば1mm)だけ離れた第2の仮想線上(Y2の位置)の複数位置で微小点照度を測定する。このために、センサY方向移動手段122aが微小点照度センサ123をY方向に前記所定距離(1mm)移動させ、微小点照度センサ123がX方向に数mm移動する毎に微小点照度を測定する。
このように、第1の仮想線上で測定を行った後、nを1ずつ増やしながら、第n−1(nは2以上の整数)の仮想線と平行に延び前記n−1の仮想線に対してY方向に所定距離だけ離れた第nの仮想線上の複数位置で微小点照度を測定する。本実施形態ではnが9になるまで(Y1〜Y9の位置で)上記の測定を行う。本実施形態ではnが9になるまで測定するが、nは2以上であれば良い。また、nが数十〜100になるまで測定を行うと、より正確な測定を行うことができる。
なお、押しねじ15および引きねじ16の代わりに、ブロック20のY方向の位置を調整するための調整装置(図示せず)を支持部110に取付け、当該調整装置によって前記調整を行っても良い。この場合、例えば両方の側面板12に孔12bおよび12cを設ける。また、調整装置は、各孔12b,12cに挿通するブロック移動部材としてのブロック押しロッドと、ブロック押しロッドをその軸方向に進退させるアクチュエータとを備える。
ここで、ブロック20は押しねじ15および引きねじ16によってそのY方向の位置が規制されているので、調整ブロック50のY方向の移動によるブロック20のY方向の移動が抑制され、Y方向のアライメントの調整が崩れることが防止される。
また、押しねじ17や引きねじの代わりに、調整ブロック50のY方向の位置を調整するための調整装置(図示せず)を支持部110に取付け、当該調整部材によって前記調整を行っても良い。この場合、例えば両方の側面板12に孔12dを設ける。また、調整装置は、各孔12dに挿通するブロック移動部材としてのブロック押しロッドと、ブロック押しロッドをその軸方向に進退させるアクチュエータとを備える。このような場合は孔12dに雌ねじを設けなくても良い。
前記印刷される物には前記製造シリアル番号も記載されている。上記の1回目の照度の等高線図を参照し、照度が所定値以上の範囲のY方向へのずれ(蛇行)が基準範囲内であり、X方向の光照度のむらも基準範囲内であればあれば、前記ブロック20のY方向やZ方向の位置の調整をせずに、処理装置124がプリンター126によって照度の等高線図を印刷し、作業者がライン状照明装置を支持部110から取外し、他の所定の検査や、完成品とするための工程を行った後、所定の梱包容器に梱包する。そして、梱包したライン状照明装置を前記印刷した照度の等高線図と共に納入先に送る。なお、照度の等高線図を電子データで納入先に送ることも可能である。納入先に送る測定結果データは、照度の等高線図ではなく、上記グラフであっても良く、測定した微小点照度測定値をX方向およびY方向の測定位置と対応させた数値データであっても良い。
ここで、上記調整が終わった後、照度が所定値以上の範囲のY方向のずれが完全に修正しきれない場合や、照度が所定値以上の範囲が真っ直ぐではあるが全体的にY方向にずれている場合に、レーザー光源2の照射方向を、側面板12に螺合し先端がレーザー光源2に当接するネジ等の照射方向調整手段により、Y方向に調整することも可能である。例えば、図7では2つのレーザー光源2の照射位置2aがY5の付近にあらわれているが、各レーザー光源2の照射方向をY方向に調整し、各照射位置2aがY4の位置等にあらわれるようにしても良い。
なお、上記では、拡散レンズ41を取付けた状態で上記測定を行ったが、拡散レンズ41を取付ける前に上記測定を行うことも可能である。
また、納入先でライン状照明装置の設置作業を行う時に、例えばレーザー光源2の照射位置を基準にラインセンサカメラを仮止めし、レーザー光源2の照射位置が示されたマップデータ又はグラフデータを参照しながらライン状照明装置又はラインセンサカメラの位置を微調整することができる。すなわち、レーザー光源2の照射位置を目印に設置作業を行うことができるので、作業効率がより向上する。
また、レーザー光源2の光はロッドレンズ40を介さずに集光位置に照射されるので、ロッドレンズ40のわずかなうねり等により乱されることが無く、設置作業を行う際の目印としてより信頼することができる。
また、照射位置の最も照度が高いラインの中に斜めになっている部分がある場合、当該部分に対応する基板付きブロック20をZ方向軸まわりに回転移動させて、前記斜めになっている部分の傾斜を低減又は解消することができ、照射位置の精度をより向上することができる。
また、孔12b,12c、押しねじ15および引きねじ16を設けずに、Z方向の調整だけを行うよう構成することも可能である。
また、図8に示すように、各ブロック20に対しY方向一対の調整ブロック50を設けることも可能である。この場合でも、ブロック20は調整ブロック50を介して照明装置本体10に締結され、調整ブロック50のY方向の移動によってブロック20のZ方向の位置を調整できる。図8において、1本のボルトに雌ねじと雄ねじを形成し、雌ねじをY方向一方の調整ブロック50に螺合させ、雄ねじをY方向他方の調整ブロック50に螺合させることも可能である。この場合、当該一本のボルトを回すことにより、Y方向一対の調整ブロック50の間隔を大きく又は小さくすることができる。
第2の実施形態では、図9のように、第1の実施形態に対し、ブロック20とヒートシンク11との締結方法を変え、孔12b,12c、押しねじ15および引きねじ16を省き、孔12d、調整ブロック50および押しねじ17も省いたものである。
第2の実施形態では、ヒートシンク11のY方向の一端側にZ方向突出部11cが設けられ、Z方向突出部11cはヒートシンク11のX方向の全幅に亘って設けられている。Z方向突出部11cのY方向一方の面(側方対向面)は複数のブロック20の側面に対向している。また、ヒートシンク11の取付孔11aはZ方向突出部11cをY方向に貫通するように形成され、各ブロック20がそれぞれボルト30によってZ方向突出部11cに締結されている。
第3の実施形態では、図10のように、第1の実施形態に対し、Z方向調整のための調整ブロック50および押しねじ17を省き、代わりに、一対の側面板12のうち一方をX方向に並設された複数の板状部材12eから構成したものである。この場合、各板状部材12eはそれぞれ側面板締結部材としての2本のボルト13によってヒートシンク11のY方向の端部に締結されている。また、各板状部材12eにはそれぞれロッドレンズ40にZ方向に係合してロッドレンズ40のZ方向の移動を規制するレンズ支持部12aが設けられている。各ボルト13は、対応する板状部材12eを、ヒートシンク11に押付け固定される締結状態と、該締結状態よりも押付け力が弱められて前記対応する板状部材12eのヒートシンク11に対するZ方向の移動が可能になる移動可能状態にすることができる。
第4の実施形態では、図11のように、第1の実施形態に対し、Z方向調整のための調整ブロック50および押しねじ17を省き、代わりに、一対の側面板12のうち一方のレンズ支持部を側面板12に対しZ方向に移動可能に設けている。具体的には、図11のように、一方の側面板12の他方に対する対向面に凹部12gを設け、当該凹部12g内に複数のレンズ支持部12fを設けている。各レンズ支持部12fはX方向に並ぶように凹部12g内に配置されている。また、各レンズ支持部12fに対応するように複数の支持部位置調整部材12h,12iが照明装置本体10に設けられている。各支持部位置調整部材12h,12iはZ方向の延びる円柱状部材であり、それぞれ一端が対応するレンズ支持部12fにZ方向に当接し、それぞれの他端には各支持部位置調整部材12h,12iを回転させるため六角穴等の工具係合部(図示せず)が設けられている。そして、各支持部位置調整部材12h,12iは照明装置本体10に螺合している。また、第1の実施形態で説明したように一対の側面板12の間にロッドレンズ40が配置されるように各側面板12のボルト13を締付けると、レンズ支持部材12fがロッドレンズ40と側面耐12との間に挟まれた状態になる。この状態で、各支持部位置調整部材12h,12iを回転させると、対応するレンズ支持部材12fが上下方向に移動する。
また、集光レンズとしてロッドレンズ40を用いたが、断面蒲鉾型のシリンドリカルレンズや、リニアフレネルレンズや、複数のLED1の光をY方向に集光可能なその他の集光レンズを用いることも可能である。集光レンズは1つでなく2つ以上設けてもよい。
また、照度センサ124dの代わりに、光量(光度、光束、輝度等の光の量)を測定する他のセンサを用いても良い。
また、レール121、センサホルダ122、および微小点照度センサ123の代わりに、ラインセンサカメラを設け、先ず、第1の仮想線上で集光位置の照度や輝度を測定し、続いてnが1ずつ増えるように第nの仮想線上で集光位置の照度や輝度を測定し、この測定結果に基づいて測定結果データの作成を行っても良い。ラインセンサカメラを用いる場合、ラインセンサカメラ自体の撓みの問題が発生するので、レール121、センサホルダ122、および微小点照度センサ123を用いた測定の方が正確且つ安価な測定が可能である。
なお、納入先で上記測定を行う場合、納入先でライン状照明装置を実際に取付ける取付部を本願発明の支持部として使用することができる。この場合、支持部に支持した状態で納入先に納入することが可能である。これにより、実際の使用条件に近い状態で上記測定、測定結果データの作成、測定結果データに基づくブロック20のY方向位置の調整や前記Z方向の調整、再測定、再測定データの測定結果データの作成を行うことができるので、より実機に則したライン状照明装置を製造し納入することができる。
つまり、第1〜第4の実施形態とあわせると、納入とは、記支持部に支持した状態で、又は、前記支持部から前記照明装置本体を取外し、又は、前記ライン状照明装置を取外すと共に所定の工程を行うことにより完成品として納入先に納入することを意味し、出荷も納入に含まれる。
なお、ライン状照明装置の寸法や仕様は、検査対象や納入先の要望におうじて変化し、完全に同一の製品を複数の納入先に収めることは少ない。このような製品では、上記のように納入先で製造の最終工程を行うことが好ましい場合が多い。
Claims (8)
- それぞれ複数の光源がX方向に直線状に並ぶように実装され、前記複数の光源が前記X方向に一直線状に並ぶように照明装置本体に取付けられた複数の基板付きブロックと、
前記X方向に延びるように前記照明装置本体に取付けられ、前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズと、
前記複数の光源の光軸方向をZ方向とした時、前記複数の基板付きブロックのうち少なくとも一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、又は、前記集光レンズの前記X方向の一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、前記複数の光源のうち少なくとも一部と前記集光レンズとの前記Z方向の距離を調整する調整手段と、を備え、
前記照明装置本体が、前記X方向に延びる長尺状に形成されると共に前記複数の基板付きブロックの底面と前記Z方向に対向するヒートシンクを有し、
前記調整手段が、前記Z方向の一方の面が前記ヒートシンクの底面に接触すると共に前記Z方向の他方の面が各基板付きブロックの前記底面にそれぞれ接触する複数の調整ブロックと、前記各基板付きブロックをそれぞれ対応する調整ブロックを介して前記照明装置本体に締結する複数の締結手段と、前記照明装置本体に設けられた複数の孔又はねじ孔と、を有し、
前記締結手段が、対応する基板付きブロックを、前記調整ブロックを介して前記照明装置本体に押付け固定される締結状態と、該締結状態よりも押付け力が弱められて前記対応する基板付きブロックの前記照明装置本体に対する前記Z方向の移動が可能になる移動可能状態にすることができ、
前記X方向および前記Z方向と直交する方向をY方向とした時、前記各調整ブロックにおける前記一方の面が他方の面に対し前記Y方向に傾斜しており、
前記各孔又はねじ孔が、前記移動可能状態の際に対応する基板付きブロックを前記Y方向に押すおよび/又は引くブロック移動部材が挿通するものであるライン状照明装置。 - それぞれ複数の光源がX方向に直線状に並ぶように実装され、前記複数の光源が前記X方向に一直線状に並ぶように照明装置本体に取付けられた複数の基板付きブロックと、
前記X方向に延びるように前記照明装置本体に取付けられ、前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズと、
前記複数の光源の光軸方向をZ方向とした時、前記複数の基板付きブロックのうち少なくとも一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、又は、前記集光レンズの前記X方向の一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、前記複数の光源のうち少なくとも一部と前記集光レンズとの前記Z方向の距離を調整する調整手段と、を備え、
前記X方向および前記Z方向と直交する方向をY方向とした時、前記照明装置本体が、前記X方向に延びる長尺状に形成されると共に前記複数の基板付きブロックの側面と前記Y方向に対向する側方対向面を有し、
前記調整手段が、前記各基板付きブロックをそれぞれ前記側方対向面に締結する複数の締結手段を有し、
前記締結手段は、対応する基板付きブロックを、前記側方対向面に押付け固定される締結状態と、該締結状態よりも押付け力が弱められて前記対応する基板付きブロックの前記側方対向面に対する前記Z方向の移動が可能になる移動可能状態にすることができるものであるライン状照明装置。 - それぞれ複数の光源がX方向に直線状に並ぶように実装され、前記複数の光源が前記X方向に一直線状に並ぶように照明装置本体に取付けられた複数の基板付きブロックと、
前記X方向に延びるように前記照明装置本体に取付けられ、前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズと、
前記複数の光源の光軸方向をZ方向とした時、前記複数の基板付きブロックのうち少なくとも一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、又は、前記集光レンズの前記X方向の一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、前記複数の光源のうち少なくとも一部と前記集光レンズとの前記Z方向の距離を調整する調整手段と、を備え、
前記X方向および前記Z方向と直交する方向をY方向とした時、前記照明装置本体が、前記X方向に延びる長尺状に形成されると共に前記複数の基板付きブロックが取付けられたヒートシンクと、該ヒートシンクにおける前記Y方向の両端側からそれぞれ前記Z方向に延びるように設けられ互いに対向する一対の側面板と、前記一対の側面板のうち少なくとも一方を前記ヒートシンクに締結する側面板締結手段とを有し、
前記少なくとも一方の側面板が前記X方向に並べられた複数の板状部材から成ると共に、各板状部材には、前記集光レンズに前記Z方向に係合して前記集光レンズの前記Z方向の移動を規制するレンズ支持部が設けられ、
前記側面板締結手段が、任意の板状部材を、前記ヒートシンクに押付け固定される締結状態と、該締結状態よりも押付け力が弱められて前記任意の板状部材の前記ヒートシンクに対する前記Z方向の移動が可能になる移動可能状態にすることができるライン状照明装置。 - それぞれ複数の光源がX方向に直線状に並ぶように実装され、前記複数の光源が前記X方向に一直線状に並ぶように照明装置本体に取付けられた複数の基板付きブロックと、
前記X方向に延びるように前記照明装置本体に取付けられ、前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズと、
前記複数の光源の光軸方向をZ方向とした時、前記複数の基板付きブロックのうち少なくとも一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、又は、前記集光レンズの前記X方向の一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、前記複数の光源のうち少なくとも一部と前記集光レンズとの前記Z方向の距離を調整する調整手段と、を備え、
前記X方向および前記Z方向と直交する方向をY方向とした時、前記複数の基板付きブロックのうち少なくとも一部を前記照明装置本体に対して前記Y方向に移動させることにより、該基板付きブロックに実装された光源と前記集光レンズとの前記Y方向の位置を調整するY方向調整手段を備えるライン状照明装置。 - 複数の光源がX方向に直線状に並ぶように実装されると共に照明装置本体に取付けられた基板付きブロックと、
前記X方向に延びるように前記照明装置本体に取付けられ、前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズと、
前記複数の光源の光軸方向をZ方向とした時、前記集光レンズの前記X方向の一部を前記照明装置本体に対して前記Z方向に移動させることにより、前記複数の光源の一部と前記集光レンズとの前記Z方向の距離を調整する調整手段と、を備えるライン状照明装置。 - 複数の光源がX方向に直線状に並ぶよう実装された基板付きブロックを照明装置本体に組付けると共に、前記X方向に延びるように設けられ前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズを前記照明装置本体に組付け、ライン状照明装置とする組付工程と、
前記ライン状照明装置を支持部によって支持する支持工程と、
前記支持工程で支持された状態で、前記各光源の光軸方向をZ方向とし、前記X方向および前記Z方向と直交する方向をY方向とした時、前記ライン状の集光位置において、互いに前記Y方向に離れ各々前記X方向に延びる複数の仮想線上でそれぞれ複数の微小点照度又は微小点光量を測定する測定工程と、
コンピュータが、前記測定工程で測定された前記複数の微小点照度又は微小点光量のデータをそのX方向およびY方向の測定位置と対応させた測定結果データを作成する測定結果データ作成工程と、
前記測定結果データに基づき、前記光源と集光レンズとの前記Z方向の距離の調整の要否を判断する判断工程と、
前記判断工程で調整要と判断された場合、前記複数の光源のうち少なくとも一部と前記集光レンズとの前記Z方向の距離を調整する調整工程と、を有するライン状照明装置の製造方法。 - 前記調整工程で調整された前記ライン状照明装置について、前記測定工程及び前記測定結果データ作成工程を行う再測定工程と、
前記ライン状照明装置を納入先に納入する製品納入工程と、
前記再測定工程の測定結果データを前記納入先に納入するデータ納入工程と、を有する請求項6に記載のライン状照明装置の製造方法。 - 請求項7の製造方法で製造されたライン状照明装置と検査用センサを用いて検査を行う検査方法であって、
請求項7のデータ納入工程により納入された測定結果データを参照しながら、前記検査用センサと請求項7の製品納入工程により納入されたライン状照明装置との位置関係を調整する位置調整工程と、
前記位置調整工程により位置関係が調整された状態で前記検査用センサおよび前記ライン状照明装置を用いた検査を行う工程と、とを有する検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014136960A JP6571317B2 (ja) | 2014-07-02 | 2014-07-02 | ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014136960A JP6571317B2 (ja) | 2014-07-02 | 2014-07-02 | ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018161245A Division JP6775273B2 (ja) | 2018-08-30 | 2018-08-30 | ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016014599A JP2016014599A (ja) | 2016-01-28 |
JP6571317B2 true JP6571317B2 (ja) | 2019-09-04 |
Family
ID=55230903
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014136960A Active JP6571317B2 (ja) | 2014-07-02 | 2014-07-02 | ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6571317B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6748443B2 (ja) * | 2016-02-23 | 2020-09-02 | シーシーエス株式会社 | ライン光照射装置 |
JP7178026B2 (ja) * | 2020-04-30 | 2022-11-25 | レボックス株式会社 | 照明装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09297107A (ja) * | 1996-05-08 | 1997-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 欠陥検査装置及びその調整方法 |
SG148159A1 (en) * | 2003-08-06 | 2008-12-31 | C C S Inc | Line light irradiation device |
KR100661980B1 (ko) * | 2005-01-10 | 2006-12-28 | 엘지전자 주식회사 | 박막 검사 센서어래이의 정렬용 조명장치 및 그를 이용한 센서어래이 정렬 방법 |
US20090310062A1 (en) * | 2005-07-04 | 2009-12-17 | Yoshihiko Chosa | Linear light source device, planar light emitting device and liquid crystal display device |
JP2008002836A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Tech Vision:Kk | ライン型照明装置 |
JP2009117228A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Aitec System:Kk | 照明装置 |
JP5463478B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2014-04-09 | シーシーエス株式会社 | ライン光照射装置 |
-
2014
- 2014-07-02 JP JP2014136960A patent/JP6571317B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016014599A (ja) | 2016-01-28 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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