JP6552386B2

JP6552386B2 - Component mounting machine, component mounting method

Info

Publication number: JP6552386B2
Application number: JP2015218450A
Authority: JP
Inventors: 恒太伊藤
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2015-11-06
Filing date: 2015-11-06
Publication date: 2019-07-31
Anticipated expiration: 2035-11-06
Also published as: JP2017092174A

Description

この発明は、公転軸を中心とする円周軌道上に並べられた複数のノズルを、公転軸の回りで公転可能に保持するヘッドを用いて部品を基板に実装する部品実装技術に関する。 The present invention relates to a component mounting technique for mounting a component on a substrate using a head that holds a plurality of nozzles arranged on a circumferential track centered on a revolution axis so as to be able to revolve around the revolution axis.

特許文献１には、公転軸を中心とする円周軌道上に並ぶ複数のノズルを保持したロータリーヘッドを用いて、基板に部品を実装する技術が記載されている。また、特許文献２には、ロータリーヘッドの公転軸を中心に公転するノズルにより、基板に部品を実装する技術が記載されている。 Patent Document 1 describes a technique for mounting a component on a substrate using a rotary head holding a plurality of nozzles arranged on a circumferential track centered on a revolution axis. Further, Patent Document 2 describes a technique for mounting components on a substrate by means of a nozzle that revolves around a revolution axis of a rotary head.

特開平６−２１６５７９号公報JP-A-6-216579 特開２００１−８５８９５号公報JP 2001-85895 A

ところで、公転軸を中心にノズルを回転させる実装ヘッドを用いた場合、ノズルの向きはその公転に伴って変化する。そして、ノズルによる部品の吸着・実装やノズルの撮像といった各種動作を行うにあたって、ノズルの向きが公転角度によって異なることが、例えば制御の複雑化あるいはオペレーターによる判断作業を困難にするおそれがあった。そこで、公転に伴うノズルの向きの変化を抑制できる技術が有用となる場合があった。 By the way, when the mounting head which rotates a nozzle centering on a revolution axis | shaft is used, the direction of a nozzle changes with the revolution. Then, when performing various operations such as suction and mounting of parts by the nozzle and imaging of the nozzle, the orientation of the nozzle may differ depending on the revolution angle, which may make the control complicated or the operator's judgment difficult. Then, the technique which can control change of direction of a nozzle accompanying revolution may be useful.

この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、公転軸を中心とする円周軌道上に並ぶ複数のノズルを保持した実装ヘッドを用いた部品実装技術において、公転に伴うノズルの向きの変化を抑制可能とする技術の提供を目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and in component mounting technology using a mounting head holding a plurality of nozzles arranged on a circumferential track centered on a revolution axis, a change in the direction of the nozzle accompanying the revolution The purpose is to provide a technology that makes it possible to control the above.

本発明に係る部品実装機は、部品を供給する部品供給部と、基板を支持する基板支持部と、公転軸を中心とする円周軌道上に並べられた複数のノズルを公転軸を中心に公転可能に保持し、ノズルにより部品供給部から部品を吸着して基板に実装する実装ヘッドとを備え、ノズルは、その自転軸を中心として自転動作を実行し、実装ヘッドによる公転動作に応じて、公転動作での公転角度と同じ角度で公転方向とは逆方向に自転する自転動作を実行する。 In the component mounting machine according to the present invention, a component supply unit for supplying components, a substrate support unit for supporting a substrate, and a plurality of nozzles arranged on a circumferential track centered on the revolution shaft are centered on the revolution shaft The mounting head includes a mounting head that holds the part so that it can be revolved and the components are suctioned from the component supply unit by the nozzle and mounted on the substrate. The nozzle performs a rotation operation around its rotation axis and responds to the rotation operation by the mounting head , At the same angle as the revolution angle in the revolution operation, the rotation operation is performed to rotate in the direction opposite to the revolution direction.

本発明に係る部品実装方法は、公転軸を中心とする円周軌道上に並べられた複数のノズルを公転軸を中心に公転可能に保持する実装ヘッドを用いてノズルに部品を吸着させる工程と、実装ヘッドを用いてノズルに部品を基板へ実装させる工程とを備え、ノズルは、その自転軸を中心として自転動作を実行し、実装ヘッドによる公転動作に応じて、公転動作での公転角度と同じ角度で公転方向とは逆方向に自転する自転動作を実行する。 A component mounting method according to the present invention includes the steps of: suctioning a component onto a nozzle using a mounting head that holds a plurality of nozzles arranged on a circumferential track centered on a revolution axis so as to revolve around the revolution axis; And mounting the part on the substrate using the mounting head, the nozzle executes a rotation operation around its rotation axis, and according to the rotation operation by the mounting head, the rotation angle in the rotation operation and the rotation angle A rotation operation that rotates in the direction opposite to the revolution direction at the same angle is executed.

このように構成された本発明（部品実装機、部品実装方法）では、ノズルは、実装ヘッドによる公転動作に応じて、公転動作での公転角度と同じ角度で公転方向とは逆方向に自転する自転動作を実行する。したがって、公転に伴うノズルの向きの変化を抑制することが可能となっている。 In the present invention (component mounting machine, component mounting method) configured as described above, the nozzle rotates in the direction opposite to the revolving direction at the same angle as the revolving angle in the revolving operation according to the revolving operation by the mounting head Execute rotation operation. Therefore, it is possible to suppress a change in the direction of the nozzle accompanying the revolution.

かかる本発明は、実装ヘッドに伴って移動する複数のノズルの下方から撮像する撮像部をさらに備える部品実装機に対して好適に適用できる。 The present invention can be suitably applied to a component mounting machine further comprising an imaging unit for imaging from below the plurality of nozzles moving along with the mounting head.

具体的には、撮像部は、部品供給部から部品を吸着した後に部品供給部から基板へ移動する途中の複数のノズルそれぞれに吸着される部品を撮像し、ノズルは、部品を吸着した後の実装ヘッドによる公転動作に応じた自転動作を、撮像部により撮像されるまでに完了するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、公転に伴うノズルの向きの変化による影響を排除しつつ、ノズルに吸着される部品を撮像することができる。 Specifically, the image pickup unit picks up a component to be sucked by each of a plurality of nozzles on the way from the component supply unit to the substrate after sucking the component from the component supply unit, and the nozzle picks up the component. The component mounting machine may be configured to complete the rotation operation according to the revolution operation by the mounting head before the image pickup section picks up an image. In such a configuration, it is possible to capture an image of a component attracted to the nozzle while eliminating the influence of the change in the orientation of the nozzle due to the revolution.

また、撮像部は、所定の方向に配設されたラインセンサーカメラであり、ノズルは、撮像部による撮像時に、ノズルに吸着される部品の向きとラインセンサーカメラの配設方向とが所定関係を満たすように自転動作を実行するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、撮像の際には常に、部品の向きとラインセンサーカメラの配設方向とが所定の関係を満たす。そのため、部品の向きによる反射の影響が撮像の度に異なるといったことが無く、良好な撮像にとって有利となる。 In addition, the imaging unit is a line sensor camera disposed in a predetermined direction, and the nozzle has a predetermined relationship between the direction of components attracted to the nozzle and the disposition direction of the line sensor camera at the time of imaging by the imaging unit. The component mounter may be configured to perform a rotation operation so as to satisfy the condition. In such a configuration, at the time of imaging, the orientation of the component and the arrangement direction of the line sensor camera always satisfy the predetermined relationship. Therefore, the influence of the reflection due to the orientation of the component does not differ at each imaging, which is advantageous for good imaging.

あるいは、撮像部は、基板へ部品を実装した後に基板から部品供給部へ移動する途中の複数のノズルを撮像し、ノズルは、部品を実装した後の実装ヘッドによる公転動作に応じた自転動作を、撮像部により撮像されるまでに完了するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、公転に伴うノズルの向きの変化による影響を排除しつつ、部品を実装後のノズルを撮像することができる。 Alternatively, the imaging unit images a plurality of nozzles on the way from the substrate to the component supply unit after mounting the component on the substrate, and the nozzle performs a rotation operation according to the revolving operation by the mounting head after mounting the component. The component mounter may be configured to be completed before being imaged by the imaging unit. In such a configuration, it is possible to image the nozzle after mounting the component while eliminating the influence of the change in the direction of the nozzle due to the revolution.

また、撮像部は、所定の方向に配設されたラインセンサーカメラであり、ノズルは、所定の研磨方向に研磨されており、撮像部による撮像時に研磨方向とラインセンサーカメラの配設方向とが所定関係を満たすように自転動作を実行するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、撮像の際には常に、ノズルの研磨方向とラインセンサーカメラの配設方向とが所定の関係を満たす。そのため、ノズルの研磨痕による反射の影響が撮像の度に異なるといったことが無く、良好な撮像にとって有利となる。 Further, the imaging unit is a line sensor camera disposed in a predetermined direction, and the nozzle is polished in a predetermined polishing direction, and when the imaging unit captures an image, the polishing direction and the arrangement direction of the line sensor camera are The component mounter may be configured to execute the rotation operation so as to satisfy the predetermined relationship. In such a configuration, the polishing direction of the nozzle and the arrangement direction of the line sensor camera always satisfy a predetermined relationship at the time of imaging. Therefore, the influence of the reflection by the polishing marks of the nozzle does not differ at each imaging, which is advantageous for good imaging.

ここで、所定関係は、ノズルの研磨方向とラインセンサーカメラの配設方向とが平行となる関係であるように、部品実装機を構成しても良い。 Here, the component mounter may be configured such that the predetermined relationship is a relationship in which the polishing direction of the nozzle and the disposition direction of the line sensor camera are parallel.

また、実装ヘッドは、部品供給部からの部品の吸着および基板への部品の実装の少なくとも一方の作業を、円周軌道上に設けられた複数の作業位置のいずれかに位置決めさせたノズルに実行させることができ、ノズルは、複数の作業位置のうち一の作業位置で作業を行った後に一の作業位置と異なる他の作業位置で作業を行う場合には、一の作業位置から他の作業位置へ公転する公転動作に応じた自転動作を、他の作業位置で作業を開始する前に完了するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、他の作業位置に位置するノズルによる作業の開始に際して、一の作業位置から他の作業位置への公転に伴うノズルの向きの変化による影響を排除することができる。 In addition, the mounting head performs at least one of the suction of the component from the component supply unit and the mounting of the component on the substrate to a nozzle positioned at one of a plurality of working positions provided on the circumferential track If the nozzle performs work at one of a plurality of work positions and then works at another work position different from the one work position, the nozzle performs another work from one work position. The component mounting machine may be configured to complete the rotation operation according to the revolving operation to revolve to the position before starting the work at another work position. In such a configuration, it is possible to eliminate the influence of the change in the nozzle orientation accompanying the revolution from one work position to the other work position at the start of work by the nozzles located at the other work positions.

具体的には、ノズルは、一の作業位置で部品供給部から部品を吸着した後に、他の作業位置で基板に前品を実装するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、一の作業位置から他の作業位置への公転に伴うノズルの向きの変化による影響を排除しつつ、他の作業位置のノズルに基板への部品の実装を開始させることができる。 Specifically, the component mounter may be configured so that the nozzle mounts the front product on the substrate at another work position after suctioning the component from the component supply unit at one work position. In such a configuration, it is possible to cause the nozzle at the other work position to start mounting the component on the substrate while eliminating the influence of the change in the orientation of the nozzle accompanying the revolution from one work position to the other work position.

また、同種の複数のノズルが実装ヘッドに取り付けられた場合、複数のノズルはそれぞれの向きを揃えつつ自転動作を実行するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、複数のノズルのそれぞれの向きを公転角度によらず揃えることができる。 In addition, when a plurality of nozzles of the same type are attached to the mounting head, the component mounter may be configured such that the plurality of nozzles perform a rotation operation while aligning the respective directions. In such a configuration, the orientations of the plurality of nozzles can be aligned regardless of the revolution angle.

また、ノズルは、実装ヘッドによる公転動作に連動して自転動作を実行するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、公転角度によらず常にノズルの向きを一定にすることが可能となる。 Further, the nozzle may configure the component mounting machine so as to execute the rotation operation in conjunction with the revolution operation by the mounting head. With such a configuration, it is possible to make the nozzle orientation constant at all times regardless of the revolution angle.

以上のように、本発明によれば、公転軸を中心とする円周軌道上に並ぶ複数のノズルを保持した実装ヘッドを用いた部品実装技術において、公転に伴うノズルの向きの変化を抑制することが可能となる。 As described above, according to the present invention, in a component mounting technology using a mounting head holding a plurality of nozzles aligned on a circumferential trajectory centered on a revolution axis, a change in the direction of the nozzle accompanying the revolution is suppressed It becomes possible.

本発明に係る部品実装機を模式的に示す部分平面図である。It is a fragmentary top view which shows typically the component mounting machine which concerns on this invention. 図１の部品実装機が備える電気的構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the electrical constitution with which the component mounting machine of FIG. 1 is provided. 実装ヘッドの一例の下端部近傍を模式的に示す部分正面図である。It is a partial front view which shows typically the lower end part vicinity of an example of a mounting head. 図３の実装ヘッドの部分断面を模式的に示す部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view schematically showing a partial cross section of the mounting head of FIG. 3. 図３の実装ヘッドのノズル回りの構成を中心に模式的に示す部分平面図である。FIG. 4 is a partial plan view schematically showing the configuration around a nozzle of the mounting head of FIG. 3. 駆動制御部が実行する公転自転連動制御の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the revolution autorotation interlocking control which a drive control part performs. 公転自転連動制御を実行しない場合と実行した場合とを模式的に比較した部分平面図である。It is the partial top view which compared typically the case where it does not perform revolution rotation interlocking control, and the case where it implemented. ノズルの向きの基準の一例を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically an example of the reference | standard of the direction of a nozzle.

図１は本発明に係る部品実装機を模式的に示す部分平面図である。図２は図１の部品実装機が備える電気的構成を示すブロック図である。両図および以下の図では、Ｚ方向を鉛直方向とするＸＹＺ直交座標を適宜示す。図２に示すように、部品実装機１は、装置全体を統括的に制御するコントローラー１００を備える。コントローラー１００は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)やＲＡＭ(Random Access Memory)で構成されたコンピューターである演算処理部１１０およびＨＤＤ(Hard Disk Drive)で構成された記憶部１２０を有する。さらに、コントローラー１００は、部品実装機１の駆動系を制御する駆動制御部１３０と、部品実装に用いるノズルの撮像を制御する撮像制御部１４０とを有する。 FIG. 1 is a partial plan view schematically showing a component mounter according to the present invention. FIG. 2 is a block diagram showing an electrical configuration of the component mounter of FIG. In both drawings and the following drawings, XYZ orthogonal coordinates in which the Z direction is the vertical direction are appropriately shown. As shown in FIG. 2, the component mounter 1 includes a controller 100 that generally controls the entire apparatus. The controller 100 includes an arithmetic processing unit 110 which is a computer configured of a central processing unit (CPU) and a random access memory (RAM), and a storage unit 120 configured of a hard disk drive (HDD). Furthermore, the controller 100 includes a drive control unit 130 that controls a drive system of the component mounter 1 and an imaging control unit 140 that controls imaging of a nozzle used for component mounting.

そして、演算処理部１１０は記憶部１２０に記憶されるプログラムに従って駆動制御部１３０を制御することで、プログラムが規定する部品実装を実行する。この際、演算処理部１１０は撮像制御部１４０がラインセンサーカメラ５により撮像した画像に基づき、部品実装を制御する。また、部品実装機１には、表示／操作ユニット１５０が設けられており、演算処理部１１０は、部品実装機１の状況を表示／操作ユニット１５０に表示したり、表示／操作ユニット１５０に入力された作業者からの指示を受け付けたりする。 Then, the arithmetic processing unit 110 controls the drive control unit 130 according to the program stored in the storage unit 120 to execute component mounting defined by the program. At this time, the arithmetic processing unit 110 controls component mounting based on the image captured by the imaging control unit 140 using the line sensor camera 5. In addition, the component mounting machine 1 is provided with a display / operation unit 150, and the arithmetic processing unit 110 displays the status of the component mounter 1 on the display / operation unit 150 or inputs it to the display / operation unit 150. Or accepting instructions from a designated worker.

図１に示すように、部品実装機１は、基台１１の上に設けられた一対のコンベア１２、１２を備える。そして、部品実装機１は、コンベア１２によりＸ方向（基板搬送方向）の上流側から実装処理位置（図１の基板Ｓの位置）に搬入した基板Ｓに対して部品を実装し、部品実装を完了した基板Ｓをコンベア１２により実装処理位置からＸ方向の下流側へ搬出する。 As shown in FIG. 1, the component mounter 1 includes a pair of conveyors 12, 12 provided on a base 11. Then, the component mounter 1 mounts components on the substrate S carried in from the upstream side in the X direction (substrate transfer direction) to the mounting processing position (the position of the substrate S in FIG. 1) by the conveyor 12 and performs component mounting. The completed substrate S is carried out by the conveyor 12 from the mounting processing position to the downstream side in the X direction.

部品実装機１では、Ｙ方向に延びる一対のＹ軸レール２１、２１と、Ｙ方向に延びるＹ軸ボールネジ２２と、Ｙ軸ボールネジ２２を回転駆動するＹ軸モーターＭｙとが設けられ、ヘッド支持部材２３が一対のＹ軸レール２１、２１にＹ方向に移動可能に支持された状態でＹ軸ボールネジ２２のナットに固定されている。ヘッド支持部材２３には、Ｘ方向に延びるＸ軸ボールネジ２４と、Ｘ軸ボールネジ２４を回転駆動するＸ軸モーターＭｘとが取り付けられており、ヘッドユニット３がヘッド支持部材２３にＸ方向に移動可能に支持された状態でＸ軸ボールネジ２４のナットに固定されている。したがって、駆動制御部１３０は、Ｙ軸モーターＭｙによりＹ軸ボールネジ２２を回転させてヘッドユニット３をＹ方向に移動させ、あるいはＸ軸モーターＭｘによりＸ軸ボールネジ２４を回転させてヘッドユニット３をＸ方向に移動させることができる。 In the component mounting machine 1, a pair of Y-axis rails 21, 21 extending in the Y-direction, a Y-axis ball screw 22 extending in the Y-direction, and a Y-axis motor My for rotating the Y-axis ball screw 22 are provided. The reference numeral 23 is fixed to the nut of the Y-axis ball screw 22 in a state of being supported by the pair of Y-axis rails 21 and 21 so as to be movable in the Y direction. An X-axis ball screw 24 extending in the X direction and an X-axis motor Mx for rotationally driving the X-axis ball screw 24 are attached to the head support member 23, and the head unit 3 can be moved in the X direction with the head support member 23. The nut is fixed to the nut of the X-axis ball screw 24 while being supported by the nut. Therefore, the drive control unit 130 rotates the Y-axis ball screw 22 by the Y-axis motor My to move the head unit 3 in the Y direction, or rotates the X-axis ball screw 24 by the X-axis motor Mx to rotate the head unit 3 It can be moved in the direction.

一対のコンベア１２、１２のＹ方向の両側それぞれでは、２つの部品供給部２８がＸ方向に並んでいる。各部品供給部２８に対しては、複数のテープフィーダー２８１がＸ方向に並んで着脱可能に装着されており、各テープフィーダー２８１には、集積回路、トランジスター、コンデンサ等の小片状の部品（チップ電子部品）を所定間隔おきに収納したテープが巻かれたリールが配置されている。そして、テープフィーダー２８１は、テープをヘッドユニット３側に間欠的に送り出すことによって、テープ内の部品を供給する。 Two component supply units 28 are arranged in the X direction on both sides of the pair of conveyors 12 and 12 in the Y direction. A plurality of tape feeders 281 are detachably mounted side by side in the X direction with respect to each component supply unit 28, and each tape feeder 281 has small pieces (such as integrated circuits, transistors, capacitors, etc.) A reel on which a tape having a chip electronic component accommodated at predetermined intervals is wound is disposed. Then, the tape feeder 281 supplies the components in the tape by intermittently feeding the tape to the head unit 3 side.

ヘッドユニット３は、Ｘ方向に直線状に並ぶ複数（４本）の実装ヘッド４を有する。各実装ヘッド４は下端に取り付けられたノズル４０（図３）により、部品の吸着・実装を行う。つまり、実装ヘッド４はテープフィーダー２８１の上方へ移動して、テープフィーダー２８１により供給された部品を吸着する。具体的には、実装ヘッド４は、部品に当接するまでノズル４０を下降させた後にノズル４０内に負圧を発生させつつノズル４０を上昇させることで、部品を吸着する。続いて、実装ヘッド４は実装処理位置の基板Ｓの上方に移動して基板Ｓに部品を実装する。具体的には、実装ヘッド４は、部品が基板Ｓに当接するまでノズル４０を下降させた後にノズル４０内に大気圧あるいは正圧を発生させることで、部品を実装する。 The head unit 3 has a plurality of (four) mounting heads 4 linearly arranged in the X direction. Each mounting head 4 sucks and mounts components by means of a nozzle 40 (FIG. 3) attached to the lower end. That is, the mounting head 4 moves to the upper side of the tape feeder 281 and sucks the components supplied by the tape feeder 281. Specifically, the mounting head 4 sucks the component by lowering the nozzle 40 until it abuts the component and then raising the nozzle 40 while generating a negative pressure in the nozzle 40. Subsequently, the mounting head 4 is moved above the substrate S at the mounting processing position to mount the component on the substrate S. Specifically, the mounting head 4 mounts the component by lowering the nozzle 40 until the component abuts on the substrate S and then generating atmospheric pressure or positive pressure in the nozzle 40.

また、Ｘ方向に並ぶ部品供給部２８の間にはＹ方向に平行にラインセンサーカメラ５が配置されている。そして、実装ヘッド４は部品供給部２８で部品を吸着すると、部品供給部２８から基板Ｓに到る途中でラインセンサーカメラ５の上方を通過し、ラインセンサーカメラ５は、ノズル４０が吸着する部品を下方から撮像する。そして、ラインセンサーカメラ５の撮像結果は、撮像制御部１４０を介して演算処理部１１０に転送され、ノズル４０による部品の吸着不良の有無等の判定（吸着不良判定）等に用いられる。また、実装ヘッド４は基板Ｓに部品を実装すると、基板Ｓから部品供給部２８へ到る途中でラインセンサーカメラ５の上方を通過し、ラインセンサーカメラ５は上方を通過するノズル４０を撮像する。そして、ラインセンサーカメラ５の撮像結果は、撮像制御部１４０を介して演算処理部１１０に転送され、ノズル４０による部品の実装の成否（実装成否判定）等の判定に用いられる。この際、吸着不良あるいは実装失敗が判定された場合には、表示／操作ユニット１５０に判定根拠となった撮像画像が表示され、オペレーターが当該判定の妥当性を判断できるように構成されている。 Further, the line sensor camera 5 is disposed in parallel to the Y direction between the component supply units 28 arranged in the X direction. When the mounting head 4 sucks a component by the component supply unit 28, it passes above the line sensor camera 5 on the way from the component supply unit 28 to the substrate S, and the line sensor camera 5 Image from below. Then, the imaging result of the line sensor camera 5 is transferred to the arithmetic processing unit 110 via the imaging control unit 140, and used for determination of the presence or absence of a suction failure of a component by the nozzle 40 (suction failure determination). In addition, when the mounting head 4 mounts a component on the substrate S, it passes above the line sensor camera 5 on the way from the substrate S to the component supply unit 28, and the line sensor camera 5 picks up an image of the nozzle 40 passing above. . Then, the imaging result of the line sensor camera 5 is transferred to the arithmetic processing unit 110 via the imaging control unit 140, and is used to determine the success or failure (mounting success / failure determination) of the mounting of the component by the nozzle 40. At this time, when the suction failure or the mounting failure is determined, the display / operation unit 150 displays the captured image which is the basis of the determination, and the operator can determine the appropriateness of the determination.

図３は実装ヘッドの一例の下端部近傍を模式的に示す部分正面図である。図４は図３の実装ヘッドの部分断面を模式的に示す部分断面図である。図５は図３の実装ヘッドのノズル回りの構成を中心に模式的に示す部分平面図である。図３〜図５に示すように、各実装ヘッド４は、複数のノズル４０を円周状に配列したロータリーヘッドである。なお、複数のノズル４０はそれぞれ異なる種類であっても構わないが、ここでは複数のノズル４０が互いに同種である場合を例示する。続いては、図３〜図５を併用しつつ実装ヘッド４の構成について説明する。なお、４本の実装ヘッド４の構成は共通するため、ここでは１本の実装ヘッド４について説明する。また、後述するＺ軸モーターＭｚ、Ｎ軸モーターＭｎおよびＲ軸モーターＭｒのセットは実装ヘッド４毎に設けられるが、図２では１セット分のみが示されている。 FIG. 3 is a partial front view schematically showing the vicinity of the lower end portion of an example of the mounting head. 4 is a partial cross-sectional view schematically showing a partial cross-section of the mounting head of FIG. FIG. 5 is a partial plan view schematically showing the configuration around the nozzles of the mounting head of FIG. As shown in FIGS. 3 to 5, each mounting head 4 is a rotary head in which a plurality of nozzles 40 are circumferentially arranged. The plurality of nozzles 40 may be of different types, but here, the case where the plurality of nozzles 40 are the same as each other is exemplified. Next, the configuration of the mounting head 4 will be described with reference to FIGS. In addition, since the configuration of the four mounting heads 4 is common, one mounting head 4 will be described here. Further, although sets of a Z-axis motor Mz, an N-axis motor Mn, and an R-axis motor Mr described later are provided for each mounting head 4, only one set is shown in FIG.

実装ヘッド４はＺ方向に平行に延びるメインシャフト４１と、メインシャフト４１の下端に支持されたノズルホルダー４２とを有する。ノズルホルダー４２は、メインシャフト４１の中心を通るＺ方向に平行なＮ軸Ｃｎ（仮想軸）を中心とする公転方向Ｎに回転可能に支持されており、図２のＮ軸モーターＭｎに駆動伝達機構を介して接続されている。したがって、ノズルホルダー４２は、駆動伝達機構を介してＮ軸モーターＭｎの駆動力を受けると、Ｎ軸Ｃｎを中心に回転する。また、ノズルホルダー４２は、Ｎ軸Ｃｎを中心とする円周状に等角度θｉを空けて配列された複数（８本）の昇降シャフト４３を支持する。 The mounting head 4 has a main shaft 41 extending in parallel in the Z direction, and a nozzle holder 42 supported at the lower end of the main shaft 41. The nozzle holder 42 is rotatably supported in a revolving direction N centered on an N axis Cn (virtual axis) parallel to the Z direction passing through the center of the main shaft 41, and the drive transmission to the N axis motor Mn in FIG. Connected through a mechanism. Therefore, the nozzle holder 42 rotates about the N-axis Cn when receiving the driving force of the N-axis motor Mn via the drive transmission mechanism. In addition, the nozzle holder 42 supports a plurality (eight) lifting shafts 43 arranged at an equal angle θi in a circumferential shape centering on the N axis Cn.

各昇降シャフト４３は昇降可能に支持されており、図略の付勢部材により上方へ付勢されている。各昇降シャフト４３の下端にはノズル４０が着脱可能に装着される。これによって、ノズルホルダー４２は、Ｎ軸Ｃｎを中心とする円周状に等角度θｉを空けて配列された複数のノズル４０を支持する。したがって、駆動制御部１３０がＮ軸モーターＭｎに回転指令を出力すると、Ｎ軸モーターＭｎからの駆動力を受けて回転するノズルホルダー４２に伴って、複数のノズル４０が一体的にＮ軸Ｃｎ（公転軸）を中心とする円周軌道Ｏに沿って公転する。 Each raising and lowering shaft 43 is supported so as to be able to move up and down, and is urged upward by an urging member (not shown). A nozzle 40 is detachably attached to the lower end of each lifting shaft 43. Thus, the nozzle holder 42 supports the plurality of nozzles 40 arranged at equal angular intervals θi circumferentially around the N axis Cn. Therefore, when the drive control unit 130 outputs a rotation command to the N-axis motor Mn, the plurality of nozzles 40 are integrally combined with the N-axis Cn (along with the nozzle holder 42 that rotates in response to the driving force from the N-axis motor Mn). Revolves along a circumferential orbit O centered on the revolution axis).

また、メインシャフト４１は、複数の昇降シャフト４３の上方にノズル昇降機構４４を支持する。ノズル昇降機構４４は、Ｎ軸Ｃｎを中心として１８０度の角度を空けて配置された２本の押圧部材４４１を有する。各押圧部材４４１は、ノズル昇降機構４４に内蔵されたＺ軸モーターＭｚ（図２）の駆動力を受けて、互いに独立して昇降する。したがって、駆動制御部１３０がＺ軸モーターＭｚに下降指令を出力すると、Ｚ軸モーターＭｚからの駆動力を受けて押圧部材４４１が下降する。これにより、押圧部材４４１は、複数の昇降シャフト４３のうち直下に位置する一の昇降シャフト４３を当該昇降シャフト４３に働く付勢力に抗して下降させ、部品Ｅの吸着あるいは実装を行う下降位置Ｚｄまでノズル４０を下降させる。一方、駆動制御部１３０がＺ軸モーターＭｚに上昇指令を出力すると、Ｚ軸モーターＭｚからの駆動力を受けて押圧部材４４１が上昇する。これにより、押圧部材４４１に押下されていた一の昇降シャフト４３が、ノズル４０を伴いつつ付勢力に従って上昇し、ノズル４０が上昇位置Ｚｕまで上昇する。なお、図３、図４においては、ノズル４０の下端に対して下降位置Ｚｄおよび上昇位置Ｚｕがそれぞれ示されている。 Further, the main shaft 41 supports the nozzle lifting and lowering mechanism 44 above the plurality of lifting and lowering shafts 43. The nozzle lifting mechanism 44 has two pressing members 441 disposed at an angle of 180 degrees with the N axis Cn as a center. The pressing members 441 move up and down independently of each other in response to the driving force of the Z-axis motor Mz (FIG. 2) built in the nozzle lifting mechanism 44. Therefore, when the drive control unit 130 outputs a lowering command to the Z-axis motor Mz, the pressing member 441 is lowered by receiving the driving force from the Z-axis motor Mz. As a result, the pressing member 441 lowers the one lift shaft 43 located directly below the plurality of lift shafts 43 against the biasing force acting on the lift shaft 43 and moves the component E by suction or mounting. The nozzle 40 is lowered to Zd. On the other hand, when the drive control unit 130 outputs a rising command to the Z-axis motor Mz, the pressing member 441 is moved up by receiving the driving force from the Z-axis motor Mz. Thereby, the one raising / lowering shaft 43 pressed by the pressing member 441 is raised according to the urging force with the nozzle 40, and the nozzle 40 is raised to the raised position Zu. In FIG. 3 and FIG. 4, the lowered position Zd and the raised position Zu are shown with respect to the lower end of the nozzle 40 respectively.

このような実装ヘッド４では、押圧部材４４１の直下がノズル４０による部品Ｅの吸着・実装を行う作業位置Ｐｏとなる。すなわち、上述した２個の押圧部材４４１の配置に対応して、実装ヘッド４では、２個の作業位置Ｐｏ、ＰｏがＮ軸Ｃｎを中心に１８０度の角度を空けて設けられている。一方、図５に示すようにノズルホルダー４２では、Ｎ軸Ｃｎを中心に１８０度の間隔を空けて配置された２個のノズル４０（Ｎ軸Ｃｎを挟んで互いに逆側に位置する２個のノズル４０）の対（ノズル対）が４対設けられて、２×４（＝８）個のノズル４０が円周軌道Ｏに沿って配列されている。こうして対を成す２個のノズル４０は、一方のノズル４０が一方の作業位置Ｐｏに位置すると同時に他方のノズル４０が他方の作業位置Ｐｏに位置できる配置関係を満たす。したがって、駆動制御部１３０はＮ軸モーターＭｎにより複数のノズル４０の回転角度を調整することで、４個のノズル対のうち任意の１個のノズル対を成す２個のノズル４０、４０のそれぞれを作業位置Ｐｏ、Ｐｏに位置させて、部品Ｅの吸着・実装に用いることができる。 In such a mounting head 4, a position directly below the pressing member 441 is a working position Po at which the nozzle E suctions and mounts the component E. That is, corresponding to the arrangement of the two pressing members 441 described above, in the mounting head 4, two working positions Po and Po are provided at an angle of 180 degrees around the N-axis Cn. On the other hand, as shown in FIG. 5, in the nozzle holder 42, two nozzles 40 (two N poles located opposite to each other across the N axis Cn) are disposed at an interval of 180 degrees about the N axis Cn. Four pairs of nozzles 40) (nozzle pairs) are provided, and 2 × 4 (= 8) nozzles 40 are arranged along the circumferential track O. The two nozzles 40 that make a pair in this way satisfy an arrangement relationship in which one nozzle 40 is located at one work position Po and at the same time the other nozzle 40 is located at the other work position Po. Therefore, the drive control unit 130 adjusts the rotation angles of the plurality of nozzles 40 by the N-axis motor Mn, so that each of the two nozzles 40 forming one arbitrary nozzle pair among the four nozzle pairs. Can be used at the work positions Po and Po for suction and mounting of the part E.

例えば、作業位置Ｐｏで部品Ｅを吸着する場合は、実装ヘッド４を部品供給部２８の上方へ移動させて作業位置Ｐｏをテープフィーダー２８１の直上に位置決めする。この状態で、部品Ｅを吸着しないノズル４０を公転方向Ｎにおいて作業位置Ｐｏに停止させつつ、Ｚ方向において上昇位置Ｚｕから下降位置Ｚｄへ下降させる。そして、ノズル４０がテープフィーダー２８１により供給される部品Ｅに接したタイミングでノズル４０に負圧を与えて、テープフィーダー２８１からノズル４０に部品Ｅを吸着する。続いて、部品Ｅを吸着したノズル４０をＺ方向において下降位置Ｚｄから上昇位置Ｚｕまで上昇させる。 For example, when the component E is attracted at the work position Po, the mounting head 4 is moved above the component supply unit 28 to position the work position Po directly above the tape feeder 281. In this state, the nozzle 40 that does not attract the component E is lowered to the lowered position Zd from the raised position Zu in the Z direction while stopping at the work position Po in the revolution direction N. Then, negative pressure is applied to the nozzle 40 at the timing when the nozzle 40 comes into contact with the component E supplied by the tape feeder 281, and the component E is adsorbed to the nozzle 40 from the tape feeder 281. Subsequently, the nozzle 40 which has attracted the component E is raised from the lowered position Zd to the raised position Zu in the Z direction.

あるいは、作業位置Ｐｏで部品Ｅを実装する場合は、実装ヘッド４を基板Ｓの上方へ移動させて作業位置Ｐｏを基板Ｓの実装対象箇所の直上に位置決めする。この状態で、部品Ｅを吸着するノズル４０を公転方向Ｎにおいて作業位置Ｐｏに停止させつつ、Ｚ方向において上昇位置Ｚｕから下降位置Ｚｄへ下降させる。そして、部品Ｅが基板Ｓに接したタイミングでノズル４０に大気圧あるいは正圧を与えて、ノズル４０から基板Ｓへ部品Ｅを実装する。続いて、部品Ｅが離脱したノズル４０をＺ方向において下降位置Ｚｄから上昇位置Ｚｕまで上昇させる。 Alternatively, when mounting the component E at the work position Po, the mounting head 4 is moved above the substrate S to position the work position Po immediately above the mounting target portion of the substrate S. In this state, while the nozzle 40 that sucks the component E is stopped at the work position Po in the revolution direction N, the nozzle 40 is lowered from the raised position Zu to the lowered position Zd in the Z direction. Then, atmospheric pressure or positive pressure is applied to the nozzle 40 at the timing when the component E contacts the substrate S, and the component E is mounted on the substrate S from the nozzle 40. Subsequently, the nozzle 40 from which the component E has been detached is raised from the lowered position Zd to the raised position Zu in the Z direction.

さらに、実装ヘッド４は、複数のノズル４０をノズルホルダー４２に対して回転させることで、それぞれを通るＲ軸Ｃｒ（自転軸）を中心に自転させる機構を有する。つまり、昇降シャフト４３は円筒形状を有しており、ノズルホルダー４２の下方に突出する昇降シャフト４３の下端部にノズル４０が取り付けられる一方、ノズルホルダー４２の上方に突出する昇降シャフト４３の上端部に歯車４３１が取り付けられている。そして、ノズル４０、昇降シャフト４３および歯車４３１は、それぞれの共通の中心線であるＺ方向に平行なＲ軸Ｃｒの回りで回転（自転）可能にノズルホルダー４２に支持されている。また、平面視において、円周軌道Ｏに沿って並ぶ複数の歯車４３１の内側には、歯車４５が配置されている。この歯車４５はベアリング４５１を介してメインシャフト４１に取り付けられており、メインシャフト４１およびノズルホルダー４２のそれぞれに対して回転可能である。そして、歯車４５が複数の歯車４３１に内接・係合するとともに、図２のＲ軸モーターＭｒに駆動伝達機構を介して接続されている。したがって、駆動制御部１３０がＲ軸モーターＭｒに回転指令を出力すると、Ｒ軸モーターＭｒからの駆動力を受けて回転する歯車４５に伴って複数の歯車４３１がＲ軸Ｃｒを中心に公転方向Ｎとは逆の自転方向Ｒに回転する。その結果、複数のノズル４０がそれぞれを通るＲ軸Ｃｒ（自転軸）を中心に回転（自転）する。そして、駆動制御部１３０は、ノズル４０の公転にノズル４０の自転を連動させる公転自転連動制御を実行する。 Further, the mounting head 4 has a mechanism that rotates the plurality of nozzles 40 with respect to the nozzle holder 42 so as to rotate about an R axis Cr (rotation axis) that passes through each nozzle 40. That is, the elevating shaft 43 has a cylindrical shape, and the nozzle 40 is attached to the lower end portion of the elevating shaft 43 projecting downward of the nozzle holder 42, while the upper end portion of the elevating shaft 43 projecting upward of the nozzle holder 42 A gear 431 is attached to the main body. The nozzle 40, the elevating shaft 43, and the gear 431 are supported by the nozzle holder 42 rotatably (rotationally) around an R axis Cr parallel to the Z direction which is a common center line. Further, in plan view, the gear 45 is disposed inside the plurality of gears 431 aligned along the circumferential trajectory O. The gear 45 is attached to the main shaft 41 via a bearing 451 and is rotatable with respect to each of the main shaft 41 and the nozzle holder 42. The gear 45 is inscribed in and engaged with the plurality of gears 431, and is connected to the R-axis motor Mr in FIG. 2 via a drive transmission mechanism. Therefore, when the drive control unit 130 outputs a rotation command to the R-axis motor Mr, the plurality of gears 431 revolves around the R-axis Cr along with the gear 45 that rotates in response to the driving force from the R-axis motor Mr. Rotates in the direction of rotation R opposite to that. As a result, the plurality of nozzles 40 rotate (rotation) around R axis Cr (rotation axis) passing through each of them. Then, the drive control unit 130 executes revolution rotation interlocking control in which rotation of the nozzle 40 is interlocked with revolution of the nozzle 40.

図６は駆動制御部が実行する公転自転連動制御の一例を示すフローチャートである。この公転自転連動制御では、駆動制御部１３０は、複数のノズル４０がＮ軸Ｃｎを中心に公転する公転動作を開始したか否かを監視し（ステップＳ１０１）、公転動作の開始に伴って（ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」）、各ノズル４０に自転動作を開始させる（ステップＳ１０２）。この自転動作では、駆動制御部１３０は、Ｒ軸モーターＭｒにより歯車４５を公転方向Ｎに回転させることで、各ノズル４０を公転方向Ｎとは逆の自転方向Ｒに回転させる。したがって、ノズル４０の公転方向Ｎが時計回りである場合はノズル４０の自転方向Ｒは反時計回りとなり、ノズル４０の公転方向Ｎが反時計回りである場合はノズル４０の自転方向Ｒは時計回りとなる。この際、駆動制御部１３０は、Ｎ軸ＣｎとＲ軸Ｃｒとのギア比、すなわち歯車４５と歯車４３１とのギア比を記憶部１２０から読み出し、このギア比に応じてＲ軸モーターＭｒの回転数を制御する。これによって、ノズル４０が公転する角速度と、ノズル４０が自転する角速度とが等しくなる。その結果、複数のノズル４０のぞれぞれは、Ｒ軸Ｃｒを中心に公転する公転動作に連動して、当該公転動作での公転角度と同じ角度を当該公転動作での公転方向Ｎとは逆の自転方向Ｒに自転する自転動作を実行する。 FIG. 6 is a flowchart showing an example of revolution rotation interlock control performed by the drive control unit. In this revolution rotation interlocking control, the drive control unit 130 monitors whether or not the plurality of nozzles 40 has started the revolution operation of revolving around the N-axis Cn (step S101), along with the start of the revolution operation ( “YES” in step S101) causes each nozzle 40 to start an autorotation operation (step S102). In this rotation operation, the drive control unit 130 rotates the nozzles 40 in the rotation direction R opposite to the rotation direction N by rotating the gear 45 in the rotation direction N by the R-axis motor Mr. Therefore, when the revolution direction N of the nozzle 40 is clockwise, the rotation direction R of the nozzle 40 is counterclockwise. When the revolution direction N of the nozzle 40 is counterclockwise, the rotation direction R of the nozzle 40 is clockwise. It becomes. At this time, the drive control unit 130 reads out from the storage unit 120 the gear ratio between the N-axis Cn and the R-axis Cr, that is, the gear ratio between the gear 45 and the gear 431, and rotates the R-axis motor Mr according to this gear ratio. Control the number. Thus, the angular velocity at which the nozzle 40 revolves and the angular velocity at which the nozzle 40 rotates are equal. As a result, each of the plurality of nozzles 40 interlocks with the revolving motion centered on the R axis Cr, and the same angle as the revolving angle in the revolving operation is the revolving direction N in the revolving operation. A rotation operation that rotates in the reverse rotation direction R is executed.

図７は公転自転連動制御を実行しない場合と実行した場合とを模式的に比較した部分平面図である。特に同図では、２個の作業位置Ｐｏのうち、一方の作業位置Ｐｏから他方の作業位置Ｐｏへノズル４０を公転させた場合が例示されている。また、２個の作業位置Ｐｏを区別するために、一方の作業位置Ｐｏに符号Ｐｏ１を付し、他方の作業位置Ｐｏに符号Ｐｏ２を付した。 FIG. 7 is a partial plan view schematically comparing the case where the revolving autorotation interlocking control is not performed and the case where it is performed. In particular, in the figure, the case where the nozzle 40 is revolved from one work position Po to the other work position Po among the two work positions Po is illustrated. Further, in order to distinguish between the two work positions Po, the reference sign Po1 is given to one work position Po, and the reference sign Po2 is given to the other work position Po.

同図の上段の欄に示すように、図６の公転自転連動制御を行わなかった場合は、Ｒ軸Ｃｒを中心とするノズル４０の角度は、ノズルホルダー４２に対して相対的に変化しない。その結果、グローバル座標系ＸＹＺで見ると、ノズル４０の向きは、ノズルホルダー４２の回転に伴って、すなわちＮ軸Ｃｎを中心とする公転に伴って変化する。ここで、ノズル４０の向きとは、例えばノズル４０の開口部の長手方向あるいはノズル４０の開口部の特徴部分（例えば長辺）等の延設方向とすることができる。 As shown in the upper column of the figure, when the revolving autorotation interlocking control of FIG. 6 is not performed, the angle of the nozzle 40 centered on the R axis Cr does not change relative to the nozzle holder 42. As a result, when viewed in the global coordinate system XYZ, the orientation of the nozzle 40 changes as the nozzle holder 42 rotates, that is, as it revolves around the N axis Cn. Here, the direction of the nozzle 40 can be, for example, the longitudinal direction of the opening of the nozzle 40 or the extending direction of a characteristic portion (for example, a long side) of the opening of the nozzle 40.

そのため、例えば１個のノズル４０が一方の作業位置Ｐｏ１で部品Ｅを吸着した後に、他方の作業位置Ｐｏ２で部品Ｅを基板Ｓに実装するような場合、当該ノズル４０が吸着する部品Ｅの荷姿は、一方の作業位置Ｐｏ１から他方の作業位置Ｐｏ２までの公転角度θ４（＝１８０度）回転する。したがって、他方の作業位置Ｐｏ２で部品Ｅを基板Ｓに実装するに際しては、コントローラー１００は、ノズル４０の公転に伴う部品Ｅの荷姿の変化を考慮した制御を実行する必要がある。 Therefore, for example, when the component E is mounted on the substrate S at the other operation position Po2 after one nozzle 40 adsorbs the component E at one operation position Po1, the load of the component E to be adsorbed by the nozzle 40 The shape rotates a rotation angle θ4 (= 180 degrees) from one work position Po1 to the other work position Po2. Therefore, when mounting the component E on the substrate S at the other operation position Po2, the controller 100 needs to execute control in consideration of the change in the packing style of the component E accompanying the revolution of the nozzle 40.

また、ノズル４０が吸着する部品Ｅの荷姿は、ノズル４０の公転角度θ１〜θ４に応じて異なる。その結果、ノズル４０が吸着する部品Ｅをラインセンサーカメラ５で撮像する場合、ノズル４０の公転角度θ１〜θ４によって、部品Ｅとラインセンサーカメラ５との相対的な角度関係が異なり、すなわち部品Ｅの撮像条件が変わってしまう。そのため、演算処理部１１０による吸着不良判定の精度が低下したり、オペレーターによる当該判定の妥当性の判断が難しくなったりするおそれがある。また、部品Ｅの基板Ｓへの実装を終えたノズル４０をラインセンサーカメラ５で撮像する場合にも、同様にノズル４０の公転角度θ１〜θ４によって、ノズル４０の撮像条件が変わってしまう。そのため、演算処理部１１０による実装成否判定の精度が低下したり、オペレーターによる当該判定の妥当性の判断が難しくなったりするおそれがある。 Further, the packing form of the part E to which the nozzle 40 sucks differs depending on the revolution angles θ1 to θ4 of the nozzle 40. As a result, when imaging the part E which the nozzle 40 adsorbs with the line sensor camera 5, the relative angular relationship between the part E and the line sensor camera 5 differs depending on the revolution angles θ1 to θ4 of the nozzle 40, ie, the part E The imaging conditions will change. Therefore, there is a possibility that the accuracy of the suction failure determination by the arithmetic processing unit 110 may decrease, or the determination of the appropriateness of the determination by the operator may be difficult. In addition, also in the case where the nozzle 40 which has finished mounting the component E on the substrate S is imaged by the line sensor camera 5, the imaging condition of the nozzle 40 is similarly changed by the revolution angles θ1 to θ4 of the nozzle 40. Therefore, there is a possibility that the accuracy of the implementation success / failure determination by the arithmetic processing unit 110 may be reduced, or the determination of the appropriateness of the determination by the operator may be difficult.

これに対して、同図の下段の欄に示すように、図６の公転自転連動制御を行った場合、ノズル４０は、Ｎ軸Ｃｎを中心に公転方向Ｎに角度θ１〜θ４公転すると（公転動作）、Ｒ軸Ｃｒを中心に公転方向Ｎと逆の自転方向Ｒに角度θ１〜θ４自転する（自転動作）。その結果、グローバル座標系ＸＹＺで見ると、ノズル４０の向きは、ノズルホルダー４２の回転、すなわちＮ軸Ｃｎを中心とする公転によらず変化しない。 On the other hand, as shown in the lower column of the figure, when the revolving autorotation interlocking control of FIG. 6 is performed, when the nozzle 40 revolves at angles θ1 to θ4 around the N axis Cn in the revolving direction N (revolution Operation), rotation is performed at angles θ1 to θ4 in a rotation direction R opposite to the rotation direction N (rotation operation) about the R axis Cr. As a result, when viewed in the global coordinate system XYZ, the orientation of the nozzle 40 does not change regardless of the rotation of the nozzle holder 42, that is, the revolution about the N axis Cn.

そのため、例えば１個のノズル４０が一方の作業位置Ｐｏ１で部品Ｅを吸着した後に、他方の作業位置Ｐｏ２で部品Ｅを基板Ｓに実装するような場合、当該ノズル４０が吸着する部品Ｅの荷姿は変わらない。したがって、他方の作業位置Ｐｏ２で部品Ｅを基板Ｓに実装するに際しては、コントローラー１００は、ノズル４０の公転に伴う部品Ｅの荷姿の変化について考慮を要さない制御を実行できる。 Therefore, for example, when the component E is mounted on the substrate S at the other operation position Po2 after one nozzle 40 adsorbs the component E at one operation position Po1, the load of the component E to be adsorbed by the nozzle 40 The figure does not change. Therefore, when mounting the component E on the substrate S at the other operation position Po2, the controller 100 can execute control that does not require consideration of the change in the package shape of the component E accompanying the revolution of the nozzle 40.

また、ノズル４０が吸着する部品Ｅの荷姿は、ノズル４０の公転角度θ１〜θ４によらず変わらない。その結果、ノズル４０が吸着する部品Ｅをラインセンサーカメラ５で撮像する場合、ノズル４０の公転角度θ１〜θ４によらず、部品Ｅとラインセンサーカメラ５との相対的な角度関係を一定に保ち、すなわち部品Ｅの撮像条件を一定に保つことができる。そのため、演算処理部１１０による吸着不良判定の精度の低下を抑制し、あるいはオペレーターによる当該判定の妥当性の判断を容易にすることができる。また、部品Ｅの基板Ｓへの実装を終えたノズル４０をラインセンサーカメラ５で撮像する場合にも、同様にノズル４０の公転角度θ１〜θ４によらず、ノズル４０の撮像条件を一定に保つことができる。そのため、演算処理部１１０による実装成否判定の精度の低下を抑制し、あるいはオペレーターによる当該判定の妥当性の判断を容易にすることができる。 Further, the packing form of the component E to which the nozzle 40 sucks does not change regardless of the revolution angles θ1 to θ4 of the nozzle 40. As a result, when imaging the part E which the nozzle 40 adsorbs with the line sensor camera 5, the relative angular relationship between the part E and the line sensor camera 5 is kept constant regardless of the revolution angles θ1 to θ4 of the nozzle 40 That is, the imaging condition of the part E can be kept constant. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the accuracy of the suction failure determination by the arithmetic processing unit 110 or to easily determine the appropriateness of the determination by the operator. In addition, also when imaging the nozzle 40 that has finished mounting the component E on the substrate S with the line sensor camera 5, the imaging condition of the nozzle 40 is kept constant regardless of the revolution angles θ1 to θ4 of the nozzle 40 as well be able to. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the accuracy of the implementation success / failure determination by the arithmetic processing unit 110 or to easily determine the appropriateness of the determination by the operator.

以上に説明したように本実施形態では、ノズル４０は、Ｎ軸Ｃｎを中心に公転する公転動作に応じて、公転動作での公転角度θ１〜θ４と同じ角度を公転動作での公転方向とは逆方向に自転する自転動作を実行する。したがって、公転に伴うノズル４０の向きの変化を抑制することが可能となっている。 As described above, in the present embodiment, the nozzle 40 has the same angle as the revolution angles θ1 to θ4 in the revolution operation according to the revolution operation in which the N axis Cn revolves, with the revolution direction in the revolution operation. A rotation operation that rotates in the reverse direction is executed. Therefore, it is possible to suppress the change of the direction of the nozzle 40 accompanying the revolution.

また、上記のように構成された実装ヘッド４では、ノズル４０は、部品Ｅの吸着後の公転動作に応じた自転動作を、ラインセンサーカメラ５により撮像されるまでに完了する。したがって、公転に伴うノズル４０の向きの変化による影響を排除しつつ、ノズル４０に吸着される部品Ｅを撮像することができる。 In the mounting head 4 configured as described above, the nozzle 40 completes the rotation operation according to the revolution operation after the component E is attracted by the line sensor camera 5. Therefore, it is possible to image the component E to be adsorbed by the nozzle 40 while eliminating the influence of the change in the orientation of the nozzle 40 due to the revolution.

また、ノズル４０は、ラインセンサーカメラ５による撮像時に、ノズル４０に吸着される部品Ｅの向きとラインセンサーカメラ５の配設方向（Ｙ方向）とが所定の関係を満たすように自転動作を実行する。そのため、部品Ｅの向きによる反射の影響が撮像の度に異なるといったことが無く、良好な撮像にとって有利となっている。 Further, the nozzle 40 performs rotation operation so that the direction of the component E attracted to the nozzle 40 and the arrangement direction (Y direction) of the line sensor camera 5 satisfy a predetermined relationship at the time of imaging by the line sensor camera 5 Do. Therefore, the influence of the reflection due to the direction of the component E does not differ at every imaging, which is advantageous for good imaging.

また、ノズル４０は、部品Ｅの実装後の公転動作に応じた自転動作を、ラインセンサーカメラ５により撮像されるまでに完了する。かかる構成では、公転に伴うノズル４０の向きの変化による影響を排除しつつ、部品Ｅを実装後のノズル４０を撮像することができる。 In addition, the nozzle 40 completes the rotation operation according to the revolution operation after the mounting of the part E until the line sensor camera 5 captures an image. In such a configuration, it is possible to image the nozzle 40 after mounting the component E while eliminating the influence of the change in the orientation of the nozzle 40 accompanying revolution.

また、実装ヘッド４は、部品供給部２８からの部品Ｅの吸着および基板Ｓへの部品Ｅの実装の少なくとも一方の作業を、円周軌道Ｏ上に設けられた複数の作業位置Ｐｏのいずれかに位置決めさせたノズル４０に実行させることができる。そして、ノズル４０は、複数の作業位置Ｐｏのうち一の作業位置Ｐｏ（例えば作業位置Ｐｏ１）で作業を行った後に他の作業位置Ｐｏ（例えば作業位置Ｐｏ２）で作業を行う場合には、一の作業位置Ｐｏから他の作業位置Ｐｏへ公転する公転動作に応じた自転動作を、他の作業位置Ｐｏで作業を開始する前に完了する。したがって、他の作業位置Ｐｏに位置するノズル４０による作業の開始に際して、一の作業位置Ｐｏから他の作業位置Ｐｏへの公転に伴うノズル４０の向きの変化による影響を排除することができる。 In addition, the mounting head 4 performs at least one of the suction of the component E from the component supply unit 28 and the mounting of the component E on the substrate S at any one of a plurality of operation positions Po provided on the circumferential track O. Can be executed by the nozzle 40 positioned in the position. Then, the nozzle 40 performs the operation at one operation position Po (for example, the operation position Po1) among the plurality of operation positions Po, and then performs the operation at another operation position Po (for example, the operation position Po2). The rotation operation in accordance with the revolving operation of revolving from the work position Po to the other work position Po is completed before the work is started at the other work position Po. Therefore, at the start of work by the nozzle 40 located at the other work position Po, it is possible to eliminate the influence of the change in the orientation of the nozzle 40 accompanying the revolution from one work position Po to the other work position Po.

具体的には、ノズル４０、一の作業位置Ｐｏで部品供給部２８から部品Ｅを吸着した後に、他の作業位置Ｐｏで基板Ｓに部品Ｅを実装する場合、一の作業位置Ｐｏから他の作業位置Ｐｏへの公転に伴うノズル４０の向きの変化による影響を排除しつつ、他の作業位置Ｐｏのノズル４０に基板Ｓへの部品Ｅの実装を開始させることができる。 Specifically, after the component E is suctioned from the component supply unit 28 at the work position Po at one of the nozzles 40, the part E is mounted on the substrate S at the other work position Po from the one work position Po to the other. The mounting of the component E onto the substrate S can be started in the nozzle 40 at another working position Po while eliminating the influence of the change in the orientation of the nozzle 40 accompanying the revolution to the working position Po.

あるいは、一の作業位置Ｐｏで基板Ｓへ部品Ｅを実装した後に、他の作業位置Ｐｏで部品供給部２８から部品Ｅを吸着する場合、一の作業位置Ｐｏから他の作業位置Ｐｏへの公転に伴うノズル４０の向きの変化による影響を排除しつつ、他の作業位置Ｐｏのノズル４０に部品供給部２８からの部品Ｅの吸着を開始させることができる。 Alternatively, after component E is mounted on substrate S at one operation position Po, when component E is adsorbed from component supply unit 28 at another operation position Po, revolution from one operation position Po to another operation position Po is performed. It is possible to start the suction of the component E from the component supply unit 28 to the nozzle 40 at another work position Po while eliminating the influence due to the change in the direction of the nozzle 40 due to the above.

また、図５に示したように、複数のノズル４０はそれぞれの向きを揃えつつ自転動作を実行する。そのため、複数のノズル４０のそれぞれの向きを公転角度によらず揃えることが可能となっている。 Further, as shown in FIG. 5, the plurality of nozzles 40 perform the rotation operation while aligning their directions. Therefore, it is possible to align the directions of the plurality of nozzles 40 regardless of the revolution angle.

また、ノズル４０は、公転動作に連動して自転動作を実行する。そのため、公転角度によらず常にノズル４０の向きを一定（図５、図７の例ではＸ方向）にすることが可能となっている。 Further, the nozzle 40 performs a rotation operation in conjunction with the revolution operation. Therefore, it is possible to make the direction of the nozzle 40 constant (X direction in the example of FIGS. 5 and 7) regardless of the revolution angle.

このように本実施形態では、部品実装機１が本発明の「部品実装機」の一例に相当し、部品供給部２８が本発明の「部品供給部」の一例に相当し、部品Ｅが本発明の「部品」の一例に相当し、コンベア１２が本発明の「基板支持部」の一例に相当し、基板Ｓが本発明の「基板」の一例に相当し、実装ヘッド４が本発明の「ヘッド」の一例に相当し、ノズル４０が本発明の「ノズル」の一例に相当し、Ｎ軸Ｃｎが本発明の「公転軸」の一例に相当し、Ｒ軸Ｃｒが本発明の「自転軸」の一例に相当し、円周軌道Ｏが本発明の「円周軌道」の一例に相当し、ラインセンサーカメラ５が本発明の「撮像部」の一例に相当し、作業位置Ｐｏが本発明の「作業位置」の一例に相当し、作業位置Ｐｏ１が本発明の「一の作業位置」の一例に相当し、作業位置Ｐｏ２が本発明の「他の作業位置」の一例に相当する。 As described above, in the present embodiment, the component mounter 1 corresponds to an example of the “component mounter” of the present invention, the component supply unit 28 corresponds to an example of the “component supply unit” of the present invention, and the component E is an example. The conveyor 12 corresponds to an example of the "substrate support portion" of the present invention, the substrate S corresponds to an example of the "substrate" of the present invention, and the mounting head 4 of the present invention The nozzle 40 corresponds to an example of the "head", the nozzle 40 corresponds to an example of the "nozzle" of the present invention, the N-axis Cn corresponds to an example of the "revolution axis" of the present invention, and the R-axis Cr corresponds to the "autorotation" of the present invention. The circumferential trajectory O corresponds to an example of the “circumferential trajectory” of the present invention, the line sensor camera 5 corresponds to an example of the “imaging unit” of the present invention, and the work position Po This corresponds to an example of the "working position" of the invention, and the working position Po1 corresponds to an example of the "one working position" of the present invention, and the working position o2 corresponds to an example of "the other working position" of the present invention.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、公転角度θ１〜θ４によらずノズル４０の向きを一定にできる。この際、ノズル４０の向きを決定する基準については、種々のものを採用できる。図８はノズルの向きの基準の一例を模式的に示す平面図である。ノズル４０に対しては、例えばクリーニング等の目的で研磨が実行される。そして、図８の例では、ノズル４０の研磨方向（ノズル４０の外形を示す四角内で破線が延びる方向）およびラインセンサーカメラ５の配設方向（すなわち、ラインセンサーカメラ５での画素の配列方向）がいずれもＹ方向となっており、互いに平行となる関係（所定関係）を満たす。換言すれば、ノズル４０の公転角度によらず、ノズル４０の研磨方向（Ｙ方向）がラインセンサーカメラ５の配設方向（Ｙ方向）と平行となるように、ノズル４０の自転動作が実行される。そのため、ノズル４０の研磨痕による反射の影響がラインセンサーカメラ５による撮像の度にことなるといったことが無く、良好なノズル４０の撮像にとって有利となっている。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made to the above-described one without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above embodiment, the direction of the nozzle 40 can be made constant regardless of the revolution angles θ1 to θ4. At this time, various criteria can be adopted for determining the direction of the nozzle 40. FIG. 8 is a plan view schematically showing an example of the reference of the direction of the nozzle. The nozzle 40 is polished for the purpose of cleaning, for example. Then, in the example of FIG. 8, the polishing direction of the nozzle 40 (the direction in which the dashed line extends in the square indicating the outer shape of the nozzle 40) and the arrangement direction of the line sensor camera 5 (that is, the arrangement direction of pixels in the line sensor camera 5). ) Are all in the Y direction, and satisfy the relation (predetermined relation) parallel to each other. In other words, regardless of the revolution angle of the nozzle 40, the rotation operation of the nozzle 40 is performed such that the polishing direction (Y direction) of the nozzle 40 is parallel to the arrangement direction (Y direction) of the line sensor camera 5. Ru. Therefore, the influence of the reflection due to the polishing mark of the nozzle 40 does not affect the degree of imaging by the line sensor camera 5, which is advantageous for the imaging of the good nozzle 40.

また、図７に例示したように作業位置Ｐｏ１で部品Ｅを吸着してから作業位置Ｐｏ２で部品Ｅを実装するにあたって、テープフィーダー２８１が供給する部品Ｅの向きと、基板Ｓの実装対象箇所の向きとが異なる場合がある。このような場合には、作業位置Ｐｏ２でノズル４０を停止させた後に、部品実装箇所の向きに応じてノズル４０をさらに自転させて、ノズル４０が吸着する部品と部品実装箇所の向きとを合わせると良い。この場合であっても、ノズル４０の公転によらず作業位置Ｐｏ１、Ｐｏ２との間で部品Ｅの向きは変わらない。そのため、コントローラー１００は、ノズル４０の公転に伴う部品Ｅの向きの変化を考慮することなく、テープフィーダー２８１が供給する部品Ｅの向きと実装対象箇所の向きのみに基づいて適切に部品Ｅを実装することができる。 Further, as illustrated in FIG. 7, when the component E is adsorbed at the operation position Po1 and then mounted at the operation position Po2, the direction of the component E supplied by the tape feeder 281 and the mounting target portion of the substrate S The direction may be different. In such a case, after stopping the nozzle 40 at the work position Po2, the nozzle 40 is further rotated in accordance with the direction of the component mounting location to match the component suctioned by the nozzle 40 with the direction of the component mounting location It is good. Even in this case, the orientation of the part E does not change between the working positions Po1 and Po2 regardless of the revolution of the nozzle 40. Therefore, the controller 100 appropriately mounts the component E on the basis of only the orientation of the component E supplied by the tape feeder 281 and the orientation of the mounting target location without considering the change in the orientation of the component E accompanying the revolution of the nozzle 40 can do.

また、上記実施形態では、ノズル４０の公転動作と自転動作とを連動させていた。しかしながら、例えばノズル４０を所定の閾角度θｔｈ公転させた後にノズル４０を閾角度θｔｈ自転させるといった制御も可能である。この場合、閾角度θｔｈは例えば上記の角度θｉ未満に設定することができる。あるいは、円周軌道Ｏに沿って隣接するノズル４０がＮ軸Ｃｎの回りに成す角度（隣接角度）が複数のノズル４０の間で等しくない場合は、閾角度θｔｈを例えば最小の隣接角度未満に設定することができる。 Further, in the above embodiment, the revolution operation and the rotation operation of the nozzle 40 are interlocked. However, for example, it is also possible to control the nozzle 40 to rotate by the threshold angle θth after revolving the nozzle 40 by the predetermined threshold angle θth. In this case, the threshold angle θth can be set to be less than the angle θi, for example. Alternatively, if the angles (adjacent angles) formed by the adjacent nozzles 40 along the circumferential trajectory O about the N axis Cn are not equal among the plurality of nozzles 40, then the threshold angle θth is set smaller than, for example, the minimum adjacent angle. It can be set.

また、実装ヘッド４の本数や、実装ヘッド４が保持するノズル４０の個数、ノズル４０の配列間隔等についても適宜変更しても構わない。実装ヘッド４の複数のノズル４０の全ての向きが揃っている必要も必ずしも無い。 Further, the number of mounting heads 4, the number of nozzles 40 held by the mounting head 4, the arrangement interval of the nozzles 40, and the like may be changed as appropriate. It is not necessary that all the orientations of the plurality of nozzles 40 of the mounting head 4 be aligned.

また、ノズル４０や部品Ｅを撮像する撮像部の構成は、ラインセンサーカメラ５に限られず、エリアセンサーカメラであっても良い。 Further, the configuration of the imaging unit for imaging the nozzle 40 and the component E is not limited to the line sensor camera 5, but may be an area sensor camera.

１…部品実装機
１２…コンベア（基板支持部）
２８…部品供給部
４…実装ヘッド
４０…ノズル
５…ラインセンサーカメラ（撮像部）
Ｃｎ…Ｎ軸（公転軸）
Ｃｒ…Ｒ軸（自転軸）
Ｏ…円周軌道
Ｅ…部品
Ｓ…基板
Ｐｏ…作業位置
Ｐｏ１…作業位置（一の作業位置）
Ｐｏ２…作業位置（他の作業位置）
θ１，θ２，θ３，θ４…公転角度
Ｙ…Ｙ方向（ラインセンサーカメラの配設方向、ノズルの研磨方向） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Component mounting machine 12 ... Conveyor (board support part)
28 ... Component supply unit 4 ... Mounting head 40 ... Nozzle 5 ... Line sensor camera (imaging unit)
Cn ... N axis (revolution axis)
Cr ... R axis (rotation axis)
O: Circumferential orbit E: Parts S: Board Po: Working position Po1: Working position (one working position)
Po2 ... Work position (other work positions)
θ1, θ2, θ3, θ4: Revolution angle Y: Y direction (line sensor camera placement direction, nozzle polishing direction)

Claims

A parts supply unit for supplying parts;
A substrate support unit for supporting the substrate;
Mounting in which a plurality of nozzles arranged on a circumferential track centered on a revolution axis are held so as to be revolved around the revolution axis, and the parts are sucked from the component supply unit by the nozzle and mounted on the substrate With the head ,
An imaging unit configured to image from below the plurality of nozzles moving along with the mounting head ;
The nozzle performs the rotation operation about its axis of rotation, in accordance with the revolving operation by the mounting head performs a rotation operation for rotating in a direction opposite to the revolution direction at the same angle and revolution angle at the revolving operation ,
The imaging unit images the plurality of nozzles on the way from the substrate to the component supply unit after mounting the component on the substrate,
The nozzle is a component mounter that completes the rotation operation according to the revolution operation by the mounting head after mounting the component until the imaging unit captures an image .

The imaging unit is a line sensor camera arranged in a predetermined direction,
The nozzle is polished to a predetermined polishing direction, to claim 1, wherein the polishing direction when imaging by the imaging unit and the direction of arrangement of the line sensor camera performs the rotation operation to satisfy a predetermined relationship Component mounting machine described.

The component mounting machine according to claim 2 , wherein the predetermined relationship is a relationship in which a polishing direction of the nozzle and an arrangement direction of the line sensor camera are parallel to each other.

The mounting head positions at least one of the operation of sucking the component from the component supply unit and mounting the component on the substrate at any one of a plurality of work positions provided on the circumferential track. Can be run on the nozzle,
In the case where the nozzle performs an operation at another work position different from the one work position after performing the work at one work position among the plurality of work positions, the nozzle moves from the one work position to the other work position. The component mounting machine according to any one of claims 1 to 3 , wherein the rotation operation corresponding to the revolution operation revolving to a work position is completed before the work is started at the other work position.

5. The component mounting machine according to claim 4 , wherein the nozzle mounts the component on the substrate at the other work position after adsorbing the component from the component supply unit at the one work position.

When the plurality of nozzles of the same type is attached to the mounting head, the component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 5 wherein the plurality of nozzles to perform the rotation operation while aligning the respective orientation.

The component mounting machine according to any one of claims 1 to 6 , wherein the nozzle performs the rotation operation in conjunction with the revolution operation by the mounting head.

A plurality of nozzles which are arranged on a circular path around the revolution axis with a mounting head which revolve held around the revolution axis, adsorbing the component to the nozzle from the supply component supply unit components A process of
Mounting the component on a substrate on the nozzle using the mounting head ;
A step of imaging by an imaging unit from below the plurality of nozzles that move with the mounting head, and
The nozzle performs a rotation operation around its rotation axis, and executes a rotation operation that rotates in the opposite direction to the rotation direction at the same angle as the rotation angle in the rotation operation according to the rotation operation by the mounting head And
The imaging unit images the plurality of nozzles on the way from the substrate to the component supply unit after mounting the component on the substrate,
The component mounting method, wherein the nozzle completes the rotation operation according to the revolution operation by the mounting head after mounting the component until the imaging unit captures an image .