JP6571040B2 - ボンディングヘッドの落下防止機構 - Google Patents
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- 230000002265 prevention Effects 0.000 title claims description 24
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 3
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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- Die Bonding (AREA)
Description
3 チップ
5 ピックアップポジション
6 ボンディングポジション
7 リニア機構
14 ヘッド側永久磁石
23 ピックアップ側反発手段
24 第1磁石
25 第2磁石
26 リードフレーム
27 ボンディング側吸引手段
28 第3磁石
29 第4磁石
Claims (8)
- 電源からの電圧供給を受けてボンディングヘッドを上下動させる上下動手段を備え、ボンディングヘッドが、チップをピックアップするピックアップポジションと、ピックアップポジションよりも上下方向位置が高い位置で、チップをワークにボンディングするボンディングポジションとの間を往復動するダイボンダに付設されて、電源断時に、ボンディングヘッドのピックアップポジションでの自重落下及びボンディングポジションでの自重落下を防止するボンディングヘッドの落下防止機構であって、
前記ボンディングヘッドに設けられるヘッド側永久磁石と、
前記ピックアップポジションに前記ヘッド側永久磁石との間に反発力を発生させる永久磁石からなるピックアップ側反発手段と、
前記ボンディングポジションに前記ヘッド側永久磁石との間に吸引力を発生させる永久磁石又は磁性体からなるボンディング側吸引手段とを備えたことを特徴とするボンディングヘッドの落下防止機構。 - 前記ピックアップ側反発手段は、第1磁石と、第1磁石と相対面する第2磁石とを備え、第1磁石と第2磁石とは異極が対面し、第1磁石と第2磁石とは、ボンディングヘッドの先端部がピックアップポジションに位置するときに、前記ヘッド側永久磁石を非接触で挟み込み、かつ、前記ヘッド側永久磁石と第1磁石とで同極が対面するとともに、前記ヘッド側永久磁石と第2磁石とで同極が対面するように配置されたことを特徴とする請求項1に記載のボンディングヘッドの落下防止機構。
- 前記ボンディング側吸引手段は、第3磁石と、第3磁石と相対面する第4磁石とを備え、第3磁石と第4磁石とは異極が対面し、第3磁石と第4磁石とは、ボンディングヘッドの先端部がボンディングポジションの上方に位置するときに、前記ヘッド側永久磁石を非接触で挟み込み、かつ、前記ヘッド側永久磁石と第3磁石とで異極が対面するとともに、前記ヘッド側永久磁石と第4磁石とで異極が対面するように配置されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のボンディングヘッドの落下防止機構。
- 電源からの電圧供給を受けてボンディングヘッドを上下動させる上下動手段を備え、ボンディングヘッドが、チップをピックアップするピックアップポジションと、ピックアップポジションよりも上下方向位置が低い位置で、チップをワークにボンディングするボンディングポジションとの間を往復動するダイボンダに付設されて、電源断時に、ボンディングヘッドのピックアップポジションでの自重落下及びボンディングポジションでの自重落下を防止するボンディングヘッドの落下防止機構であって、
前記ボンディングヘッドに設けられるヘッド側永久磁石と、
前記ピックアップポジションに前記ヘッド側永久磁石との間に吸引力を発生させる永久磁石又は磁性体からなるピックアップ側吸引手段と、
前記ボンディングポジションに前記ヘッド側永久磁石との間に反発力を発生させる永久磁石からなるボンディング側反発手段とを備えたことを特徴とするボンディングヘッドの落下防止機構。 - 前記ボンディング側反発手段は、第1磁石と、第1磁石と相対面する第2磁石とを備え、第1磁石と第2磁石とは異極が対面し、第1磁石と第2磁石とは、ボンディングヘッドの先端部がボンディングポジションに位置するときに、前記ヘッド側永久磁石を非接触で挟み込み、かつ、前記ヘッド側永久磁石と第1磁石とで同極が対面するとともに、前記ヘッド側永久磁石と第2磁石とで同極が対面するように配置されたことを特徴とする請求項4に記載のボンディングヘッドの落下防止機構。
- 前記ピックアップ側吸引手段は、第3磁石と、第3磁石と相対面する第4磁石とを備え
、第3磁石と第4磁石とは異極が対面し、第3磁石と第4磁石とは、ボンディングヘッドの先端部がピックアップポジションの上方に位置するときに、前記ヘッド側永久磁石を非接触で挟み込み、かつ、前記ヘッド側永久磁石と第3磁石とで異極が対面するとともに、前記ヘッド側永久磁石と第4磁石とで異極が対面するように配置されたことを特徴とする請求項5に記載のボンディングヘッドの落下防止機構。 - 前記ピックアップポジションとボンディングポジションとの間、かつ、ピックアップポジション及びボンディングポジションよりも上下方向位置が高い位置に、ボンディングヘッドの待機位置が設けられたことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のボンディングヘッドの落下防止機構。
- 前記上下動手段は、リニア機構であることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載のボンディングヘッドの落下防止機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016082015A JP6571040B2 (ja) | 2016-04-15 | 2016-04-15 | ボンディングヘッドの落下防止機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016082015A JP6571040B2 (ja) | 2016-04-15 | 2016-04-15 | ボンディングヘッドの落下防止機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017191906A JP2017191906A (ja) | 2017-10-19 |
JP6571040B2 true JP6571040B2 (ja) | 2019-09-04 |
Family
ID=60085047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016082015A Active JP6571040B2 (ja) | 2016-04-15 | 2016-04-15 | ボンディングヘッドの落下防止機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6571040B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
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JP2017191906A (ja) | 2017-10-19 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190702 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A977 | Report on retrieval |
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