JP6541735B2

JP6541735B2 - 熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリ及び熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリを使用するハードディスク装置

Info

Publication number: JP6541735B2
Application number: JP2017172802A
Authority: JP
Inventors: 入三難波; 中村　滋男; 滋男中村; 宇野　智昭; 智昭宇野
Original assignee: ウェスタンデジタルテクノロジーズインコーポレーテッド
Priority date: 2016-12-28
Filing date: 2017-09-08
Publication date: 2019-07-10
Anticipated expiration: 2037-09-08
Also published as: CN108257618B; US9966093B1; CN108257618A; JP2018110044A

Description

本開示は、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリに関する。熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリは、ハードディスク装置の面密度を大幅に向上させる技術の１つである、熱アシスト磁気記録を行う熱アシスト磁気記録ヘッド、及びそのヘッドのサスペンションを備える。本開示は、さらに、ヘッド・ジンバル・アセンブリを使用するハードディスク装置に関する。

近年、ハードディスク装置の面密度を大きく向上させるために、熱アシスト磁気記録が開発されている。有望な開発の１つに、ヘッドポジショニング精度を上げるためのヘッド・ジンバル・アセンブリへの第２世代アクチュエータの組み込みがあり、より良い性能、データ完全性、及びドライブ全体の信頼性をもたらす。第１世代アクチュエータと比較して、第２世代アクチュエータは、相応の振動共振周波数をもたらす小さな質量を有し、より高速で正確なヘッドポジショニングを可能にする。提案アプローチの１つは、第２世代アクチュエータをヘッド・ジンバル・アセンブリのサスペンションに接続させることである。

しかし、単に従来のアプローチを使用して既存のヘッド・ジンバル・アセンブリに第２世代アクチュエータを組み込むだけでは、熱アシスト磁気記録ヘッドの性能の悪化につながる。例えば、アクチュエータを適応させるためには、スライダは、磁気ディスクの外面に、より広いランディングゾーンを必要とし、その結果、記録領域が減少する。さらに、既存のアクチュエータの性能は、非熱アシスト磁気記録ヘッドよりも最大６０％重い、熱アシスト磁気記録ヘッドの重量増加によって悪化する。このように、単に従来のアプローチを使用して従来のヘッド・ジンバル・アセンブリに既存のアクチュエータを設定するだけでは、振動の増加と衝撃抵抗の減少を招き、結果として、記録性能が悪化する。

これに加えて、既存のアクチュエータがサスペンションに備え付けられているとしたならば、アクチュエータの動きが、スライダを備え付け可能なサスペンション上の可能領域を制限し、可能領域はディンプルの後端側のサスペンションの領域のみに制限される。このように、アクチュエータの組み込みは、スライダを備え付け可能なサスペンションの可能領域を制限する。サスペンションの全領域のうち小さい比率がスライダ装着に用いられるため、このことは、ひいてはスライダとサスペンション間の接合力を低下させ、ヘッド・ジンバル・アセンブリの動作信頼性を減少させる。

上述の課題に取り組むため、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリが設けられる。前記ヘッド・ジンバル・アセンブリは、光源部、熱アシスト磁気記録ヘッド、サスペンション、アクチュエータ、及びスライダを備える。前記光源部は、発光素子に取り付けられるサブマウントを備える。前記サスペンションは、ロードビーム、及び前記ロードビームに動作可能に接続される屈曲部を備える。前記アクチュエータは、前記屈曲部に変形可能に接続される。前記スライダは、前記サスペンションにより支持され、前記屈曲部及び前記光源部に接続される。前記スライダは、前記熱アシスト磁気記録ヘッドを含む。前記サブマウント及び前記発光素子は、それぞれ、前記アセンブリの長手方向に沿って形成される第１及び第２長手辺を有し、前記発光素子の前記第１長手辺は、前記サブマウントの前記第２長手辺に取り付けられる。前記サブマウントの前記第１長手辺、及び前記発光素子の前記第２長手辺は、前記光源部の両側の辺である。前記サブマウントの前記第１長手辺に取り付けられる、第１はんだ又は導電接着剤は、前記サブマウントを前記光源部に電力を供給する配線に電気的及び機械的に接続させるように構成されている。前記発光素子の前記第２長手辺に取り付けられる、第２はんだ又は導電接着剤は、前記発光素子を前記配線に電気的及び機械的に接続させるように構成されている。

当該「発明の概要」は、以下の「発明を実施するための形態」でさらに説明される簡略形式における概念の選択を伝えるために提供される。当該「発明の概要」は、請求項に記載される内容の重要な特徴又は本質的特徴を確認することを意図しておらず、又、請求項に記載される内容の適用範囲を制限するために使用されることを意図していない。さらに、請求項に記載される内容は、本開示の任意の部分に記されるいずれかの又は全ての不利益を解決する実装例に制限されない。
本開示は例示の目的で説明されるのであり、添付図面の図における制限を目的としていない。図における同一の参照符号は同一の要素を示す。

本開示の一実施形態に係る、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリを備える磁気ディスク装置の一例を示す。本開示の第１実施形態に係る、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリを拡大して示した斜視図を示す。本開示の第１実施形態に係る、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリの上面図を示す。本開示の第１実施形態に係る、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリの断面図を示す。従来の熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリの従来の光源部を拡大して示した斜視図を示す。本開示の第２実施形態に係る、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリを描いた断面図を示す。本開示の第３実施形態に係る、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリの光源部の斜視図を示す。なお、本願の図においては、同一の参照符号は同一または対応する部位を示す。

本開示の選択された実施形態は、添付図面を参照して説明される。本開示の実施形態の以下の説明は、説明のためのみに提供され、添付の請求項及びそれの均等物で定義される本発明を限定する目的ではないことは、本開示の当業者にとっては明らかである。

本開示は、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリに向けたものであり、その実施形態は、図２から示され、ディスク装置などの磁気記録システムに関しては、図１に示される。

初めに図１を見ると、この図は、本開示の実施形態に係る、ハードディスク装置（ＨＤＤ）１の一例の上面図を示しており、ＨＤＤ１内に本開示の熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリ１０が組み込まれ得る。ＨＤＤ１は、関連付けられているホストコンピューターシステム８に接続され、処理中、コンピューターシステム８により使用される情報を記憶するために使用される。図に示すように、ＨＤＤ１は、１以上の垂直磁気記録媒体９、キャリッジアーム５、及び垂直磁気記録媒体９の各々に関連付けられているサスペンション４０を含んでもよい。垂直磁気記録媒体９は、１つより多く設けられる場合、垂直に積み重ねられて配置されてもよい。さらに、１以上の垂直磁気記録媒体９は、回転方向Ｒで回転するように構成されてもよい。

垂直磁気記録媒体９は、ディスクの上面と下面の両方にデータのトラックを含んでもよい。スライダ２０における熱アシスト磁気記録ヘッドは、トラックに位置付けられてもよい。各ディスクが回転するにつれ、データは、記録ヘッドの対応する書込みヘッド及び読出しヘッドを介して、データトラックに書き込まれ、及び／又はデータトラックから読み出され得る。スライダ２０は、サスペンション４０により支持され、サスペンション４０は、キャリッジアーム５により支持される。キャリッジアーム５は、特定のデータトラックに磁気ヘッドを配置するため、回転型アクチュエータ７のピボット６の周囲を回転するように構成されてもよい。キャリッジアーム５が、代わりにピボット６の周囲を回転する以外の方法で移動するように構成されていてもよいことは、理解されるべきである。

サスペンション４０は、静止状態において、垂直磁気記録媒体９の表面へ向けてスライダ２０が折れ曲がるようにスライダ２０を付勢する。垂直磁気記録媒体９が回転するとき、空気は、スライダ２０の媒体対向面（ＭＦＳ）に隣接する回転ディスクにより旋回され、それにより、スライダ２０は回転媒体９の表面からのわずかな距離を与える空気に乗せられる。このため、ＭＦＳは、空気軸受面（ＡＢＳ）とも呼ばれる。スライダ２０が空気軸受に乗せられると、読出し及び書込みヘッドは、ホストコンピューターシステム８のホストデータに対応する磁化遷移を読み出し、書き込むために用いられえる。読出し及び書込みヘッドは、ＨＤＤ１内に一体化され、又はＨＤＤ１に接続された、プロセッサ又は他の論理回路に実装されるコンピュータプログラムに従って作動する信号処理回路に接続され、それにより、読出し及び書込み機能を実行する。光源部３０は、スライダ２０の上面に取り付けられる。光源部３０は、代わりに、サスペンション４０に提供され、光学チャネルによりスライダ２０に接続されてもよい。図において、Ｘ方向は、スライダの空気軸受面（ＡＢＳ）に垂直な高さ方向を示し、Ｙ方向は、トラック幅又はトラック交差方向を示し、Ｚ方向は、トラックに沿った方向、ダウントラック方向、又はヘッド・ジンバル・アセンブリ１０の長手方向を示す。

静止位置において、リフトタブ４６は、非作動状態のランプ５２内の溝で静止し、記録ヘッドが磁気記録媒体９に接触しないようにする。ディスク装置が作動する間、回転型アクチュエータ７は、磁気記録ヘッドの大まかなポジショニングを行い、リフトタブ４６をそのランプ５２における静止位置から磁気記録媒体９上の位置まで移動させる。リフトタブ４６とランプ５２間の適正なアライメントは、回転型アクチュエータ７がリフトタブ４６をランプ５２の静止位置と磁気記録媒体９上の記録位置間を往復動させる際に、構造上の損傷からヘッド・ジンバル・アセンブリ１０及び磁気記録媒体９を保護する。

図２を見ると、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリの斜視図が本開示の第１実施形態に従って示されている。この図において、スライダの描写は図示の目的のため省略されている。熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリ１０は、発光素子３２に取り付けられるサブマウント３１を有する光源部３０を備える。サスペンション４０は、ロードビーム４２、及びロードビーム４２に動作可能に接続される屈曲部４１を備える。スライダ（不図示）は、サスペンション４０により支持され、屈曲部４１及び光源部３０に接続される。ロードビーム４２は、少なくともエッジフランジ４３を備え、エッジフランジ４３は、ロードビーム４２から上方に折れ曲がっている。エッジフランジ４３は、ロードビーム４２の側面を折り曲げることにより形成される。発光素子３２は、エッジフランジ４３から突き出ている。

配線４５は、屈曲部４１の一体的な部分として屈曲部４１内に埋め込まれ、サブマウント３１及び発光素子３２を含む光源部３０に電源を電気的に接続させ、これにより、屈曲部４１が配線４５を備えることになる。しかし、他の実施形態において、配線４５は、代わりにスライダ内に一体的に形成され、これにより、スライダが配線４５を備えるようにしてもよいことは理解されるであろう。

アクチュエータ５０は、サスペンション４０の屈曲部４１に変形可能に接続される。しかし、他の実施形態において、アクチュエータ５０は、代わりに、サスペンション４０のロードビーム４２に変形可能に接続されてもよい。アクチュエータ５０は、はんだ又は導電接着剤により屈曲部４１又はロードビーム４２に直接固定されてもよいし、１つ又は複数のマウント又は取付部を介してロードビーム４２又は屈曲部４１に間接的に固定されてもよい。キャリッジアーム５がピボット６の周囲を回転する際、磁気ヘッドが磁気記録媒体９における任意の半径位置にアクセスできるように、マウント又は取付部は、キャリッジアーム５に固定されてもよい。アクチュエータ５０は、剛性及び製造コストの観点からすれば利点がある、ＰＺＴのような、小さな多層圧電素子を備えてもよい。ＰＺＴは、１つの圧電素子が他方の圧電素子が収縮するにつれて拡大するように、ペアで構成されていてもよい。磁気記録ヘッド６０の細かいポジショニングは、アクチュエータ５０を駆動することにより行われる。静止位置にあるランプの溝に止められるリフトタブ４６は、ロードビーム４２の中心線にほぼ垂直でピボット６を指す、ヘッド・ジンバル・アセンブリ１０の長手方向（Ｚ方向）におけるロードビーム４２の先端に設けられる。

図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリ１０の２つの図は、本開示の第１実施形態に従って示されている。図３Ａは、ジンバル・アセンブリ１０の上面図を示す一方、図３Ｂは、ジンバル・アセンブリ１０の側面図を示す。スライダ２０は、屈曲部４１に接続されるスライダ２０の基板に形成される、熱アシスト磁気記録ヘッド６０を含む。熱アシスト磁気記録ヘッド６０は、従来の書込み磁極、書込みコイル、導波管、近接場変換器、及び読取り要素（不図示）を備える。スライダ２０は、回転媒体９の表面からわずかな距離を与える空気に乗せられ、その空気は、スライダ２０の空気軸受面（ＡＢＳ）に隣接する回転媒体９により旋回される。

ディンプル４４は、荷重作用点として設けられ、ロードビーム４２に形成される。荷重作用点では、ロードビーム４２により押しつけられる任意の荷重がスライダ２０に作用する。ディンプル４４は、ピボットとして作用して、屈曲部４１の表面における一点と接触することにより、復元力をスライダ２０の動きに作用させることができる。アクチュエータ５０との併用で、ディンプル４４は、磁気記録ヘッド６０の細かいポジショニングを可能とすることで役立つ。

屈曲ウィンドウ４１１が屈曲部４１における穴又は開口部として画定される一方、ロードビームウィンドウ４２１は、ロードビーム４２における穴又は開口部として画定される。製造に際しては、光源部３０がまずスライダ２０に取り付けられ、続いて、スライダ２０に取り付けられた光源部３０は、スライダ２０が屈曲部４１と接触するまで、屈曲ウィンドウ４１１及びロードビームウィンドウ４２１に通される。このように、屈曲ウィンドウ４１１及びロードビームウィンドウ４２１は、光源部３０がサスペンション４０と干渉せずに屈曲ウィンドウ４１１及びロードビームウィンドウ４２１を貫通可能な形状に構成されている。これらのウィンドウは、図３Ａに示された台形状に制限されなくてもよく、例えば、光源部３０の設置面積に近似する切り込み又は長方形であり得ることは理解されるであろう。概して、屈曲ウィンドウ４１１及びロードビームウィンドウ４２１のサイズが小さくなるほど、リフトタブ４６の構造強度の増加が伴うことになる。一方、ウィンドウのサイズが大きくなるほど、リフトタブ４６は弱くなり、より折れ曲がり、変形しやすくなる。この結果、リフトタブ４６とランプ５２間にずれ、ひいては磁気記録ヘッド６０及び磁気記録媒体９への損傷につながる。

サブマウント３１は、スライダ２０の屈曲接合面２０ａに接合される。サブマウント３１が第１長手辺３１ａ及び第２長手辺３１ｂを有する一方、及び、発光素子３２は、同様に、第１長手辺３２ａ及び第２長手辺３２ｂを有し、サブマウント３１の第１長手辺３１ａ及び発光素子３２の第２長手辺３２ｂが光源部３０の両側の辺となっている。長手辺は、ヘッド・ジンバル・アセンブリ１０の長手方向（Ｚ方向）に沿って形成されている。導電性を高めるため、第１長手辺３１ａ、第２長手辺３１ｂ、及び／又はサブマウント３１の上面は、後述するような、金属膜で覆われてもよい。サブマウント３１は、例えば、窒化アルミニウム又は結晶性シリコン物質等の、導電体を備えてもよい。

サブマウント３１の第１長手辺３１ａに取り付けられる、第１はんだ又は導電接着剤７０は、サブマウント３１をサスペンション４０の屈曲部４１の配線４５に電気的及び機械的に接続させるように構成されている。同様に、発光素子３２の第２長手辺３２ｂに取り付けられる、第２はんだ又は導電接着剤７２は、発光素子３２をサスペンション４０の屈曲部４１の配線４５に電気的及び機械的に接続させるように構成されている。言い換えると、第１及び第２はんだ又は導電接着剤７０及び７２は、光源部３０の両側の長手辺に位置付けられている。はんだ又は導電接着剤は、例えば、金、白金、その他の電気的導電性金属を含む、電気的導電接続及び配線を備えてもよい。他の実施形態において、第１はんだ又は導電接着剤７０、及び第２はんだ又は導電接着剤７２は、代わりに、屈曲部４１の代わりにスライダ２０の配線に電気的及び機械的に接続されてもよいことは理解されるであろう。なお、はんだ及び導電接着剤は本開示では交換可能に説明されているが、はんだがヘッド・ジンバル・アセンブリ１０の最近の実施形態において、より実用化されている。とはいえ、これらのはんだは、これらの実施形態においても同様に導電接着剤に置き換え可能であることが理解されるであろう。

一方、従来のヘッド・ジンバル・アセンブリにおいては、第１及び第２導電接着剤（又は、第１及び第２はんだ）は、図４に示されるように、光源部の同一の長手辺に位置付けられている。図４は、従来の発光素子３３２及び従来のサブマウント３３１を備える、従来の光源部３３０の拡大図を示す。この従来の実施形態においては、第１はんだ又は導電接着剤３７０、及び第２はんだ又は導電接着剤３７２は、光源部３３０の同一の長手辺に位置付けられている。第１実施形態の光源部３０の矩形状と異なり、従来の光源部３３０が斜視図において「Ｌ」字を形成するように、サブマウント３３１の長手寸法は、第１実施形態のサブマウント３１の長手寸法の２倍となっていることが理解されるであろう。従来の技術においては、導電接着剤又ははんだをポジショニングし直すと、製造コストが増加すると考えられていた。製造方法において導電接着剤をヘッド・ジンバル・アセンブリに追加するさらに別の方向が必要となり、例えば、アセンブリを反転させることにより様々な方位に基板を再配置する余分な製造工程を要するためである。また、スライダにおけるサブマウントの設置面積を減少させる何らかの変更は、光源部とスライダ間の接合力の減少につながり、それにより光源部の操作が不安定になり、ひいては衝撃抵抗及び記録性能が低下すると、広く考えられていた。また、サブマウントの長手寸法を減少させると、放熱量が減少し、その結果光源部が過熱すると、広く考えられていた。

これらの課題及び従来の想定にも拘わらず、本発明者は、従来のヘッド・ジンバル・アセンブリと比較して、本発明のいくつかの潜在的利点を発見した。サブマウントの長手寸法は先行技術に比べておよそ半分にできるため、屈曲ウィンドウ４１１及びロードビームウィンドウ４２１は、結果的に、従来のヘッド・ジンバル・アセンブリのそれよりも小さく構成できる。実験中、本発明者は、屈曲ウィンドウ４１１の長手寸法は３３％程度縮小でき、ロードビームウィンドウ４２１の長手寸法は２５％程度縮小できることを発見した。上述されているように、屈曲ウィンドウ４１１及びロードビームウィンドウ４２１を縮小させることは、一般に、リフトタブ４６の構造強度を向上させ、その結果、ディスク装置操作中の何らかの不必要な曲げ及び変形のリスクを減少させ、その後の、リフトタブ４６を静止位置のランプ５２に止める際のランプ５２とリフトタブ４６間の何らかのずれを回避する。これにより、磁気記録媒体９及び／又はヘッド・ジンバル・アセンブリ１０への構造上の損傷を防ぐことができる。さらに、より小さい屈曲ウィンドウ４１１は、屈曲部４１においてより広いスライダ付着面積も確保できる。これにより、スライダとサスペンション間の接合力を増加させることができ、記録操作の信頼性を向上させる。

さらに、光源部における２つのはんだ又は接着剤の均衡のとれた空間構成は、サブマウントが光源部及びはんだ又は導電接着剤の組合せの重心近くに再配置されることを可能にし、その結果、機械的不均衡が減少する。これにより、外的ショックが働いた場合でも、スライダの機械的安定性を確保する潜在的利点を実現することができる。

これに加えて、スライダとサスペンション間の接合力を低下させない、より小さいサブマウントは、光源部の重量を減少させ、それによりヘッド・ジンバル・アセンブリがアクチュエータに接続された際の衝撃を軽減して耐振性を高め、さらに記録性能を向上させる。より小さく軽い光源部は、従来のスライダより３２％程度長手方向に短いスライダも可能にし、磁気ディスクの外面におけるより広いランディングゾーンを不要にし、その結果、記録領域の減少を防ぐ。本発明者はまた、予想していなかったことであるが、サブマウントを縮小させることでは放熱量が低下しないことを発見し、熱はそれでも容易に光源から、スライダの空気軸受表面を離れて、熱を吸収しやすい磁気記録媒体へと散逸することを見出した。

図５を見ると、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリの光源部１３０の断面図は、本開示の第２実施形態に従って示されている。第２実施形態のヘッド・ジンバル・アセンブリ１１０は、一般に、サブマウント１３１に構成されている少なくとも１つの貫通穴、及びサブマウント１３１の少なくとも長手辺に被せられる金属膜を除いて、第１実施形態のヘッド・ジンバル・アセンブリに類似しており、その詳細な記述は簡潔さのため省略される。なお、詳細な説明及び添付図面を通して、同一の部分は同一の参照符号により示される。本実施形態においては、光源部１３０の両側の長手辺における第１はんだ又は導電接着剤１７０、及び第２はんだ又は導電接着剤１７２の構成において、シリコン貫通ビアのような、高性能の電気的接続が、不純物原子がドープされたシリコンを含む可能性がある結晶性シリコン物質を備えるサブマウント１３１にさらに適用されてもよい。導電性を高めるために、第１金属膜１３６ａがサブマウント１３１と第１はんだ又は導電接着剤１７０間に介在するように、第１金属膜１３６ａは、サブマウント１３１の第１長手辺１３１ａに設けられてもよい。さらに、第２金属膜１３６ｂがサブマウント１３１と発光素子１３２間に介在するように、第２金属膜１３６ｂは、サブマウント１３１の第２長手辺１３１ｂに設けられてもよい。発光素子１３２と第２はんだ又は導電接着剤１７２間に介在する金属膜のような、他の金属膜も設けられてもよいことは、理解されるであろう。サブマウント１３１の第１長手辺１３１ａにおける第１金属膜１３６ａとサブマウント１３１の第２長手辺１３１ｂにおける第２金属膜１３６ｂとを電気的に接続するために、少なくとも１つの貫通穴１３４が、機械的又は化学的にエッチングされてもよい。サブマウント１３１内の貫通穴１３４の内側面も、導電性を向上させるために金属膜でコーティングされてもよいことは、理解されるであろう。貫通穴１３４がスライダ１２０の空気軸受面と平行にサブマウント１３１を貫通するように描かれているが、貫通穴１３４は、代わりにスライダ１２０の空気軸受面に対して斜めに構成されていてもよいことは、理解されるであろう。金属膜は、金、白金その他のシリコン貫通ビアに適した電気的導電体を備えてもよい。

図６を見ると、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリの光源部２３０の斜視図は、本開示の第３実施形態に従って示されている。この図において、光源部２３０は、図示の目的で分離して示されている。第３実施形態のヘッド・ジンバル・アセンブリ２１０は、一般に、サブマウント２３１において一体的に形成される光検出器２３１ｃの存在を除いて、第１実施形態のヘッド・ジンバル・アセンブリに類似するため、その詳細な説明は簡潔さのために省略される。第３実施形態においては、光検出器２３１ｃは、サブマウント２３１の空気軸受面側において、サブマウント２３１と一体に形成され、その結果、磁気ヘッドにおける光検出器２３１ｃ用の追加スペースは不要となり、磁気ヘッドの質量の増加を最小化する。電極２８０及び２８２も、電源を光検出器２３１ｃに供給するために、サブマウント２３１の空気軸受面側に設けられてもよい。光検出器２３１ｃは、スライダと一体に形成される導波路を経由して発光素子２３２から光学エネルギを受信するように構成され、発光素子２３２からスライダを通して光検出器２３１ｃに光学エネルギを誘導するように構成されている半導体フォトダイオードであってもよい。従って、単一装置は、アセンブリを加熱する熱アシスト磁気記録ヘッドのフォトニック集積回路を通して光パワーのフィードバックをモニタリングするために設けられるだけでなく、発光素子に対する機械的サポートを動作させるために設けられる。

上述したような本開示によれば、熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリの実施形態は、記録領域の減少を最小化するだけでなく、リフトタブとランプ間のずれを回避するためにリフトタブを強化する一方、アクチュエータが熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリに組み込まれる場合に機械的バランスを改善し、発光ユニットの重量及び寸法を減少させるために設けられる。結果として、振動は減少し、衝撃抵抗は増加し、記録性能及び信頼性は、ヘッド・ジンバル・アセンブリにおける磁気記録ヘッドにおいて向上する。

本明細書中で説明された構成及び／又はアプローチは、本来、例示であり、これら特定の実施形態又は例は、多数の変化が可能であるため、限られた意味でみなされるべきではないことは、理解されるべきである。本開示の内容には、本明細書中で開示された様々な処理、システム及び構成、及び他の特徴、機能、動作、及び／又は特性、及びそれらの一部及び全ての同等なものの、全ての新規で、自明でない組合せ及び部分的組合せが含まれる。

Claims

熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
発光素子に取り付けられるサブマウントを備える光源部と、
ロードビーム及び前記ロードビームに動作可能に接続される屈曲部を備えるサスペンションと、
前記屈曲部に変形可能に接続されるアクチュエータと、
前記サスペンションにより支持され、前記屈曲部及び前記光源部に接続され、熱アシスト磁気記録ヘッドを含むスライダと、
を備え、
前記サブマウント及び前記発光素子は、それぞれ、前記ヘッド・ジンバル・アセンブリの長手方向に沿って形成された第１及び第２長手辺を有し、前記発光素子の前記第１長手辺が前記サブマウントの前記第２長手辺に取り付けられ、
前記サブマウントの前記第１長手辺及び前記発光素子の前記第２長手辺は、前記光源部の両側の辺であり、
前記サブマウントの前記第１長手辺に取り付けられる第１はんだ又は導電接着剤は、前記サブマウントを前記光源部に電力を供給する配線に電気的及び機械的に接続させるように構成され、
前記発光素子の前記第２長手辺に取り付けられる第２はんだ又は導電接着剤は、前記発光素子を前記配線に電気的及び機械的に接続させるように構成され、
導電性金属でコーティングされた少なくとも１つの貫通穴が、前記サブマウントの前記第１長手辺を覆う第１金属膜を、前記サブマウントの前記第２長手辺を覆う第２金属膜に電気的に接続し、これにより前記第１はんだ又は導電接着剤を前記発光素子に電気的に接続する、ヘッド・ジンバル・アセンブリ。
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
前記屈曲部は、前記配線を備えるヘッド・ジンバル・アセンブリ。
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
前記スライダは、前記配線を備えるヘッド・ジンバル・アセンブリ。
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
前記サブマウントは、さらに前記サブマウントと一体に形成された光検出器を備えるヘッド・ジンバル・アセンブリ。
請求項４に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
前記光検出器は、半導体フォトダイオードであるヘッド・ジンバル・アセンブリ。
請求項１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
前記サブマウントは、結晶性シリコン物質を備えるヘッド・ジンバル・アセンブリ。
請求項６に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
前記サブマウントは、不純物原子がドープされたシリコンを備えるヘッド・ジンバル・アセンブリ。
ハードディスク装置であって、
スピンドルに回転可能に取り付けられた記録ディスク媒体と、
発光素子に取り付けられるサブマウントを備える光源部と、ロードビーム及び前記ロードビームに動作可能に接続される屈曲部を備えるサスペンションと、前記屈曲部に変形可能に接続されるアクチュエータと、前記サスペンションにより支持され且つ前記屈曲部及び前記光源部に接続され、前記記録ディスク媒体に対し書き込み又は読み出しを行うよう構成された熱アシスト磁気記録ヘッドを含むスライダと、を備える熱アシスト磁気記録ヘッド・ジンバル・アセンブリと、
前記スライダを移動させて前記記録ディスク媒体の一部にアクセスするよう構成された回転型アクチュエータと
を備え、
前記サブマウント及び前記発光素子は、それぞれ、前記ヘッド・ジンバル・アセンブリの長手方向に沿って形成された第１及び第２長手辺を有し、前記発光素子の前記第１長手辺が前記サブマウントの前記第２長手辺に取り付けられ、
前記サブマウントの前記第１長手辺及び前記発光素子の前記第２長手辺は、前記光源部の両側の辺であり、
前記サブマウントの前記第１長手辺に取り付けられる第１はんだ又は導電接着剤は、前記サブマウントを前記光源部に電力を供給する配線に電気的及び機械的に接続させるように構成され、
前記発光素子の前記第２長手辺に取り付けられる第２はんだ又は導電接着剤は、前記発光素子を前記配線に電気的及び機械的に接続させるように構成され、
導電性金属でコーティングされた少なくとも１つの貫通穴が、前記サブマウントの前記第１長手辺を覆う第１金属膜を、前記サブマウントの前記第２長手辺を覆う第２金属膜に電気的に接続し、これにより前記第１はんだ又は導電接着剤を前記発光素子に電気的に接続する、ハードディスク装置。
前記屈曲部は、前記配線を有する、請求項８に記載のハードディスク装置。
前記スライダは、前記配線を有する、請求項８に記載のハードディスク装置。
前記サブマウントは、さらに前記サブマウントと一体に形成された光検出器を備える、請求項８に記載のハードディスク装置。
前記光検出器は、半導体フォトダイオードである、請求項１１に記載のハードディスク装置。
前記サブマウントは、結晶シリコン物質を備える、請求項８に記載のハードディスク装置。
前記サブマウントは、不純物原子がドープされたシリコンを備える請求項１３に記載のハードディスク装置。