JP6552942B2 - X線発生装置及び試料測定システム - Google Patents
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Description
図1はこの実施形態に係るX線発生装置10の斜視図であり、図2は図1のII−II線に沿った断面図であり、図3は図1に示すX線発生装置10の側面図であり、図4は図1のIV−IV線に沿った断面図である。説明の便宜上、これらの図1〜図4では、三次元直交座標系を示す3軸方向(X方向・Y方向・Z方向)を定義する。
続いて、この実施形態に係るX線発生装置10の動作について、図1〜図4の各図、及び図5の模式図を参照しながら説明する。
ユーザは、電子発生器30の接続フランジ48を把持しながら、第1開口部16を介して電子源36をチャンバ12内に挿入する。そして、第1面14上の所定位置(つまり、第1開口部16を覆う位置)に接続フランジ48を装着することで、電子源36はチャンバ12に固定的に配置される。
ユーザは、ハンドル部50をT方向に沿って回動させることで、X線ビームB2、B3の形状を設定する。具体的には、第1突出部52をマーク54(「L=Line」の意味)の位置に合わせることで、支持台38がハンドル部50と連動し、電子源36の延在方向が「第1方向」に設定される。これに対して、第1突出部52をマーク55(「P=Point」の意味)の位置に合わせることで、支持台38がハンドル部50と連動し、電子源36の延在方向が「第2方向」に設定される。
図示しない真空ポンプによるパージ作業を行って室34内を真空状態にさせると共に、回転対陰極60を所定の速度でR方向に回転させる。そして、X線の発生条件を満たすための各種準備が完了した後、電子発生器30は、ユーザによる指示操作に応じて線状の電子ビームB1を発生させる。
ユーザは、上記した「設定ステップ」と同じ操作手順に従って、X線ビームB2、B3の形状を「点状から線状」或いは「線状から点状」に変更する。チャンバ12の外側からの操作(具体的には、ハンドル部50の操作)に応じて支持台38を回動可能な構成を採ることで、電子発生器30又は回転対陰極60の付け替え作業を行うことなく電子源36の延在方向を変更できる。
以上のように、X線発生装置10は、[1]線状の電子ビームB1を放出する電子源36を含んで構成される電子発生器30と、[2]電子源36からの電子ビームB1を衝突させることでX線ビームB2、B3を出射する周面部62を含んで構成される回転対陰極60と、[3]電子源36及び回転対陰極60を収容するチャンバ12を備える。
続いて、上記のX線発生装置10を組み込んだ試料測定システム100について、図7を参照しながら説明する。ここでは「X線回折装置」を例に説明するが、この構成及び測定方式に限られない。
なお、この発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、この発明の主旨を逸脱しない範囲で自由に変更できることは勿論である。
16‥第1開口部 24‥第2開口部
28‥窓部 30‥電子発生器
34‥室 36‥電子源
38‥支持台 40‥保持部
42‥回動導入機構 44‥収容ケース
46‥回動軸部 47‥封止部
48‥接続フランジ 50‥ハンドル部
52‥第1突出部(指示手段) 54、55‥マーク
56、57‥第2突出部(回動規制手段) 60‥回転対陰極
62‥周面部 64‥側面部
71‥第1焦点 72‥第2焦点
100‥試料測定システム 102‥X線検出装置
104‥ゴニオメータ 106‥制御装置(測定手段)
Aa‥アノード軸(回転軸) Ac‥カソード軸(回動軸)
B1‥電子ビーム B2、B3‥X線ビーム
L1、L2‥周方向焦点長さ S‥試料
Claims (5)
- 線状の電子ビームを放出する電子源を含んで構成される電子発生器と、
前記電子源からの前記電子ビームを衝突させることでX線ビームを出射する周面部を含んで構成される回転対陰極と、
前記電子源及び前記回転対陰極を収容するチャンバと
を備え、
前記電子発生器及び前記回転対陰極は、前記電子源及び前記周面部が互いに対向する位置関係下にて前記チャンバに固定配置され、
前記電子発生器は、
前記電子源を支持する支持台と、
前記チャンバ内に気密に挿通され、且つ、前記チャンバの外側からの操作に応じて前記支持台を回動させる回動導入機構と
を更に有し、
前記回動導入機構は、前記支持台の回動動作により、前記電子源の延在方向を第1方向及び該第1方向に直交する第2方向に変更可能であり、
前記回転対陰極の回転軸は、前記第1方向及び前記第2方向に対して傾斜することを特徴とするX線発生装置。 - 前記回動導入機構は、前記チャンバの外側にて回動可能に配置されたハンドル部を有すると共に、前記ハンドル部の回動操作に応じて前記支持台を回動させることを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。
- 前記回動導入機構は、前記ハンドル部の回動状態を前記チャンバの外側から視認可能に指示する指示手段を更に有することを特徴とする請求項2に記載のX線発生装置。
- 前記回動導入機構は、前記ハンドル部の回動範囲を規制する回動規制手段を更に有することを特徴とする請求項2又は3に記載のX線発生装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のX線発生装置と、
前記X線発生装置から発生し、且つ、試料を透過又は反射したX線ビームを検出するX線検出装置と、
前記X線検出装置により検出された前記X線ビームの検出量に基づいて前記試料に関する物理量を測定する測定手段と
を備えることを特徴とする試料測定システム。
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