JP6555803B2 - シート照明顕微鏡、及び、シート照明顕微鏡の照明方法 - Google Patents

シート照明顕微鏡、及び、シート照明顕微鏡の照明方法 Download PDF

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Description

本発明は、シート照明顕微鏡、及び、その照明方法の技術に関する。
蛍光顕微鏡の分野では、観察光学系の光軸(以降、観察光軸と記す)と直交する方向から試料に光を照射する技術が知られている。この技術は、試料に与えるダメージを抑えることができる、z方向に高い解像力を実現できるなどのメリットがあり、近年、注目を集めている。
例えば、特許文献1には、試料中に照明ラインを形成し、その照明ラインをスキャナで移動させることで観察光軸と直交する光シートを形成する技術が記載されている。
特開2006−030991号公報
しかしながら、特許文献1のように光シートの形成にスキャナが用いられる場合には、装置の構成が複雑になることに加えて、試料の走査ひいては画像取得に時間がかかってしまう、といった課題がある。このため、スキャナを用いることなく光シートで試料中の広い範囲を一度に照明し、短時間での画像取得を実現する技術が求められている。
以上のような実情を踏まえ、本発明は、簡単な装置構成で広い範囲を照明するシート照明顕微鏡及びその照明方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様は、試料からの光で前記試料の像を形成する観察光学系と、前記観察光学系の観察光軸と直交する方向から前記試料を照明する照明光学系と、を備え、前記照明光学系は、所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出する第1の光学系と、前記観察光軸と平行な方向から入射する光を前記観察光軸に向かう向きに偏向させる偏向手段を含み、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系と、を備え、前記第1の光学系は、円環状の平行光束を射出するように構成され、前記偏向手段は、回転放物面に重なる形状の反射面であり、前記第2の光学系は、さらに、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段を含むシート照明顕微鏡を提供する。
本発明の別の態様は、試料からの光で前記試料の像を形成する観察光学系と、前記観察光学系の観察光軸と直交する方向から前記試料を照明する照明光学系と、を備え、前記照明光学系は、所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出する第1の光学系と、前記観察光軸と平行な方向から入射する光を前記観察光軸に向かう向きに偏向させる偏向手段を含み、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系と、を備え、前記第1の光学系は、円環状の平行光束を射出するように構成され、前記偏向手段は、円錐面に重なる形状の反射面であり、前記第2の光学系は、さらに、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段を含むシート照明顕微鏡を提供する。
本発明の別の態様は、試料からの光で前記試料の像を形成する観察光学系と、前記観察光学系の観察光軸と直交する方向から前記試料を照明する照明光学系と、を備え、前記照明光学系は、所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出する第1の光学系と、前記観察光軸と平行な方向から入射する光を前記観察光軸に向かう向きに偏向させる偏向手段を含み、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系と、を備え、前記第1の光学系は、円状に並んだ前記複数の部分光束からなる前記平行光束を射出するように構成され、前記偏向手段は、回転放物面に重なる形状の反射面であり、前記第2の光学系は、さらに、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段を含むシート照明顕微鏡を提供する。
本発明の別の態様は、試料からの光で前記試料の像を形成する観察光学系と、前記観察光学系の観察光軸と直交する方向から前記試料を照明する照明光学系と、を備え、前記照明光学系は、所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出する第1の光学系と、前記観察光軸と平行な方向から入射する光を前記観察光軸に向かう向きに偏向させる偏向手段を含み、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系と、を備え、前記第1の光学系は、円状に並んだ前記複数の部分光束からなる前記平行光束を射出するように構成され、前記偏向手段は、円錐面に重なる形状の反射面であり、前記第2の光学系は、さらに、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段を含むシート照明顕微鏡を提供する。
本発明の別の態様は、観察光学系の観察光軸と直交する方向から試料を照明するシート照明顕微鏡の照明方法であって、所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない円環状の平行光束を射出し、前記観察光軸と平行な方向に進行する光を回転放物面に重なる形状の反射面で偏向させ、前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段で形成する照明方法を提供する。
本発明の別の態様は、観察光学系の観察光軸と直交する方向から試料を照明するシート照明顕微鏡の照明方法であって、所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない円環状の平行光束を射出し、前記観察光軸と平行な方向に進行する光を円錐面に重なる形状の反射面で偏向させ、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段で形成する照明方法を提供する。
本発明の別の態様は、観察光学系の観察光軸と直交する方向から試料を照明するシート照明顕微鏡の照明方法であって、所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない円状に並んだ前記複数の部分光束からなる平行光束を射出し、前記観察光軸と平行な方向に進行する光を回転放物面に重なる形状の反射面で偏向させ、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段で形成する照明方法を提供する。
本発明の別の態様は、観察光学系の観察光軸と直交する方向から試料を照明するシート照明顕微鏡の照明方法であって、所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない円状に並んだ前記複数の部分光束からなる平行光束を射出し、前記観察光軸と平行な方向に進行する光を円錐面に重なる形状の反射面で偏向させ、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段で形成する照明方法を提供する。
本発明によれば、簡単な装置構成で広い範囲を照明するシート照明顕微鏡及びその照明方法を提供することができる。
本発明の一実施形態に係るシート照明顕微鏡1の構成を示した図である。 第1の光学系14から射出される平行光束の断面形状の一例を示した図である。 第2の光学系15の作用について説明するための図である。 照明光学系10により形成される光シートの一例を観察光軸AX方向から見た図である。 本発明の別の実施形態に係るシート照明顕微鏡2の構成を示した図である。 本発明の更に別の実施形態に係るシート照明顕微鏡3の構成を示した図である。 本発明の更に別の実施形態に係るシート照明顕微鏡4の構成を示した図である。 本発明の更に別の実施形態に係るシート照明顕微鏡5の構成を示した図である。 実施例1に係る照明光学系100の構成を示した図であり、図9(a)は照明光学系100の観察光軸AXと平行な断面図であり、図9(b)は第2の光学系120を観察光軸AX方向から見た平面図である。 第1の光学系110の変形例である照明光学系101の観察光軸AXと平行な断面図である。 第1の光学系110の別の変形例である照明光学系102の観察光軸AXと平行な断面図である。 第2の光学系120の変形例である第2の光学系150を観察光軸AX方向から見た平面図である。 第2の光学系120の別の変形例に係る第2の光学系160を観察光軸AX方向から見た平面図である。 実施例2に係る照明光学系200の構成を示した図であり、図13(a)は照明光学系200の観察光軸AXと平行な断面図であり、図13(b)はプリズム230を観察光軸AX方向から見た平面図である。 実施例3に係る照明光学系300の構成を示した図であり、図14(a)は照明光学系300の観察光軸AXと平行な断面図であり、図14(b)は第2の光学系330を観察光軸AX方向から見た平面図である。 実施例4に係る照明光学系400の構成を示した図であり、図15(a)は照明光学系400の観察光軸AXと平行な断面図であり、図15(b)は第2の光学系420を観察光軸AX方向から見た平面図である。 第2の光学系420の変形例である第2の光学系520の構成を示した図である。 第2の光学系420の別の変形例である第2の光学系620の構成を示した図である。 実施例5に係る照明光学系700の構成を示した図であり、図18(a)は照明光学系700の観察光軸AXと平行な断面図であり、図18(b)は第1の光学系710の斜視図であり、図18(c)及び図18(d)は照明光学系700の回転前後における第2の光学系720を観察光軸AX方向から見た平面図である。 照明光学系700の変形例である照明光学系800の構成を示した図であり、図19(a)は照明光学系800の観察光軸AXと平行な断面図であり、図19(b)は第1の光学系810の斜視図である。
図1は、本発明の一実施形態に係るシート照明顕微鏡1の構成を示した図である。図2は、第1の光学系14から射出される平行光束の断面形状の一例を示した図である。図3は、第2の光学系15の作用について説明するための図である。図4は、照明光学系10により形成される光シートの一例を観察光軸AX方向から見た図である。
図1に示すシート照明顕微鏡1は、ステージ19を挟んで向かい合わせに配置された、照明光学系10と観察光学系20とを備える倒立顕微鏡であり、例えば、生体試料である試料Sからの蛍光を検出する蛍光顕微鏡である。なお、試料Sは試料Sを所定の位置に固定するホルダーHに収納されている。
照明光学系10は、レーザ光源11と、光ファイバー12と、ビームエクスパンダ13と、第1の光学系14と第2の光学系15で構成される照明モジュール16を備え、観察光学系20の観察光軸AXと直交する方向から試料Sを照明するように構成されている。
レーザ光源11から射出したレーザ光L1は、光ファイバー12を介して入射したビームエクスパンダ13で所定の光束径を有する平行光束に変換されて、第1の光学系14に入射する。
第1の光学系14は、所定の断面形状を有する平行光束であって、その断面形状の重心位置Cから所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出するように構成されている。これは、第1の光学系14が形成した平行光束を観察光軸AXに沿って試料Sと同一平面に導いたときに、試料Sが上述した所定範囲内に位置し平行光束によって取り囲まれるようにするためである。即ち、所定の断面形状は、試料Sを取り囲むための形状である。
第1の光学系14は、ビームエクスパンダ13から入射した平行光束を、例えば、図2に示すような重心位置Cを中心に内径2rの円環状の平行光束に変換して、第2の光学系15に射出する。第1の光学系14は、重心位置Cが観察光学系20の観察光軸AXと略一致するように、平行光束を第2の光学系15に射出することが望ましい。
第2の光学系15は、観察光軸AX方向(つまり、観察光軸AXと平行な方向)から入射した平行光束から、観察光軸AXと直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成するように構成されている。第2の光学系15で形成される複数の光シートの各々は、観察光軸AXと直交する面内において略平行光束である。つまり、各光シートは、観察光軸AXと直交する断面上において互いに平行な光線を有している。また、複数の光シートの各々は、観察光軸AXとその光シートの照明光軸とを含む面内において収斂光束である。つまり、各光シートは、観察光軸AXとその光シートの照明光軸とを含む断面上において互いに平行でない光線を有している。なお、光シートの照明光軸とは、第2の光学系の射出側を基準とした光軸のことであり、複数存在している。また、光学系に屈折力を持たない方向がある場合は、その方向での照明光軸は、光束の中心位置を通るものとする。
第2の光学系15は、例えば、図3に示すように、偏向素子17と集光素子18を備えている。ここでは観察光軸AXと照明光軸とを含む面内についてのみ説明する。偏向素子17は、第1の光学系14から射出し観察光軸AXと平行な方向から入射した光を観察光軸AXと直交する方向であって観察光軸AXに向かう向きに偏向させる偏向手段である。集光素子18は、観察光軸AXと照明光軸とを含む面内で正の屈折力を有し、焦点位置を観察光軸AXと照明光軸との交点に持つ集光手段である。図3の例では、照明光軸は、集光素子18の光軸である。
同一平面上に複数の光シートを形成するためには、偏向素子17は、平行光束全体がおよそ同じ高さで偏向素子17の偏向面に入射するように、第1の光学系14からの平行光束の断面形状に応じた形状を有していることが望ましい。例えば、図2に示すような円環状の平行光束が入射する場合であれば、図4に示すように、偏向素子17は観察光軸AX方向から見て円環状の形状を有してもよい。この場合、第2の光学系15は、第1の光学系14から入射した平行光束を、例えば、図4に示すような観察光軸AXと直交する8方向に進行する8本の光シートに変換し、試料Sに照射する。
また、光シートが有する開口数は、集光素子18のパワーに加えて、ビームエクスパンダ13から射出された平行光束の光束径に依存する。このため、ビームエクスパンダ13は、光シートが所望の開口数を有するように、光束径に拡大させることが望ましい。また、ビームエクスパンダ13は、光束径を連続的に変化させることができるズーム光学系として構成されてもよい。
観察光学系20は、対物レンズ21と、バリアフィルタ22と、結像レンズ23と、光検出器24を備え、光シートが照射された試料Sからの蛍光L2で試料Sの像を形成するように構成されている。対物レンズ21及び結像レンズ23が光検出器24上に試料Sからの蛍光L2を集光することで試料Sの像を形成し、光検出器24を備えるCCDカメラ等の撮像装置が試料Sを撮像して試料Sの画像を取得する。バリアフィルタ22は、蛍光L2とともに入射するレーザ光を遮断する役割を担っている。
以上のように構成されたシート照明顕微鏡1では、第1の光学系14が断面形状の重心位置Cから所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を形成することで、観察光軸AX方向から試料Sの周囲にレーザ光L1を入射させて、試料Sをレーザ光L1で取り囲むことができる。このため、第2の光学系15がレーザ光L1を観察光軸AXに向けて偏向して光シートを形成することで、スキャナを用いることなく、進行方向の異なる複数の光シートを試料Sに照射することができる。
従って、シート照明顕微鏡1によれば、簡単な装置構成で試料Sの広い範囲を一度に照明することが可能であり、スキャナを用いる場合よりも短時間で試料Sの画像を取得することができる。さらに、複数の方向から試料Sが照射されるため、試料S内での影の発生を大幅に減らすことができる。このため、影のない試料Sの断層画像を取得することが可能となる。
また、スキャナを用いて光シートを形成する従来のシート照明顕微鏡では、スキャナの位置を光学系の瞳位置又はその共役位置に一致させる必要がある。この制約により、従来のシート照明顕微鏡では、光学系ではなく試料SをZ軸方向に移動させることで、試料Sの異なるZ位置(観察光軸AX方向の位置)に光シートを形成することが望ましい。これに対して、シート照明顕微鏡1では、スキャナを用いることなく光シートが形成されるため、スキャナによって生じる位置の制約がない。そのため、もし試料Sを移動させると、試料Sに振動が発生しやすく、その結果、試料Sの所定の位置に光シートを形成することが難しくなる場合は、照明モジュール16と対物レンズ21を連動して観察光軸AX方向に移動させる方法で、試料Sの異なるZ位置に光シートを形成することができる。従って、シート照明顕微鏡1によれば、試料Sを振動させることの少ない、試料Sに対する光シートの相対的な位置を観察光軸AX方向に移動させる方法を適宜選択することができる。なお、照明モジュール16は、例えば、対物レンズ21を観察光軸AX方向に移動させる機構に連結されていてもよく、対物レンズ21の移動に機械的に連動するように構成されていてもよい。
また、シート照明顕微鏡1では、第1の光学系14と第2の光学系15が単一の照明モジュール16として構成されている。このため、異なる仕様の複数のモジュールを予め用意して、必要に応じてそれらの中からモジュールを交換することで、容易に異なる仕様の光シートを形成することができる。なお、異なる仕様のモジュールは、例えば、大きさの異なる円環状の平行光束を形成するモジュールであってもよく、試料Sの大きさに応じてモジュールを使い分けてもよい。なお、第1の光学系14と第2の光学系15が互いに着脱自在に構成されていてもよい。
図2では、重心位置Cから所定範囲内に強度分布を有しない断面形状の一例として円環状を例示したが、平行光束の断面形状は、円環状に限られない。例えば、矩形環状などの多角形環状であっても、楕円形環状であってもよい。また、断面形状が試料Sをある程度取り囲むような形状であれば進行方向の異なる複数の光シートを形成して試料Sに照射することができる。このため、断面形状は必ずしも環状である必要はない。例えば、平行光束は円状や多角形状に並んだ複数の部分光束の集合であってもよい。
図1では、倒立顕微鏡を例示したが、シート照明顕微鏡は、倒立顕微鏡に限られず正立顕微鏡であってもよい。図5は、正立顕微鏡であるシート照明顕微鏡2の構成を例示した図である。シート照明顕微鏡2は、試料Sの下方に照明光学系10を備え、且つ、試料Sの上方に観察光学系20を備える点が、シート照明顕微鏡1とは異なっている。シート照明顕微鏡2によっても、シート照明顕微鏡1と同様の効果を得ることができる。
図1及び図5では、照明光学系10と観察光学系20が試料Sを挟んで反対側に配置される例を示したが、照明光学系と観察光学系が試料Sを基準にして同方向に配置されてもよい。図6及び図7は、照明光学系30と観察光学系20を、試料Sを基準にして同方向に配置したシート照明顕微鏡の構成を示した図である。図6は、正立顕微鏡であるシート照明顕微鏡3の構成を、図7は、倒立顕微鏡であるシート照明顕微鏡4の構成を示している。照明光学系30は、レーザ光源11と光ファイバー12の代わりにレーザ光源31を備え、さらに、蛍光L2が通過する開口が形成されたミラー32を備える点が、照明光学系10とは異なっている。シート照明顕微鏡3及びシート照明顕微鏡4によっても、シート照明顕微鏡1と同様の効果を得ることができる。また、シート照明顕微鏡3及びシート照明顕微鏡4は、対物レンズ21に第2の光学系15を取り付けることで、観察光軸AX方向への第2の光学系15と対物レンズ21の移動を確実に連動させることができる。
図6及び図7では、レーザ光L1が対物レンズ21内(例えば、落射暗視野対物レンズにおける暗視野照明光路)を通って第2の光学系15に入射する例を示したが、レーザ光L1は、対物レンズ21の外側を通って第2の光学系15に入射してもよい。
また、図6及び図7では、レーザ光L1をミラー32で反射して観察光軸AX方向に導く構成を例示したが、蛍光L2をミラー41で反射して光検出器24に導いてもよい。図8は、照明光学系50と観察光学系40を備えるシート照明顕微鏡5の構成を示した図である。照明光学系50は、第1の光学系14と第2の光学系15が分離されている点、第2の光学系15が対物レンズ21に着脱自在に構成されている点が、照明光学系10とは異なっている。観察光学系40は、ミラー41を備える点、ミラー41の反射光路上にバリアフィルタ22、結像レンズ23、及び光検出器24を備える点が、観察光学系20とは異なっている。シート照明顕微鏡5によっても、シート照明顕微鏡1と同様の効果を得ることができる。また、シート照明顕微鏡3及びシート照明顕微鏡4と同様に、対物レンズ21に第2の光学系15を取り付けることで、観察光軸AX方向への第2の光学系15と対物レンズ21の移動を確実に連動させることができる。
なお、ミラー41をダイクロイックミラーとし、バリアフィルタ22を省略する構成としてもよい。ダイクロイックミラーの波長特性を、励起光を透過し蛍光を反射する特性とすることによりバリアフィルタ22を省略することができる。
以下、本発明の各実施例で、観察光学系の観察光軸AXと直交する方向から試料Sを照明する照明光学系の具体的な構成について説明する。
本実施例に係るシート照明顕微鏡は、照明光学系10の代わりに照明光学系100を備える点を除き、シート照明顕微鏡1と同様である。図9は、本実施例に係る照明光学系100の構成を示した図である。図9(a)は照明光学系100の観察光軸AXと平行な断面図であり、図9(b)は第2の光学系120を観察光軸AX方向から見た平面図である。なお、図9(a)では、レーザ光源11、光ファイバー12、ビームエクスパンダ13の図示は省略されている。
照明光学系100は、所定の断面形状を有する平行光束を形成する第1の光学系110と、第1の光学系110からの平行光束から進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系120と、を備えている。
第1の光学系110は、図9(a)に示すように、頂点を向かい合わせて配置された一対のアキシコンレンズ(アキシコンレンズ111、アキシコンレンズ112)を含んでいる。アキシコンレンズ111及びアキシコンレンズ112は、それぞれの頂点が観察光軸AX上に位置するように、観察光軸AX方向に並べて配置されている。
第2の光学系120は、図9(a)及び図9(b)に示すように、光を反射させる反射面121と、光を屈折させる屈折面122と、を備えるプリズムである。反射面121は、観察光軸AX近傍に焦点を有する回転放物面の中心部分(対称軸を含む部分)を取り除いた三次元形状を有している。換言すると、反射面121は、回転放物面に重なる形状を有している。反射面121は、観察光軸AXと直交する断面では円形であり、観察光軸AXと平行な断面では放物線形状である。ただし、観察光軸AX方向から見たプリズムの輪郭は図9(b)に示すような円形に限られず、例えば、多角形であってもよい。屈折面122は、8つの凹面が繋がったレンズ面アレイである。屈折面122は、観察光軸AXと直交する断面では円弧が8つ繋がった形状であり、観察光軸AXと平行な断面では直線形状である。
以上のように構成された照明光学系100では、ビームエクスパンダ13(図2参照)を介して入射した所定の光束径を有するレーザ光L1は、第1の光学系110(アキシコンレンズ111及びアキシコンレンズ112)での屈折により円環状の平行光束に変換され、第1の光学系110から射出する。第1の光学系110から射出した平行光束は、その後、その断面形状の重心位置(円環の中心)が観察光軸AXに略一致した状態で、観察光軸AX方向から第2の光学系120に入射する。第2の光学系120に入射した円環状の平行光束は、偏向手段である反射面121で観察光軸AXと直交する方向であって観察光軸AXに向かう向きに偏向される。この際、平行光束は、集光手段でもある反射面121が有する正のパワーによって回転放物面(反射面121)の焦点に向かって収斂する収斂光束に変換される。その後、屈折面122に入射した収斂光束は、発散手段である屈折面122が観察光軸AXと直交する面で有する負のパワーにより、観察光軸AX方向から見たときに平行光束となるように変換される。これにより、観察光軸AXと直交する面と平行な光シートが形成される。なお、第2の光学系120では、屈折面122が8つの凹面から構成されているため、図9(b)に示すような進行方向が異なる8本の光シートが形成され、試料Sに照射される。
照明光学系100によれば、スキャナを用いることなく、進行方向の異なる複数の光シートを試料Sに照射することができる。従って、照明光学系100を備えるシート照明顕微鏡によれば、スキャナを有しない簡単な装置構成で試料Sの広い範囲を一度に照明し、スキャナを用いる場合よりも短時間で試料Sの画像を取得することができる。さらに、シート光が観察光軸AX方向から見たとき平行光束であることに起因して試料に泡など反射率の高い部分があるとその部分以降に光が届かず縞状の影ができることがあるが、複数の方向から試料Sを照明することで影の発生を抑制することができる。また、試料Sを移動させることなく試料Sに対する光シートの相対的な位置をZ軸方向に高速に移動させて、3次元画像を短時間で取得することもできる。
なお、図9では、プリズムが、偏向手段と、集光手段と、発散手段とを兼ねる例を示したが、これらの役割は別々の光学素子によって実現されてもよい。例えば、第2の光学系120は、プリズムの代わりに、反射面121と同形状のミラー(放物面ミラー)と、屈折面122と同じ負のパワーを有する凹レンズアレイを備えてもよい。また、凹レンズ要素の数が異なる複数の凹レンズアレイを予め準備して、それらを交換して使用してもよい。これにより、光シートの本数を変更することができる。なお、光シートは、3本以上形成することが望ましい。
以下、図10から図12Bを参照しながら、本実施例に係る照明光学系100の変形例について説明する。
図10は、照明光学系100の変形例である照明光学系101の観察光軸AXと平行な断面図である。照明光学系101は、第2の光学系120の代わりに第2の光学系130を備える点、照明光学系101が観察光軸AXを回転軸として回転するように構成されている点、及び、シャッタ135を備える点が、照明光学系100とは異なっている。
第2の光学系130は、第2の光学系120と同様に単一のプリズムで構成されているが、複数点に向かって光を収斂させる形状の反射面(例えば、それぞれ形状の異なる放物面の一部分である反射面131a、反射面131b)を有している点で第2の光学系120とは異なっている。シャッタ135は、光を遮断する遮光部材であり、観察光軸AXの周りを周回移動するように構成されている。シャッタ135の配置は、アキシコンレンズ111とアキシコンレンズ112の間に限られない。シャッタ135は、例えば、第1の光学系110と第2の光学系130の間に配置されてもよい。また、シャッタ135は、観察光軸AXの周りを周回移動する代わりに、分割シャッタとして構成されてもよい。
照明光学系101は、第2の光学系130により、複数の光シートが観察光軸AXと直交する面に集光する位置(例えば、位置P1、位置P2)を互いに異ならせることができる。このため、試料Sのより広い範囲を均一に照明することができる。また、第2の光学系130が観察光軸AXを回転軸として回転することで、8本の光シートの進行方向を変更することができる。さらに、シャッタ135で光束の一部を遮断することで、不要な光シートが試料Sに照射されることを回避することができる。
図11は、照明光学系100の別の変形例である照明光学系102の観察光軸AXと平行な断面図である。照明光学系102は、一対のアキシコンレンズからなる第1の光学系110の代わりに、アキシコン凸ミラー141とアキシコン凹ミラー142からなる第1の光学系140を備える点が、照明光学系100とは異なっている。
第1の光学系140では、光の反射によって円環状の平行光束を形成される。このため、照明光学系102は、屈折によって円環状の平行光束を形成する照明光学系100とは異なり、色収差の発生を防止することができる。
図12Aは、照明光学系120の変形例である第2の光学系150を観察光軸AX方向から見た平面図である。第2の光学系150は、4枚のミラー(ミラー151a、ミラー151b、ミラー151c、ミラー151d)と、4つの凹レンズ(凹レンズ152a、凹レンズ152b、凹レンズ152c、凹レンズ152d)と、を備えている。4枚のミラーは、各ミラーの反射面が1つの回転放物面に重なるように配置されている。4つの凹レンズは、観察光軸AXと直交する面で負のパワーを有する凹型のシリンドリカルレンズである。
第2の光学系150では、ミラーで収斂された光束が凹レンズによって観察光軸AXと直交する面と平行な光シートに変換される。これにより、4つの凹レンズの位置から4つの凹レンズの光軸(照明光軸)方向に進行する4本の光シートが形成される。なお、第2の光学系150は、4枚のミラーと4つの凹レンズからなっているため、既存の光学素子の組み合わせで構成することができる。
図12Bは、更に別の変形例に係る第2の光学系160を観察光軸AX方向から見た平面図である。第2の光学系160は、3枚のミラー(ミラー161a、ミラー161b、ミラー161c)と、3つの凹レンズ(凹レンズ162a、凹レンズ162b、凹レンズ162c)と、を備えている。3枚のミラーは、各ミラーの反射面が1つの回転放物面に重なるように配置されている。3つの凹レンズは、観察光軸AXと直交する面で負のパワーを有する凹型のシリンドリカルレンズである。
第2の光学系160では、ミラーで収斂された光束が凹レンズによって観察光軸AXと直交する面と平行な光シートに変換される。これにより、3つの凹レンズの位置から3つの凹レンズの光軸(照明光軸)方向に進行する3本の光シートが形成される。なお、第2の光学系160は、3枚のミラーと3つの凹レンズからなっているため、既存の光学素子の組み合わせで構成することができる。
本実施例に係るシート照明顕微鏡は、照明光学系100の代わりに照明光学系200を備える点を除き、実施例1に係るシート照明顕微鏡と同様である。図13は、本実施例に係る照明光学系200の構成を示した図である。図13(a)は照明光学系200の観察光軸AXと平行な断面図であり、図13(b)はプリズム230を観察光軸AX方向から見た平面図である。なお、図13(a)では、レーザ光源11、光ファイバー12、ビームエクスパンダ13の図示は省略されている。
照明光学系200は、第2の光学系120の代わりに第2の光学系210を備える点が、照明光学系100とは異なっている。第2の光学系210は、シリンドリカルレンズ220と、プリズム230を備えている。
プリズム230は、図13(a)及び図13(b)に示すように、光を反射させる反射面231と、光を屈折させる屈折面122と、を備える。反射面231は、第1の光学系110からの光を観察光軸AXと直交する方向であって観察光軸AXに向かう向きに偏向させる偏向手段であり、円錐面の中心部分(頂点を含む部分)を取り除いた三次元形状を有している。つまり、反射面231は、円錐面に重なる形状を有している。反射面231は、観察光軸AXと直交する断面では円形であり、観察光軸AXと平行な断面では観察光軸AXからおよそ45度傾斜した直線形状である。反射面231は、観察光軸AXと直交する面で正のパワーを有する点は反射面121と同様であるが、観察光軸AXと平行な面でパワーを有しない点が反射面121と異なっている。屈折面122については、実施例1で記載のとおりである。
シリンドリカルレンズ220は、第1の光学系110から射出する平行光束の断面形状に合わせて形成された径方向にパワーを持ち、円周方向にパワーを持たない円環状のシリンドリカルレンズである。シリンドリカルレンズ220は、第1の光学系110からの光を光シートに変換するための集光手段の1つであり、観察光軸AXと平行で且つ観察光軸AXを含む面で正のパワーを有している。シリンドリカルレンズ220の正のパワーは、実施例1に係る第2の光学系120の反射面121が観察光軸AXと直交する面で有する正のパワーに相当する。
以上のように構成された照明光学系200によっても、照明光学系100と同様に、図13(b)に示すような進行方向が異なる8本の光シートが形成され、試料Sに照射される。従って、照明光学系200を備えるシート照明顕微鏡でも、実施例1に係るシート照明顕微鏡と同様の効果を得ることができる。
なお、照明光学系200は、プリズム230の代わりに、反射面231と同形状のミラー(円錐ミラー)と、屈折面122と同じ負のパワーを有する凹レンズアレイを備えてもよい。また、凹レンズ要素の数が異なる複数の凹レンズアレイを予め準備して、それらを交換して使用してもよい。これにより、光シートの本数を変更することができる。
本実施例に係るシート照明顕微鏡は、照明光学系100の代わりに照明光学系300を備える点を除き、実施例1に係るシート照明顕微鏡と同様である。図14は、本実施例に係る照明光学系300の構成を示した図である。図14(a)は照明光学系300の観察光軸AXと平行な断面図であり、図14(b)は第2の光学系330を観察光軸AX方向から見た平面図である。なお、図14(a)では、レーザ光源11、光ファイバー12、ビームエクスパンダ13の図示は省略されている。
照明光学系300は、第2の光学系120の代わりに第2の光学系330を備える点が、照明光学系100とは異なっている。第2の光学系330は、図14(a)及び図14(b)に示すように、光を反射させる反射面231と、光を屈折させる屈折面332と、を備えるプリズムである。
屈折面332は、8つの面が繋がったレンズ面アレイである。屈折面332は、観察光軸AXと直交する断面で円弧が8つ繋がった形状である点は屈折面122と同様である。ただし、屈折面332は、観察光軸AXと平行な断面で凸形状であり、正のパワーを有する点が、屈折面122と異なっている。反射面231は、実施例2で記載のとおりである。即ち、第2の光学系120の反射面121が観察光軸AXと平行な面で有する正のパワーを、第2の光学系330では、屈折面332が有している。屈折面332は、観察光軸AXと直交する平面上に光シートを形成する。屈折面332は、集光手段であり、観察光軸AXと直交する面で負のパワーを有する発散手段でもある。
以上のように構成された照明光学系300によっても、照明光学系100と同様に、図14(b)に示すような進行方向が異なる8本の光シートが形成され、試料Sに照射される。従って、照明光学系300を備えるシート照明顕微鏡でも、実施例1に係るシート照明顕微鏡と同様の効果を得ることができる。
なお、照明光学系300は、第2の光学系330の代わりに、反射面231と同形状のミラー(円錐ミラー)と、屈折面332と同じパワーを有するレンズアレイを備えてもよい。また、レンズ要素の数が異なる複数のレンズアレイを予め準備して、それらを交換して使用してもよい。これにより、光シートの本数を変更することができる。
本実施例に係るシート照明顕微鏡は、照明光学系100の代わりに照明光学系400を備える点を除き、実施例1に係るシート照明顕微鏡と同様である。図15は、本実施例に係る照明光学系400の構成を示した図である。図15(a)は照明光学系400の観察光軸AXと平行な断面図であり、図15(b)は第2の光学系420を観察光軸AX方向から見た平面図である。なお、図15(a)では、レーザ光源11及び光ファイバー12の図示は省略されている。
照明光学系400は、ビームエクスパンダ401と、第1の光学系410と、第2の光学系420と、を備えている。第1の光学系410は、矩形環状の開口(又は、光を透過させる透過領域)が形成された遮光板である。第2の光学系420は、図15(a)及び図15(b)に示すように、第1の光学系410からの平行光束が入射する位置に配置された4つのプリズム(プリズム420a、プリズム420b、プリズム420c、プリズム420d)である。4つのプリズムは、観察光軸AXからの方向が90度ずつ異なる位置に配置されている。各プリズムは、観察光軸AX方向から入射した光を観察光軸AXと直交する方向であって観察光軸AXに向かう向きに偏向する反射面(反射面421a、反射面421b、反射面421c、反射面421d)を有している。各反射面は、観察光軸AXと直交する断面では直線形状であり、観察光軸AXと平行な断面(より詳細には、観察光軸AXと平行で且つ光軸を含む断面)では放物線形状である。
以上のように構成された照明光学系400では、ビームエクスパンダ401から射出した平行光束の一部が第1の光学系410を通過することで、矩形環状の平行光束が形成される。第1の光学系410から射出した平行光束は、その後、その断面形状の重心位置(矩形環の中心)が観察光軸AXに略一致した状態で、観察光軸AX方向から第2の光学系420に入射する。第2の光学系420に入射した矩形環状の平行光束は、偏向手段である4つの反射面(反射面421aから反射面421d)で観察光軸AXと直交する方向であって観察光軸AXに向かう向きに偏向される。この際、平行光束は、集光手段でもある各反射面が有する正のパワーにより、観察光軸AXと直交する平面上に光シートを形成するための光束に変換される。これにより、観察光軸AXと直交する面と平行な4本の光シートが形成されて、試料Sに照射される。従って、照明光学系400を備えるシート照明顕微鏡でも、実施例1に係るシート照明顕微鏡と同様の効果を得ることができる。
以下、図16及び図17を参照しながら、本実施例に係る第2の光学系420の変形例について説明する。図16は、第2の光学系420の変形例である第2の光学系520の構成を示した図である。図17は、第2の光学系420の別の変形例である第2の光学系620の構成を示した図である。
第2の光学系520は、4つのプリズムよりも光源側の光路上に4つのシリンドリカルレンズ(シリンドリカルレンズ521a、シリンドリカルレンズ521bを含む)を備えている点、及び、偏向手段である4つのプリズム(プリズム522a、プリズム522bを含む)が平面形状を有する反射面(反射面523a、反射面523bを含む)を有している点が、第2の光学系420とは異なっている。各反射面は、観察光軸AXと直交する断面でも観察光軸AXと平行な断面でも直線形状である。4つのシリンドリカルレンズは、4つのプリズムと同様に、矩形環状の光束が入射する位置に配置されている。第2の光学系420では、プリズムの反射面が平行光束を観察光軸AXと直交する平面に集光するための正のパワーを有しているのに対して、第2の光学系520では、その正のパワーをシリンドリカルレンズが有している。4つのシリンドリカルレンズは、第1の光学系410からの光を観察光軸AXと直交する平面上に集光させて、光シートを形成する集光手段である。
第2の光学系620は、4つのシリンドリカルレンズ(シリンドリカルレンズ521a、シリンドリカルレンズ521bを含む)が4つのプリズム(プリズム522a、プリズム522bを含む)よりも物体側の光路上に配置されている点が、第2の光学系520とは異なっている。その他の点は、第2の光学系520と同様である。
本実施例に係るシート照明顕微鏡は、照明光学系100の代わりに照明光学系700を備える点を除き、実施例1に係るシート照明顕微鏡と同様である。図18は、本実施例に係る照明光学系700の構成を示した図である。図18(a)は照明光学系700の観察光軸AXと平行な断面図であり、図18(b)は第1の光学系710の斜視図であり、図18(c)及び図18(d)は照明光学系700の回転前後における第2の光学系720を観察光軸AX方向から見た平面図である。なお、図18(a)では、レーザ光源11、光ファイバー12及びビームエクスパンダ13の図示は省略されている。
照明光学系700は、所定の断面形状を有する平行光束を形成する第1の光学系710と、第1の光学系710からの平行光束から進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系720と、を備えている。照明光学系700は、観察光軸AXを回転軸として回転するように構成されている。
第1の光学系710は、図18(a)及び図18(b)に示すように、一対の角柱プリズム(角柱プリズム711、角柱プリズム712)を含んでいる。角柱プリズム711及び角柱プリズム712は、観察光軸AX方向に並べて配置されている。
第2の光学系720は、図18(a)、図18(c)及び図18(d)に示すように、第1の光学系710からの平行光束が入射する位置に配置された2つのプリズム(プリズム720a、プリズム720b)からなる。2つのプリズムは、観察光軸AXを中心に対称な位置に配置されている。各プリズムは、観察光軸AX方向から入射した光を観察光軸AXと直交する方向であって観察光軸AXに向かう向きに偏向する反射面(反射面721a、反射面721b)を有している。各反射面は、観察光軸AXと直交する断面では直線形状であり、観察光軸AXと平行な断面では放物線形状である。
以上のように構成された照明光学系700では、ビームエクスパンダ13(図2参照)を介して入射した所定の光束径を有するレーザ光L1は、第1の光学系710での屈折により観察光軸AXと平行な2つの部分光束に分割されて、第1の光学系710から射出する。2つの部分光束は、図18(a)に示すように、観察光軸AXを中心に対称な位置から射出される。従って、第1の光学系710は、断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない、2つの部分光束からなる平行光束を形成する。第1の光学系710から射出した平行光束は、その後、その断面形状の重心位置が観察光軸AXに略一致した状態で、観察光軸AX方向から第2の光学系720に入射する。第2の光学系720に入射した2つの部分光束の一方は、反射面721aで観察光軸AXと直交する方向であって観察光軸AXに向かう向きに偏向され、他方は、反射面721bで観察光軸AXと直交する方向であって観察光軸AXに向かう向きに偏向される。その際、各反射面が有する正のパワーにより、観察光軸AX方向から見たときに平行光束であり、観察光軸AXと直交する平面上に光シートを形成する光束に変換される。これにより、図18(c)に示すように、観察光軸AXと直交する面と平行な2本の光シートが形成されて、試料Sに照射される。さらに、観察光軸AXを回転軸として照明光学系700を回転させることで、観察光軸AXと直交する任意の方向から試料Sに2本の光シートを照射することができる。例えば、照明光学系700を90度ずつ回転させることで、図18(c)及び図18(d)に示す状態を順次切り替えることができる。従って、照明光学系700を備えるシート照明顕微鏡によっても、実施例1に係るシート照明顕微鏡と同様の効果を得ることができる。
本実施例に係る照明光学系700の変形例について説明する。図19は、照明光学系700の変形例である照明光学系800の構成を示した図である。図19(a)は照明光学系800の観察光軸AXと平行な断面図であり、図19(b)は第1の光学系810の斜視図である。
照明光学系800は、第1の光学系710の代わりに、第1の光学系810を備える点が、照明光学系700とは異なっている。第1の光学系810は、角柱プリズム712の代わりにプリズム812を備えている。プリズム812は、角柱プリズム811で形成された2つの部分光束間に光路長差を生じさせるように、観察光軸AXに対して非対称な形状を有している。このため、照明光学系800によれば、2本の光シートが干渉することで生じる干渉縞を抑制することができる。
上述した各実施例は、発明の理解を容易にするために具体例を示したものであり、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。シート照明顕微鏡は、特許請求の範囲により規定される本発明の思想を逸脱しない範囲において、さまざまな変形、変更が可能である。この明細書で説明される個別の実施例の文脈におけるいくつかの特徴を組み合わせて単一の実施例としてもよい。
第1の光学系がアキシコンレンズ、プリズム、又は絞りで構成される例を示したが、第1の光学系は、断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を形成すれば良く、例えば、回折光学素子(DOE)で構成されてもよい。また、第1の光学系は、マイクロミラーデバイスや液晶デバイスなどからなる空間光変調器(SLM: Spatial Light Modulator)で構成されてもよい。また、第1の光学系が形成された平行光束の一部を遮断するシャッタを設けて、シャッタの動作により、偏向手段の形状に応じた任意の形状の平行光束を形成しても良い。
レーザ光の可干渉性に起因して生じる干渉縞を抑制するために光路長差を設ける例を示したが、干渉縞は、他の方法により抑制されてもよい。例えば、光ファイバー12を振動させる装置が設けられてもよい。また、レーザ光が入射する光撹拌器や、レーザ光の周波数を変調する周波数変調器を備えてもよい。これらの構成によっても、レーザ光の可干渉性を低減させて、干渉縞を抑制することができる。
また、平行光束が2つの部分光束からなる例と示したが、平行光束は3つ以上の部分光束からなっていてもよい。この場合、3つ以上の部分光束は、円状又は多角形状に並んでいることが望ましい。3つ以上の部分光束が多角形状に並んでいる場合には、第2の光学系は、観察光軸AXと直交する平面上に光シートを形成する集光手段である屈折面と、偏向手段である平面形状である反射面を備えてもよい。または、観察光軸AXと平行な断面で放物線形状を有する、偏向手段と集光手段を兼ねた反射面を備えてもよい。一方、3つ以上の部分光束が円状に並んでいる場合には、第2の光学系は、偏向手段と集光手段を兼ねた回転放物面に重なる形状の反射面と、観察光軸AXと直交する面で負のパワーを有する発散手段である屈折面を備えることが望ましい。または、光を観察光軸AXと直交する平面に集光させる集光手段である屈折面と、偏向手段である円錐面に重なる形状の反射面と、観察光軸AXと直交する面で負のパワーを有する発散手段である屈折面を備えてもよい。この場合、集光手段である屈折面と発散手段である屈折面は同一面であってもよい。
また、試料Sが容器に収容された状態で光シートが照射される場合には、容器の側面で光シートが屈折してしまうことがある。このため、試料Sを収容する容器は、複数の光シートが側面に直交して入射するような形状を有していることが望ましい。例えば、図4に示すような8方向から光シートが入射する場合であれば、容器は観察光軸AX方向から見て八角形であることが望ましい。これにより、容器での光シートの屈折を防止することができる。
さらに、容器は第2の光学系を構成してもよい。即ち、容器の側面が、観察光軸AXと直交する面で負のパワーを有する、例えば、図9に示すプリズムの屈折面122として機能しても良い。または、光を観察光軸AXと直交する平面に集光させる正のパワーを有し、且つ、観察光軸AXと直交する面で負のパワーを有する、図14に示すプリズムの屈折面332として機能しても良い。
1、2、3、4、5・・・シート照明顕微鏡、10、30、50、100、101、102、200、300、400、700、800・・・照明光学系、11、31・・・レーザ光源、12・・・光ファイバー、13、401・・・ビームエクスパンダ、14、110、140、410、710、810・・・第1の光学系、15、120、130、150、160、210、330、420、520、620、720・・・第2の光学系、16・・・照明モジュール、17・・・偏向素子、18・・・集光素子、19・・・ステージ、20、40・・・観察光学系、21・・・対物レンズ、22・・・バリアフィルタ、23・・・結像レンズ、24・・・光検出器、32、41、151a、151b、151c、151d、161a、161b、161c・・・ミラー、111、112・・・アキシコンレンズ、121、131a、131b、231、421a、421b、421c、421d、523a、523b、721a、721b・・・反射面、122、332・・・屈折面、141・・・アキシコン凸ミラー、142・・・アキシコン凹ミラー、152a、152b、152c、152d、162a、162b、162c・・・凹レンズ、220、521a、521b・・・シリンドリカルレンズ、230、420a、420b、420c、420d、522a、522b、720a、720b、812・・・プリズム、711、712・・・三角柱プリズム、S・・・試料、H・・・ホルダー、L1・・・レーザ光、L2・・・蛍光、C・・・重心位置、AX・・・観察光軸、P1、P2・・・位置

Claims (16)

  1. 試料からの光で前記試料の像を形成する観察光学系と、
    前記観察光学系の観察光軸と直交する方向から前記試料を照明する照明光学系と、を備え、
    前記照明光学系は、
    所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出する第1の光学系と、
    前記観察光軸と平行な方向から入射する光を前記観察光軸に向かう向きに偏向させる偏向手段を含み、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系と、を備え
    前記第1の光学系は、円環状の平行光束を射出するように構成され、
    前記偏向手段は、回転放物面に重なる形状の反射面であり、
    前記第2の光学系は、さらに、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段を含む
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  2. 試料からの光で前記試料の像を形成する観察光学系と、
    前記観察光学系の観察光軸と直交する方向から前記試料を照明する照明光学系と、を備え、
    前記照明光学系は、
    所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出する第1の光学系と、
    前記観察光軸と平行な方向から入射する光を前記観察光軸に向かう向きに偏向させる偏向手段を含み、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系と、を備え、
    前記第1の光学系は、円環状の平行光束を射出するように構成され、
    前記偏向手段は、円錐面に重なる形状の反射面であり、
    前記第2の光学系は、さらに、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段を含む
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  3. 試料からの光で前記試料の像を形成する観察光学系と、
    前記観察光学系の観察光軸と直交する方向から前記試料を照明する照明光学系と、を備え、
    前記照明光学系は、
    所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出する第1の光学系と、
    前記観察光軸と平行な方向から入射する光を前記観察光軸に向かう向きに偏向させる偏向手段を含み、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系と、を備え、
    前記第1の光学系は、円状に並んだ複数の部分光束からなる前記平行光束を射出するように構成され、
    前記偏向手段は、回転放物面に重なる形状の反射面であり、
    前記第2の光学系は、さらに、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段を含む
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  4. 試料からの光で前記試料の像を形成する観察光学系と、
    前記観察光学系の観察光軸と直交する方向から前記試料を照明する照明光学系と、を備え、
    前記照明光学系は、
    所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない平行光束を射出する第1の光学系と、
    前記観察光軸と平行な方向から入射する光を前記観察光軸に向かう向きに偏向させる偏向手段を含み、前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを形成する第2の光学系と、を備え、
    前記第1の光学系は、円状に並んだ複数の部分光束からなる前記平行光束を射出するように構成され、
    前記偏向手段は、円錐面に重なる形状の反射面であり、
    前記第2の光学系は、さらに、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段を含む
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  5. 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のシート照明顕微鏡において、
    前記第2の光学系は、前記複数の光シートの各々が前記観察光軸と直交する面内において略平行光束である前記複数の光シートを形成する
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  6. 請求項に記載のシート照明顕微鏡において、
    前記第2の光学系は、前記複数の光シートの各々が前記観察光軸と当該光シートの照明光軸とを含む面内において収斂光束である前記複数の光シートを形成する
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  7. 請求項に記載のシート照明顕微鏡において、
    前記第2の光学系は、前記複数の光シートが異なる位置で集光するように構成される
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  8. 請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載のシート照明顕微鏡において、
    前記第1の光学系は、前記重心位置が前記観察光軸と略一致した前記平行光束を射出するように構成される
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  9. 請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載のシート照明顕微鏡において、
    前記第1の光学系と前記第2の光学系は、単一の照明モジュールを構成し、
    前記照明モジュールは、前記観察光学系に含まれる対物レンズの位置に連動して前記観察光軸方向に移動するように、構成されている
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  10. 請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載のシート照明顕微鏡において、
    前記第2の光学系は、
    前記観察光学系に含まれる対物レンズに着脱自在に構成され、
    前記対物レンズの位置に連動して前記観察光軸方向に移動するように、構成されている
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  11. 請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載のシート照明顕微鏡において、
    前記第2の光学系は、前記第1の光学系に着脱自在に構成される
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  12. 請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載のシート照明顕微鏡において、
    前記第2の光学系は、進行方向の異なる少なくとも3本の光シートを形成するように構成される
    ことを特徴とするシート照明顕微鏡。
  13. 観察光学系の観察光軸と直交する方向から試料を照明するシート照明顕微鏡の照明方法であって、
    所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない円環状の平行光束を射出し、
    前記観察光軸と平行な方向に進行する光を回転放物面に重なる形状の反射面で偏向させ
    前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段で形成する
    ことを特徴とする照明方法。
  14. 観察光学系の観察光軸と直交する方向から試料を照明するシート照明顕微鏡の照明方法であって、
    所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない円環状の平行光束を射出し、
    前記観察光軸と平行な方向に進行する光を円錐面に重なる形状の反射面で偏向させ、
    前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段で形成する
    ことを特徴とする照明方法。
  15. 観察光学系の観察光軸と直交する方向から試料を照明するシート照明顕微鏡の照明方法であって、
    所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない円状に並んだ複数の部分光束からなる平行光束を射出し、
    前記観察光軸と平行な方向に進行する光を回転放物面に重なる形状の反射面で偏向させ、
    前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段で形成する
    ことを特徴とする照明方法。
  16. 観察光学系の観察光軸と直交する方向から試料を照明するシート照明顕微鏡の照明方法であって、
    所定の断面形状を有する平行光束であって、前記断面形状の重心位置から所定範囲内に強度分布を有しない円状に並んだ複数の部分光束からなる平行光束を射出し、
    前記観察光軸と平行な方向に進行する光を円錐面に重なる形状の反射面で偏向させ、
    前記平行光束から前記観察光軸と直交する面と平行な、進行方向の異なる複数の光シートを、前記観察光軸と直交する面で負のパワーを有する発散手段で形成する
    ことを特徴とする照明方法。
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