JP6555023B2 - トルクセンサ - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
図1は、本実施の形態に係るトルクセンサを回転軸に取り付けた際の斜視図である。
図2(a)は、フレキシブル基板3の積層構造を示す断面図である。
図2(b)は、フレキシブル基板3の各配線層21に形成される配線パターンの一例を示す図である。図2(b)では、フレキシブル基板3を展開して平面とした際の各配線層21の配線パターンを模式的に示している。
図3に示すように、トルクセンサ1は、第1検出コイル6と第2検出コイル7のインダクタンスの変化を検出することにより、回転軸2に付与されたトルクを測定する測定部41を備えている。
以上説明したように、本実施の形態に係るトルクセンサ1では、2層の配線層21の一方に第1直線部61を含む第1検出コイル6の一部を形成すると共に、2層の配線層21の他方に第1直線部61を含む第1検出コイル7の他部を形成し、かつ、2層の配線層21の他方に第2直線部71を含む第2検出コイル7の一部を形成すると共に、2層の配線層21の一方に第2直線部71を含む第2検出コイル7の他部を形成し、2層の配線層21にわたって両検出コイル6,7が形成されるように構成している。
次に、以上説明した実施の形態から把握される技術思想について、実施の形態における符号等を援用して記載する。ただし、以下の記載における各符号等は、特許請求の範囲における構成要素を実施の形態に具体的に示した部材等に限定するものではない。
2…回転軸
3…フレキシブル基板
6…第1検出コイル
61…第1直線部
7…第2検出コイル
71…第2直線部
21…配線層
41…測定部
Claims (7)
- 磁歪特性を有する回転軸の周囲に取り付けられ、前記回転軸に付与されたトルクを測定するトルクセンサであって、
少なくとも2層の配線層を有し、前記回転軸と離間して同軸に配置されるフレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の前記配線層に形成され、前記回転軸の軸方向に対して所定角度傾斜した第1直線部を有する第1検出コイルと、
前記フレキシブル基板の前記配線層に形成され、前記回転軸の軸方向に対して前記第1直線部と反対方向に前記所定角度傾斜した第2直線部を有する第2検出コイルと、
前記両検出コイルのインダクタンスの変化を検出することにより、前記回転軸に付与されたトルクを測定する測定部と、を備え、
2層の前記配線層の一方に前記第1直線部を含む前記第1検出コイルの一部を形成すると共に、2層の前記配線層の他方に前記第1直線部を含む前記第1検出コイルの他部を形成し、前記配線層の一方に形成される前記第1検出コイルの一部と、前記配線層の他方に形成される前記第1検出コイルの他部とをビアを介して電気的に接続し、
かつ、2層の前記配線層の他方に前記第2直線部を含む前記第2検出コイルの一部を形成すると共に、2層の前記配線層の一方に前記第2直線部を含む前記第2検出コイルの他部を形成し、前記配線層の他方に形成される前記第2検出コイルの一部と、前記配線層の一方に形成される前記第2検出コイルの他部とをビアを介して電気的に接続し、
2層の前記配線層にわたって前記両検出コイルが形成されるように構成した、
トルクセンサ。 - 前記両検出コイルは、その全長のうち半分が2層の前記配線層の一方に形成され、残りの半分が2層の前記配線層の他方に形成されている、
請求項1に記載のトルクセンサ。 - 前記第1直線部は、前記軸方向に対して+45度傾斜するように形成され、
前記第2直線部は、前記軸方向に対して−45度傾斜するように形成される、
請求項1または2に記載のトルクセンサ。 - 前記フレキシブル基板は、2層の前記配線層を2ペア有し、
ペアとなる2層の前記配線層に前記第1検出コイルと前記第2検出コイルをそれぞれ形成して構成される、
請求項1乃至3の何れか1項に記載のトルクセンサ。 - 前記測定部は、2つの前記第1検出コイルと2つの前記第2検出コイルとを交互にかつ環状に順次接続して構成されるブリッジ回路と、
前記ブリッジ回路における前記第1検出コイルと前記第2検出コイルの4つの接続点のうち、隣り合わない2つの接続点に交流電圧を印加する発振器と、
前記4つの接続点のうち、前記発振器により交流電圧が印加されていない2つの接続点間の電圧を測定する電圧測定回路と、
前記電圧測定回路で測定した電圧を基に前記回転軸に付与されたトルクを演算するトルク演算部と、を備えている、
請求項4に記載のトルクセンサ。 - ペアとなる前記2層の配線層の一方が、銅箔からなる内層の配線層であり、他方が、銅箔と銅めっきとからなる外層の配線層である、
請求項4または5に記載のトルクセンサ。 - 中空円筒状の磁性体からなる磁性体リングをさらに備え、
前記フレキシブル基板は、前記磁性体リングの内周面に固定されている、
請求項1乃至6の何れか1項に記載のトルクセンサ。
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