JP6540715B2 - 多孔質構造体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
前記第1主面を含み、前記第1主面の法線方向に貫通する複数の第1空隙部を有する膜状の第1層と、
前記第2主面を含み、前記第2主面の法線方向に貫通する複数の第2空隙部を有する膜状の第2層とを備え、
前記第1層と前記第2層とは、直接的または間接的に結合しており、
前記第1主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第1空隙部の各々は前記複数の第2空隙部のうちの2つ以上と重なっており、
前記第2主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第2空隙部の各々は前記複数の第1空隙部のうちの2つ以上と重なっており、
前記複数の第1空隙部と前記複数の第2空隙部とが重なっている部分において、前記第1主面および前記第2主面を貫通する貫通孔を有している、多孔質構造体に関する。
前記第1主面側に、主面の法線方向に貫通する複数の第1空隙部を有する膜状の第1層を形成する第1層形成工程と、
前記第1層の前記第2主面側に、主面の法線方向に貫通する複数の第2空隙部を有する膜状の第2層を形成し、前記第1層と前記第2層とを直接的または間接的に結合させることで、前記多孔質構造体を得る、第2層形成工程とを含み、
前記第2層形成工程において、
前記第1主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第1空隙部の各々は前記複数の第2空隙部のうちの2つ以上と重なり、
前記第2主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第2空隙部の各々は前記複数の第1空隙部のうちの2つ以上と重なり、
前記複数の第1空隙部と前記複数の第2空隙部とが重なっている部分において、前記第1主面および前記第2主面を貫通する貫通孔が形成されるように、前記第2層を形成する、多孔質構造体の製造方法に関する。
前記第1主面を含み、前記第1主面の法線方向に貫通する少なくとも1つの第1空隙部を有する膜状の第1層と、
前記第2主面を含み、前記第2主面の法線方向に貫通する少なくとも1つの第2空隙部を有する膜状の第2層とを備え、
前記第1層と前記第2層とは離間しており、前記第1層と前記第2層とは、連結部を介して間接的に結合しており、
前記第1主面の法線方向から見た平面視において、前記少なくとも1つの第1空隙部の全てが前記少なくとも1つの第2空隙部と重なっておらず、
前記第1主面および前記第2主面を貫通する貫通孔を有している、多孔質構造体。
(多孔質構造体)
図1を参照して、本実施形態の多孔質構造体は、互いに対向する第1主面11aおよび第2主面12aを有する膜状の多孔質構造体であって、膜状の第1層11と、膜状の第2層12とを備える。
図2を参照して、本実施形態の多孔質構造体を構成する第1層11および第2層12は、互いに対向する一対の主面を有し、両主面を貫通する複数の空隙部を有している。例えば、複数の該空隙部は、第1層11(第2層12)の第1主面11a(第2主面12a)上の少なくとも一方向に周期的に配置されている。ただし、空隙部は、その全てが周期的に配置されていてもよく、本発明の効果を損なわない範囲で、一部の空隙部が周期的に配置され、他の空隙部が非周期的に配置されていてもよい。
本実施形態の多孔質構造体は、流体(検体)中に含まれる目的物を捕集するためのフィルタ(篩い)として用いることができる。
また、目的物を捕集した多孔質構造体(フィルタ)に電磁波を照射し、多孔質構造体の電磁波特性を用いて目的物の量または特性を測定するための測定デバイスとして用いることができる。
本実施形態の多孔質構造体の製造方法は、基本的に、
多孔質構造体の一方の主面である第1主面11a側に、第1層11を形成する第1層形成工程と、
多孔質構造体の他方の主面である第2主面12a側に、第2層12を形成すると同時に、第1層11と第2層12とを直接的に結合させることで、多孔質構造体を得る、第2層形成工程とを含む。
(第1層形成工程)
本工程では、第1金属膜31上に堆積法により第1層11を所定のパターニングで形成する。
本工程では、第1層11上に堆積法により第2層12を所定のパターニングで形成し、多孔質構造体を得る。
上記の工程によって、図12(k)に示されるように、第1層11および第2層12(第2金属膜32の残部を含む)から構成される多孔質構造体を得ることができる。
図8を参照して、本実施形態の多孔質構造体は、第1層11と第2層12とが離間しており、第1層11と第2層12とが連結部13を介して間接的に結合している点で、実施形態1とは異なる。
図11を参照して、本実施形態の多孔質構造体は、第1層11の複数の第1空隙部101の少なくとも1つの内部において、第2層12の表面から第1層11側に突出する突起14を有する点で、実施形態2とは異なる。
図15、図30および図31を参照して、本実施形態の多孔質構造体について説明する。なお、図15は、図30において点線で囲まれた領域Rに相当する部分のみに相当する拡大図である。
本実施形態の多孔質構造体の製造方法として、堆積法により、第1層11を形成した後に、第1層11上に連結部13および第2層12を一体的に形成する方法の一例について、主に図16および図17を参照して説明する。なお、図16は、図21および図23に示すA−A’断面に相当する模式図である。図17の左列の図は、図21および図23に示すA−A’断面に相当する模式図であり、右列の図は、図24に示すB−B’断面に相当する模式図である。
さらに、本実施形態の別の多孔質構造体の製造方法として、堆積法により、第1層11を形成した後に、第1層11上に連結部13および第2層12を一体的に形成する方法の別の例について、主に図32〜図40を参照して説明する。
Claims (4)
- 互いに対向する第1主面および第2主面を有する膜状の多孔質構造体であって、
前記第1主面を含み、前記第1主面の法線方向に貫通する複数の第1空隙部を有する膜状の第1層と、
前記第2主面を含み、前記第2主面の法線方向に貫通する複数の第2空隙部を有する膜状の第2層とを備え、
前記第1層と前記第2層とは離間しており、前記第1層と前記第2層とが連結部を介して間接的に結合しており、
前記第1主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第1空隙部の各々は前記複数の第2空隙部のうちの2つ以上と重なっており、
前記第2主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第2空隙部の各々は前記複数の第1空隙部のうちの2つ以上と重なっており、
前記複数の第1空隙部と前記複数の第2空隙部とが重なっている部分において、前記第1主面および前記第2主面を貫通する貫通孔を有しており、前記貫通孔は、前記第1層の前記複数の第1空隙部を設けた以外の部分と前記第2層の前記複数の第2空隙部を設けた以外の部分とによって画定されており、
さらに前記多孔質構造体の主面に平行な方向に連通した連通孔を有しており、
前記第1主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第1空隙部は2つの配列方向に等しい間隔で設けられており、
前記第2主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第2空隙部は2つの配列方向に等しい間隔で設けられている、多孔質構造体。 - 前記第1層の前記複数の第1空隙部の少なくとも1つの内部において、前記第2層の表面から前記第1層側に突出する突起を有する、請求項1に記載の多孔質構造体。
- 互いに対向する第1主面および第2主面を有する膜状の多孔質構造体の製造方法であって、
前記第1主面側に、主面の法線方向に貫通する複数の第1空隙部を有する膜状の第1層を形成する第1層形成工程と、
前記第1層の前記第2主面側に、主面の法線方向に貫通する複数の第2空隙部を有する膜状の第2層を形成し、離間した前記第1層と前記第2層とを連結部を介して間接的に結合させることで、前記多孔質構造体を得る、第2層形成工程とを含み、
前記第2層形成工程において、
前記第1主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第1空隙部の各々は前記複数の第2空隙部のうちの2つ以上と重なり、
前記第2主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第2空隙部の各々は前記複数の第1空隙部のうちの2つ以上と重なり、
前記複数の第1空隙部と前記複数の第2空隙部とが重なっている部分において、前記第1主面および前記第2主面を貫通する貫通孔が形成され、前記貫通孔は、前記第1層の前記複数の第1空隙部を設けた以外の部分と前記第2層の前記複数の第2空隙部を設けた以外の部分とによって画定され、さらに前記多孔質構造体の主面に平行な方向に連通した連通孔が形成され、さらに前記第1主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第1空隙部は2つの配列方向に等しい間隔で設けられ、かつ、前記第2主面の法線方向から見た平面視において、前記複数の第2空隙部は2つの配列方向に等しい間隔で設けられるように、前記第2層を形成する、多孔質構造体の製造方法。 - 請求項1または2に記載の多孔質構造体を用いた細胞の濾過方法。
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