JP6560979B2 - 被搬送物の検査方法 - Google Patents

Description

本発明は被搬送物の検査方法に関する。

検査対象物に光を照射して得られた反射光または透過光を光センサで受光して行う検査方法がある。この検査方法では、光センサにより受光して光電変換して得られた光量を用いて検査対象物を検査する。例えば、特許文献１には、第１センサにより、ウエブの両側縁を検出して、ウエブがどれくらい幅方向に偏っているかという位置情報を生成することが開示されている（引用文献１の段落［００２１］参照）。

特開２００３−３８５６６号公報

特許文献１に記載された検査装置等では、折り畳まれたシート内に対向して配された検査対象物の相互の位置関係を検出することができなかった。
本発明は、シート自体が対向して搬送されているシート中に、対向して配された検査対象物の相互の位置関係を検出することを可能にした被搬送物の検査方法に関する。

本発明は、対向して搬送されている光透過性の第１、第２シートのそれぞれに対向して配された第１、第２検査対象物の位置を検出する被搬送物の検査方法であって、
前記第１、第２シート間に反射板を挿入した状態で、前記第１シートの外側から前記第１シートおよび前記第１検査対象物に第１照射光を照射する第１光照射工程と、
前記第２シートの外側から前記第２シートおよび前記第２検査対象物に第２照射光を照射する第２光照射工程と、
前記第１照射光が、前記反射板および前記第１シートにて反射されて得た第１反射光を受光して光量を検出する第１光検出工程と、
前記第２照射光が、前記反射板および前記第２シートにて反射されて得た第２反射光を受光して光量を検出する第２光検出工程と、
前記第１、第２反射光の光量から、前記各シートの幅方向の前記第１、第２検査対象物端部の位置を求める位置検出工程と、
を有する被搬送物の検査方法を提供する。

本発明の被搬送物の検査方法は、シート自体が対向して搬送されているシート中に、対向して配された検査対象物の相互の位置関係を検出することが可能になる。

本発明の被搬送物の検査方法を実施する検査装置の好ましい一例を示した構成図である。（ａ）は図面前後方向をシートの搬送方向とした断面図であり、（ｂ）は上面図である。 （ａ）から（ｃ）はセンサ受光量の変化を説明する部分断面図である。 第１センサ部３１で受光して光電変換して求めた光量から、第１検査対象物の位置を求める検量線の一例を示したグラフである。 （ａ）はシートに対する検査対象物の配置状態の一例を示した正面図であり、（ｂ）はシートの二つ折り状態を示した正面図である。 ポリプロピレン繊維を用いたスパンレース不織布の光透過率と坪量との関係図である。 ずれ量の測定が不可能な場合を示した部分断面図である。なお、図１等に示した照射光を透過するシート５０の図示は省略してある。 別の被搬送物の検査方法を実施する検査装置の好ましい一例を示した構成図である。

本発明に係る被搬送物の検査方法の好ましい一実施形態について、図面を参照しながら、以下に説明する。まず、被搬送物の検査方法を用いて検査される非搬送物および検査方法を実施する検査装置の好ましい一例を、図１によって説明する。

図１に示すように、被搬送物１は、二つ折りにされた光透過性のシート５０と、そのシート５０に配した光不透過性の第１、第２検査対象物６１、６２を有する。光透過性とは、後述する第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２がシート５０を透過し、反射板２１に反射され、再びシート５０を透過することをいう。光不透過性とは、第１、第２検査対象物６１、６２に照射された第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２が表面反射はあるものの、残りの照射光が吸収されることをいう。
シート５０は、好ましくは波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の光を透過するものであり、表面シート５０Ａと裏面シート５０Ｂの２層にされている。２層の積層シートであるシート５０の二つ折りにされた一方は第１シート５１であり、他方は第２シート５２である。第１シート５１と第２シート５２とは、対向した状態にて搬送されている。例えば、第１シート５１の幅方向端部５１Ａと第２シート５２の幅方向端部５２Ａとが対向するように上端側に配されていて、シート５０の二つ折り端部５０Ｃが下端側に配されている。シート５０の二つ折り端部５０Ｃが、上下方向が逆向きに搬送されていてもよい。
第１シート５１には、表面シート５０Ａと裏面シート５０Ｂとの間に第１検査対象物６１が配されている。第２シート５２には、表面シート５０Ａと裏面シート５０Ｂとの間に第２検査対象物６２が配されている。第１検査対象物６１と第２検査対象物６２とは、互いに対向する位置にされている。すなわち、第１、第２検査対象物６１、６２の上端部６１Ａ，６２Ａのシート幅方向の位置は同一高さになっていることが好ましい。

被搬送物の検査装置１０は、第１シート５１の外側に、第１シート５１および第１検査対象物６１に第１照射光Ｌ１を照射する第１光照射部１１を備えている。第２シート５２の外側には、第２シート５２と第２検査対象物６２に第２照射光Ｌ２を照射する第２光照射部１２を備えている。第１照射光Ｌ１は、第１検査対象物６１の上端部６１Ａ、第２照射光Ｌ２は第２検査対象物６２の上端部６２Ａを含むように照射される。また、第１シート５１の外側には、第１照射光Ｌ１の光路を遮断しない位置に、第１照射光Ｌ１により照明された第１シート５１および第１検査対象物６１からの光を受光する第１センサ部３１を備えている。第２シート５２の外側には、第２照射光Ｌ２の光路を遮らない位置に、第２照射光Ｌ２により照明された第２シート５２および第２検査対象物６２からの光を受光する第２センサ部３２を備えている。さらに、第１シート５１と第２シート５２との間に両面を反射面とする反射板２１を備えている。

以下、各構成部品について詳細に説明する。
第１、第２光照射部１１、１２は、第１、第２シート５１、５２の幅方向に線状に、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２を照射するものである。例えばシート５０を含めて第１、第２検査対象物６１、６２の上端部６１Ａ、６２Ａを中心に照射する。第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２には、シート５０表面の反射の影響を抑え、透過しやすくなるという観点から、波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の光を用いる。

第１、第２光照射部１１、１２は、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２がむらなく照射されるように、図示はしないが複数の発光素子が複数個配列されている。その配列は１列であってもよく、好ましくは複数列であってもよい。さらに、むらのない均一な照度の照明光とするために、発光素子が配置されている側面等に反射板が配されていても好ましい。その照度は、反射光が得られる照度以上であればよく、受光素子の感度にもよるが、飽和受光量とならない照度以下が好ましい。
第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２は、波長が５００ｎｍ以上であり、好ましくは波長が６００ｎｍ以上であり、さらに好ましくは波長が６５０ｎｍ以上である。そして、波長が８００ｎｍ以下であり、好ましくは波長が７５０ｎｍ以下であり、さらに好ましくは波長が７００ｎｍ以下である。具体的には、波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下であり、好ましくは波長が６００ｎｍ以上７５０ｎｍ以下であり、さらに好ましくは波長が６５０ｎｍ以上７００ｎｍ以下である。波長が短すぎると、照射光がシート５０を透過しにくくなる。一方、波長が長すぎると照射位置が見えなくなり、照射光の位置合わせが容易にできなくなる。
第１、第２光照射部１１、１２には、例えば、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の波長が６６０ｎｍである半導体レーザ光を用いることが好ましい。本明細書でいう第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の発光波長は、光強度が最も強くなるピーク波長をいう。

第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の照度は、１ｌｘ以上が好ましく、４ｌｘ以上がより好ましい。そして７ｌｘ以下が好ましい。具体的には、１ｌｘ以上７ｌｘ以下が好ましく、４ｌｘ以上７ｌｘ以下がより好ましい。照度が強すぎると、受光素子の飽和受光量を超える状態となり受光素子における光電変換ができない。一方、照度が弱すぎると、光電変換が起こらず光を検出できなくなる。なお、上記照度は、シート５０に最初に照射された位置における照度である。
上記照度は、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の照射距離Ｄによっても適宜調整される。照射距離Ｄが短い場合には照度を低くし、照射距離Ｄが長い場合には照度を強くする。この照射距離Ｄは、第１、第２光照射部１１、１２から射出される第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の光軸Ｃ１、Ｃ２上における第１、第２光照射部１１、１２の射出端とシート５０表面との距離とする。またシート５０表面に対して第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の光軸が、例えば照射面に対して垂直方向となるように照射することが好ましい。上記照度の測定は、市販の照度計を用いて測定した。具体的には、ミノルタ社製、デジタル照度計 Ｔ−１Ｈを使用した。

反射板２１は、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２が反射板２１に照射される照射面の全体が含まれる大きさを有していることが好ましい。
反射板２１の厚みは、搬送される第１、第２シート５１、５２に接触することなく挿入可能な厚みであることが好ましい。例えば、剛性を確保する点から、２ｍｍ以上が好ましく、４ｍｍ以上がより好ましく、５ｍｍ以上がさらに好ましい。そして第１、第２シート５１、５２との接触を避ける観点から、１０ｍｍ以下が好ましく、８ｍｍ以下がより好ましく、６ｍｍ以下がさらに好ましい。具体的には、２ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、４ｍｍ以上８ｍｍ以下がより好ましく、５ｍｍ以上６ｍｍ以下がさらに好ましい。
また反射板２１は、両面において第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２を反射する板材であることが好ましい。板材としては、樹脂、金属等が挙げられる。樹脂としては、ポリアミド系樹脂、ふっ素系樹脂、ポリアセタール系樹脂等が挙げられる。具体的には、ポリアミド樹脂、ふっ素樹脂、ポリアセタール樹脂が挙げられ、例えば、ＭＣナイロン（登録商標）、テフロン（登録商標）、ジュラコン（登録商標）等が挙げられる。
板材の場合、表面が鏡面加工されていることが好ましい。または板材に反射率が高くなる反射膜コーティングを両面に施したものを用いても好ましい。

第１、第２センサ部３１、３２は、上記第１、第２照射部１１、１２に併設されていてもよく、または別体に配されていてもよい。反射、透過してきた光を受光できる位置に配されていればよい。第１、第２センサ部３１、３２は、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の波長の光を受光できる光電変換素子であることが好ましい。例えば、光電変換素子として波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の光を受光できるフォトダイオードが挙げられる。

第１、第２センサ部３１、３２には、受光して光電変換して得た電気信号を処理する信号処理部（図示せず）が接続されていることが好ましい。信号処理部は、上記第１、第２センサ部３１、３２により光電変換された電気信号を受けて記憶する。また、信号処理部は電気信号を増幅する機能、ノイズを除去する機能等を有することが好ましい。

信号処理部では、第１、第２センサ部３１、３２において光電変換された検査領域の電気信号から、光量を求め、第１、第２検査対象物６１、６２の位置ずれ量を算出する。
そのために、予め、光量による第１検査対象物６１の位置を算出するための検量線を求めておく。
第１センサ部３１が受光する第１反射光Ｌｒ１は、第１照射光Ｌ１の照射領域の全域が、仮に第１シート５１の第１検査対象物６１を含まない領域の場合（図２（ａ）参照）、反射板２１に反射された反射光Ｌｒ１が最も光量が多くなる。この状態が、後述する検量線の光量１００の状態に相当する。
第１照射光Ｌ１の照射領域に占める、第１検査対象物６１と重なっている第１シート５１の領域の面積が減少するに従い（図２（ｂ）参照）、その面積減に比例して光量が多くなる。言い換えれば、第１検査対象物６１が第１照射光Ｌ１の照射領域に重なる面積が増えるに従い、その面積増に比例して第１反射光Ｌｒ１の光量が少なくなる。この状態が、後述する検量線の光量５０から１００の中間状態に相当する。
第１シート５１に対する第１照射光Ｌ１の照射領域の全域が、第１検査対象物６１が配された第１シート５１の領域と重なった場合（図２（ｃ）参照）には、第１検査対象物６１に吸収されるため、第１反射光Ｌｒ１は最も光量が少なくなる。この状態が、後述する検量線の光量５０の状態に相当する。すなわち、検量線の光量は、反射光Ｌｒ１が最も多くなる光量を１００とし、反射光Ｌｒ１が最も少なくなる光量を５０とした相対的な光量である。

上記各場合における第１反射光Ｌｒ１の光量を求めることによって、図３に示すような反射光量と基準位置からの距離の関係が、第１検量線によって求まる。基準位置からの距離は、照射光Ｌ１の上端Ｐ０位置から第１検査対象物６１の上端６１Ａまでの距離Ｐ１をいう。なお、光量の測定値にばらつきが生じている場合には、最小二乗法等により、一次関数に近似することが好ましい。
ここで、光量が最小から最大になるまでの距離は第１照射光Ｌ１のシート５０面に照射されたときの照射領域のシート幅方向の幅Ｗである。幅Ｗの単位は例えばｍｍとする。第１照射光Ｌ１の光軸Ｃ（Ｃ１）は、例えば反射板２１面に対して垂直に設定される。また、第１センサ部３１がより多くの反射光を受光できるように、第１照射光Ｌ１の照射角度に傾きをつけてもよい。すなわち、光軸Ｃが傾くように第１光照射部１１を配してもよい。第２光照射部１２についても、第１光照射部１１と同様のことがいえる。

第２反射光Ｌｒ２の光量による第２検査対象物６２の位置を算出するための第２検量線（図示せず）も、上記第１検量線と同様に求めることができる。すなわち、反射光量と基準位置からの距離の関係が第２検量線によって求まる。基準位置からの距離は、照射光Ｌ２の上端Ｐ０位置から第１検査対象物６２の上端６２Ａまでの距離Ｐ２をいう。なお、光量の測定値にばらつきが生じている場合には、最小二乗法等により、一次関数に近似することが好ましい。
このように、各第１、第２センサ部３１、３２ごとに検量線を求めることによって、各第１、第２センサ部３１、３２に対応した検量線となる。これによって、より正確に、第１、第２検査対象物６１、６２の上端６１Ａ、６２Ａの位置を示す距離Ｐ１、Ｐ２を求めることができる。Ｐ１、Ｐ２の単位は例えばｍｍとする。

次に、本発明の被搬送物の検査方法の好ましい一例について説明する。
被搬送物の検査方法は、前記図１を参照して説明した検査装置１０を用いて行う。
図４（ａ）に示すように、被搬送物１は、光透過性のシート５０と、その幅方向に第１、第２検査対象物６１、６２を配したものである。第１、第２検査対象物６１、６２は、シート５０の長手方向（搬送方向）に複数配置されている。図４（ｂ）に示すように、そのようなシート５０の幅方向を長手方向にそって二つ折りにしたものである。

例えば、シート５０には、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、等の繊維からなる光透過性の不織布を用いる。具体的には、波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の光を透過する不織布を用いる。
通常、不織布に可視光線を照射した場合、不織布を構成する繊維表面での反射と繊維間の隙間の通過を繰り返して不織布を透過する光と、その不織布を透過する光の一部が繊維内を通過して不織布を透過する光がある。要するに、不織布に照射された光は、繊維内を通過する光、繊維表面で反射される光、および繊維間を進む光が、複雑に組み合わされて、照射された一部の光が不織布を厚み方向に透過する。それ以外の光は、繊維表面で反射散乱され、また繊維中に吸収される。また、不織布の坪量が少ない場合には、繊維間を直進して透過する光がある。したがって、通常、不織布は坪量が大きくなり過ぎなければ、可視光線を透過するものである。坪量が大きくなり過ぎると、繊維表面での反射が多くなって、透過光量が少なくなり、光透過率が極端に減少することになる。光透過量が少なくなっても、被搬送物の検査方法を実施することは可能ではあるが、ノイズ等により検査精度が低下する場合がある。したがって、不織布からなるシート５０の坪量には好ましくは上限がある。シート５０の坪量については後述する。

また、不織布に用いる繊維は透明性を有するものが用いられることが好ましい。透明性を有する繊維は、波長が３８０ｎｍから８００ｎｍの可視光線を透過する。透明性を有するとは、半透明も含み、表面側から照射した可視光線の表面での反射、内部吸収はあるものの、一部が裏面側に透過することをいう。例えば、ポリエチレンの可視光線域の光透過特性が、ダイキン工業株式会社の技術資料ＧＸ−２７ｅ「ネオフロンフィルム」の第３頁に記載されている。この光透過特性のグラフでは、厚み２５μｍのポリエチレンフィルムの光透過特性として、波長２００ｎｍから８００ｎｍまでの光透過率が記載されている。この場合の可視光線域における光透過率は８５％以上となっている。上記技術資料ＧＸ−２７ｅは、インターネット www.daikin.co.jp/chm/products/pdf/catalog/GX-27e.pdf で検索可能である（検索日：平成２７年１２月２１日）。
また、ポリエチレンテレフタレートの可視光線域の光透過特性が、例えば、インターネット http://www.zeon.co.jp/business/enterprise/speplast/optes2_1.html で検索されるグラフに記載されている（検索日：平成２７年１２月２１日）。この光透過特性のグラフによれば、厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの光透過特性として、波長３００ｎｍから８００ｎｍまでの光透過率がグラフに記載されている。この場合の可視光線域における光透過率は８０％以上となっている。

不織布の坪量と光透過率との関係の一例を調べた。光透過率の測定には、坪量が８０ｇ／ｃｍ^２のポリプロピレン繊維からなるスパンレース不織布を用いた。また不織布を重ね合わせることで種々の坪量の不織布を得た。したがって、不織布が無い場合が坪量０ｇ／ｃｍ^２であり、不織布の枚数を増やすことで、坪量が８０ｇ／ｃｍ^２から８００ｇ／ｃｍ^２までの種々の坪量の不織布とした。そして、それぞれの坪量の不織布について光透過率を測定した。測定光には、波長が６６０ｎｍの半導体レーザ光を用いた。光透過率の測定方法の詳細は後述する。
図５を参照してその結果を説明する。図５は、縦軸に光透過率を示し、横軸に坪量を示す。
図５に示すように、坪量が増加するとともに光透過率が急激に低下したが、坪量が８００ｇ／ｃｍ^２であっても光透過が認められた。このことから、不織布であれば、測定光を少なくとも透過することがわかった。

上記不織布の坪量は、シートとしての強度が維持されるように、１０ｇ／ｍ^２以上が好ましく、３０ｇ／ｍ^２以上がより好ましく、５０ｇ／ｍ^２以上がさらに好ましい。そして波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の光を透過し、透過した光の反射光が再び透過されるように、２００ｇ／ｍ^２以下が好ましく、１５０ｇ／ｍ^２以下がより好ましく、１００ｇ／ｍ^２以下がさらに好ましい。例えば、シート５０の坪量は７０ｇ／ｍ^２から８０ｇ／ｍ^２とした。
具体的には、一例として、表面シート５０Ａには坪量が８０ｇ／ｍ^２のポリプロピレンのスパンレース不織布を用いる。また裏面シート５０Ｂには坪量が７０ｇ／ｍ^２のポリプロピレンのスパンレース不織布を用いる。なお、不織布としては、スパンレース不織布以外の不織布を用いてもよい。例えば、エアスルー不織布、ニードルパンチ不織布、スパンボンド不織布、メルトブローン不織布等を好ましく用いることができる。
上記の坪量８０ｇ／ｍ^２、厚み０．６６ｍｍのポリプロピレンのスパンレース不織布からなる表面シート５０Ａの波長６６０ｎｍの光の透過率は９．０％であった。また、上記の坪量７０ｇ／ｍ^２、厚み０．５９ｍｍのポリプロピレンのスパンレース不織布からなる裏面シート５０Ｂの波長６６０ｎｍの光の透過率は２０．０％であった。このように、不織布状態であっても、シート５０は上記の光を十分に透過することがわかっている。

上記の不織布の厚みは以下のように測定した。
０．０５ｋＰａの圧力がかかるように荷重を加えた状態にして、厚み測定器を用いて測定した。厚み測定器にはオムロン社製のレーザー変位計を用いた。厚み測定は、１０点測定し、それらの平均値を算出して厚みとした。

上記光透過率は以下のように測定した。
測定器にキーエンス社製の透過型センサ、型式：ＬＶ−ＮＨ１１０を用いた。この透過型センサの半導体レーザ光の発振波長は６６０ｎｍである。またアンプには、キーエンス社製の型式：ＬＶ−Ｎ１１Ｎを用いた。上記センサの発光ヘッドと受光ヘッドとの間隔を２００ｍｍに設定し、その中間部である発光部からの距離が１００ｍｍの位置に、光軸に対して直角になるように、光透過率を測定する不織布を配した。透過率の測定は、波長６６０ｎｍの０．２ｍＷのレーザ光を照射し、その透過光量を測定した。また照射光量は不織布を配さない状態で測定した。透過率は式［透過光量］／［照射光量］×１００（％）を用いて求めた。

検査対象物６１、６２は光不透過性である。光不透過性とは、光を全く透過しないことであり、表面反射以外の照射光が吸収される状態をいう。このような検査対象物６１、６２には、例えば、炭酸カルシウムを含むポリエチレン（ＰＥ）延伸フィルムやポリエチレン紙ラミネートフィルムを用いて包装された発熱体がある。発熱体は、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２を吸収するが、透過しないものである。発熱体としては、塩化鉄や酸化鉄のような黒色または黒色に近い色の金属化合物を含むものである。

図１に示すように、第１、第２光照射部１１、１２は、それぞれの光軸Ｃ１、Ｃ２を延長した線上に互いが一致するように配されている。第１、第２光照射部１１、１２には、例えば、波長が６６０ｎｍの光を第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２とするものを用いる。第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２には、波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の上記した他の波長の光を用いることも可能である。第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２は、シート５０の幅方向に長い縦長の照射領域を有するものである。例えば、照射領域の幅Ｗ（図面縦方向の照射領域の長さ）は３０ｍｍ、照射領域の幅方向と直交する方向の照射領域の長さ（図面奥行方向の照射領域の長さ）は２ｍｍである。この縦方向とはシート５０の幅方向と平行な方向である。また、第１、第２光照射部１１、１２とシート５０との照射距離Ｄ（Ｄ１、Ｄ２）は６０ｍｍである。この照射距離Ｄは、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の照射領域の面積、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の光量に応じて適宜選択される。

第１、第２シート５１、５２間に上記説明した反射板２１を挿入しておく。第１、第２光照射部１１、１２のそれぞれから、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２を照射する、第１、第２光照射工程を行う。
第１光照射工程は、第１照射部３１から射出された第１照射光Ｌ１を、第１シート５１の外側から第１シート５１および第１検査対象物６１に照射する。第１シート５１の外側とは、第２シート５２側とは反対側のことをいう。
続いて第１光検出工程を行う。この光検出工程では、照射された第１照射光Ｌ１の一部が、第１シート５１表面や第１検査対象物６１表面において反射される。残りの第１照射光Ｌ１が、第１検査対象物６１が配されている部分を除く第１シート５１を透過して反射板２１に照射される。反射板２１では照射された第１照射光Ｌ１が反射され、再び第１シート５１を透過する。これらの反射光が第１反射光Ｌｒ１として第１センサ部３１に受光される。
なお、図面にいて光を示す矢印は、垂直入射の照射光に対して反射光は同一光路上を通るが、わかり易くするため、少しずらして示した。

一方、第２光照射工程は、第２照射部３２から射出された第２照射光Ｌ２を、第２シート５２の外側から第２シート５２および第２検査対象物６２に照射する。第２シート５２の外側とは、第１シート５１側とは反対側のことをいう。
上記第２光照射工程は、第１光照射工程と同時に行うことが好ましい。同時に行うことによって、反射板２１を挟んで対向する第１、第２検査対象物６１、６２の位置をより正確に検出することができる。
続いて第２光検出工程を行う。この光検出工程では、照射された第２照射光Ｌ２の一部が第２シート５２表面や第２検査対象物６２表面において反射される。残りの第２照射光Ｌ２が、第２検査対象物６２が配されている部分を除く第２シート５２を透過して反射板２１に照射される。反射板２１では照射された第２照射光Ｌ２が反射され、再び第２シート５２を透過する。これらの反射光が第２反射光Ｌｒ２として第２センサ部３２に受光される。
なお、第１、第２検査対象物６１、６２に照射された第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２は、その表面において反射された以外、第１、第２検査対象物６１、６２に吸収される。また、第１、第２シート５１、５２の光吸収はわずかであるとして省略した。

続いて位置検出工程では、上記第１、第２センサ部３１、３２により第１、第２反射光Ｌｒ１、Ｌｒ２を光電変換し、信号処理部において、光電変換して得たそれぞれの電流値から光量を求める。さらに先に求めておいた検量線に基づいて、上記それぞれの光量から第１、第２検査対象物６１、６２の位置を示す距離Ｐ１、Ｐ２を求める。Ｐ１＝Ｐ２であれば、第１、第２検査対象物６１、６２の位置ずれはない。Ｐ１＞Ｐ２ならば、第１検査対象物６１が第２検査対象物６２よりも低い位置になっている。逆にＰ１＜Ｐ２ならば、第１検査対象物６１が第２検査対象物６２よりも高い位置になっている。Ｐ１＞Ｐ２およびＰ１＜Ｐ２のいずれの場合も第１、第２検査対象物６１、６２がずれていることがわかる。Ｐ１、Ｐ２の単位は例えばｍｍとする。
第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の上端を基準位置として位置０とし、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の下端を位置ＰＷとする。したがって、位置０からＰＷまでは照射光の幅Ｗになる。距離Ｐ１、Ｐ２は、基準位置Ｐ０（位置０）からの第１、第２検査対象物６１、６２の上端６１Ａ、６２Ａまでの距離である。

なお、上記検査方法において、第１、第２検査対象物６１、６２の位置検出ができない場合がある。例えば、図６（ａ）に示すように、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の照射領域の全域が、第１、第２検査対象物６１、６２の上端６１Ａ、６２Ａをまたがず、第１、第２検査対象物６１、６２になる場合である。図６（ｂ）に示すように、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の一方の照射領域の全域がその照射光により検査される第１、第２検査対象物６１、６２になる場合である。図示例では、第１照射光Ｌ１の照射領域の全域が第１検査対象物６１になっている。また、図６（ｃ）に示すように、第１、第２照射光Ｌ１，Ｌ２の照射領域の全域が第１、第２検査対象物６１、６２に照射されない場合である。さらに、図６（ｄ）に示すように、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の一方の照射領域の全域がその照射光により検査される第１、第２検査対象物６１、６２に照射されない場合である。図示例では、第１照射光Ｌ１の照射領域の全域が第１検査対象物６１に照射されていない。
上記のような場合には、第１、第２検査対象物６１、６２の位置検出が不能となる。したがって、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２は、シート５０と第１、第２検査対象物６１、６２との境界部分に照射されている必要がある。

上記の被搬送物の検査方法は、対向して搬送されている第１、第２シート５１、５２中に、対向して配された第１、第２検査対象物６１、６２の相互の位置関係を検出することが可能になる。これにより、第１、第２検査対象物６１、６２の位置をシート５０の搬送中に検査することができるので、製造ラインを停止することなく、効率的な検査が可能になる。
また、第１、第２照射光Ｌ１，Ｌ２は、シート５０の幅方向に長さが長い光であるが、これをシート５０の搬送方向に長さが長い光としてもよい。この場合、シート５０と第１、第２検査対象物６１、６２との境界をまたぐように、第１、第２照射光Ｌ１，Ｌ２が照射される。これによって、第１、第２検査対象物６１、６２のシート搬送方向に隣接する別の第１、第２検査対象物６１、６２との位置関係を検出することができる。

また、第１検査対象物６１、第２検査対象物６２のそれぞれの２点の位置を求めることにより、それぞれの検査対象物の傾きを求めることができる。例えば、第１検査対象物６１の上辺のＡ点のシート幅方向の基準点からの位置Ｐ１、Ｂ点のシート幅方向の基準点からの位置Ｐ３（図示せず）とする。Ｐ１−Ｐ３＝０ならば、第１検査対象物６１は傾いていないことになる。ただし、上記いずれの基準点は水平線と平行な１本の線上にあり、検査対象物の上辺は水平線と平行であるとする。Ｐ１−Ｐ２≠０ならば傾いていることになる。Ｐ１とＰ２との差と、Ｐ１とＰ２との距離の差Ｄｐから容易に傾き角が算出できる。Ａ点を起点とした傾き角はｔａｎ^−１｛（Ｐ１−Ｐ２）／Ｄｐ｝となる。

上記検査方法は、二つ折りにしたシート５０を鉛直方向に配して搬送する場合について説明した。この検査方法では、二つ折りにしたシート５０を水平方向に配して搬送する場合についても、上記同様に検査することが可能である。この場合には検査装置１０の全体を９０度回転した状態で検査することになる。

次に本発明の別の検査方法を以下に説明する。
図７に示すように、シート５０は、好ましくは波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の光を透過するものであり、表面シート５０Ａと裏面シート５０Ｂの２層にされている。二つ折りにされたシート５０の一方側の第１シート５１と他方側の第２シート５２とは、対向した状態を維持して搬送されている。例えば、第１シート５１の幅方向端部５１Ａと第２シート５２の幅方向端部５２Ａとが対向するように上端側に配されていて、シート５０の二つ折り端部５０Ｃが下端側に配されている。搬送される二つ折りにされたシート５０は、幅方向において上下方向が逆向きになっていてもよい。
第１シート５１には、表面シート５０Ａと裏面シート５０Ｂとの間に第１検査対象物６１が配されている。第２シート５２には、表面シート５０Ａと裏面シート５０Ｂとの間に第２検査対象物６２が配されている。第１検査対象物６１と第２検査対象物６２とは、互いに対向する位置にされている。

第１および第２シート５１、５２間には、両面から対称となる方向に発光する発光部２５が挿入されている。発光部２５は、シート５０の幅方向と同様の方向であり、線状に発光するものであればよい。まず、発光部２５の一方の面から第１シート５１および第１検査対象物６１に第１照射光Ｌ１を照射する第１光照射工程を行う。同時に、発光部２５の他方の面から第２シート５２および第２検査対象物６２に第２照射光Ｌ２を照射する第２光照射工程を行う。
続いて、第１照射光Ｌ１が第１シート５１を透過した第１透過光Ｌｔ１を第１センサ部３１により受光して光量を検出する第１光検出工程を行う。同時に、第２照射光Ｌ２が第２シート５２を透過した第２透過光Ｌｔ２を第２センサ部３２により受光して光量を検出する第２光検出工程を行う。
次いで第１および第２透過光Ｌｔ１、Ｌｔ２の光量から、各シートの幅方向の第１、第２検査対象物６１、６２の端部６１Ａ、６２Ａの位置を求める位置検出工程を行う。位置検出工程は前述の位置検出工程と同様である。

上記別の検査方法は、第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の透過光を検出して、第１、第２検査対象物６１、６２の位置を検出する方法であり、検査方法が簡便である。

以下に、上述の被搬送物の検査方法により被搬送物を検査した実施例により本発明をさらに詳細に説明する。本発明は下記実施例に限定されるものではない。

（実施例）
第１シート５１側、第２シート５２側それぞれの反射光量から、検量線を基に、基準位置から第１、第２検査対象物６１、６２（例えば発熱体）端部位置をそれぞれ算出する。算出したそれぞれの位置の差分｜Ｐ１−Ｐ２｜から、発熱体のズレ量（ｍｍ）を算出する。

＜検査装置＞
図１に示した検査装置１０を用いて検査を行った。第１、第２光照射部１１、１２および第１、第２センサ部３１、３２には、キーエンス社製、反射帰還型センサの型式：ＬＶ−ＮＨ４２を用いた。この半導体レーザ光の発振波長は６６０ｎｍである。
信号処理部には、キーエンス社製の型式：ＬＶ−Ｎ１１ＭＮを用いた。

＜検査条件＞
第１、第２照射光Ｌ１、Ｌ２の光軸を照射面に対して垂直方向に設定し、照射距離Ｄを６０ｍｍに設定した。

検査の結果、実施例では、第１、第２検査対象物６１、６２の位置を正確に検出できた。その結果、第１、第２検査対象物６１、６２のずれ量を正確に測定できた。

１ 被搬送物
１０ 検査装置
１１ 第１光照射部
１２ 第２光照射部
２１ 反射板
２５ 発光部
３１ 第１センサ部
３２ 第２センサ部
５０ シート
５０Ａ 表面シート
５０Ｂ 裏面シート
５０Ｃ シートの二つ折り端部
５１ 第１シート
５１Ａ 第１シートの幅方向端部
５２ 第２シート
５２Ａ 第２シートの幅方向端部
６１ 第１検査対象物
６１Ａ 第１検査対象物の上端部
６２ 第２検査対象物
６２Ａ 第２検査対象物の上端部
Ｃ，Ｃ１，Ｃ２ 光軸
Ｄ，Ｄ１，Ｄ２ 照射距離
Ｌ１ 第１照射光
Ｌ２ 第２照射光
Ｌｒ１ 第１反射光
Ｌｒ２ 第２反射光
Ｌｔ１ 第１透過光
Ｌｔ２ 第２透過光
Ｗ 照射領域の幅
Ｐ１，Ｐ２ 基準位置からの距離

Claims (7)

1. 対向して搬送されている光透過性の第１、第２シートのそれぞれに対向して配された第１、第２検査対象物の位置を検出する被搬送物の検査方法であって、
   前記第１、第２シート間に反射板を挿入した状態で、前記第１シートの外側から前記第１シートおよび前記第１検査対象物に第１照射光を照射する第１光照射工程と、
   前記第２シートの外側から前記第２シートおよび前記第２検査対象物に第２照射光を照射する第２光照射工程と、
   前記第１照射光が、前記反射板および前記第１シートにて反射されて得た第１反射光を受光して光量を検出する第１光検出工程と、
   前記第２照射光が、前記反射板および前記第２シートにて反射されて得た第２反射光を受光して光量を検出する第２光検出工程と、
   前記第１、第２反射光の光量から、前記各シートの幅方向の前記第１、第２検査対象物端部の位置を求める位置検出工程と、
   を有する被搬送物の検査方法。
2. 前記第１照射光および前記第２照射光の波長が５００ｎｍ以上８００ｎｍ以下である請求項１記載の被搬送物の検査方法。
3. 前記第１シートと前記第２シートとは１枚のシートからなり、前記１枚のシートを幅方向中央で折り返して、折り返した一方のシートを前記第１シートとし、折り返した他方のシートを前記第２シートとする請求項１または２に記載の被搬送物の検査方法。
4. 前記第１光照射工程と前記第２光照射工程とを同時に行う請求項１から３のいずれか１項に記載の被搬送物の検査方法。
5. 前記検査対象物は光不透過性である請求項１から４のいずれか１項に記載の被搬送物の検査方法。
6. 前記位置検出工程は、予め、シートの幅方向に対して検査対象物の位置と、その位置における反射光の光量との関係から検量線を求めておいて、測定された反射光の光量から前記検量線に基づいて前記検査対象物の位置を求める、請求項１から５のいずれか１項に記載の被搬送物の検査方法。
7. 対向して搬送されている光透過性の第１シートおよび第２シートのそれぞれに対向して配された光不透過性の第１、第２検査対象物の位置を検出する被搬送物の検査方法であって、
   前記第１、第２シート間に両面発光する発光部を挿入した状態で、前記発光部から前記第１シートおよび前記第１検査対象物に第１照射光を照射する第１光照射工程と、
   前記発光部から前記第２シートおよび前記第２検査対象物に第２照射光を照射する第２光照射工程と、
   前記第１照射光が前記第１シートを透過した第１透過光を受光して光量を検出する第１光検出工程と、
   前記第２照射光が前記第２シートを透過した第２透過光を受光して光量を検出する第２光検出工程と、
   前記第１および第２透過光の光量から、前記各シートの幅方向の前記検査対象物端部の位置を求める位置検出工程と、
   を有する被搬送物の検査方法。

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