JP6339878B2 - ライン状照明装置の製造方法、ライン状照明装置および検査方法 - Google Patents
ライン状照明装置の製造方法、ライン状照明装置および検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6339878B2 JP6339878B2 JP2014136959A JP2014136959A JP6339878B2 JP 6339878 B2 JP6339878 B2 JP 6339878B2 JP 2014136959 A JP2014136959 A JP 2014136959A JP 2014136959 A JP2014136959 A JP 2014136959A JP 6339878 B2 JP6339878 B2 JP 6339878B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- illumination device
- measurement result
- result data
- block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims description 75
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 112
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 43
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 25
- 238000012951 Remeasurement Methods 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
本発明の第1の態様に係るライン状照明装置の製造方法は、それぞれ複数の光源がX方向に直線状に並ぶよう実装された複数の基板付きブロックを該X方向に並ぶように照明装置本体に組付けると共に、前記X方向に延びるように設けられ前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズを前記照明装置本体に組付け、ライン状照明装置とする組付工程と、前記ライン状照明装置を支持部によって支持する支持工程と、前記支持工程で支持された状態で、前記各光源の光軸および前記X方向と直交する方向をY方向とした時、前記ライン状の集光位置において、互いに前記Y方向に離れ各々前記X方向に延びる複数の仮想線上でそれぞれ複数の微小点照度又は微小点光量を測定する測定工程と、コンピュータが、前記測定工程で測定された前記複数の微小点照度又は微小点光量のデータをそのX方向およびY方向の測定位置と対応させた測定結果データを作成する測定結果データ作成工程と、前記測定結果データに基づき、基板付きブロックの前記Y方向の位置の調整の要否を判断する判断工程と、前記判断工程で調整要と判断された場合、前記測定結果データに基づき前記複数の基板付きブロックの少なくとも1つの前記Y方向の位置を調整する調整工程と、を有する。
このライン状照明装置は、ラインセンサカメラ等の検査用センサの検出位置をライン状(線状)に照明するものであり、照明装置本体10と、それぞれ複数のLED(光源)1が直線状に並ぶように実装された複数の基板付きのブロック20と、複数のLED1が一直線状に並ぶように各ブロック20をそれぞれ照明装置本体10に締結する複数のボルト(締結手段)30と、複数のLED1の並設方向に延びるように照明装置本体10に取付けられ、複数のLED1の光をライン状に集光するロッドレンズ(集光レンズ)40と、ロッドレンズ40から出た光を主にLED1の並設方向に拡散する拡散レンズ41とを備えている。集光位置の光の幅は数mm程度であっても良く、十数mmであっても良く、場合によっては数十mmであっても良く、何れの場合もライン状である。集光レンズの幅(本実施形態の場合はロッドレンズの直径)が30mm以上の場合は、集光位置の光の幅が20mm以上になることもある。以下の説明において、LED1の並設方向をX方向とし、各LED1の光軸およびX方向に直交する方向(各LEDの中心およびライン状の集光位置を含む仮想面に直交する方向)をY方向とし、X方向およびY方向に直交する方向をZ方向とする。
本実施形態では前記隙間GAの設定により各ブロック20の回転方向の移動を許容しているが、他の方向で回転方向の移動を許容することも可能である。例えば、各ブロック20のX方向の両端部のY方向の中央部を当該X方向の両端部の他の部分よりもX方向に突出させ、隣り合うブロック20同士を当該突出しているY方向の中央部のみで接触させることも可能である。この場合前記隙間GAが無くなるが、前記突出部の分だけ、ブロック20のX方向の両端部における前記他の部分ではブロック20同士の間に隙間ができ、前記回転方向の移動が許容される。前記突出部は、ブロック20のX方向の端部におけるY方向の中央部に1mm程度のフエルト生地を貼り付けることでも設けられ、ブロック20のX方向の端部をX方向に突出する円弧状に形成することでも設けられる。
先ず、支持部110に支持されたライン状照明装置の集光位置において、X方向に延びる第1の仮想線上の複数位置で微小点照度を測定する。このために、センサホルダ122が微小点照度センサ123をY方向の所定位置(Y1)に保持した状態でセンサホルダ122をX方向に移動させ、微小点照度センサ123がX方向に数mm移動する毎に微小点照度を測定する。この測定は、X方向における各レーザー光源2による照射位置の範囲まで行う。
続いて、前記第1の仮想線と平行に延び前記第1の仮想線に対してY方向に所定距離(例えば1mm)だけ離れた第2の仮想線上(Y2の位置)の複数位置で微小点照度を測定する。このために、センサY方向移動手段122aが微小点照度センサ123をY方向に前記所定距離(1mm)移動させ、微小点照度センサ123がX方向に数mm移動する毎に微小点照度を測定する。
このように、第1の仮想線上で測定を行った後、nを1ずつ増やしながら、第n−1(nは2以上の整数)の仮想線と平行に延び前記n−1の仮想線に対してY方向に所定距離だけ離れた第nの仮想線上の複数位置で微小点照度を測定する。本実施形態ではnが9になるまで(Y1〜Y9の位置で)上記の測定を行う。本実施形態ではnが9になるまで測定するが、nは2以上であれば良い。また、nが数十〜100になるまで測定を行うと、より正確な測定を行うことができる。
なお、押しねじ15および引きねじ16の代わりに、ブロック20のY方向の位置を調整するための調整装置(図示せず)を支持部110に取付け、当該調整装置によって前記調整を行っても良い。この場合、例えば両方の側面板12に孔12bおよび12cを設ける。また、調整装置は、各孔12b,12cに挿通するブロック移動部材としてのブロック押しロッドと、ブロック押しロッドをその軸方向に進退させるアクチュエータとを備える。
前記印刷される物には前記製造シリアル番号も記載されている。上記の1回目の照度の等高線図を参照し、照度が所定値以上の範囲のY方向へのずれ(蛇行)が基準範囲内であれば、前記ブロック20のY方向位置の調整をせずに、処理装置124がプリンター126によって照度の等高線図を印刷し、作業者がライン状照明装置を支持部110から取外し、他の所定の検査や、完成品とするための工程を行った後、所定の梱包容器に梱包する。そして、梱包したライン状照明装置を前記印刷した照度の等高線図と共に納入先に送る。なお、照度の等高線図を電子データで納入先に送ることも可能である。納入先に送る測定結果データは、照度の等高線図ではなく、上記グラフであっても良く、測定した微小点照度測定値をX方向およびY方向の測定位置と対応させた数値データであっても良い。
ここで、上記調整が終わった後、照度が所定値以上の範囲のY方向のずれが完全に修正しきれない場合や、照度が所定値以上の範囲が真っ直ぐではあるが全体的にY方向にずれている場合に、レーザー光源2の照射方向を、側面板12に螺合し先端がレーザー光源2に当接するネジ等の照射方向調整手段により、Y方向に調整することも可能である。例えば、図7では2つのレーザー光源2の照射位置2aがY5の付近にあらわれているが、各レーザー光源2の照射方向をY方向に調整し、各照射位置2aがY4の位置等にあらわれるようにしても良い。
なお、上記では、拡散レンズ41を取付けた状態で上記測定を行ったが、拡散レンズ41を取付ける前に上記測定を行うことも可能である。
また、納入先でライン状照明装置の設置作業を行う時に、例えばレーザー光源2の照射位置を基準にラインセンサカメラを仮止めし、レーザー光源2の照射位置が示されたマップデータ又はグラフデータを参照しながらライン状照明装置又はラインセンサカメラの位置を微調整することができる。すなわち、レーザー光源2の照射位置を目印に設置作業を行うことができるので、作業効率がより向上する。
また、レーザー光源2の光はロッドレンズ40を介さずに集光位置に照射されるので、ロッドレンズ40のわずかなうねり等により乱されることが無く、設置作業を行う際の目印としてより信頼することができる。
また、照射位置の最も照度が高いラインの中に斜めになっている部分がある場合、当該部分に対応する基板付きブロック20をZ方向軸まわりに回転移動させて、前記斜めになっている部分の傾斜を低減又は解消することができ、照射位置の精度をより向上することができる。
一方、図8のように、ブロック20のブロック本体21の下面に係合突起21bを設け、ヒートシンク11の上面にX方向よりもY方向の寸法が大きい長穴状の凹部11bを設け、係合突起21bと凹部11bにより、前記移動可能状態の際にX方向の移動量よりもY方向の移動量が2倍以上になるように、ブロック20を照明装置本体10のヒートシンク11に係合させることができる。この場合、ボルト30の外径と取付孔11aの内径との差を上記実施形態のように設定する必要は無くなる。
第2の実施形態では、第1の実施形態に対し、レーザー光源2を設けずに、ライン状照明装置のX方向の一端および他端のブロック20に実装された複数のLED1を基準光源として活用する点が異なり、その他のライン状照明装置の構成は同様である。
第2の実施形態では、先ず、X方向の一端および他端のブロック20に実装された複数のLED1のみを点灯させた状態で、第1の実施形態のように複数の仮想線上の複数位置で微小点照度を測定し、この測定結果に基づき、図9のように、X方向の一端および他端のブロック20に実装された複数のLED1の照射位置の所定照度以上の範囲AR1,AR2又はその中心位置C1,C2を測定結果データ上に示す。続いて、全てのLED1を点灯させて、第1の実施形態と同様の測定および測定結果データの作成を行い、前記AR1,AR2又は中心位置C1,C2も示された測定結果データの作成を行う。例えば、図10のように、測定結果データに中心位置C1,C2が示される。これに基づき、ブロック20のY方向位置の調整を行うと、その調整作業を容易になる。また、当該測定結果データを納入先に納入すると、納入先での設置作業が容易になる。
第3の実施形態では、複数のブロック20ではなく、単一のブロック上の基板に複数のLED1がX方向に並ぶように実装されている。つまり、複数のブロック20を単一のブロックに置き換えた点が異なっており、その他は第1の実施形態と同様である。
この場合でも、各LED1及び各レーザー光源2を点灯し、第1の実施形態と同様に複数の仮想線上の複数位置で微小点照度を測定し、この測定結果に基づき、レーザー光源2の照射位置が示された測定結果データの作成を行うことできる。また、測定結果データを納入先に納入することにより、納入先での設置作業が容易になる。
また、集光レンズとしてロッドレンズ40を用いたが、断面蒲鉾型のシリンドリカルレンズや、リニアフレネルレンズや、複数のLED1の光をY方向に集光可能なその他の集光レンズを用いることも可能である。集光レンズは1つでなく2つ以上設けてもよい。
また、照度センサ124dの代わりに、光量(光度、光束、輝度等の光の量)を測定する他のセンサを用いても良い。
また、レール121、センサホルダ122、および微小点照度センサ123の代わりに、ラインセンサカメラを設け、先ず、第1の仮想線上で集光位置の照度や輝度を測定し、続いて第nの仮想線上で集光位置の照度や輝度を測定し、この測定結果に基づいて測定結果データの作成を行っても良い。ラインセンサカメラを用いる場合、ラインセンサカメラ自体の撓みの問題が発生するので、レール121、センサホルダ122、および微小点照度センサ123を用いた測定の方が正確且つ安価な測定が可能である。
なお、納入先で上記測定を行う場合、納入先でライン状照明装置を実際に取付ける取付部を本願発明の支持部として使用することができる。この場合、支持部に支持した状態で納入先に納入することが可能である。これにより、実際の使用条件に近い状態で上記測定、測定結果データの作成、測定結果データに基づくブロック20のY方向位置の調整、再測定、再測定データの測定結果データの作成を行うことができるので、より実機に則したライン状照明装置を製造し納入することができる。
つまり、第1〜第3の実施形態とあわせると、納入とは、記支持部に支持した状態で、又は、前記支持部から前記照明装置本体を取外し、又は、前記ライン状照明装置を取外すと共に所定の工程を行うことにより完成品として納入先に納入することを意味し、出荷も納入に含まれる。
なお、ライン状照明装置の寸法や仕様は、検査対象や納入先の要望におうじて変化し、完全に同一の製品を複数の納入先に収めることは少ない。このような製品では、上記のように納入先で製造の最終工程を行うことが好ましい場合が多い。
Claims (11)
- それぞれ複数の光源がX方向に直線状に並ぶよう実装された複数の基板付きブロックを該X方向に並ぶように照明装置本体に組付けると共に、前記X方向に延びるように設けられ前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズを前記照明装置本体に組付け、ライン状照明装置とする組付工程と、
前記ライン状照明装置を支持部によって支持する支持工程と、
前記支持工程で支持された状態で、前記各光源の光軸および前記X方向と直交する方向をY方向とした時、前記ライン状の集光位置において、互いに前記Y方向に離れ各々前記X方向に延びる複数の仮想線上でそれぞれ複数の微小点照度又は微小点光量を測定する測定工程と、
コンピュータが、前記測定工程で測定された前記複数の微小点照度又は微小点光量のデータをそのX方向およびY方向の測定位置と対応させた測定結果データを作成する測定結果データ作成工程と、
前記測定結果データに基づき、基板付きブロックの前記Y方向の位置の調整の要否を判断する判断工程と、
前記判断工程で調整要と判断された場合、前記測定結果データに基づき前記複数の基板付きブロックの少なくとも1つの前記Y方向の位置を調整する調整工程と、を有するライン状照明装置の製造方法。 - 前記調整工程で調整された前記ライン状照明装置について、前記測定工程及び前記測定結果データ作成工程を行う再測定工程と、
前記ライン状照明装置を納入先に納入する製品納入工程と、
前記再測定工程の測定結果データを前記納入先に納入するデータ納入工程と、を有する請求項1に記載のライン状照明装置の製造方法。 - X方向に直線状に並んだ複数の光源と、該X方向に延びるように設けられ前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズとを照明装置本体に組付け、ライン状照明装置とする組付工程と、
前記ライン状照明装置を支持部によって支持する支持工程と、
前記支持工程で支持された状態で、前記各光源の光軸および前記X方向と直交する方向をY方向とした時、前記ライン状の集光位置において、互いに前記Y方向に離れ各々前記X方向に延びる複数の仮想線上でそれぞれ複数の微小点照度又は微小点光量を測定する測定工程と、
コンピュータが、前記測定工程で測定された前記複数の微小点照度又は微小点光量のデータをそのX方向およびY方向の測定位置と対応させた測定結果データを作成する測定結果データ作成工程と、
前記ライン状照明装置を納入先に納入する製品納入工程と、
前記測定結果データを前記納入先に納入するデータ納入工程と、を有するライン状照明装置の製造方法。 - 前記支持工程では、前記ライン状照明装置を納入先における該ライン状照明装置の設置角度で支持する請求項1〜3の何れかに記載のライン状照明装置の製造方法。
- 前記ライン状照明装置が、前記X方向における両端側のそれぞれに、前記ライン状の集光位置に向けて光を照射する基準光源を有し、
前記測定工程では、前記基準光源のX方向の位置まで前記微小点照度又は前記微小点光量の測定を行い、
測定結果データ作成工程では、前記測定工程で測定された前記複数の微小点照度又は微小点光量のデータをそのX方向およびY方向の位置と対応させたマップデータ又はグラフデータを作成し、
該マップデータ又はグラフデータは、その中に前記測定された基準光源の照射位置のX方向およびY方向の位置が示されるものである、請求項1〜4の何れかに記載のライン状照明装置の製造方法。 - 前記基準光源が、前記集光レンズを介さずに前記ライン状の集光位置に光を照射するものである、請求項5に記載のライン状照明装置の製造方法。
- 請求項2又は3の製造方法で製造されたライン状照明装置と検査用センサとを用いて検査を行う検査方法であって、
前記データ納入工程により納入された測定結果データを参照しながら、前記検査用センサと前記製品納入工程により納入されたライン状照明装置との位置関係を調整する位置調整工程と、
前記位置調整工程により位置関係が調整された状態で前記検査用センサおよび前記ライン状照明装置を用いた検査を行う工程と、とを有する検査方法。 - それぞれ複数の光源がX方向に直線状に並ぶように実装された複数の基板付きブロックと、
前記複数の光源が前記X方向に一直線状に並ぶように、前記複数の基板付きブロックをそれぞれ照明装置本体に締結する複数の締結手段と、
前記X方向に延びるように前記照明装置本体に取付けられ、前記複数の光源の光をライン状に集光する長尺状の集光レンズと、を備え、
前記各締結手段は、対応する基板付きブロックを、前記照明装置本体に押付け固定される締結状態と、前記締結状態よりも押付け力が弱められて前記対応する基板付きブロックの前記照明装置本体に対する移動が可能になる移動可能状態にすることができ、
前記各光源の光軸および前記X方向と直交する方向をY方向とした時、前記各基板付きブロックは、前記移動可能状態の際に前記X方向の移動量よりも前記Y方向の移動量が2倍以上となるように前記照明装置本体に係合しているライン状照明装置。 - 前記照明装置本体には複数の孔又はねじ孔が設けられており、
前記各孔又はねじ孔が、前記移動可能状態の際に対応する基板付きブロックを前記Y方向に押すおよび/又は引くブロック移動部材が挿通するものである請求項8に記載のライン状照明装置。 - 前記移動可能状態の際に、前記X方向および前記Y方向に直交するZ方向軸まわりの前記各基板付きブロックの回転移動が許容されるように構成されている請求項8又は9に記載のライン状照明装置。
- 前記X方向における両端側のそれぞれに、前記ライン状の集光位置に向けて光を照射する基準光源を有する請求項8〜10の何れかに記載のライン状照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014136959A JP6339878B2 (ja) | 2014-07-02 | 2014-07-02 | ライン状照明装置の製造方法、ライン状照明装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014136959A JP6339878B2 (ja) | 2014-07-02 | 2014-07-02 | ライン状照明装置の製造方法、ライン状照明装置および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016014598A JP2016014598A (ja) | 2016-01-28 |
JP6339878B2 true JP6339878B2 (ja) | 2018-06-06 |
Family
ID=55230902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014136959A Active JP6339878B2 (ja) | 2014-07-02 | 2014-07-02 | ライン状照明装置の製造方法、ライン状照明装置および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6339878B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6321709B2 (ja) * | 2016-03-25 | 2018-05-09 | 株式会社サンユウ | 表面疵検査方法 |
JP2018036186A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | 株式会社サンユウ | 欠陥検査用照明装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2849029B2 (ja) * | 1993-07-26 | 1999-01-20 | 株式会社ミツトヨ | 光学測定機の照明装置 |
JPH09297107A (ja) * | 1996-05-08 | 1997-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 欠陥検査装置及びその調整方法 |
KR100661980B1 (ko) * | 2005-01-10 | 2006-12-28 | 엘지전자 주식회사 | 박막 검사 센서어래이의 정렬용 조명장치 및 그를 이용한 센서어래이 정렬 방법 |
KR20080033164A (ko) * | 2005-07-04 | 2008-04-16 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 선형광원장치, 면 발광장치 및 액정표시장치 |
JP2009117228A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Aitec System:Kk | 照明装置 |
JP4974993B2 (ja) * | 2008-10-02 | 2012-07-11 | 京都電機器株式会社 | 検査用線状照明装置 |
-
2014
- 2014-07-02 JP JP2014136959A patent/JP6339878B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016014598A (ja) | 2016-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6377436B2 (ja) | ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 | |
US9366525B2 (en) | Mark position detector, imprint apparatus, and article manufacturing method | |
CN104849956B (zh) | 检测装置、压印装置及物品的制造方法 | |
US9465308B2 (en) | Imprint apparatus, imprint method and method of manufacturing an article | |
JP4974993B2 (ja) | 検査用線状照明装置 | |
JP6339878B2 (ja) | ライン状照明装置の製造方法、ライン状照明装置および検査方法 | |
WO2013051716A1 (ja) | 半導体ウェハの表面検査システム | |
JP6571317B2 (ja) | ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 | |
TWI613460B (zh) | 偏光光線照射裝置 | |
JP6571243B2 (ja) | ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 | |
JP2016014632A (ja) | 照明装置 | |
JP2009225414A (ja) | 照明装置および画像読取装置 | |
JP2010281825A (ja) | ライン光照射装置 | |
JP6775273B2 (ja) | ライン状照明装置、その製造方法および検査方法 | |
JP2016127168A (ja) | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 | |
JP2011222239A (ja) | 照明装置および検査装置 | |
JP6445384B2 (ja) | ライン状照明装置およびその製造方法 | |
JP2010122047A (ja) | 照明装置 | |
JP2016213012A (ja) | ライン状照明装置およびその製造方法 | |
JP2011258880A5 (ja) | ||
JP6484853B2 (ja) | 露光装置用反射鏡ユニット及び露光装置 | |
TW201608344A (zh) | 曝光裝置及曝光方法、以及元件製造方法 | |
JP7212219B2 (ja) | 線状照明装置 | |
JP2008118061A5 (ja) | ||
WO2022185741A1 (ja) | ワーク形状計測システム、ワーク形状計測方法およびワーク形状計測プログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180501 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180511 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6339878 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |