JP6564550B1 - トリクロロシランの製造方法及びトリクロロシランの製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Si+4HCl→SiCl4+2H2 (2)
3SiCl4+2H2+Si→4SiHCl3 (3)
上記反応が行われる反応装置から回収された反応生成物には、トリクロロシラン、低沸点シラン、及びテトラクロロシランなどを含むクロロシラン化合物が含まれている。トリクロロシランの製造系において金属シリコン粉体が流通する配管にはバルブが設けられる。例えば、特許文献1には、金属シリコン粉体がバルブを介して導入配管内に導入されることが開示されている。
(製造装置1の構成)
図1は、本発明の実施形態1に係る製造装置1の構成の一例を示す模式図である。本明細書において、製造装置1は、金属シリコン粉体を用いてトリクロロシランを製造する装置であれば何ら限定されない。製造装置1として、例えば、流動床方式反応装置が挙げられる。流動床方式反応装置を用いることにより、連続的に金属シリコン粉体及び塩化水素ガスを供給して、連続的にトリクロロシランを合成することが可能である。金属シリコン粉体と塩化水素ガスとの反応では、金属シリコンの使用量が多いため、金属シリコン粉体が流通する流路に設けられたバルブに金属シリコン粉体が噛み込むことによってバルブシートに損傷が生じ易い。そこで、金属シリコン粉体が流通する流路に無摺動バルブを設けることにより、金属シリコン粉体と塩化水素ガスとの反応では、この損傷を抑制するという本発明の一態様による効果が特に顕著に発揮される。
図2の(a)〜(d)は、製造装置1が備える無摺動バルブb1が閉じる場合の無摺動バルブb1の動作を示す図である。図3の(a)〜(d)は、製造装置1が備える無摺動バルブb1が開く場合の無摺動バルブb1の動作を示す図である。
図4は、本発明の実施形態2に係る製造装置1の構成の一例を示す模式図である。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
本発明の一態様に係る製造方法は、トリクロロシランの製造方法であって、前記トリクロロシランの製造系において金属シリコン粉体が流通する流路の開閉を、バルブシートに対して非接触な状態で回転可能に設けられる弁体を有する無摺動バルブを用いて行う。
10 凝縮器 5 フィルター 6 収容槽
8 熱媒ドラム 4、7、9 冷却器 13 蒸留塔
15 熱媒管 21 熱交換器 22 加熱器
23 第2反応容器 24 第2フィルター 25 第2収容槽
31、32 ステム 33 弁体 34 配管
35、36 バルブシート 37 開口部
38 入口部 39 出口部 40 本体部
b1〜b8 無摺動バルブ f1 導入流路
f2 導出流路 f3、f31、f32 排出流路
f5 第2導入流路 f6、f61、f62 第2排出流路
f8 第2導出流路
Claims (8)
- トリクロロシランの製造方法であって、
前記トリクロロシランの製造系において金属シリコン粉体が流通する流路の開閉を、バルブシートに対して非接触な状態で回転可能に設けられる弁体を有する無摺動バルブを用いて行うことを特徴とする製造方法。 - 前記金属シリコン粉体と塩化水素ガスとを反応させて前記トリクロロシランを生成することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記流路の一部は、前記金属シリコン粉体と前記塩化水素ガスとを反応させて前記トリクロロシランを生成する反応容器の外部から前記反応容器に前記金属シリコン粉体を導く導入流路であり、
前記導入流路の開閉を、前記無摺動バルブを用いて行うことを特徴とする請求項2に記載の製造方法。 - 前記流路の一部は、前記金属シリコン粉体と前記塩化水素ガスとを反応させて前記トリクロロシランを生成する反応容器の下部から取り出される前記金属シリコン粉体が流通する導出流路であり、
前記導出流路は、前記反応容器と前記反応容器の下部から取り出される前記金属シリコン粉体を収容する収容槽との間にあり、
前記導出流路の開閉を、前記無摺動バルブを用いて行うことを特徴とする請求項2または3に記載の製造方法。 - 前記流路の一部は、前記金属シリコン粉体と前記塩化水素ガスとを反応させて前記トリクロロシランを生成する反応容器の上部から排出される前記金属シリコン粉体が流通する排出流路であり、
前記排出流路は、前記反応容器と前記金属シリコン粉体を除去するフィルターとの間にあり、
前記排出流路の開閉を、前記無摺動バルブを用いて行うことを特徴とする請求項2から4のいずれか1項に記載の製造方法。 - 前記流路の一部は、前記金属シリコン粉体と前記塩化水素ガスとを反応させて前記トリクロロシランを生成する反応容器の上部から排出される前記金属シリコン粉体が流通する排出流路であり、
前記排出流路は、前記金属シリコン粉体を除去するフィルターと該フィルターで除去された前記金属シリコン粉体を収容する収容槽との間にあり、
前記排出流路の開閉を、前記無摺動バルブを用いて行うことを特徴とする請求項2から4のいずれか1項に記載の製造方法。 - トリクロロシランの製造装置であって、
金属シリコン粉体が流通する配管と、
バルブシートに対して非接触な状態で回転可能に設けられる弁体を有する無摺動バルブとを備え、
前記無摺動バルブは、前記トリクロロシランの製造系において前記配管に設けられ、前記配管の流路を開閉することを特徴とする製造装置。 - 前記無摺動バルブは、前記弁体と前記バルブシートとがメタルタッチする構造を有することを特徴とする請求項7に記載の製造装置。
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