JP6551485B2 - 赤外線変換素子及び撮像装置 - Google Patents
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Description
金属微粒子層は、金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る。
誘電体材料から成り、第1面から入射した赤外線を吸収する誘電体膜、並びに、
第1面と対向する誘電体膜の第2面に配された複数の金属微粒子、
から構成されている。
(A)基体、及び、基体上に形成された金属微粒子層から構成された赤外線変換素子であって、金属微粒子層は、金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えている。
(A)金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る金属微粒子層から構成された赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えている。
(A)誘電体材料から成り、第1面から入射した赤外線を吸収する誘電体膜、並びに、
第1面と対向する誘電体膜の第2面に配された複数の金属微粒子、
から構成された赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えている。
(A)赤外線の吸収による受光材料の誘電率変化を、局所プラズモン共鳴に基づく散乱光強度変化として検出することで、赤外線を可視光に変換して検出する赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えている。
上記の目的を達成するための本開示の第2の態様に係る撮像方法は、上記の本開示の第2の態様に係る撮像装置を用いた撮像方法であり、
上記の目的を達成するための本開示の第3の態様に係る撮像方法は、上記の本開示の第3の態様に係る撮像装置を用いた撮像方法であって、
赤外線の吸収により誘電体材料の誘電率が変化することに起因して、金属微粒子への参照光の照射によって生じた金属微粒子における局所プラズモン共鳴状態が変化することで散乱光に生じる光強度低下を撮像素子アレイ部で検出する。
赤外線の吸収により受光材料の誘電率が変化することに起因して、受光材料への参照光の照射によって生じた受光材料における局所プラズモン共鳴状態が変化することで散乱光に生じる光強度低下を撮像素子アレイ部で検出する。
1.本開示の第1の態様〜第4の態様に係る赤外線変換素子、撮像装置及び撮像方法、全般に関する説明
2.実施例1(本開示の第1の態様及び第4の態様に係る赤外線変換素子、撮像装置及び撮像方法)
3.実施例2(実施例1の変形)
4.実施例3(実施例1〜実施例2の変形)
5.実施例4(実施例1〜実施例3の変形)
6.実施例5(実施例1〜実施例4の変形)
7.実施例6(実施例5の変形)
8.実施例7(本開示の第2の態様及び第4の態様に係る赤外線変換素子、撮像装置及び撮像方法)
9.実施例8(本開示の第3の態様及び第4の態様に係る赤外線変換素子、撮像装置及び撮像方法)、その他
εm+2εd=0
で表すことができる。本開示の第1の態様に係る赤外線変換素子等あるいは本開示の第2の態様に係る赤外線変換素子等にあっては、金属微粒子の周囲に存在する物質は、金属微粒子と金属微粒子との間を埋める誘電体材料であり、本開示の第3の態様に係る赤外線変換素子等にあっては、金属微粒子の周囲に存在する物質は空気であり、あるいは又、真空である。局所プラズモン共鳴条件において、入射光は、効率良く金属微粒子に吸収され、散乱光に変換される。この際、金属微粒子の散乱断面積が大きく、吸収断面積が小さくなるように、適宜、金属微粒子を設計することにより、金属微粒子による発熱ロスを抑制することができる。尚、非共鳴状態では、金属微粒子による参照光の吸収は少なく、参照光の多くは、透過、あるいは、何らかの界面において反射し、散逸する。
(ケース1)基体の第1面から赤外線が入射され、金属微粒子層は、第1面と対向する基体の第2面上に形成されており、撮像素子アレイ部及び光源は基体の第2面側に配置されている。
(ケース2)基体の第1面から赤外線が入射され、金属微粒子層は、第1面と対向する基体の第2面上に形成されており、撮像素子アレイ部は基体の第2面側に配置されており、光源は基体の第1面側に配置されている。
(ケース3)基体の第1面から赤外線が入射され、金属微粒子層は基体の第1面上に形成されており、撮像素子アレイ部及び光源は基体の第2面側に配置されている。
(ケース4)基体の第1面から赤外線が入射され、金属微粒子層は基体の第1面上に形成されており、撮像素子アレイ部は基体の第2面側に配置されており、光源は基体の第1面側に配置されている。
(a)基体122、及び、
(b)基体122上に形成された金属微粒子層123、
から構成されており、金属微粒子層123は、
金属微粒子124、及び、
金属微粒子124と金属微粒子124との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料125から成る。
(A)上述した実施例1の赤外線変換素子121が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部120、
(B)赤外線変換素子アレイ部120へ参照光31を照射する光源30、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部120の赤外線入射側とは反対側に配置された、具体的には、赤外線変換素子アレイ部120と離間して配置された撮像素子アレイ部40、
を備えている。
λsca =500nm
Qscaのピーク値=7.2057
λsca =508.9nm
Qsca’=6.04597
10nm 0.015μm2 22nm
100nm 0.18μm2 240nm
(A)上述した実施例7の赤外線変換素子221が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部220、
(B)赤外線変換素子アレイ部120へ参照光31を照射する光源30、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部220の赤外線入射側とは反対側に配置された、具体的には、赤外線変換素子アレイ部220と離間して配置された撮像素子アレイ部40、
を備えている。
誘電体材料325から成り、第1面325Aから入射した赤外線を吸収する誘電体膜325、並びに、
第1面325Aと対向する誘電体膜325の第2面325Bに配された複数の金属微粒子324、
から構成されている。尚、複数の金属微粒子324は、誘電体膜325の第2面325Bに部分的に埋め込まれていてもよい。
(A)上述した実施例8の赤外線変換素子321が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部320、
(B)赤外線変換素子アレイ部120へ参照光31を照射する光源30、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部320の赤外線入射側とは反対側に配置された、具体的には、赤外線変換素子アレイ部320と離間して配置された撮像素子アレイ部40、
を備えている。
[1]《赤外線変換素子:第1の態様》
基体、及び、基体上に形成された金属微粒子層から構成されており、
金属微粒子層は、金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る赤外線変換素子。
[2]《赤外線変換素子:第2の態様》
金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る金属微粒子層から構成された赤外線変換素子。
[3]《赤外線変換素子:第3の態様》
誘電体材料から成り、第1面から入射した赤外線を吸収する誘電体膜、並びに、
第1面と対向する誘電体膜の第2面に配された複数の金属微粒子、
から構成された赤外線変換素子。
[4]《赤外線変換素子:第4の態様》
赤外線の吸収による受光材料の誘電率変化を、局所プラズモン共鳴に基づく散乱光強度変化として検出することで、赤外線を可視光に変換して検出する赤外線変換素子。
[5]金属微粒子への参照光の照射によって生じた金属微粒子における局所プラズモン共鳴に基づき、散乱光が生じる[1]乃至[3]のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
[6]赤外線の吸収により誘電体材料の誘電率が変化することに起因して、金属微粒子における局所プラズモン共鳴状態が変化する[5]に記載の赤外線変換素子。
[7]局所プラズモン共鳴状態が変化することで、散乱光の光強度が低下する[6]に記載の赤外線変換素子。
[8]参照光は可視光であり、散乱光の振動数は参照光の振動数と等しい[5]乃至[7]のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
[9]参照光の波長は可変である[8]に記載の赤外線変換素子。
[10]金属微粒子は規則的に配列されている[1]乃至[9]のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
[11]《撮像装置:第1の態様》
(A)基体、及び、基体上に形成された金属微粒子層から構成された赤外線変換素子であって、金属微粒子層は、金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置。
[12]《撮像装置:第2の態様》
(A)金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る金属微粒子層から構成された赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置。
[13]《撮像装置:第3の態様》
(A)誘電体材料から成り、第1面から入射した赤外線を吸収する誘電体膜、並びに、
第1面と対向する誘電体膜の第2面に配された複数の金属微粒子、
から構成された赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置。
[14]《撮像装置:第4の態様》
(A)赤外線の吸収による受光材料の誘電率変化を、局所プラズモン共鳴に基づく散乱光強度変化として検出することで、赤外線を可視光に変換して検出する赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置。
[15]金属微粒子への参照光の照射によって生じた金属微粒子における局所プラズモン共鳴に基づき散乱光が生じる[11]乃至[13]のいずれか1項に記載の撮像装置。
[16]赤外線の吸収により誘電体材料の誘電率が変化することに起因して、金属微粒子における局所プラズモン共鳴状態が変化する[15]に記載の撮像装置。
[17]局所プラズモン共鳴状態が変化することで、散乱光の光強度が低下する[15]又は[16]に記載の撮像装置。
[18]参照光は可視光であり、散乱光の振動数は参照光の振動数と等しい[11]乃至[17]のいずれか1項に記載の撮像装置。
[19]参照光の波長は可変である[18]に記載の撮像装置。
[20]光源と金属微粒子層との間に、参照光の波長を選択する波長選択手段が配されている[11]乃至[19]のいずれか1項に記載の撮像装置。
[21]金属微粒子は規則的に配列されている[11]乃至[20]のいずれか1項に記載の撮像装置。
[22]散乱光の光強度検出校正のための遮光機構を備えている[11]乃至[21]のいずれか1項に記載の撮像装置。
[23]遮光機構は、誘電体材料への赤外線の入射を制御するシャッター機構から成る[22]に記載の撮像装置。
[24]赤外線変換素子アレイ部は、赤外線検出領域、及び、散乱光の光強度検出校正のための校正領域を備えている[11]乃至[23]のいずれか1項に記載の撮像装置。
[25]校正領域には、赤外線の入射を妨げる遮光膜が形成されており、
赤外線検出領域と校正領域の境界領域には、遮光部材が配置されている[24]に記載の撮像装置。
[26]各赤外線変換素子の赤外線入射側には、散乱光を金属微粒子層側に反射する反射部材が設けられている[11]乃至[25]のいずれか1項に記載の撮像装置。
[27]各赤外線変換素子の赤外線入射側には、マイクロレンズが設けられている[11]乃至[26]のいずれか1項に記載の撮像装置。
[28]《撮像方法:第1の態様》
(A)基体、及び、基体上に形成された金属微粒子層から構成された赤外線変換素子であって、金属微粒子層は、金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置を用いた撮像方法であって、
赤外線の吸収により誘電体材料の誘電率が変化することに起因して、金属微粒子への参照光の照射によって生じた金属微粒子における局所プラズモン共鳴状態が変化することで散乱光に生じる光強度低下を撮像素子アレイ部で検出する撮像方法。
[29]《撮像方法:第2の態様》
(A)金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る金属微粒子層から構成された赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置を用いた撮像方法であって、
赤外線の吸収により誘電体材料の誘電率が変化することに起因して、金属微粒子への参照光の照射によって生じた金属微粒子における局所プラズモン共鳴状態が変化することで散乱光に生じる光強度低下を撮像素子アレイ部で検出する撮像方法。
[30]《撮像方法:第3の態様》
(A)誘電体材料から成り、第1面から入射した赤外線を吸収する誘電体膜、並びに、
第1面と対向する誘電体膜の第2面に配された複数の金属微粒子、
から構成された赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置を用いた撮像方法であって、
赤外線の吸収により誘電体材料の誘電率が変化することに起因して、金属微粒子への参照光の照射によって生じた金属微粒子における局所プラズモン共鳴状態が変化することで散乱光に生じる光強度低下を撮像素子アレイ部で検出する撮像方法。
[31]《撮像方法:第4の態様》
(A)赤外線の吸収による受光材料の誘電率変化を、局所プラズモン共鳴に基づく散乱光強度変化として検出することで、赤外線を可視光に変換して検出する赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置を用いた撮像方法であって、
赤外線の吸収により受光材料の誘電率が変化することに起因して、受光材料への参照光の照射によって生じた受光材料における局所プラズモン共鳴状態が変化することで散乱光に生じる光強度低下を撮像素子アレイ部で検出する撮像方法。
Claims (23)
- 基体、及び、基体上に形成された金属微粒子層から構成されており、
金属微粒子層は、金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成り、
金属微粒子の誘電率をεm、誘電体材料の誘電率をεdとしたとき、
金属微粒子への参照光の照射においては ε m +2ε d =0 を満足する状態となり、誘電体材料の赤外線の吸収によってε d が変化し、ε m +2ε d =0 を満足しなくなる状態となる赤外線変換素子。 - 金属微粒子、及び、金属微粒子と金属微粒子との間を埋め、入射した赤外線を吸収する誘電体材料から成る金属微粒子層から構成されており、
金属微粒子の誘電率をεm、誘電体材料の誘電率をεdとしたとき、
金属微粒子への参照光の照射においては ε m +2ε d =0 を満足する状態となり、誘電体材料の赤外線の吸収によってε d が変化し、ε m +2ε d =0 を満足しなくなる状態となる赤外線変換素子。 - 誘電体材料から成り、第1面から入射した赤外線を吸収する誘電体膜、並びに、
第1面と対向する誘電体膜の第2面に配された複数の金属微粒子、
から構成されており、
金属微粒子の誘電率をεm、誘電体材料の誘電率をεdとしたとき、
金属微粒子への参照光の照射においては ε m +2ε d =0 を満足する状態となり、誘電体材料の赤外線の吸収によってε d が変化し、ε m +2ε d =0 を満足しなくなる状態となる赤外線変換素子。 - 金属微粒子は、銀、金、アルミニウム及びタングステンから成る群から選択された少なくとも1種類の材料から成る請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
- 誘電体材料は、ポリアミド樹脂、メタクリル系樹脂、窒化ケイ素、酸化珪素、酸窒化ケイ素、液晶分子、色素有機膜、量子ドットを分散させた薄膜材料、赤外線を吸収する材料及びフォトクロミック材料から成る群から選択された1種類の材料から成る請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
- 基体は、赤外線に対して透明である請求項1、又は、請求項1を引用する請求項4若しくは請求項5に記載の赤外線変換素子。
- 基体は、ゲルマニウム、ZnGe、バンドギャップの広い半導体材料、ポリエチレン系樹脂、ガラス材料及びセラミックから成る群から選択された1種類の材料から成る請求項6に記載の赤外線変換素子。
- 基体は、赤外線、及び、波長400nm乃至550nmの光に対して透明である請求項1、又は、請求項1を引用する請求項4若しくは請求項5に記載の赤外線変換素子。
- 基体は、ガラス材料及びセラミックから成る群から選択された1種類の材料から成る請求項8に記載の赤外線変換素子。
- 基体は、波長400nm乃至550nmの光に対して透明である請求項1、又は、請求項1を引用する請求項4若しくは請求項5に記載の赤外線変換素子。
- 基体は、ガラス材料、石英、バンドギャップの広い半導体材料、絶縁体材料及び有機材料から成る群から選択された1種類の材料から成る請求項10に記載の赤外線変換素子。
- 基体の構成材料と誘電体材料の構成材料とは同じである請求項1、又は、請求項1を引用する請求項4若しくは請求項5に記載の赤外線変換素子。
- 基体の厚さは、1×10-7m乃至1×10-6mである請求項1、又は、請求項1を引用する請求項4若しくは請求項5、又は、請求項6乃至請求項12のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
- 金属微粒子に参照光を照射するための光源、及び、光源と金属微粒子層との間に配置され、参照光の波長を選択する波長選択手段を更に備えている請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
- 赤外線入射側にマイクロレンズが備えられている請求項1乃至請求項14のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
- 赤外線入射側に遮光機構が備えられている請求項1乃至請求項15のいずれか1項に記載の赤外線変換素子。
- (A)請求項1乃至請求項16に記載の赤外線変換素子が、2次元マトリクス状に配列されて成る赤外線変換素子アレイ部、
(B)赤外線変換素子アレイ部へ参照光を照射する光源、並びに、
(C)赤外線変換素子アレイ部の赤外線入射側とは反対側に配置された撮像素子アレイ部、
を備えた撮像装置であって、
金属微粒子への参照光の照射においては εm+2εd=0 を満足する状態となり、誘電体材料の赤外線の吸収によってεdが変化し、εm+2εd=0 を満足しなくなる状態となる撮像装置。 - 赤外線変換素子アレイ部は、赤外線検出領域、及び、金属微粒子への参照光の照射によって生じる金属微粒子における局所プラズモン共鳴に基づき生じる散乱光の光強度検出校正のための校正領域を備えている請求項17に記載の撮像装置。
- 可視光に基づき画像を撮像する撮像素子を更に備えている請求項17又は請求項18に記載の撮像装置。
- 赤色撮像素子、緑色撮像素子及び青色撮像素子と、赤外線変換素子とは、ベイヤ配置とされている請求項19に記載の撮像装置。
- 赤色撮像素子、緑色撮像素子及び青色撮像素子の2次元配列中に、間引き状態で、赤外線変換素子が配置されている請求項19に記載の撮像装置。
- 赤色撮像素子、緑色撮像素子及び青色撮像素子の上方に、赤外線変換素子アレイ部が配置されている請求項19に記載の撮像装置。
- 赤外線変換素子アレイ部における赤外線変換素子は、間引き状態とされている請求項22に記載の撮像装置。
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