JP6568503B2 - EuドープZnO高効率蛍光体膜の形成方法 - Google Patents
EuドープZnO高効率蛍光体膜の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6568503B2 JP6568503B2 JP2016157913A JP2016157913A JP6568503B2 JP 6568503 B2 JP6568503 B2 JP 6568503B2 JP 2016157913 A JP2016157913 A JP 2016157913A JP 2016157913 A JP2016157913 A JP 2016157913A JP 6568503 B2 JP6568503 B2 JP 6568503B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- zno
- annealing
- forming
- post
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Description
H 2 O蒸気ガスを反応ガスとして、SiO 2 膜上へスパッタ法によりEuドープZnOを成膜した後に、ポストアニールするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法において、室温にてEuドープZnO膜をSiO2基板上に成膜した後に、真空中において200℃以上350℃以下の温度においてポストアニールすることで、Eu3+イオンを光学的に活性化することを特徴とするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法。
発明の構成1記載のEuドープZnO蛍光体膜の形成方法において、EuドープZnO膜のEu濃度を3.0at.%以上とすることを特徴とするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法。
発明の構成1または2に記載のEuドープZnO蛍光体膜の形成方法において、スパッタ法として、電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いる ことを特徴とするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法。
発明の構成1から3のいずれか1項に記載のEuドープZnO蛍光体膜の形成方法において、SiO2膜はシリコン熱酸化膜であることを特徴とするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法。
本発明の有効性を実証するために、種々のEu含有量やポストアニール温度でZnO:Eu蛍光体膜の試料を作成し、その発光特性を調べた。
(蛍光体膜の構造と形成方法)
図1に、本発明の実施例のZnO:Eu蛍光体膜の構造と形成方法の概略を示す。
まず、図1(a)に示すようなシリコン基板1上に周知の手法による熱酸化を行い、図1(b)にあるように、SiO2の熱酸化膜2を形成する。
(試料1)
図2は、熱酸化膜上にZnO:Eu(1at.%)ターゲットだけで電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ成長して得られた、本発明のEu濃度0.9at.%のZnO:Eu蛍光体膜試料1を、真空中(Vacuum)において異なる4つの温度(200、300、350、400℃)でポストアニールした後のPL(発光)スペクトルである。
図3は、図2と同様な条件で成膜した本発明のEu濃度1.0at.%の蛍光体膜試料2について、酸素(O2)ガス中において図2より高めの4つの温度(300、400、500、600℃)でポストアニールした後のPLスペクトルである。アニール温度が400、500℃の場合において、図2と同様なEu3+イオンからの発光が観測されている。
図4は、電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタに加えてEu2O3ターゲットからのRFマグネトロンスパッタも同時に行い形成した、本発明のEu濃度が3.0 at.%のZnO:Eu膜試料3を、真空中において図2と同じ低めの異なる4つの温度でポストアニールした後のPLスペクトルである。
図5は、図4と同様のスパッタ膜法で作成した、Eu濃度が更に高い4.3at.%の、本発明のZnO:Eu膜試料4を、酸素ガス中において図3と同じ高めの異なる4つの温度でポストアニールした後のPLスペクトルである。400、500、600℃においてEu3+イオンからの発光が観測されている。特に500℃でのアニール後には、Eu3+イオンから3500カウントもの強い発光が実現している。
次に、図6〜9に、比較例として従来のシリコン(Si)基板上、および本発明の熱酸化膜(SiO2)上で成膜した2種類のZnO:Eu膜について、2種類のポストアニール環境(VacuumとO2)で比較する。各図は、おのおの4つの成膜条件(Eu濃度)の試料について、ポストアニール温度(グラフの横軸:Temperature)を変えて、612nmにおける発光強度(グラフの縦軸:Intensity)をプロットしたグラフである。
ポストアニールを真空中で行った場合が図6と図7であり、図6が従来のシリコン(Si)基板、図7が本発明の熱酸化膜(SiO2)上の場合のグラフである。
同様に、ポストアニールを酸素中で行った場合が図8と図9であり、図8が従来のシリコン(Si)基板上の場合、図9が本発明の熱酸化膜(SiO2)上の場合のグラフである。
図10に、本発明のEu濃度3.0 at.%のZnO:Eu膜の、X線回折パタンを示す。厚さ1μmの熱酸化膜を透過してきたシリコン基板からの、右の2θ=70°付近のSi(400)ピーク以外には、左の2θ=35°付近のZnO(002)ピークが強く観測されている。ZnO(103)ピークも出現しているが非常に弱いので、ほぼ完全にc軸配向したZnO結晶であることを示している。
2 熱酸化膜(SiO2)
3 ZnO:Eu蛍光体膜
Claims (4)
- H 2 O蒸気ガスを反応ガスとして、SiO 2 膜上へスパッタ法によりEuドープZnOを成膜した後に、ポストアニールするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法において、
室温にてEuドープZnO膜をSiO2基板上に成膜した後に、真空中において200℃以上350℃以下の温度においてポストアニールすることで、Eu3+イオンを光学的に活性化することを特徴とするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法。 - 請求項1記載のEuドープZnO蛍光体膜の形成方法において、EuドープZnO膜のEu濃度を3.0at.%以上とすることを特徴とするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法。
- 請求項1または2に記載のEuドープZnO蛍光体膜の形成方法において、スパッタ法として、電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いることを特徴とするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載のEuドープZnO蛍光体膜の形成方法において、SiO2膜はシリコン熱酸化膜であることを特徴とするEuドープZnO蛍光体膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016157913A JP6568503B2 (ja) | 2016-08-10 | 2016-08-10 | EuドープZnO高効率蛍光体膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016157913A JP6568503B2 (ja) | 2016-08-10 | 2016-08-10 | EuドープZnO高効率蛍光体膜の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018024779A JP2018024779A (ja) | 2018-02-15 |
JP6568503B2 true JP6568503B2 (ja) | 2019-08-28 |
Family
ID=61195503
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016157913A Active JP6568503B2 (ja) | 2016-08-10 | 2016-08-10 | EuドープZnO高効率蛍光体膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6568503B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7070374B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2022-05-18 | 日本電信電話株式会社 | エルビウムドープビスマス酸化物膜の製造方法 |
WO2023152886A1 (ja) * | 2022-02-10 | 2023-08-17 | 日本電信電話株式会社 | 蛍光体膜の形成方法 |
-
2016
- 2016-08-10 JP JP2016157913A patent/JP6568503B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018024779A (ja) | 2018-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Fakharuddin et al. | Perovskite light-emitting diodes | |
Shi et al. | High-performance planar green light-emitting diodes based on a PEDOT: PSS/CH 3 NH 3 PbBr 3/ZnO sandwich structure | |
KR102363274B1 (ko) | 금속 산화물의 박막, 해당 박막을 구비한 유기 일렉트로루미네센스 소자, 태양 전지, 및 박막의 제조 방법 | |
US7227196B2 (en) | Group II-VI semiconductor devices | |
Iwan et al. | Green electroluminescence from an n-ZnO: Er/p-Si heterostructured light-emitting diode | |
Iwan et al. | Ion-dependent electroluminescence from trivalent rare-earth doped n-ZnO/p-Si heterostructured light-emitting diodes | |
Chauhan et al. | Development of Al-doped ZnO thin film as a transparent cathode and anode for application in transparent organic light-emitting diodes | |
RU2639605C2 (ru) | Светоизлучающий полупроводниковый прибор на основе элементов ii-vi групп | |
JP7357883B2 (ja) | 酸化物積層体及びその製造方法 | |
JP2010074068A (ja) | 半導体素子 | |
JP5476531B2 (ja) | 蛍光体結晶薄膜とその作製方法 | |
JP5106160B2 (ja) | 発光素子、及び発光素子の製造方法 | |
JP6568503B2 (ja) | EuドープZnO高効率蛍光体膜の形成方法 | |
Li et al. | Realization of 1.54‐µm Light‐Emitting Diodes Based on Er3+/Yb3+ Co‐Doped CsPbCl3 Films | |
Huang et al. | Effect of co-doped Tb 3+ ions on electroluminescence of ZnO: Eu 3+ LED | |
JP5200596B2 (ja) | 発光素子 | |
Zhu et al. | Ultraviolet electroluminescence from n-ZnO/i-MgO/p+-GaN heterojunction light-emitting diodes fabricated by RF-magnetron sputtering | |
Yang et al. | N–SrTiO3/p-GaN heterojunctions: A white light-emitting diode with a broad luminescence spectrum | |
Ai et al. | Ultraviolet electroluminescence from a n-ZnO film/p-GaN heterojunction under both forward and reverse bias | |
Zhang et al. | Improvement in electroluminescence performance of n-ZnO/Ga2O3/p-GaN heterojunction light-emitting diodes | |
JP6339972B2 (ja) | 酸化亜鉛化合物発光膜とその作製方法 | |
JP5300345B2 (ja) | 発光膜、発光素子およびその製造方法 | |
JP6417632B2 (ja) | 有機発光素子およびその製造方法 | |
Chen et al. | Evolution from random lasing to erbium-related electroluminescence from metal-insulator-semiconductor structured light-emitting device with erbium-doped ZnO film on silicon | |
Oh et al. | Electrical, Optical, and Structural Characteristics of CH3NH3PbI3 Perovskite Light‐Emitting Diodes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180904 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190604 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190716 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190730 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190802 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6568503 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |