JP6535876B2

JP6535876B2 - Screen printing machine

Info

Publication number: JP6535876B2
Application number: JP2015075781A
Authority: JP
Inventors: 萬谷　正幸; 正幸萬谷; 坂上　隆昭; 隆昭坂上; 祐介末安
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2015-04-02
Filing date: 2015-04-02
Publication date: 2019-07-03
Anticipated expiration: 2035-04-02
Also published as: JP2016196101A

Description

本発明は、スクリーンマスクを介して基板にクリーム半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機に関するものである。 The present invention relates to a screen printing machine for printing a paste such as cream solder on a substrate through a screen mask.

電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペースト等のペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられた可撓性のスクリーンマスクを基板の下面に当接させ、スクリーンマスク上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。 In the electronic component mounting process, screen printing is used as a method of printing a paste such as cream solder or conductive paste on a substrate. In this method, a flexible screen mask provided with pattern holes corresponding to the printing target portion is brought into contact with the lower surface of the substrate, and paste is supplied onto the screen mask to slide the squeegee. The paste is printed on the substrate through the

印刷作業時においては、スクリーンマスクの下面側に印刷部位からはみ出したペーストが付着し、又は基板上に完全に転写されなかったペーストがパターン孔に残留するなどの汚損が発生する。このようなペーストによる汚損は後続の基板への正常な印刷を妨げるため、印刷作業時における所定のタイミングでこれらのペーストを除去するためのクリーニングを行う必要がある。そこで従来、１個のへら状体（へら状の部材）をスクリーンマスクの下面に摺動させて掻き取り、掻き取ったペーストを吸引口を介して吸引するクリーニング装置が提案されている（例えば特許文献１を参照）。 At the time of the printing operation, the paste sticking out of the printing area adheres to the lower surface side of the screen mask, or the contamination such as the paste not completely transferred onto the substrate remains in the pattern hole occurs. Since contamination with such a paste interferes with the normal printing on a subsequent substrate, it is necessary to perform cleaning for removing these pastes at a predetermined timing in the printing operation. Therefore, conventionally, a cleaning device has been proposed in which one spatula (a spatula-like member) is slid on the lower surface of the screen mask and scraped, and the scraped paste is suctioned through a suction port (for example, a patent) Reference 1).

特開平６−１５５７２３号公報JP-A-6-155723

しかしながら、上記従来技術では、へら状体を摺動させながらスクリーンマスクの下面に付着したペーストを掻き取るクリーニング動作を反復して継続する過程で、吸引しきれなかった掻き取り後のペーストがへら状体の先端部に徐々に蓄積する事態が生じていた。そして、へら状体に蓄積するペーストの量が多くなると、へら状体が撓んでスクリーンマスクとの間に隙間が生じ、スクリーンマスクの下面に付着するペーストを十分に掻き取ることができなくなり、ひいては掻き取ったペーストがスクリーンマスクに再度付着してしまうといった問題が生じていた。このように、従来技術では、クリーニング動作を反復して継続するにつれて、スクリーンマスクの下面に付着したペーストを掻き取る力が低下するという課題があった。 However, in the above-mentioned prior art, in the process of repeating and continuing the cleaning operation of scraping off the paste adhering to the lower surface of the screen mask while sliding the spatula, the paste after scraping which could not be suctioned is scraped. There was a gradual accumulation at the tip of the body. When the amount of paste accumulated in the spatula increases, the spatula bends to form a gap between the screen mask and the paste, and the paste adhering to the lower surface of the screen mask can not be sufficiently scraped off. There is a problem that the scraped paste adheres to the screen mask again. As described above, in the prior art, as the cleaning operation is repeated and continued, there is a problem that the force for scraping off the paste attached to the lower surface of the screen mask is reduced.

そこで本発明は、クリーニング動作を反復して継続してもスクリーンマスクの下面に付着したペーストをより確実に掻き取ることができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the screen printer which can scrape off the paste adhering to the lower surface of a screen mask more reliably, even if cleaning operation is repeated and continued.

本発明のスクリーン印刷機は、パターン孔が形成されたスクリーンマスクの下面に基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機であって、前記スクリーンマスクの下面に付着したペーストを除去するクリーニング装置を備え、前記クリーニング装置は、前記スクリーンマスクの下面をクリーニング方向に摺動することにより前記スクリーンマスクの下面に付着したペーストを掻き取る複数の掻き取り部材と、前記複数の掻き取り部材を保持する保持体を備え、前記複数の掻き取り部材は、前記クリーニング方向に対して直列に並んで前記保持体に保持されており、前記複数の掻き取り部材は、前記スクリーンマスクの下面に対して同じ向きに傾斜しており、前記保持体にはその上面に対して傾斜した複数の切り込み部が形成され、個々の前記切り込み部に前記掻き取り部材が挿入される。 The screen printing machine according to the present invention is a screen printing a paste on a substrate through the pattern holes by bringing a substrate into contact with the lower surface of the screen mask in which the pattern holes are formed and sliding a squeegee on the screen mask. A printing machine comprising a cleaning device for removing paste attached to the lower surface of the screen mask, wherein the cleaning device is attached to the lower surface of the screen mask by sliding the lower surface of the screen mask in the cleaning direction A plurality of scraping members for scraping the paste and a holder for holding the plurality of scraping members are provided, and the plurality of scraping members are held in series in the cleaning direction by the holder. And the plurality of scraping members have the same orientation with respect to the lower surface of the screen mask. Inclined and, the the holding member is formed with a plurality of cut portions inclined with respect to the upper surface, the scraping member is to be inserted into each of the incisions.

本発明によれば、クリーニング動作を反復して継続してもスクリーンマスクの下面に付着したペーストをより確実に掻き取ることができる。 According to the present invention, even if the cleaning operation is repeated and continued, the paste adhering to the lower surface of the screen mask can be scraped off more reliably.

本発明の一実施における形態のスクリーン印刷機の側面図Side view of screen printer according to one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図Front view of screen printer according to one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図Top view of screen printer in one embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation explanatory drawing of the screen printing machine in one embodiment of this invention （ａ）本発明の一実施の形態におけるクスクリーン印刷機が備えるリーニング装置の平面図（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の側面図(A) Top view of the reining device provided in the screen printing machine according to one embodiment of the present invention (b) Side view of the cleaning device provided in the screen printing machine according to one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットの斜視図The perspective view of the nozzle unit which constitutes the cleaning device with which the screen printing machine in one embodiment of the present invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットの分解斜視図The exploded perspective view of the nozzle unit which constitutes the cleaning device with which the screen printing machine in one embodiment of the present invention is provided （ａ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットに含まれる保持体の平面図（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットに含まれる掻き取り部材と保持体の側面図(A) A plan view of a holder included in a nozzle unit constituting a cleaning device included in a screen printing machine according to an embodiment of the present invention (b) A cleaning device included in a screen printing machine according to an embodiment of the present invention Side view of scraping member and holder included in the nozzle unit to be configured （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットの構造説明図(A) (b) (c) Structural explanatory drawing of the nozzle unit which comprises the cleaning apparatus with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング動作の説明図(A) and (b) Explanatory drawing of the cleaning operation in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える制御系の構成を示すブロック図A block diagram showing a configuration of a control system provided in a screen printing machine in an embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング動作の説明図(A) (b) (c) Explanatory drawing of the cleaning operation in one embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング動作の説明図(A) (b) (c) Explanatory drawing of the cleaning operation in one embodiment of the present invention

次に図１、図２及び図３を参照して、本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の構成について説明する。図１において、スクリーン印刷機１は基板２にクリーム半田や導電性ペースト等のペーストＰを印刷する機能を有し、基板位置決め部３の上方にスクリーン印刷部１２を配設して構成されている。以下、基板２の搬送方向をＸ方向、Ｘ方向と水平面内において直交する方向をＹ方向、ＸＹ平面に対して垂直な方向をＺ方向と定義する。 Next, the configuration of the screen printing machine according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 3. In FIG. 1, the screen printing machine 1 has a function of printing a paste P such as cream solder or conductive paste on a substrate 2, and is configured by disposing a screen printing unit 12 above the substrate positioning unit 3. . Hereinafter, the transport direction of the substrate 2 is defined as the X direction, the direction orthogonal to the X direction and the horizontal plane as the Y direction, and the direction perpendicular to the XY plane as the Z direction.

基板位置決め部３はＹ軸テーブル４、Ｘ軸テーブル５及びθ軸テーブル６を段積みし、更にその上に第１のＺ軸テーブル７、第２のＺ軸テーブル８を組み合わせて構成されている。第１のＺ軸テーブル７の構成を説明する。θ軸テーブル６の上面に設けられた水平なベースプレート６ａの上面側には、同様に水平なベースプレート７ａが昇降ガイド機構（図示省略）によって昇降自在に保持されている。ベースプレート７ａは、複数の送りねじ７ｃをモータ７ｂによってベルト７ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。 The substrate positioning unit 3 is configured by stacking the Y-axis table 4, the X-axis table 5 and the θ-axis table 6, and further combining the first Z-axis table 7 and the second Z-axis table 8 thereon. . The configuration of the first Z-axis table 7 will be described. On the upper surface side of the horizontal base plate 6 a provided on the upper surface of the θ-axis table 6, a horizontal base plate 7 a is similarly held so as to be able to move up and down by an elevating guide mechanism (not shown). The base plate 7a is raised and lowered by a Z-axis lifting mechanism configured to rotationally drive a plurality of feed screws 7c by a motor 7b via a belt 7d.

ベースプレート７ａには垂直フレーム７ｅが立設されており、垂直フレーム７ｅの上端部には基板搬送機構９が保持されている。基板搬送機構９はＸ方向に平行に配設された一対の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって基板２の両端部を支持して搬送する。第１のＺ軸テーブル７を駆動することにより、基板搬送機構９によって保持された状態の基板２を、基板搬送機構９とともにスクリーン印刷部１２に対して昇降させることができる。図２、図３に示すように、上流側から搬入された基板２は基板搬送機構９によって搬送され、さらに基板位置決め部３によって位置決めされる。そしてスクリーン印刷部１２によって印刷が行われた後の基板２は、基板搬送機構９によって下流側に搬出される。 A vertical frame 7e is provided upright on the base plate 7a, and a substrate transfer mechanism 9 is held at the upper end of the vertical frame 7e. The substrate transfer mechanism 9 includes a pair of transfer rails disposed in parallel in the X direction, and supports and transfers the both ends of the substrate 2 by these transfer rails. By driving the first Z-axis table 7, the substrate 2 held by the substrate transfer mechanism 9 can be raised and lowered relative to the screen print unit 12 together with the substrate transfer mechanism 9. As shown in FIGS. 2 and 3, the substrate 2 carried in from the upstream side is transported by the substrate transport mechanism 9 and further positioned by the substrate positioning unit 3. Then, the substrate 2 after printing by the screen printing unit 12 is carried out downstream by the substrate transport mechanism 9.

第２のＺ軸テーブル８の構成を説明する。基板搬送機構９とベースプレート７ａの中間には、水平なベースプレート８ａが昇降ガイド機構（図示省略）に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート８ａは、複数の送りねじ８ｃをモータ８ｂによってベルト８ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート８ａの上面には、上面に基板２を保持する下受け面が設けられた基板下受部１０が配設されている。 The configuration of the second Z-axis table 8 will be described. A horizontal base plate 8a is disposed between the substrate transfer mechanism 9 and the base plate 7a so as to be vertically movable along an elevation guide mechanism (not shown). The base plate 8a is raised and lowered by a Z-axis lifting mechanism configured to rotationally drive a plurality of feed screws 8c by a motor 8b via a belt 8d. On the upper surface of the base plate 8a, a substrate support portion 10 provided with a lower receiving surface for holding the substrate 2 on the upper surface is disposed.

第２のＺ軸テーブル８を駆動することにより、基板下受部１０は基板搬送機構９に保持された状態の基板２に対して昇降する。そして基板下受部１０の下受け面が基板２の下面に当接することにより、基板下受部１０は基板２を下面側から支持する。基板搬送機構９の上面にはクランプ機構１１が配設されている。クランプ機構１１は、左右対向して配置された２つのクランプ部材１１ａを備えており、一方側のクランプ部材１１ａを駆動機構１１ｂによって進退させることにより、基板２を両側からクランプして固定する。 By driving the second Z-axis table 8, the substrate support unit 10 moves up and down with respect to the substrate 2 held by the substrate transfer mechanism 9. The lower support surface of the substrate support portion 10 abuts on the lower surface of the substrate 2 so that the substrate support portion 10 supports the substrate 2 from the lower surface side. A clamp mechanism 11 is disposed on the upper surface of the substrate transfer mechanism 9. The clamp mechanism 11 includes two clamp members 11a disposed so as to be opposite to each other in the left and right direction, and clamps and fixes the substrate 2 from both sides by advancing and retracting the clamp member 11a on one side by the drive mechanism 11b.

次に、スクリーン印刷部１２について説明する。図１及び図２において、マスク枠１３ａには可撓性を有するスクリーンマスク１３が展張されており、またスクリーンマスク１３には基板２において印刷対象となる電極２ａの形状・位置（図３参照）に対応して、複数のパターン孔１３ｂが形成されている。このスクリーンマスク１３上には、ペースト供給機構（図示省略）によってペーストＰが供給される。 Next, the screen printing unit 12 will be described. In FIG. 1 and FIG. 2, the flexible screen mask 13 is extended on the mask frame 13a, and the shape and position of the electrode 2a to be printed on the substrate 2 on the screen mask 13 (see FIG. 3) A plurality of pattern holes 13b are formed in correspondence with. The paste P is supplied onto the screen mask 13 by a paste supply mechanism (not shown).

スクリーンマスク１３上にはスキージユニット１４が配設されている。スキージユニット１４は、水平なプレート１５にスキージ１６を昇降させるスキージ昇降機構１７を配設した構成となっている。スキージ１６は、スキージ昇降機構１７の駆動によって昇降し、これによりスクリーンマスク１３の上面に当接する。 A squeegee unit 14 is disposed on the screen mask 13. The squeegee unit 14 has a configuration in which a squeegee lifting mechanism 17 that raises and lowers the squeegee 16 on a horizontal plate 15 is disposed. The squeegee 16 is raised and lowered by the drive of the squeegee lifting mechanism 17 and thereby abuts on the top surface of the screen mask 13.

図２において、縦フレーム２０上に配置されたブラケット２１上にはガイドレール２２がＹ方向に配設されており、ガイドレール２２にスライド自在に嵌合したスライダ２３は、プレート１５の両端に結合されている。これにより、スキージユニット１４はＹ方向にスライド自在となっている。プレート１５は、ナット２４、送りねじ２５及び送りねじ２５を回転駆動するスキージ移動用モータ（図示省略）を備えたスキージ移動手段によりＹ方向に水平移動する。 In FIG. 2, the guide rails 22 are disposed in the Y direction on the brackets 21 disposed on the vertical frame 20, and the sliders 23 slidably fitted to the guide rails 22 are coupled to both ends of the plate 15. It is done. Thereby, the squeegee unit 14 is slidable in the Y direction. The plate 15 is horizontally moved in the Y direction by squeegee moving means provided with a squeegee moving motor (not shown) for rotationally driving the nut 24, the feed screw 25 and the feed screw 25.

図１において、スクリーンマスク１３の下方にはカメラヘッドユニット２６及びクリーニング装置２７が配設されている。本実施の形態において、カメラヘッドユニット２６とクリーニング装置２７はＸ軸テーブル２８（図２）に装着されてＹ方向に一体的に移動する構成となっている。 In FIG. 1, a camera head unit 26 and a cleaning device 27 are disposed below the screen mask 13. In the present embodiment, the camera head unit 26 and the cleaning device 27 are mounted on the X-axis table 28 (FIG. 2) and integrally move in the Y direction.

カメラヘッドユニット２６は、基板２を上方から撮像するための基板認識カメラ２６ａと、スクリーンマスク１３を下面側から撮像するためのマスク認識カメラ２６ｂとを備えている。カメラヘッドユニット２６をＹ方向に水平移動させることによって基板２とスクリーンマスク１３の認識を同時に行うことができる。 The camera head unit 26 includes a substrate recognition camera 26 a for imaging the substrate 2 from above and a mask recognition camera 26 b for imaging the screen mask 13 from the lower surface side. By horizontally moving the camera head unit 26 in the Y direction, the substrate 2 and the screen mask 13 can be recognized simultaneously.

図２において、縦フレーム２０上にはガイドレール２９がＹ方向に配設されており、ガイドレール２９にスライド自在に嵌合したスライダ３０は、Ｘ軸テーブル２８にブラケット２８ａを介して結合されている。これにより、Ｘ軸テーブル２８はＹ方向にスライド自在となっている。Ｘ軸テーブル２８は、ナット３１、送りねじ３２及び送りねじ３２を回転駆動する移動用モータ（図示省略）を備えたＹ軸移動機構３３によりＹ方向に水平移動する。このようにＸ軸テーブル２８及びＹ軸移動機構３３は、カメラヘッドユニット２６及びクリーニング装置２７をＹ方向に水平移動させる移動機構を構成する。 In FIG. 2, a guide rail 29 is disposed on the vertical frame 20 in the Y direction, and a slider 30 slidably fitted on the guide rail 29 is coupled to an X-axis table 28 via a bracket 28a. There is. Thus, the X-axis table 28 is slidable in the Y direction. The X-axis table 28 is horizontally moved in the Y direction by a Y-axis moving mechanism 33 provided with a nut 31, a feed screw 32, and a movement motor (not shown) for rotationally driving the feed screw 32. As described above, the X-axis table 28 and the Y-axis moving mechanism 33 constitute a moving mechanism for horizontally moving the camera head unit 26 and the cleaning device 27 in the Y direction.

カメラヘッドユニット２６による基板２やスクリーンマスク１３の認識を行わず、またクリーニング装置によるクリーニングを行わないときには、図４（ａ）に示すように、カメラヘッドユニット２６、クリーニング装置２７はともに基板位置決め部３の上方から側方に退避する。そして各ユニットによる所定の動作を実行する際には、図４（ｂ）に示すように、カメラヘッドユニット２６及びクリーニング装置２７はスクリーンマスク１３の下方に進出する（矢印ａ）。 When the camera head unit 26 does not recognize the substrate 2 or the screen mask 13 and the cleaning device does not perform the cleaning, as shown in FIG. 4A, both the camera head unit 26 and the cleaning device 27 have substrate positioning portions Evacuate sideways from above 3 Then, when a predetermined operation by each unit is performed, as shown in FIG. 4B, the camera head unit 26 and the cleaning device 27 advance below the screen mask 13 (arrow a).

次に、スクリーン印刷部１２による印刷動作について説明する。なお、スクリーン印刷機１を構成する各機構は、スクリーン印刷機１が備える制御部５２（図１１）によって制御される。まず、基板搬送機構９によって基板２が印刷位置に搬入されると、基板下受部１０が上昇して基板２を下受けする。そしてこの状態で基板位置決め部３は基板２をスクリーンマスク１３に対して位置合わせする。次いで、第１のＺ軸テーブル７は基板２を基板搬送機構９とともに上昇させてスクリーンマスク１３の下面に当接させ、この状態でクランプ機構１１は基板２をクランプする。これにより、基板２の水平位置が固定される。次いで、スキージ１６はペーストＰが供給されたスクリーンマスク１３上を摺動する。これにより、パターン孔１３ｂを介して基板２にペーストＰがスクリーン印刷される。 Next, the printing operation by the screen printing unit 12 will be described. In addition, each mechanism which comprises the screen printing machine 1 is controlled by the control part 52 (FIG. 11) with which the screen printing machine 1 is provided. First, when the substrate 2 is carried to the printing position by the substrate transfer mechanism 9, the substrate support unit 10 ascends to receive the substrate 2 downward. Then, in this state, the substrate positioning unit 3 aligns the substrate 2 with the screen mask 13. Then, the first Z-axis table 7 raises the substrate 2 together with the substrate transfer mechanism 9 to abut the lower surface of the screen mask 13, and the clamp mechanism 11 clamps the substrate 2 in this state. Thus, the horizontal position of the substrate 2 is fixed. Then, the squeegee 16 slides on the screen mask 13 to which the paste P is supplied. Thereby, the paste P is screen-printed on the substrate 2 through the pattern holes 13b.

以上説明したように、スクリーン印刷機１はパターン孔１３ｂが形成された可撓性のスクリーンマスク１３の下面に基板２を当接させ、スクリーンマスク１３上でスキージ１６を摺動させることによりパターン孔１３ｂを介して基板２にペーストＰを印刷する。 As described above, the screen printing machine 1 brings the substrate 2 into contact with the lower surface of the flexible screen mask 13 in which the pattern holes 13 b are formed, and slides the squeegee 16 on the screen mask 13 to form the pattern holes. The paste P is printed on the substrate 2 through 13b.

次に図５〜図１０を参照して、クリーニング装置２７について説明する。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示すクリーニング装置２７のＡ−Ａ断面を示す。図５（ａ），（ｂ）において、クリーニング装置２７は、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着したペーストＰや、基板２に転写されずにパターン孔１３ｂに残留したペーストＰを除去してクリーニングする機能を有しており、箱体３５と、ノズルユニット３６と、ユニット昇降機構３７を含んで構成される。箱体３５はノズルユニット３６とユニット昇降機構３７を収納する収納部である。ユニット昇降機構３７は上下方向に突没自在なロッド３７ａを有しており、後述するノズルユニット３６を構成する枠状部材４１と結合している。図５（ｂ）に示すように、ノズルユニット３６はユニット昇降機構３７の駆動によって昇降する（矢印ｂ）。ユニット昇降機構３７は、ノズルユニット３６を昇降させる昇降手段となっている。 Next, the cleaning device 27 will be described with reference to FIGS. FIG. 5B shows an AA cross section of the cleaning device 27 shown in FIG. 5A. 5A and 5B, the cleaning device 27 removes and cleans the paste P attached to the lower surface 13c of the screen mask 13 and the paste P remaining in the pattern holes 13b without being transferred to the substrate 2. It has a function, and is configured to include a box 35, a nozzle unit 36, and a unit lifting mechanism 37. The box 35 is a storage unit for storing the nozzle unit 36 and the unit lifting mechanism 37. The unit elevating mechanism 37 has a rod 37a which can project and retract in the vertical direction, and is connected to a frame-like member 41 constituting a nozzle unit 36 described later. As shown in FIG. 5 (b), the nozzle unit 36 is raised and lowered by the drive of the unit raising and lowering mechanism 37 (arrow b). The unit elevating mechanism 37 is an elevating means for raising and lowering the nozzle unit 36.

以下、ノズルユニット３６の詳細な構造について説明する。ノズルユニット３６は、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰを掻き取り、掻き取ったペーストＰを吸引して除去するクリーニング部である。図６及び図７において、ノズルユニット３６は、上方から順に保持体３８、プレート部材３９、フィルタ４０、枠状部材４１を積層し、保持体３８に保持される複数（本実施の形態では７枚）の掻き取り部材４２を含んで構成される。 Hereinafter, the detailed structure of the nozzle unit 36 will be described. The nozzle unit 36 is a cleaning unit that scrapes off the paste P attached to the lower surface 13 c of the screen mask 13 and sucks and removes the scraped paste P. 6 and 7, in the nozzle unit 36, a plurality of holding members 38, a plate member 39, a filter 40, and a frame-like member 41 are stacked in order from the top and held by the holding members 38 (7 sheets in this embodiment) And the scraping member 42 of FIG.

掻き取り部材４２は、ＳＵＳ等の金属で成形された薄い「へら状」の可撓性を有する部材であり、図８（ｂ）に示すように、長手方向における両端部４２ｂが水平な水平部４２ａから下方に変位した形状となっている。クリーニング動作時においては、スクリーンマスク１３の下面１３ｃを水平部４２ａの上端が、基板２の搬送方向（Ｘ方向）と水平面内において直交する一の方向であるクリーニング方向（図１０に示す矢印ｃ）に摺動する。これにより、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰを掻き取ることができる。すなわち、複数の掻き取り部材４２は、スクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニング方向に摺動することによりスクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着したペーストＰを掻き取る。なお、掻き取り部材４２は、ウレタンゴム等の弾性体で成形されたものでもよい。 The scraping member 42 is a thin "strap-like" flexible member molded of metal such as SUS, and as shown in FIG. 8B, the horizontal portion has both horizontal ends 42b in the longitudinal direction. It has a shape displaced downward from 42a. At the time of the cleaning operation, the cleaning direction (arrow c shown in FIG. 10), which is one direction perpendicular to the transport direction (X direction) of the substrate 2 in the horizontal plane, at the upper end of the lower surface 13c of the screen mask 13 Slide on. Thereby, the paste P adhering to the lower surface 13c of the screen mask 13 can be scraped off. That is, the plurality of scraping members 42 scrape off the paste P attached to the lower surface 13 c of the screen mask 13 by sliding the lower surface 13 c of the screen mask 13 in the cleaning direction. The scraping member 42 may be formed of an elastic body such as urethane rubber.

図８（ｂ）において、保持体３８は長手方向における両端部３８ｂが水平な水平部３８ａから下方に変位した形状を有している。図７及び図８（ａ）に示すように、保持体３８は、長手方向に並列した複数（５個）の矩形の開口部４３が形成されており、隣接する開口部４３の間には保持体３８の本体であって隣接する開口部３２を仕切るための仕切り部４４が設けられている。 In FIG. 8B, the holder 38 has a shape in which both end portions 38b in the longitudinal direction are displaced downward from the horizontal portion 38a. As shown in FIGS. 7 and 8A, the holding body 38 is formed with a plurality of (five) rectangular openings 43 arranged in parallel in the longitudinal direction, and is held between the adjacent openings 43. A partition 44 is provided for partitioning the opening 32 which is the body of the body 38 and is adjacent thereto.

保持体３８には、長手方向に延びた複数（７個）の切り込み部４５が、仕切り部４４を含めてクリーニング方向に直列した状態で形成されている。図９（ａ）に示すように、切り込み部４５は、保持体３８の水平な上面３８ｃに対して傾斜した方向から切り込みを入れることによって形成され、掻き取り部材４２の厚みｓに対応した幅ｔを有する。図８（ｂ）に示すように、各々の切り込み部４５に掻き取り部材４２が挿入されることで、保持体３８は掻き取り部材４２を保持する。したがって、複数の掻き取り部材４２はクリーニング方向に対して直列に並んだ状態となる。また、掻き取り部材４２は保持体３８の上面３８ｃから所定長さだけ突出するとともに、保持体３８の上面３８ｃに対して傾斜した姿勢で保持体３８に保持される。 A plurality of (seven) cut portions 45 extending in the longitudinal direction are formed in the holding body 38 in series in the cleaning direction including the partition portions 44. As shown in FIG. 9A, the cut portion 45 is formed by making a cut in a direction inclined to the horizontal upper surface 38c of the holding body 38, and has a width t corresponding to the thickness s of the scraping member 42. Have. As shown in FIG. 8 (b), the holder 38 holds the scraping member 42 by inserting the scraping member 42 into each of the notches 45. Therefore, the plurality of scraping members 42 are arranged in series in the cleaning direction. The scraping member 42 protrudes from the upper surface 38 c of the holding body 38 by a predetermined length, and is held by the holding body 38 in a posture inclined with respect to the upper surface 38 c of the holding body 38.

掻き取り部材４２は保持体３８に対して次のように固定される。すなわち、各部材の両端部４２ｂ，３８ｂを合わせた状態で切り込み部４５に掻き取り部材４２を挿入する。そして、各部材の両端部４２ｂ，３８ｂをＬ字状の取り付け部材４６（図７）で覆う。そして、取り付け部材４６に形成された開口部４６ａを介して保持体３８の両側面に形成されたネジ穴３８ｄにネジ４７を螺合させる。これにより、図６及び図９（ｃ）に示すように、掻き取り部材４２は保持体３８に対して固定される。保持体３８に保持される掻き取り部材４２を交換したい場合は、取り付け部材４６を取り外して掻き取り部材４２と保持体３８の固定を解除する。そして、新しい掻き取り部材４２を保持体３８の切り込み部４５に挿入し、取り付け部材４６で掻き取り部材４２と保持体３８を再び固定する。このように、複数の掻き取り部材４２は保持体３８に対して取り外し自在である。 The scraping member 42 is fixed to the holder 38 as follows. That is, the scraping member 42 is inserted into the cut portion 45 in a state in which both end portions 42 b and 38 b of the respective members are put together. Then, both end portions 42b and 38b of each member are covered with an L-shaped attachment member 46 (FIG. 7). Then, the screw 47 is screwed into the screw holes 38 d formed on both side surfaces of the holding body 38 through the openings 46 a formed in the mounting member 46. Thereby, as shown in FIG. 6 and FIG. 9 (c), the scraping member 42 is fixed to the holder 38. When it is desired to replace the scraping member 42 held by the holder 38, the mounting member 46 is removed to release the fixing between the scraping member 42 and the holder 38. Then, a new scraping member 42 is inserted into the cut portion 45 of the holder 38, and the scraping member 42 and the holder 38 are fixed again by the mounting member 46. Thus, the plurality of scraping members 42 are removable with respect to the holder 38.

図１０は、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに掻き取り部材４２の上端４２ｃを当接させた状態を示している。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す範囲Ｂの拡大図である。便宜上、プレート部材３９、フィルタ４０、枠状部材４１等の図示は省略している。スクリーンマスク１３の下面１３ｃに掻き取り部材４２が当接した状態では、スクリーンマスク１３の水平な下面１３ｃに対する掻き取り部材４２のアタック角（クリーニング方向に対してスクリーンマスク１３の下面１３ｃと掻き取り部材４２とのなす角）θは９０°より小さい角、すなわち鋭角となる。そして、この状態で掻き取り部材４２がクリーニング方向に摺動することで（矢印ｃ）、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰは掻き取られる。このように、複数の掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃを摺動する際、スクリーンマスク１３と複数の掻き取り部材４２とのなす角が鋭角となる。ペーストＰを掻き取る具体的な態様は後述する。 FIG. 10 shows a state in which the upper end 42 c of the scraping member 42 is in contact with the lower surface 13 c of the screen mask 13. FIG. 10 (b) is an enlarged view of the range B shown in FIG. 10 (a). For convenience, illustration of the plate member 39, the filter 40, the frame-like member 41 and the like is omitted. When the scraping member 42 is in contact with the lower surface 13c of the screen mask 13, the attack angle of the scraping member 42 with respect to the horizontal lower surface 13c of the screen mask 13 (the lower surface 13c of the screen mask 13 and the scraping member in the cleaning direction) Is an angle smaller than 90 °, that is, an acute angle. Then, in this state, the scraping member 42 slides in the cleaning direction (arrow c), and the paste P attached to the lower surface 13c of the screen mask 13 is scraped off. Thus, when the plurality of scraping members 42 slide on the lower surface 13 c of the screen mask 13, the angle between the screen mask 13 and the plurality of scraping members 42 is an acute angle. The specific aspect which scrapes off the paste P is mentioned later.

図７において、プレート部材３９は複数の円形状の開口部４８が形成されている。掻き取り部材４２によって掻き取られたペーストＰは、保持体３８の開口部４３とプレート部材３９の開口部４８を通過して下方に導かれる。フィルタ４０は、開口部４８を通過したペーストＰに含まれる半田粒子などの固形成分を捕捉する。 In FIG. 7, the plate member 39 is formed with a plurality of circular openings 48. The paste P scraped off by the scraping member 42 is led downward through the opening 43 of the holder 38 and the opening 48 of the plate member 39. The filter 40 captures solid components such as solder particles contained in the paste P that has passed through the opening 48.

枠状部材４１は、管路４９を介して真空吸引機構５０（図１１）と連通した複数（２個）の開口部５１が形成されている。真空吸引機構５０が駆動されることで、管路４９の内部は真空吸引される。これにより、掻き取り部材４２により掻き取られた後にフィルタ４０を下方に通過したペーストＰの成分が管路４９を介して吸引される。管路４９及び真空吸引機構５０は、フィルタ４０を通過したペーストＰに含まれる成分を吸引する吸引手段となっている。 The frame-like member 41 is provided with a plurality of (two) openings 51 communicating with the vacuum suction mechanism 50 (FIG. 11) through the pipe line 49. By driving the vacuum suction mechanism 50, the inside of the conduit 49 is vacuum suctioned. As a result, the component of the paste P that has passed through the filter 40 after being scraped off by the scraping member 42 is sucked through the conduit 49. The conduit 49 and the vacuum suction mechanism 50 are suction means for suctioning a component contained in the paste P which has passed through the filter 40.

次に図１１を参照して、制御系の構成を説明する。スクリーン印刷機１が備える制御部５２は、記憶部５３、機構駆動部５４、認識処理部５５を含んで構成される。また、制御部５２は、基板位置決め部３、スクリーン印刷部１２を構成する各機構、基板認識カメラ２６ａ、マスク認識カメラ２６ｂ、Ｘ軸テーブル２８、Ｙ軸移動機構３３、ユニット昇降機構３７、真空吸引機構５０等と接続されている。 Next, the configuration of the control system will be described with reference to FIG. The control unit 52 included in the screen printing press 1 includes a storage unit 53, a mechanism driving unit 54, and a recognition processing unit 55. Further, the control unit 52 includes the substrate positioning unit 3, each mechanism constituting the screen printing unit 12, the substrate recognition camera 26 a, the mask recognition camera 26 b, the X axis table 28, the Y axis moving mechanism 33, the unit lifting mechanism 37, vacuum suction It is connected to the mechanism 50 and the like.

記憶部５３は、基板２にペーストＰをスクリーン印刷するために必要な印刷作業データ、スクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニングするために必要なクリーニング作業データ等を記憶する。機構駆動部５４は、制御部５２によって制御されて、基板位置決め部３やスクリーン印刷部１２を構成する各機構を駆動する。これにより、基板２の搬送及び位置決め作業、スクリーン印刷作業が実行される。また、機構駆動部５４は制御部５２によって制御されて、Ｘ軸テーブル２８、Ｙ軸移動機構３３、ユニット昇降機構３７、真空吸引機構５０を駆動する。これにより、スクリーンマスク１３の下面１３ｃのクリーニング作業が実行される。認識処理部５５は、基板認識カメラ２６ａとマスク認識カメラ２６ｂによって取得された画像を認識処理する。これにより、基板２とスクリーンマスク１３の位置を検出する。検出結果は、スクリーンマスク１３に対する基板２の位置を補正する際に用いられる。 The storage unit 53 stores printing operation data required for screen printing the paste P on the substrate 2, cleaning operation data required for cleaning the lower surface 13 c of the screen mask 13, and the like. The mechanism driving unit 54 is controlled by the control unit 52 to drive each mechanism constituting the substrate positioning unit 3 and the screen printing unit 12. As a result, the transport and positioning operation of the substrate 2 and the screen printing operation are performed. The mechanism driving unit 54 is controlled by the control unit 52 to drive the X-axis table 28, the Y-axis moving mechanism 33, the unit lifting mechanism 37, and the vacuum suction mechanism 50. Thereby, the cleaning operation of the lower surface 13c of the screen mask 13 is performed. The recognition processing unit 55 recognizes an image acquired by the substrate recognition camera 26a and the mask recognition camera 26b. Thereby, the positions of the substrate 2 and the screen mask 13 are detected. The detection result is used when correcting the position of the substrate 2 with respect to the screen mask 13.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は以上のように構成される。次に図１２及び図１３を参照して、クリーニング装置２７によってスクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニングするスクリーンマスク１３のクリーニング方法について説明する。図１２（ａ）は、スクリーン印刷を終えた後のスクリーン印刷機１の正面図（一部）を示している。スクリーンマスク１３の下面１３ｃのクリーニングは、個々の基板２にペーストＰがスクリーン印刷される毎に行われる。 The screen printer 1 in the present embodiment is configured as described above. Next, with reference to FIGS. 12 and 13, a method of cleaning the screen mask 13 for cleaning the lower surface 13c of the screen mask 13 by the cleaning device 27 will be described. FIG. 12 (a) shows a front view (a part) of the screen printing machine 1 after the screen printing is finished. The cleaning of the lower surface 13 c of the screen mask 13 is performed each time the paste P is screen-printed on the individual substrates 2.

まず図１２（ａ）に示すように、クリーニング装置２７は、クリーニング開始位置であるスクリーンマスク１３の一端部（ここでは紙面左側）の下方に移動する（ＳＴ１：移動工程）（矢印ｄ）。次いで図１２（ｂ）に示すように、ノズルユニット３６は上昇し（矢印ｅ）、全ての掻き取り部材４２をスクリーンマスク１３の下面１３ｃに当接させる（ＳＴ２：当接工程）（図１０（ａ）も併せて参照）。なお、ノズルユニット３６の上昇時に、制御部５２は真空吸引機構５０を駆動させて管路４９の内部を真空吸引状態とする。これにより、スクリーンマスク１３の下面１３ｃは吸引された状態となる。 First, as shown in FIG. 12A, the cleaning device 27 moves below one end (here, the left side of the drawing) of the screen mask 13 which is the cleaning start position (ST1: moving step) (arrow d). Next, as shown in FIG. 12 (b), the nozzle unit 36 ascends (arrow e) to bring all the scraping members 42 into contact with the lower surface 13c of the screen mask 13 (ST2: contact step) (FIG. See also a)). When the nozzle unit 36 is lifted, the control unit 52 drives the vacuum suction mechanism 50 to bring the inside of the conduit 49 into a vacuum suction state. Thereby, the lower surface 13c of the screen mask 13 is in a suctioned state.

次いで図１２（ｃ）に示すように、スクリーンマスク１３の下面１３ｃを吸引した状態で、ノズルユニット３６はクリーニング方向に移動することにより（矢印ｆ）、スクリーンマスク１３の下面１３ｃやパターン孔１３ｂに付着するペーストＰを除去するクリーニング動作を実行する（ＳＴ３：クリーニング工程）。すなわち、ノズルユニット３６が移動する過程で、掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰを掻き取り、掻き取ったペーストＰを吸引手段が吸引する。ノズルユニット３６がスクリーンマスク１３の他端部（紙面右側）まで移動したならば、制御部５２は真空吸引機構５０の駆動を停止させる。また、ノズルユニット３６は所定の位置まで下降する。その後、新たに搬入された基板２にペーストＰが印刷されたならば、（ＳＴ１）に戻って同様の動作を繰り返す。 Next, as shown in FIG. 12C, the nozzle unit 36 moves in the cleaning direction with the lower surface 13c of the screen mask 13 sucked (arrow f) to the lower surface 13c of the screen mask 13 and the pattern holes 13b. A cleaning operation is performed to remove the adhering paste P (ST3: cleaning step). That is, in the process of moving the nozzle unit 36, the scraping member 42 scrapes off the paste P adhering to the lower surface 13c of the screen mask 13, and the suction unit sucks the scraped paste P. When the nozzle unit 36 has moved to the other end (right side in the drawing) of the screen mask 13, the control unit 52 stops the driving of the vacuum suction mechanism 50. Further, the nozzle unit 36 is lowered to a predetermined position. After that, when the paste P is printed on the newly loaded substrate 2, the process returns to (ST1) to repeat the same operation.

ここで図１３を参照して、クリーニング工程（ＳＴ３）におけるクリーニング動作の詳細について説明する。図１３（ａ）は、保持体３８に保持された複数の掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニング方向に摺動している状態を示している。図１３（ａ）に示すように、掻き取り部材４２が摺動する過程で、クリーニング方向の先頭に位置する掻き取り部材４２Ａはスクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰを掻き取る。クリーニング動作の回数が少ない間は、先頭に位置する掻き取り部材４２Ａによって全てのペーストＰが漏れなく掻き取られる。 Here, the details of the cleaning operation in the cleaning step (ST3) will be described with reference to FIG. FIG. 13A shows a state in which the plurality of scraping members 42 held by the holder 38 slide on the lower surface 13 c of the screen mask 13 in the cleaning direction. As shown in FIG. 13A, in the process in which the scraping member 42 slides, the scraping member 42A positioned at the beginning of the cleaning direction scrapes the paste P adhering to the lower surface 13c of the screen mask 13. While the number of times of the cleaning operation is small, all the paste P is scraped off without leakage by the scraping member 42A positioned at the head.

図１３（ｂ）は、クリーニング動作を反復して継続する過程で、保持体３８に保持された複数の掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニング方向に摺動している状態を示している。クリーニング動作を反復して継続する過程で、先頭の掻き取り部材４２Ａの上端には吸引手段によって吸引しきれなかったペーストＰが徐々に蓄積する。そして、ペーストＰの蓄積量が増加するにしたがって掻き取り部材４２Ａは後方（クリーニング方向とは反対の方向）に撓み、スクリーンマスク１３と掻き取り部材４２Ａとの間には隙間ｖ１が生じる。なお、隙間ｖ１は掻き取り部材４２の撓みのみならず、スクリーンマスク１３の下面１３ｃの凹凸によっても生じ得る。この隙間ｖ１により、掻き取り部材４２Ａによって掻き取れなかった一部のペーストＰがスクリーンマスク１３の下面１３ｃに残留してしまう。しかしながら、掻き取り部材４２Ａの後方では、次点に位置する掻き取り部材４２Ｂがスクリーンマスク１３の下面１３ｃを摺動しているため、残留したペーストＰはこの掻き取り部材４２Ｂによって掻き取られる。これにより、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着したペーストＰをより確実に掻き取ることができる。 FIG. 13B shows a state in which the plurality of scraping members 42 held by the holder 38 slide on the lower surface 13 c of the screen mask 13 in the cleaning direction in the process of repeating and continuing the cleaning operation. ing. In the process of repeating and continuing the cleaning operation, the paste P which can not be sucked by the suction means gradually accumulates on the upper end of the leading scraping member 42A. Then, the scraping member 42A bends backward (in the direction opposite to the cleaning direction) as the accumulation amount of the paste P increases, and a gap v1 is generated between the screen mask 13 and the scraping member 42A. The gap v1 may be generated not only by the bending of the scraping member 42 but also by the unevenness of the lower surface 13c of the screen mask 13. A part of the paste P which can not be scraped off by the scraping member 42A remains on the lower surface 13c of the screen mask 13 due to the gap v1. However, behind the scraping member 42A, the scraping member 42B located at the next point slides on the lower surface 13c of the screen mask 13, so the remaining paste P is scraped off by the scraping member 42B. Thereby, paste P adhering to lower surface 13c of screen mask 13 can be scraped off more reliably.

図１３（ｃ）に示すように、クリーニング動作をさらに反復して継続すると、掻き取り部材４２Ａと同様に、掻き取り部材４２Ｂの上端にはペーストＰが徐々に蓄積する。これにより、掻き取り部材４２は後方に撓み、スクリーンマスク１３と掻き取り部材４２Ｂとの間には隙間ｖ２が生じるが、掻き取り部材４２Ｂの後方では次点に位置する掻き取り部材４２Ｃがスクリーンマスク１３の下面１３ｃを摺動しているため、残留したペーストＰはこの掻き取り部材４２Ｃによって掻き取られる。その後にクリーニング動作を反復して継続する過程で、掻き取り部材４２Ｃが撓んでスクリーンマスク１３との間に隙間が生じたならば、次点に位置する掻き取り部材４２Ｄが残留したペーストＰを掻き取る。このように、掻き取りきれずに残留したペーストＰの掻き取りは、最後尾に位置する掻き取り部材４２Ｇまで繰り返し行うことができる。 As shown in FIG. 13C, when the cleaning operation is further repeated and continued, the paste P gradually accumulates on the upper end of the scraping member 42B as in the scraping member 42A. As a result, the scraping member 42 is bent backward, and a gap v2 is generated between the screen mask 13 and the scraping member 42B, but the scraping member 42C located at the next point is a screen mask behind the scraping member 42B. As it slides on the lower surface 13c of 13, the remaining paste P is scraped off by the scraping member 42C. Thereafter, if the scraping member 42C is bent and a gap is generated between the scraping member 42C and the screen mask 13 in the process of repeating the cleaning operation and continuing, the scraping member 42D located at the next point scrapes the paste P remaining. take. As described above, scraping of the paste P remaining without being able to be scraped can be repeatedly performed up to the scraping member 42G located at the end.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１が備えるクリーニング装置２７では、複数の掻き取り部材４２がクリーニング方向に対して直列に並んで保持体３８に保持されているため、クリーニング動作を反復して継続しても、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着したペーストＰを掻き取る力が低下せず、より確実にペーストＰを掻き取ることができる。より具体的に説明すると、クリーニング動作を反復して継続する過程で、特定の掻き取り部材４２が蓄積したペーストＰによってクリーニング方向とは反対の方向へ撓み、これによりペーストＰの掻き取り漏れが生じた場合であっても、その後方には他の掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃを摺動しているため、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰの掻き取り漏れを防止することができる。 As described above, in the cleaning device 27 provided in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, since the plurality of scraping members 42 are held in series in the cleaning direction by the holder 38, the cleaning operation is performed. Of the paste P adhering to the lower surface 13c of the screen mask 13 does not decrease, and the paste P can be scraped off more reliably. More specifically, in the process of repeating and continuing the cleaning operation, the paste P accumulated by the specific scraping member 42 bends in the direction opposite to the cleaning direction, thereby causing scraping leakage of the paste P. Even in this case, since another scraping member 42 slides on the lower surface 13c of the screen mask 13 behind it, scraping leakage of the paste P attached to the lower surface 13c of the screen mask 13 is prevented. be able to.

本発明はこれまで説明した実施の形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することができる。例えば、保持体３８に保持される掻き取り部材４２の数は任意でよく、ペーストＰが印刷される基板２の枚数に応じて、必要と想定される数の掻き取り部材４２を保持体３８に保持させてもよい。 The present invention is not limited to the embodiments described above, and can be appropriately modified without departing from the scope of the invention. For example, the number of scraping members 42 held by the holding body 38 may be arbitrary, and depending on the number of substrates 2 on which the paste P is to be printed, the scraping members 42 of the number assumed to be necessary may be You may hold it.

本発明によれば、クリーニング動作を反復して継続してもスクリーンマスクの下面に付着したペーストをより確実に掻き取ることができ、ペーストが印刷された基板に部品を実装する実装分野に有用である。 According to the present invention, the paste adhering to the lower surface of the screen mask can be more reliably scraped even if the cleaning operation is repeated and continued, which is useful in the mounting field of mounting components on a substrate on which the paste is printed. is there.

１スクリーン印刷機
２基板
１３スクリーンマスク
１３ｂパターン孔
１３ｃ下面
１６スキージ
３８保持体
２７クリーニング装置
３９プレート部材
４０フィルタ
４２掻き取り部材
４９管路
５０真空吸引機構
Ｐペースト DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 screen printing machine 2 board | substrate 13 screen mask 13b pattern hole 13c lower surface 16 squeegee 38 holder 27 cleaning apparatus 39 plate member 40 filter 42 scraping member 49 pipeline 50 vacuum suction mechanism P paste

Claims

The screen printing machine prints a paste on a substrate through the pattern holes by bringing a substrate into contact with the lower surface of the screen mask on which the pattern holes are formed, and sliding a squeegee on the screen mask.
A cleaning device for removing the paste adhering to the lower surface of the screen mask;
The cleaning device comprises a plurality of scraping members for scraping off the paste adhering to the lower surface of the screen mask by sliding the lower surface of the screen mask in the cleaning direction, and a holder for holding the plurality of scraping members. Equipped
The plurality of scraping members are held in series in the cleaning direction by the holder.
The plurality of scraping members are inclined in the same direction with respect to the lower surface of the screen mask ,
Wherein the holding member a plurality of cut portions inclined is formed against the upper surface, a screen printing machine, characterized in Rukoto said scraping member is inserted into each of the incisions.

The screen printing machine according to claim 1, wherein an angle formed between the screen mask and the plurality of scraping members is an acute angle when the plurality of scraping members slide on the lower surface of the screen mask.

The screen printing machine according to claim 1, wherein the plurality of scraping members are removable with respect to the holder.

A plate member having an opening through which paste scraped off by the scraping member is formed, a filter for capturing solid components such as solder particles contained in the paste passed through the opening, and the filter The screen printing machine according to any one of claims 1 to 3, further comprising suction means for suctioning a component contained in the passed paste.

5. The screen printing machine according to claim 4, wherein a plurality of the openings of the plate member are provided.

The screen printing machine according to claim 4 or 5, wherein the opening of the plate member is circular.