JP7012216B2

JP7012216B2 - Screen printing device

Info

Publication number: JP7012216B2
Application number: JP2018043721A
Authority: JP
Inventors: 祐介末安; 正幸萬谷; 美伯礒端; 奨豊田; 亮妹尾
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2018-03-12
Filing date: 2018-03-12
Publication date: 2022-01-28
Anticipated expiration: 2038-03-12
Also published as: JP2019155676A

Description

本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に関する。 The present invention relates to a screen printing apparatus that prints a paste on a substrate via a mask.

スクリーン印刷装置は、マスクを基板に接触させ、マスクに形成されたパターン孔を通じて基板にペーストを印刷する。このようなスクリーン印刷装置では定期的にマスクの下面からペーストを掻き取ってクリーニングすることにより、後続の基板に対する印刷品質を低下させないようにする必要がある。マスクのクリーニングに用いられるマスククリーナは、マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースに取り付けられて移動ベースと一体にマスクの下方を移動するベース体と、ベース体に取り付けられたクリーニング部材とを備えており、クリーニング部材をマスクの下面に当接させた状態でベース体が移動することでマスクの下面に付着したペーストを掻き取る構成となっている。クリーニング部材は従来、紙製の部材（クリーニングペーパー）であったが、クリーニングペーパーに変えて、ＳＵＳ等の金属で成形された薄い「へら」状のペースト掻取り具（ブレード）を用いるようにしたものも知られている（例えば、下記の特許文献１）。 The screen printing device brings the mask into contact with the substrate and prints the paste on the substrate through the pattern holes formed in the mask. In such a screen printing apparatus, it is necessary to periodically scrape the paste from the lower surface of the mask for cleaning so as not to deteriorate the print quality on the subsequent substrate. The mask cleaner used for cleaning the mask is attached to a moving base that moves under the mask in the horizontal paste scraping direction and moves under the mask integrally with the moving base, and is attached to the base body. It is provided with a cleaning member, and the base body moves in a state where the cleaning member is in contact with the lower surface of the mask to scrape off the paste adhering to the lower surface of the mask. Conventionally, the cleaning member was a paper member (cleaning paper), but instead of the cleaning paper, a thin "spatula" -shaped paste scraper (blade) made of metal such as SUS is used. Also known (for example, Patent Document 1 below).

上記のようにクリーニングペーパーに替えてブレードを用いたマスククリーナでは、ベース体は、上方に開放した開口を有するフレームと、フレームの開口に装着されてベース体の長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部を備えたブレード保持部を有している。ブレード保持部は複数のブレードを保持し、複数の梁部はブレードの長手方向の中間部を支持するようになっている。複数のブレードはそれぞれ、ブレード保持部に形成された複数列の溝部のそれぞれに上方から挿入して取り付けられる。ブレード保持部に保持されたブレードは、長手方向の両端部がブレード押さえ部材によって押さえることでベース体に固定され、この状態でベース体の上方に突出したエッジが、マスクの下面に当接されてペーストを掻き取るペースト掻取りエッジとして使用される。 In the mask cleaner using a blade instead of the cleaning paper as described above, the base body has a frame having an opening opened upward and a plurality of frames attached to the opening of the frame and arranged at intervals in the longitudinal direction of the base body. It has a blade holding part with a beam part of. The blade holding portion holds a plurality of blades, and the plurality of beam portions support the intermediate portion in the longitudinal direction of the blades. Each of the plurality of blades is inserted and attached from above to each of the plurality of rows of grooves formed in the blade holding portion. The blade held by the blade holding portion is fixed to the base body by pressing both ends in the longitudinal direction with the blade holding member, and in this state, the edge protruding upward of the base body is abutted against the lower surface of the mask. Used as a paste scraping edge to scrape the paste.

また、マスククリーナでは従来、ペーストの掻取り効率を高めるために、ペーストの掻取り時にクリーニングペーパーを介して空気を吸引しており、クリーニングペーパーに変えてブレードを使用した場合であっても、開口を通じて隣接するブレード同士の間から空気を吸引するようにすることで、クリーニングペーパーを用いた構成の場合と同様の効果を得ることができる。この場合、各ブレードは、ペースト掻取り時のマスククリーナの進行方向の前方に位置するペーストを掻き取るほか、その前方に位置するブレードが通過した後にパターン孔から吸い出されたペーストも掻き取る。このため各ブレードが掻き取るペーストは多く、掻取り容量を上回って掻き取りきれなかったペーストはそのブレードの背後に残ることになるが、その残ったペーストは後続のブレードによって掻き取ることができる。 Further, in the conventional mask cleaner, in order to improve the scraping efficiency of the paste, air is sucked through the cleaning paper when scraping the paste, and even when the blade is used instead of the cleaning paper, the opening is opened. By sucking air from between the adjacent blades through the blades, the same effect as in the case of the configuration using the cleaning paper can be obtained. In this case, each blade scrapes the paste located in front of the mask cleaner in the traveling direction at the time of scraping the paste, and also scrapes the paste sucked out from the pattern hole after the blade located in front of the blade has passed. For this reason, a large amount of paste is scraped by each blade, and the paste that exceeds the scraping capacity and cannot be scraped off remains behind the blade, but the remaining paste can be scraped off by the subsequent blades.

特開２０１６－１９６１０１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-196101

しかしながら、上記特許文献１に示されたスクリーン印刷装置のように、複数のブレードのいずれもがその前方に位置するブレードの通過後にパターン孔から吸い出されたペーストを掻き取るようになっていると、ペーストの掻取り方向の最後尾に位置するブレードが掻き取り残したペーストがマスクの下面に残存することになり、クリーニング品質が低下するおそれがあるという問題点があった。 However, as in the screen printing apparatus shown in Patent Document 1, all of the plurality of blades are adapted to scrape the paste sucked out from the pattern holes after passing through the blades located in front of the blades. There is a problem that the paste left by the blade located at the end of the scraping direction of the paste remains on the lower surface of the mask, and the cleaning quality may be deteriorated.

そこで本発明は、ペーストの掻き取り残しを少量に抑えてクリーニング品質を向上させることができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus capable of improving the cleaning quality by suppressing the amount of unscraped paste to a small amount.

本発明のスクリーン印刷装置は、マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースと、前記移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを掻き取る際に前記マスクの下面のペーストを吸い出す吸出し機構とを備えたスクリーン印刷装置であって、前記マスククリーナは、前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、前記ベース体に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、前記吸出し機構は、前記複数のブレードが前記マスクの下面に当接した状態で前記複数のブレードで挟まれた複数の空間から空気を吸引し、前記複数の空間のうち少なくとも前記マスククリーナの進行方向の最も後側に位置する空間には前記吸出し機構の吸引力が及ばない。 The screen printing apparatus of the present invention includes a print head that prints paste on a substrate via a mask, a moving base that moves under the mask in a horizontal paste scraping direction, and a moving base that is attached to the moving base. It is provided with a mask cleaner that moves under the mask integrally with the mask and scrapes the paste adhering to the lower surface of the mask, and a suction mechanism that sucks out the paste on the lower surface of the mask when the mask cleaner scrapes the paste. In the screen printing device, the mask cleaner is attached to the moving base and extends in the horizontal direction intersecting the paste scraping direction as a longitudinal direction, and is attached to the base body and extends in the longitudinal direction. The suction mechanism has a plurality of blades which are arranged side by side in parallel with the paste scraping direction and bring the paste scraping edge projecting upward of the base body into contact with the lower surface of the mask. With the plurality of blades in contact with the lower surface of the mask, air is sucked from the plurality of spaces sandwiched by the plurality of blades, and the position is at least the rearmost side of the plurality of spaces in the traveling direction of the mask cleaner. The suction force of the suction mechanism does not reach the space.

本発明のスクリーン印刷装置はまた、マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースと、前記移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを掻き取る際に前記マスクの下面のペーストを吸い出す吸出し機構とを備えたスクリーン印刷装置であって、前記マスククリーナは、前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、前記ベース体に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、前記ベース体は、上方に開放した開口を有するフレーム及び前記開口において前記複数のブレードを保持するブレード保持部を有し、前記吸出し機構は、前記複数のブレードが前記マスクの下面に当接した状態で前記開口を通じて空気を吸引し、前記ブレードで挟まれた複数の空間のうち、少なくともペーストの掻取り時の前記マスククリーナの進行方向の最も後側に位置する空間は前記開口から遮断されている。 The screen printing apparatus of the present invention also has a print head that prints paste on a substrate via a mask, a moving base that moves under the mask in a horizontal paste scraping direction, and the moving base that is attached to the moving base. It is provided with a mask cleaner that moves under the mask integrally with the base and scrapes off the paste adhering to the lower surface of the mask, and a suction mechanism that sucks out the paste on the lower surface of the mask when the mask cleaner scrapes the paste. In the screen printing apparatus, the mask cleaner is attached to the moving base and extends in the horizontal direction intersecting the paste scraping direction as the longitudinal direction, and is attached to the base body and extends in the longitudinal direction. The base body has a plurality of blades that extend and are arranged side by side in parallel with the paste scraping direction and bring the paste scraping edge projecting upward of the base body into contact with the lower surface of the mask. It has a frame having an opening opened upward and a blade holding portion for holding the plurality of blades in the opening, and the suction mechanism has air through the opening in a state where the plurality of blades are in contact with the lower surface of the mask. Of the plurality of spaces sandwiched between the blades, at least the space located at the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner at the time of scraping the paste is blocked from the opening.

本発明によれば、ペーストの掻き取り残しを少量に抑えてクリーニング品質を向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to improve the cleaning quality by suppressing the amount of unscraped paste residue to a small amount.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図Perspective view of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図Side view of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナをマスクとともに示す側面図A side view showing a mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention together with a mask. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの斜視図Perspective view of the mask cleaner provided in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの（ａ）平面図（ｂ）側面図（ｃ）下面図(A) Plan view (b) Side view (c) Bottom view of the mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナ及び移動ベースの分解斜視図An exploded perspective view of a mask cleaner and a moving base included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の平面図Top view of a part of the mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの断面図(A) (b) Cross-sectional view of a mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部の斜視図Perspective view of the base portion of the mask cleaner provided in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部を構成するブロック部材の平面図Top view of the block member constituting the base portion of the mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部を構成するブロック部材の斜視図Perspective view of the block member constituting the base portion of the mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部の一部の斜視図A perspective view of a part of the base portion of the mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのブレードの側面図Side view of the blade of the mask cleaner provided in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の斜視図A perspective view of a part of the mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのブレードの一部の拡大側面図(A) (b) Enlarged side view of a part of the blade of the mask cleaner provided in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の斜視図A perspective view of a part of the mask cleaner included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナを移動ベースに取り付ける手順を説明する図(A) (b) A diagram illustrating a procedure for attaching a mask cleaner included in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention to a moving base. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナ及び移動ベースの側断面図Side sectional view of the mask cleaner and the moving base included in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作を説明する図(A) (b) The figure explaining the operation of the screen printing apparatus in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの下面をクリーニングしている状態を示す図The figure which shows the state which the lower surface of the mask is cleaned by the mask cleaner provided in the screen printing apparatus in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの下面をクリーニングしている状態を示す図The figure which shows the state which the lower surface of the mask is cleaned by the mask cleaner provided in the screen printing apparatus in one Embodiment of this invention.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置１を示している。スクリーン印刷装置１は上流工程側から供給された基板ＫＢを搬入し、その基板ＫＢの表面に設けられた複数のランドＬＤのそれぞれに半田等のペーストＰｓｔを印刷して下流工程側に搬出する装置である。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見たスクリーン印刷装置１の前後方向をＹ軸方向とし、作業者ＯＰから見た左右方向（基板ＫＢの搬送方向）をＸ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、Ｙ軸方向のうち、作業者ＯＰから見た手前側を前方、作業者ＯＰから見た奥側を後方とする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 show the screen printing apparatus 1 according to the embodiment of the present invention. The screen printing device 1 is a device that carries in the substrate KB supplied from the upstream process side, prints paste Pst such as solder on each of a plurality of land LDs provided on the surface of the substrate KB, and carries it out to the downstream process side. Is. Here, for convenience of explanation, the front-back direction of the screen printing device 1 seen from the worker OP is the Y-axis direction, the left-right direction (the transport direction of the substrate KB) seen from the worker OP is the X-axis direction, and the vertical direction is Z. Axial direction. Further, in the Y-axis direction, the front side seen from the worker OP is the front side, and the back side seen from the worker OP is the rear side.

図１及び図２において、スクリーン印刷装置１は基台１１上に基板ステージ１２を備えている。基板ステージ１２の上方にはマスク１３が配置され、マスク１３の上方には印刷ヘッド１４が設置されている。基板ステージ１２とマスク１３の間にはカメラ１５とマスククリーナ１６が備えられている。基台１１の内側には、プログラムを実行する演算装置や記憶部等を有する制御部２０が収納されている。制御部２０はスクリーン印刷装置１を制御し、スクリーン印刷装置１にスクリーン印刷作業やマスク１３のクリーニング作業等を実行させる。 In FIGS. 1 and 2, the screen printing apparatus 1 includes a substrate stage 12 on a base 11. A mask 13 is arranged above the substrate stage 12, and a print head 14 is installed above the mask 13. A camera 15 and a mask cleaner 16 are provided between the substrate stage 12 and the mask 13. Inside the base 11, a control unit 20 having an arithmetic unit for executing a program, a storage unit, and the like is housed. The control unit 20 controls the screen printing device 1 and causes the screen printing device 1 to perform screen printing work, cleaning work of the mask 13, and the like.

図２において、基板ステージ１２は基板保持部２１と基板保持部移動機構２２から構成されている。基板保持部２１はＹ軸方向に平行に並んで設けられた基板搬送用の一対の搬送コンベア３１と、一対の搬送コンベア３１によって搬送されてきた基板ＫＢを下方から支持する下受け部３２と、一対の搬送コンベア３１の上部に設けられてＹ軸方向に開閉自在な一対のクランパ３３を備えている。基板保持部２１は一対の搬送コンベア３１が受け取った基板ＫＢを下受け部３２によって下受けし、一対のクランパ３３によってクランプしてその基板ＫＢを保持する。基板保持部移動機構２２は直交座標テーブル機構等によって構成されており、基板保持部２１をＸＹ面内方向、Ｚ軸方向及びＺ軸回り方向に移動させて基板保持部２１が保持した基板ＫＢを移動させる。 In FIG. 2, the substrate stage 12 is composed of a substrate holding portion 21 and a substrate holding portion moving mechanism 22. The board holding portions 21 include a pair of conveyors 31 for transporting substrates provided side by side in parallel in the Y-axis direction, and a lower receiving portion 32 that supports the substrate KB conveyed by the pair of conveyors 31 from below. A pair of clampers 33 that are provided on the upper part of the pair of conveyors 31 and can be opened and closed in the Y-axis direction are provided. The substrate holding portion 21 receives the substrate KB received by the pair of conveyors 31 by the lower receiving portion 32, clamps the substrate KB by the pair of clampers 33, and holds the substrate KB. The substrate holding portion moving mechanism 22 is configured by an orthogonal coordinate table mechanism or the like, and the substrate holding portion 21 is moved in the XY in-plane direction, the Z-axis direction, and the Z-axis circumferential direction to move the substrate KB held by the substrate holding portion 21. Move it.

図１及び図２において、マスク１３はＸＹ平面に広がった矩形形状を有している。マスク１３は金属製の板状部材から構成されており、四辺が枠部材１３Ｗによって支持されている。マスク１３の中央部には、基板ＫＢのランドＬＤの配置に対応して形成されたパターン孔１３Ｈが設けられている。 In FIGS. 1 and 2, the mask 13 has a rectangular shape extending in an XY plane. The mask 13 is made of a metal plate-shaped member, and its four sides are supported by the frame member 13W. A pattern hole 13H formed corresponding to the arrangement of the land LD of the substrate KB is provided in the central portion of the mask 13.

図１及び図２において、印刷ヘッド１４は、Ｘ軸方向に延びた形状のヘッドベース４１の下方に２つのスキージ４２を備えた構成を有している。２つのスキージ４２はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、Ｙ軸方向に対向して配置されている。ヘッドベース４１の上面には２つのスキージ４２を個別に昇降させるスキージ昇降駆動部４３が設けられている。ヘッドベース４１はＹ軸方向に移動自在であり、印刷ヘッド移動機構４４（図２）によって駆動されてマスク１３の上方をＹ軸方向に移動する。 In FIGS. 1 and 2, the print head 14 has a configuration in which two squeegees 42 are provided below a head base 41 having a shape extending in the X-axis direction. The two squeegees 42 consist of "spatula" -shaped members extending in the X-axis direction and are arranged so as to face each other in the Y-axis direction. On the upper surface of the head base 41, a squeegee elevating drive unit 43 for raising and lowering two squeegees 42 individually is provided. The head base 41 is movable in the Y-axis direction, and is driven by the print head moving mechanism 44 (FIG. 2) to move above the mask 13 in the Y-axis direction.

図１及び図２において、マスク１３の下方にはＸ軸方向に延びた移動ビーム５１が配置されており、カメラ１５は移動ビーム５１の前側に取り付けられている。移動ビーム５１はＹ軸方向に移動自在であり、Ｙ軸方向移動機構５２（図２）によって駆動されてマスク１３の下方をＹ軸方向に移動する。また、カメラ１５は移動ビーム５１に設けられたＸ軸方向移動機構５３（図３）によって移動ビーム５１に沿ってＸ軸方向に移動する。 In FIGS. 1 and 2, a moving beam 51 extending in the X-axis direction is arranged below the mask 13, and the camera 15 is attached to the front side of the moving beam 51. The moving beam 51 is movable in the Y-axis direction, and is driven by the Y-axis direction moving mechanism 52 (FIG. 2) to move below the mask 13 in the Y-axis direction. Further, the camera 15 moves in the X-axis direction along the moving beam 51 by the X-axis direction moving mechanism 53 (FIG. 3) provided in the moving beam 51.

カメラ１５は上方と下方の双方を撮像する機能を有している。カメラ１５は、カメラ１５自身のＸ軸方向への移動と移動ビーム５１のＹ軸方向への移動とによってマスク１３の下方を水平面内（ＸＹ面内）で移動し、基板保持部２１に保持された基板ＫＢを上方から撮像するとともに、マスク１３を下方から撮像する。 The camera 15 has a function of capturing both the upper side and the lower side. The camera 15 moves below the mask 13 in the horizontal plane (in the XY plane) by the movement of the camera 15 itself in the X-axis direction and the movement of the moving beam 51 in the Y-axis direction, and is held by the substrate holding portion 21. The substrate KB is imaged from above, and the mask 13 is imaged from below.

図１及び図２において、移動ビーム５１の後方にはＸ軸方向に延びたクリーナ取付け部５４が装着されている。クリーナ取付け部５４は移動ビーム５１とともにＹ軸方向に移動する。クリーナ取付け部５４の後側には移動ベース５５が昇降自在に設けられており、マスククリーナ１６は移動ベース５５に取り付けられている（図３も参照）。 In FIGS. 1 and 2, a cleaner mounting portion 54 extending in the X-axis direction is mounted behind the moving beam 51. The cleaner mounting portion 54 moves in the Y-axis direction together with the moving beam 51. A moving base 55 is provided on the rear side of the cleaner mounting portion 54 so as to be able to move up and down, and the mask cleaner 16 is mounted on the moving base 55 (see also FIG. 3).

図３において、クリーナ取付け部５４には昇降機構５４Ｋが設けられており、移動ベース５５は昇降機構５４Ｋによって昇降される。昇降機構５４Ｋはエアや油圧によって駆動されるアクチュエータで構成されている。昇降機構５４Ｋが移動ベース５５を昇降させると、マスククリーナ１６が移動ビーム５１に対して昇降する（図３中に示す矢印Ａ）。 In FIG. 3, the cleaner mounting portion 54 is provided with an elevating mechanism 54K, and the moving base 55 is elevated by the elevating mechanism 54K. The elevating mechanism 54K is composed of an actuator driven by air or hydraulic pressure. When the elevating mechanism 54K raises and lowers the moving base 55, the mask cleaner 16 moves up and down with respect to the moving beam 51 (arrow A shown in FIG. 3).

図４及び図５（ａ），（ｂ），（ｃ）において、マスククリーナ１６は全体としてＸ軸方向に延びた形状を有している。マスククリーナ１６は、図６、図７及び図８（ａ），（ｂ）にも示すように、ベース体６１、複数（ここでは６枚）のブレード６２、一対のエンド部材６３、整流板６４等を備えている。ここで、図８（ａ）は図７における矢視Ｖ１－Ｖ１から見た断面図（ひとつの梁部７３の全部を横断する断面図）であり、図８（ｂ）は図７における矢視Ｖ２－Ｖ２から見た断面図（梁部７３を横断しない断面図）である。 In FIGS. 4 and 5 (a), (b), and (c), the mask cleaner 16 has a shape extending in the X-axis direction as a whole. As shown in FIGS. 6, 7 and 8 (a) and 8 (b), the mask cleaner 16 includes a base body 61, a plurality of (here, 6 blades) blades 62, a pair of end members 63, and a straightening vane 64. Etc. are provided. Here, FIG. 8A is a cross-sectional view seen from the arrow view V1-V1 in FIG. 7 (cross-sectional view crossing the entire beam portion 73), and FIG. 8B is a cross-sectional view in FIG. 7. It is sectional drawing (cross-sectional view which does not cross the beam part 73) seen from V2-V2.

図５（ａ）、図６及び図９において、ベース体６１はマスククリーナ１６によるペーストＰｓｔの掻取り方向であるＹ軸方向（ペースト掻取り方向とする）と交差する水平方向を長手方向（Ｘ軸方向に相当）として延びており、フレーム７１とブレード保持部７２を有して構成されている。フレーム７１はベース体６１の長手方向に延びた矩形枠体状の部材であり、中央部に上下方向に貫通して上方に開放した開口７１Ｓを有している。ブレード保持部７２はフレーム７１の開口７１Ｓに装着され、ベース体６１の長手方向（Ｘ軸方向）に間隔を空けて並ぶ複数の梁部７３を備えている。 In FIGS. 5A, 6 and 9, the base body 61 has a longitudinal direction (X) intersecting the Y-axis direction (referred to as the paste scraping direction), which is the scraping direction of the paste Pst by the mask cleaner 16. It extends as (corresponding to the axial direction), and is configured to have a frame 71 and a blade holding portion 72. The frame 71 is a rectangular frame-shaped member extending in the longitudinal direction of the base body 61, and has an opening 71S penetrating in the vertical direction and opening upward in the central portion. The blade holding portion 72 is attached to the opening 71S of the frame 71, and includes a plurality of beam portions 73 arranged at intervals in the longitudinal direction (X-axis direction) of the base body 61.

本実施の形態では、ブレード保持部７２はフレーム７１に着脱自在に取り付けられる複数（ここでは７個）のブロック部材７２Ｂから構成されている（図５（ａ）、図６及び図９）。これら複数のブロック部材７２Ｂは互いに同一形状を有している。 In the present embodiment, the blade holding portion 72 is composed of a plurality of (here, 7) block members 72B that are detachably attached to the frame 71 (FIGS. 5 (a), 6 and 9). These plurality of block members 72B have the same shape as each other.

図１０，図１１及び図１２において、ブレード保持部７２（各ブロック部材７２Ｂ）は、ベース体６１の長手方向（Ｘ軸方向）に延びてペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に対向する平行な一対の縁部７４を有しており、複数の梁部７３はこれら一対の縁部７４の間に掛け渡されて延びている。ブレード保持部７２は（すなわち各ブロック部材７２Ｂは）、一対の縁部７４をフレーム７１の開口７１Ｓ内に形成された一対のブロック支持部７１Ｂに載置されてフレーム７１に取り付けられている（図８（ａ），（ｂ））。 In FIGS. 10, 11 and 12, the blade holding portion 72 (each block member 72B) extends in the longitudinal direction (X-axis direction) of the base body 61 and is parallel to face the paste scraping direction (Y-axis direction). It has a pair of edge portions 74, and a plurality of beam portions 73 are hung and extended between the pair of edge portions 74. The blade holding portion 72 (that is, each block member 72B) has a pair of edge portions 74 mounted on the pair of block support portions 71B formed in the opening 71S of the frame 71 and attached to the frame 71 (FIG. FIG. 8 (a), (b)).

ブレード保持部７２（７個のブロック部材７２Ｂ）がフレーム７１に取り付けられている状態では、複数の梁部７３は、ベース体６１の長手方向（Ｘ軸方向）に等間隔（各梁部７３のペースト掻取り方向の中間位置を基準に見た場合に等間隔）に位置している（図６及び図９）。また、複数の梁部７３はそれぞれ、ペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に対して水平面内で斜めに交差して（ベース体６１の長手方向に対して直交姿勢からやや傾いて）いる（図５（ａ）及び図１０）。このため複数のブレード６２は互いに異なる長手方向の箇所が梁部７３によって支持されることとなり、マスククリーナ１６をペースト掻取り方向から見た場合、各ブレード６２の梁部７３によって支持されている箇所と梁部７３によって支持されない箇所はブレード６２の長手方向にほぼ均等に分散された状態となる。 In a state where the blade holding portions 72 (seven block members 72B) are attached to the frame 71, the plurality of beam portions 73 are equally spaced in the longitudinal direction (X-axis direction) of the base body 61 (of each beam portion 73). It is located at equal intervals when viewed from the intermediate position in the paste scraping direction (FIGS. 6 and 9). Further, the plurality of beam portions 73 intersect diagonally in the horizontal plane with respect to the paste scraping direction (Y-axis direction) (slightly tilted from the posture orthogonal to the longitudinal direction of the base body 61) (FIG. FIG. 5 (a) and FIG. 10). Therefore, the plurality of blades 62 have different longitudinal directions supported by the beam portion 73, and when the mask cleaner 16 is viewed from the paste scraping direction, the portions supported by the beam portion 73 of each blade 62. The portions not supported by the beam portion 73 are substantially evenly dispersed in the longitudinal direction of the blade 62.

図１０，図１１及び図１２において、ブレード保持部７２には、複数のブレード６２を挿入するための複数列（ここでは６列）の溝部７５がそれぞれベース体６１の長手方向に延びて設けられている。本実施の形態では、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向（ここでは前方）の前後の２つの縁部７４には溝部７５がひとつ（１列）ずつ設けられており、複数の梁部７３には４列の溝部７５が設けられている。これら４列の溝部７５は、ベース体６１の長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部７３にわたって設けられている（図１０及び図１１）。 In FIGS. 10, 11 and 12, the blade holding portion 72 is provided with a plurality of rows (here, 6 rows) of groove portions 75 for inserting the plurality of blades 62 extending in the longitudinal direction of the base body 61, respectively. ing. In the present embodiment, one groove 75 (one row) is provided on each of the two front and rear edges 74 in the traveling direction (here, the front) of the mask cleaner 16 when scraping the paste Pst, and a plurality of grooves 75 are provided. The beam portion 73 is provided with four rows of groove portions 75. These four rows of groove portions 75 are provided over a plurality of beam portions 73 arranged at intervals in the longitudinal direction of the base body 61 (FIGS. 10 and 11).

図１０，図１１及び図１２において、各溝部７５は上方に開口している。ブレード保持部７２が備える複数列（６列）の溝部７５は互いに平行であり、それぞれ上端側をペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向とは反対の方向（すなわち後方）に傾斜させている。 In FIGS. 10, 11 and 12, each groove 75 is open upward. The groove portions 75 of the plurality of rows (6 rows) provided in the blade holding portion 72 are parallel to each other, and their upper ends are inclined in a direction opposite to the traveling direction of the mask cleaner 16 when scraping the paste Pst (that is, rearward). ing.

図６及び図１３において、各ブレード６２はベース体６１の長手方向に延びた薄板状の部材であり、樹脂から構成されている。６枚のブレード６２は、図１４に示すように、ブレード保持部７２に設けられた６列の溝部７５に上方から挿入されている。このため、ブレード保持部７２に支持された複数のブレード６２は、ペースト掻取り方向に互いに平行に並んだ状態となる（図４、図５（ａ）及び図１４）。 In FIGS. 6 and 13, each blade 62 is a thin plate-shaped member extending in the longitudinal direction of the base body 61, and is made of resin. As shown in FIG. 14, the six blades 62 are inserted from above into the six rows of grooves 75 provided in the blade holding portion 72. Therefore, the plurality of blades 62 supported by the blade holding portion 72 are arranged in parallel with each other in the paste scraping direction (FIGS. 4, 5 (a) and 14).

図８（ａ），（ｂ）において、６枚のブレード６２のうちの２枚は、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向（図８（ａ），（ｂ）における紙面右方）の前後両端に位置する２列の溝部７５によって支持されており、６枚のブレード６２のうちの他の４枚は、ブレード保持部７２に設けられた４列の溝部７５によって支持されている。すなわち、進行方向から見て先頭と最後尾に位置する２枚のブレード６２は縁部７４に設けられた溝部７５によって支持されており、それらの中間に位置する４枚は、梁部７３に設けられた溝部７５によって支持されている。前述したように各溝部７５は上端側が後方に傾斜しているので、溝部７５に挿入された各ブレード６２は、開口７１Ｓ内で上端側を後方に傾斜させた姿勢となる。 In FIGS. 8A and 8B, two of the six blades 62 are in the traveling direction of the mask cleaner 16 when scraping the paste Pst (to the right of the paper surface in FIGS. 8A and 8B). ) Is supported by two rows of grooves 75 located at both front and rear ends, and the other four of the six blades 62 are supported by four rows of grooves 75 provided in the blade holding portion 72. .. That is, the two blades 62 located at the beginning and the end when viewed from the traveling direction are supported by the groove portion 75 provided in the edge portion 74, and the four blades located in the middle thereof are provided in the beam portion 73. It is supported by the grooved portion 75. As described above, since the upper end side of each groove portion 75 is inclined backward, each blade 62 inserted into the groove portion 75 is in a posture in which the upper end side is inclined backward in the opening 71S.

ここで、上記中間の４枚のブレード６２のうち最も後側に位置するブレード６２（図８（ａ），（ｂ）において符号６２Ｔで示す）が挿入される溝部７５Ｔは、後側の縁部７４の上面に開口されている。これにより、溝部７５Ｔの上端には縁部７４に沿ってブレード６２とほぼ同じ長さの傾斜したシール面７５Ｓが形成されている。図１２に明瞭に示すように、このシール面７５Ｓは梁部７３のない縁部７４の上部にも形成されている。このため、溝部７５Ｔに挿入されたブレード６２Ｔの後面はシール面７５Ｓに当接する。 Here, the groove portion 75T into which the blade 62 (indicated by reference numeral 62T in FIGS. 8A and 8B) located on the rearmost side of the four intermediate blades 62 is inserted is the rear edge portion. It is open on the upper surface of 74. As a result, an inclined sealing surface 75S having substantially the same length as the blade 62 is formed along the edge portion 74 at the upper end of the groove portion 75T. As is clearly shown in FIG. 12, the sealing surface 75S is also formed on the upper portion of the edge portion 74 without the beam portion 73. Therefore, the rear surface of the blade 62T inserted into the groove portion 75T abuts on the sealing surface 75S.

図８（ａ），（ｂ）において、上記中間の４枚のブレード６２はそれぞれ長手方向の中間の一部が複数の梁部７３によって部分的に支持されているため梁部７３からはみ出した部分は開口７１Ｓ内に位置した状態となる。このため、先頭のブレード６２並びに中間の４枚のブレード６２で挟まれた空間６２Ｓは開口７１Ｓに通じている。これに対し、マスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２は、その長手方向の全体がブレード保持部７２によって支持されているうえ、そのひとつ前側に位置するブレード６２Ｔの後面がシール面７５Ｓに当接しているので、進行方向の最も後側に位置するブレード６２とそのひとつ前側に位置するブレード６２Ｔに挟まれた空間６２ＳＴは開口７１Ｓから遮断されている。マスククリーナ１６の進行方向の最も前側に位置するブレード６２も開口７１Ｓの外部に位置しているので、そのペースト掻取り面の側の空間は開口７１Ｓから遮断されている。 In FIGS. 8A and 8B, each of the four blades 62 in the middle is a portion protruding from the beam portion 73 because a part of the middle in the longitudinal direction is partially supported by the plurality of beam portions 73. Is located in the opening 71S. Therefore, the space 62S sandwiched between the leading blade 62 and the four intermediate blades 62 leads to the opening 71S. On the other hand, the blade 62 located on the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 is entirely supported by the blade holding portion 72 in the longitudinal direction, and the rear surface of the blade 62T located on the front side thereof is sealed. Since it is in contact with the surface 75S, the space 62ST sandwiched between the blade 62 located on the rearmost side in the traveling direction and the blade 62T located on the front side thereof is shielded from the opening 71S. Since the blade 62 located on the frontmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 is also located outside the opening 71S, the space on the side of the paste scraping surface is shielded from the opening 71S.

このように本実施の形態のマスククリーナ１６は、移動ベース５５に取り付けられてペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体６１と、ベース体６１に着脱自在に取り付けられて長手方向に延びるとともにペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、ベース体６１の上方に突出させたペースト掻取りエッジ６２Ｅを備えた構成となっている。そして、ベース体６１は、上方に開放した開口７１Ｓを有するフレーム７１と、フレーム７１の開口７１Ｓに装着されて長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部７３を備えたブレード保持部７２を有しており、ブレード保持部７２は複数（６枚）のブレード６２を保持し、複数の梁部７３はブレード６２（６枚のブレード６２のうち、マスククリーナ１６の進行方向の最も前側と最も後側に位置する２枚のブレード６２を除く４枚のブレード６２）の長手方向の中間部を部分的に支持する構成となっている。 As described above, the mask cleaner 16 of the present embodiment has a base body 61 which is attached to the moving base 55 and extends in the horizontal direction intersecting the paste scraping direction as a longitudinal direction, and a base body 61 which is detachably attached to the base body 61 and has a longitudinal direction. It is configured to have a paste scraping edge 62E extending in the direction and arranged side by side in parallel with the paste scraping direction and projecting upward from the base body 61. The base body 61 has a frame 71 having an opening 71S opened upward, and a blade holding portion 72 having a plurality of beam portions 73 mounted on the opening 71S of the frame 71 and arranged at intervals in the longitudinal direction. The blade holding portion 72 holds a plurality of (six) blades 62, and the plurality of beam portions 73 hold the blade 62 (of the six blades 62, the frontmost side and the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16). It is configured to partially support the intermediate portion in the longitudinal direction of the four blades 62) excluding the two blades 62 located on the side.

また、本実施の形態のマスククリーナ１６では、ブレード６２で挟まれた複数の空間６２Ｓのうち、少なくともペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置する空間６２ＳＴは開口７１Ｓに通じていない構成となっている。 Further, in the mask cleaner 16 of the present embodiment, of the plurality of spaces 62S sandwiched between the blades 62, at least the space 62ST located at the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 at the time of scraping the paste Pst is open. The configuration is not familiar to 71S.

図４、図５（ａ），（ｂ），（ｃ）、図６及び図９において、一対のエンド部材６３はベース体６１の長手方向（Ｙ軸方向）の両端部に取り付けられている。各エンド部材６３はそれぞれ樹脂から構成されており、ペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に並んで形成された２つの螺子孔６３Ｈを有している。各エンド部材６３は、２つの螺子孔６３Ｈに挿通された２つの螺子６３Ｓがベース体６１の長手方向の両端部に設けられた螺子取付け穴６１Ｈ（図６）に螺入されることによって、ベース体６１に着脱自在に装着される。エンド部材６３はＸＹ方向に広がった平らな上面６３Ｆを備えている。 In FIGS. 4, 5 (a), 5 (b), (c), 6 and 9, the pair of end members 63 are attached to both ends of the base body 61 in the longitudinal direction (Y-axis direction). Each end member 63 is made of resin and has two screw holes 63H formed side by side in the paste scraping direction (Y-axis direction). Each end member 63 has a base by screwing two screws 63S inserted into the two screw holes 63H into screw mounting holes 61H (FIG. 6) provided at both ends in the longitudinal direction of the base body 61. It is detachably attached to the body 61. The end member 63 has a flat upper surface 63F extending in the XY direction.

図１３において、各ブレード６２の長手方向の両端部には被押さえ部６２Ｈが形成されている。被押さえ部６２Ｈは、ブレード６２の長手方向の外側に突出した上下に対称な半円形状を有している。一対のエンド部材６３がベース体６１の両端部に取り付けられると、複数のブレード６２それぞれの被押さえ部６２Ｈの傾斜面（ここでは円弧面）にエンド部材６３の突起部６３Ｔ（図１５（ａ），（ｂ））が上方から当接し、複数のブレード６２がフレーム７１に固定される。 In FIG. 13, pressed portions 62H are formed at both ends of each blade 62 in the longitudinal direction. The pressed portion 62H has a vertically symmetrical semicircular shape protruding outward in the longitudinal direction of the blade 62. When the pair of end members 63 are attached to both ends of the base body 61, the protrusion 63T of the end member 63 (here, an arc surface) on the inclined surface (here, the arc surface) of the pressed portion 62H of each of the plurality of blades 62 (FIG. 15 (a)). , (B)) abut from above, and the plurality of blades 62 are fixed to the frame 71.

このように本実施の形態では、複数のブレード６２はそれぞれ長手方向の両端部か長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部６２Ｈを有し、複数のブレード６２それぞれが有する一対の被押さえ部６２Ｈはベース体６１に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材６３によって上方から押さえられるようになっている。 As described above, in the present embodiment, the plurality of blades 62 each have a pair of pressed portions 62H formed at both ends in the longitudinal direction or protruding outward in the longitudinal direction, and each of the plurality of blades 62 has a pair of pressed portions 62H. The pressed portion 62H is adapted to be pressed from above by a pair of end members 63 that are detachably attached to the base body 61.

ベース体６１に装着された一対のエンド部材６３は、複数のブレード６２の被押さえ部６２Ｈの両端部に接触することによって、ペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に隣接するブレード６２同士の間に側壁を形成する。このため、後述する空気吸引時において、ブレード６２で挟まれた空間６２Ｓの側方からのエアの流入が防止される。なお、ブレード６２の被押さえ部６２Ｈの形状は、図１３に示したような上下方向に対称な半円形状に限られず、上下方向に対称な半楕円形状や三角形形状、台形形状等であってもよい。 The pair of end members 63 mounted on the base body 61 come into contact with both ends of the pressed portions 62H of the plurality of blades 62, so that the pair of end members 63 are between the blades 62 adjacent to each other in the paste scraping direction (Y-axis direction). Form a side wall. Therefore, at the time of air suction described later, the inflow of air from the side of the space 62S sandwiched by the blade 62 is prevented. The shape of the pressed portion 62H of the blade 62 is not limited to the semicircular shape symmetrical in the vertical direction as shown in FIG. 13, but may be a semicircular shape, a triangular shape, a trapezoidal shape, etc. symmetrical in the vertical direction. May be good.

複数のブレード６２が一対のエンド部材６３によってフレーム７１に固定された状態では、複数のブレード６２それぞれの上縁は各エンド部材６３の上面よりも上方に突出している（図８（ａ），（ｂ）及び図１５（ａ），（ｂ））。すなわち、ベース体６１に取り付けられた各エンド部材６３の上面は、複数のブレード６２の上縁よりも低い位置に位置している。ベース体６１の上方に突出した上縁は、マスク１３のクリーニングの際、マスク１３の下面に当接されてペーストＰｓｔを掻き取るエッジ（ペースト掻取りエッジ６２Ｅ）となる（図１３）。 In a state where the plurality of blades 62 are fixed to the frame 71 by a pair of end members 63, the upper edges of the plurality of blades 62 each project upward from the upper surface of each end member 63 (FIGS. 8A, 8). b) and FIGS. 15 (a) and 15 (b)). That is, the upper surface of each end member 63 attached to the base body 61 is located at a position lower than the upper edges of the plurality of blades 62. The upper edge protruding upward of the base body 61 becomes an edge (paste scraping edge 62E) that abuts on the lower surface of the mask 13 and scrapes the paste Pst when the mask 13 is cleaned (FIG. 13).

図１３において、各ブレード６２は上下方向に対称な形状を有しており、上下方向に対向する２つのエッジ（第１のエッジ６２ａ及び第２のエッジ６２ｂ）を有している。このため各ブレード６２は任意の一方のエッジ（第１のエッジ６２ａ又は第２のエッジ６２ｂ）がペースト掻取りエッジ６２Ｅとなるようにベース体６１に取り付けることができる（図１５（ａ），（ｂ））。 In FIG. 13, each blade 62 has a vertically symmetrical shape and has two vertically opposed edges (first edge 62a and second edge 62b). Therefore, each blade 62 can be attached to the base body 61 so that any one edge (first edge 62a or second edge 62b) becomes the paste scraping edge 62E (FIGS. 15A, 15A, b)).

図１５（ａ），（ｂ）に示すように、各ブレード６２の端部には、第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂを識別するための識別マーク６２Ｍ（識別表示）が付されている（図１３及び図１６も参照）。識別マーク６２Ｍは、ブレード６２がベース体６１に取り付けられている状態で外部から視認することができる（図１６）。このため作業者は、ベース体６１からブレード６２を取り外すことなく、そのブレード６２の第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂのどちらがペースト掻取りエッジ６２Ｅとなっているかを知ることができる。 As shown in FIGS. 15A and 15B, an identification mark 62M (identification display) for identifying the first edge 62a and the second edge 62b is attached to the end of each blade 62. (See also FIGS. 13 and 16). The identification mark 62M can be visually recognized from the outside in a state where the blade 62 is attached to the base body 61 (FIG. 16). Therefore, the operator can know which of the first edge 62a and the second edge 62b of the blade 62 is the paste scraping edge 62E without removing the blade 62 from the base body 61.

図５（ｃ）、図６及び図１４において、整流板６４はベース体６１の下面側に位置して設けられている。整流板６４はベース体６１の長手方向に並んで設けられた複数の整流孔６４Ｈを有しており、複数の整流板装着螺子６４Ｓによってベース体６１に着脱自在に装着されている（図６及び図８（ａ），（ｂ））。 In FIGS. 5 (c), 6 and 14, the straightening vane 64 is provided so as to be located on the lower surface side of the base body 61. The straightening vane 64 has a plurality of straightening holes 64H provided side by side in the longitudinal direction of the base body 61, and is detachably mounted on the base body 61 by a plurality of straightening vane mounting screws 64S (FIGS. 6 and 6). 8 (a) and 8 (b)).

図６において、移動ベース５５の上面のベース体６１の下面と接触する部分には、複数（ここでは２つ）の位置決め孔５５Ｈが設けられている。一方、ベース体６１を構成するフレーム７１の下面には、複数の位置決め孔５５Ｈに対応して配置された複数（ここでは２つ）の位置決めピン６１Ｐが下方に延びて設けられている（図５（ｂ），（ｃ））。これら複数の位置決めピン６１Ｐは、移動ベース５５に対してベース体６１を位置決めするために設けられている。 In FIG. 6, a plurality of (here, two) positioning holes 55H are provided in a portion of the upper surface of the moving base 55 in contact with the lower surface of the base body 61. On the other hand, on the lower surface of the frame 71 constituting the base body 61, a plurality of (here, two) positioning pins 61P arranged corresponding to the plurality of positioning holes 55H are provided extending downward (FIG. 5). (B), (c)). These plurality of positioning pins 61P are provided for positioning the base body 61 with respect to the moving base 55.

マスククリーナ１６を移動ベース５５に取り付けるときは、マスククリーナ１６のベース体６１に設けられた複数の位置決めピン６１Ｐを移動ベース５５に設けられた複数の位置決め孔５５Ｈに上方から挿入させる（図１７（ａ）中に示す矢印Ｂ）これによりマスククリーナ１６は移動ベース５５上の規定の位置に取り付けられる（図１７（ｂ））。 When the mask cleaner 16 is attached to the moving base 55, a plurality of positioning pins 61P provided on the base body 61 of the mask cleaner 16 are inserted into a plurality of positioning holes 55H provided on the moving base 55 from above (FIG. 17 (FIG. 17). a) Arrow B shown in) This allows the mask cleaner 16 to be mounted in a defined position on the moving base 55 (FIG. 17 (b)).

図５（ｂ），（ｃ）及び図８（ａ），（ｂ）において、ベース体６１には下面に表面を露出させた複数の磁石６１Ｍが埋設されている。一方、移動ベース５５は磁性体材料から構成されている。このためマスククリーナ１６が移動ベース５５上の規定の位置に取り付けられると、フレーム７１に埋設された複数の磁石６１Ｍがそれぞれ移動ベース５５の上面に磁力で吸着し、マスククリーナ１６が移動ベース５５に固定される（図１７（ｂ））。 In FIGS. 5 (b) and 5 (c) and FIGS. 8 (a) and 8 (b), a plurality of magnets 61M having an exposed surface are embedded in the base body 61. On the other hand, the moving base 55 is made of a magnetic material. Therefore, when the mask cleaner 16 is attached to the specified position on the moving base 55, the plurality of magnets 61M embedded in the frame 71 are magnetically attracted to the upper surface of the moving base 55, and the mask cleaner 16 is attached to the moving base 55. It is fixed (FIG. 17 (b)).

図１８（図１７（ｂ）における矢視Ｖ３－Ｖ３から見た断面図）において、マスククリーナ１６が移動ベース５５に取り付けられた状態では、マスククリーナ１６の開口７１Ｓが移動ベース５５に形成された内部空間５５Ｓ（図６も参照）と連通する。移動ベース５５には内部空間５５Ｓに設けられた空気通路５５Ｒ（図６も参照）を通じて外部に延びる真空吸引管路５５Ｔが設けられている（図３及び図１８）。この真空吸引管路５５Ｔには吸出し機構８０が接続されており（図３及び図１８）、吸出し機構８０が真空吸引管路５５Ｔを介して空気を吸引すると、マスククリーナ１６の上方の空気が開口７１Ｓ及び整流板６４に設けられた整流孔６４Ｈを通じて内部空間５５Ｓ側に引き込まれ、マスク１３の下面やパターン孔１３Ｈ内に付着したペーストＰｓｔがマスククリーナ１６側に吸い出される。 In FIG. 18 (cross-sectional view seen from arrow V3-V3 in FIG. 17B), when the mask cleaner 16 is attached to the moving base 55, the opening 71S of the mask cleaner 16 is formed in the moving base 55. It communicates with the internal space 55S (see also FIG. 6). The moving base 55 is provided with a vacuum suction pipe line 55T extending to the outside through an air passage 55R (see also FIG. 6) provided in the internal space 55S (FIGS. 3 and 18). A suction mechanism 80 is connected to the vacuum suction pipe 55T (FIGS. 3 and 18), and when the suction mechanism 80 sucks air through the vacuum suction pipe 55T, the air above the mask cleaner 16 opens. The paste Pst that is drawn into the internal space 55S side through the rectifying holes 64H provided in the 71S and the rectifying plate 64 and adheres to the lower surface of the mask 13 and the pattern holes 13H is sucked out to the mask cleaner 16 side.

スクリーン印刷装置１がスクリーン印刷作業を行う場合には、先ず、スクリーン印刷装置１の外部から供給された基板ＫＢを搬送コンベア３１が受け取って所定の位置まで搬入する。そして、下受け部３２が上昇して基板ＫＢを下方から支持し、更にクランパ３３が作動して基板ＫＢをＹ軸方向からクランプする。クランパ３３が基板ＫＢをクランプしたらカメラ１５がＹ軸方向移動機構５２とＸ軸方向移動機構５３の作動によって水平方向に移動しつつ、マスク１３と基板ＫＢを撮像する。制御部２０はカメラ１５が撮像した基板ＫＢとマスク１３の画像データから得られる基板ＫＢとマスク１３との相対位置関係を算出し、基板ＫＢの各ランドＬＤとマスク１３のパターン孔１３Ｈとが上下に重なるように基板保持部移動機構２２を作動させて、基板ＫＢをマスク１３に接触させる。 When the screen printing device 1 performs screen printing work, first, the conveyor 31 receives the substrate KB supplied from the outside of the screen printing device 1 and carries it into a predetermined position. Then, the lower receiving portion 32 rises to support the substrate KB from below, and the clamper 33 operates to clamp the substrate KB from the Y-axis direction. When the clamper 33 clamps the substrate KB, the camera 15 moves horizontally by the operation of the Y-axis direction moving mechanism 52 and the X-axis direction moving mechanism 53, and images the mask 13 and the substrate KB. The control unit 20 calculates the relative positional relationship between the substrate KB and the mask 13 obtained from the image data of the substrate KB and the mask 13 imaged by the camera 15, and each land LD of the substrate KB and the pattern hole 13H of the mask 13 move up and down. The substrate holding portion moving mechanism 22 is operated so as to overlap with the mask 13, and the substrate KB is brought into contact with the mask 13.

基板ＫＢがマスク１３に接触したら、スキージ昇降駆動部４３が作動して２つのスキージ４２のうちの一方をマスク１３の上面に当接させる。スキージ４２がマスク１３の上面に当接したら印刷ヘッド移動機構４４がヘッドベース４１をＹ軸方向に移動させる。これによりマスク１３上に供給されたペーストＰｓｔがスキージ４２によってマスク１３上で掻き寄せられ（図２）、マスク１３のパターン孔１３Ｈを通じて基板ＫＢの各ランドＬＤにペーストＰｓｔが塗布される。 When the substrate KB comes into contact with the mask 13, the squeegee elevating drive unit 43 operates to bring one of the two squeegees 42 into contact with the upper surface of the mask 13. When the squeegee 42 comes into contact with the upper surface of the mask 13, the print head moving mechanism 44 moves the head base 41 in the Y-axis direction. As a result, the paste Pst supplied onto the mask 13 is scraped onto the mask 13 by the squeegee 42 (FIG. 2), and the paste Pst is applied to each land LD of the substrate KB through the pattern hole 13H of the mask 13.

基板ＫＢの各ランドＬＤにペーストＰｓｔが塗布されたら、基板保持部移動機構２２が基板保持部２１を下降させて基板ＫＢをマスク１３から分離（版離れ）させる。これにより基板ＫＢへのペーストＰｓｔの印刷が終了する。基板ＫＢへのペーストＰｓｔの印刷が終了したら搬送コンベア３１が作動し、基板ＫＢをスクリーン印刷装置１の外部に搬出する。 When the paste Pst is applied to each land LD of the substrate KB, the substrate holding portion moving mechanism 22 lowers the substrate holding portion 21 to separate (separate) the substrate KB from the mask 13. This completes the printing of the paste Pst on the substrate KB. When the printing of the paste Pst on the substrate KB is completed, the conveyor 31 operates to carry out the substrate KB to the outside of the screen printing apparatus 1.

搬送コンベア３１によって基板ＫＢがスクリーン印刷装置１の外部に搬出されたら、マスククリーナ１６によるマスククリーニング作業が実行される。マスククリーニング作業では、Ｙ軸方向移動機構５２が移動ビーム５１をＹ軸方向に移動させ、マスククリーナ１６をマスク１３の後下方に位置させる。マスククリーナ１６がマスク１３の後下方に位置したら、昇降機構５４Ｋが作動してマスククリーナ１６を上昇させ、マスククリーナ１６を（詳細には６枚のブレード６２のペースト掻取りエッジ６２Ｅを）マスク１３の下面に当接させる（図１９（ａ））。 When the substrate KB is carried out of the screen printing apparatus 1 by the conveyor 31, the mask cleaning work by the mask cleaner 16 is executed. In the mask cleaning work, the Y-axis direction moving mechanism 52 moves the moving beam 51 in the Y-axis direction, and the mask cleaner 16 is positioned behind and below the mask 13. When the mask cleaner 16 is located below the rear of the mask 13, the elevating mechanism 54K is activated to raise the mask cleaner 16 and the mask cleaner 16 (specifically, the paste scraping edge 62E of the six blades 62). (FIG. 19 (a)).

マスククリーナ１６がマスク１３の下面に当接したら、Ｙ軸方向移動機構５２が作動して移動ビーム５１を前方に移動させる。これによりマスククリーナ１６が備える６枚のブレード６２がマスク１３の下面を摺動し、各ブレード６２のペースト掻取りエッジ６２Ｅによってマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔが掻き取られていく（図１９（ｂ）及び図２０）。また、６枚のブレード６２がマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔを掻き取っている間、吸出し機構８０は空気を吸引する。これによりマスク１３に付着しているペーストＰｓｔがマスククリーナ１６の開口７１Ｓ及びブレード６２で挟まれた複数の空間６２Ｓを通じて吸出し機構８０によって強制的に吸い出されるので、ペーストＰｓｔの掻取り効率が向上する。 When the mask cleaner 16 comes into contact with the lower surface of the mask 13, the Y-axis direction moving mechanism 52 operates to move the moving beam 51 forward. As a result, the six blades 62 included in the mask cleaner 16 slide on the lower surface of the mask 13, and the paste Pst adhering to the lower surface of the mask 13 is scraped off by the paste scraping edge 62E of each blade 62 (FIG. 19). (B) and FIG. 20). Further, the suction mechanism 80 sucks air while the six blades 62 scrape the paste Pst adhering to the lower surface of the mask 13. As a result, the paste Pst adhering to the mask 13 is forcibly sucked out by the suction mechanism 80 through the opening 71S of the mask cleaner 16 and the plurality of spaces 62S sandwiched between the blades 62, so that the scraping efficiency of the paste Pst is improved. do.

このようにブレード６２がマスク１３の下面を摺動してマスククリーニングが実行されているときには、ベース体６１に取り付けられた一対のエンド部材６３は、図２０中に示す領域Ｒａの拡大図である図２１に示すように、マスク１３の下面に下方から当接するようになっている。このためマスククリーニング中に、ブレード６２で挟まれた空間６２Ｓの側方から開口７１Ｓにエアが流入するのを防止する。これにより、クリーニングに寄与しない箇所から流入するエアによってマスククリーナ１６の吸引力が損なわれないようにすることができる。 When the blade 62 slides on the lower surface of the mask 13 to perform mask cleaning in this way, the pair of end members 63 attached to the base body 61 is an enlarged view of the region Ra shown in FIG. 20. As shown in FIG. 21, it comes into contact with the lower surface of the mask 13 from below. Therefore, during mask cleaning, it is possible to prevent air from flowing into the opening 71S from the side of the space 62S sandwiched by the blade 62. This makes it possible to prevent the suction force of the mask cleaner 16 from being impaired by the air flowing in from a portion that does not contribute to cleaning.

図２１において、マスククリーニングにおけるペーストＰｓｔの掻取りでは、ペースト掻取り方向に並んで配置された６枚のブレード６２のうちペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も前側に位置するブレード６２は、他のブレード６２よりも先に、マスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔを掻き取ることになる。このためペーストＰｓｔの掻取り量はペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も前側に位置するブレード６２が最も多く、それ以外の５枚のブレード６２は後方に位置するものほど掻取り量が少なくなっていく。 In FIG. 21, in the scraping of the paste Pst in the mask cleaning, it is located on the frontmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 at the time of scraping the paste Pst among the six blades 62 arranged side by side in the paste scraping direction. The blade 62 scrapes off the paste Pst adhering to the lower surface of the mask 13 before the other blades 62. Therefore, as for the amount of scraping of the paste Pst, the blade 62 located at the frontmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 at the time of scraping the paste Pst is the most, and the other five blades 62 are scratched as they are located at the rear. The amount taken will decrease.

また、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も前側に位置するブレード６２よりも後方に位置する各ブレード６２は、そのブレード６２が通過する直前のパターン孔１３Ｈから吸出し機構８０によって吸い出されたペーストＰｓｔも掻き取る。そして、そのブレード６２で掻き取り切れなかったペーストＰｓｔは、そのブレード６２の後方に位置するブレード６２が掻き取る。 Further, each blade 62 located behind the blade 62 located at the frontmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 at the time of scraping the paste Pst is sucked from the pattern hole 13H immediately before the blade 62 passes by the suction mechanism 80. The sucked out paste Pst is also scraped off. Then, the paste Pst that cannot be completely scraped off by the blade 62 is scraped off by the blade 62 located behind the blade 62.

マスククリーニングを繰り返すと、ブレード６２に付着する掻き取られたペーストＰｓｔの量が次第に増加し、ブレード６２がペーストＰｓｔを掻き取る性能も付着するペーストＰｓｔの量が増えるに従って低下する。このため、複数枚のブレード６２を使用することによってできるだけ長くクリーニング性能を維持するようにしている。これに加え、本実施の形態ではマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２に付着するペーストＰｓｔの量を少なくすることでより長くクリーニング性能を維持する工夫がなされている。 When the mask cleaning is repeated, the amount of the scraped paste Pst adhering to the blade 62 gradually increases, and the ability of the blade 62 to scrape the paste Pst also decreases as the amount of the adhered paste Pst increases. Therefore, the cleaning performance is maintained for as long as possible by using a plurality of blades 62. In addition to this, in the present embodiment, a device is devised to maintain the cleaning performance for a longer time by reducing the amount of the paste Pst adhering to the blade 62 located at the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16.

本実施の形態では、前述したように、ペースト掻取り方向に並んで配置された６枚のブレード６２のうち、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２とその１つ前方に位置するブレード６２Ｔとの間の空間６２ＳＴは開口７１Ｓから遮断されており、吸出し機構８０の吸引力はほとんど及ばない。よって、空間６２ＳＴではパターン孔１３Ｈの内部に残存しているペーストＰｓｔをマスク１３の下面に移動させる空気の流れが発生しない。 In the present embodiment, as described above, of the six blades 62 arranged side by side in the paste scraping direction, the blades located on the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 when scraping the paste Pst. The space 62ST between the 62 and the blade 62T located one front thereof is blocked from the opening 71S, and the suction force of the suction mechanism 80 hardly reaches. Therefore, in the space 62ST, the air flow that moves the paste Pst remaining inside the pattern hole 13H to the lower surface of the mask 13 does not occur.

このため、６枚のブレード６２のうち進行方向の最も後側に位置するブレード６２のペースト掻取り面には吸出し機構８０によって強制的に吸い出されたペーストＰｓｔが流入せず、最も後側に位置するブレード６２が掻き取るペーストＰｓｔの量は他のブレード６２よりも少なくなる。別の言い方をすれば、進行方向の最も後側に位置する空間６２ＳＴにはパターン孔１３Ｈの内部に残存しているペーストＰｓｔが流入しないので、最も後側に位置するブレード６２はその前のブレード６２Ｔが掻き取れなかったわずかなペーストＰｓｔのみを掻き取るだけで済む。よって、最も後側に位置するブレード６２はその前方に位置する他のブレード６２よりもペーストＰｓｔで汚れていない状態を保つことができ、前方のブレード６２が掻き取り残したペーストＰｓｔを確実に掻き取ることができる。これによりクリーニング性能を長期間維持することが可能であり、クリーニングユニットの清掃等回数やそれに伴うクリーニング印刷装置の稼働停止時間を従来よりも少なくすることができる。 Therefore, the paste Pst forcibly sucked out by the suction mechanism 80 does not flow into the paste scraping surface of the blade 62 located on the rearmost side in the traveling direction among the six blades 62, and the paste Pst forcibly sucked out does not flow to the rearmost side. The amount of paste Pst scraped by the positioned blade 62 is smaller than that of the other blades 62. In other words, the paste Pst remaining inside the pattern hole 13H does not flow into the space 62ST located on the rearmost side in the traveling direction, so that the blade 62 located on the rearmost side is the blade in front of it. Only a small amount of paste Pst that 62T could not scrape off needs to be scraped off. Therefore, the blade 62 located at the rearmost side can be kept in a state of being less contaminated with the paste Pst than the other blades 62 located in front of the blade 62, and the paste Pst left behind by the front blade 62 is surely scraped off. be able to. As a result, the cleaning performance can be maintained for a long period of time, and the number of times the cleaning unit is cleaned and the associated operation stop time of the cleaning printing device can be reduced as compared with the conventional case.

このようなスクリーン印刷装置１において、各ブレード６２はペーストＰｓｔの掻取りによって汚れるため、所定のタイミングで清掃を行う必要がある。ブレード６２はベース体６１から取り外して清掃するが、本実施の形態では、前述したようにブレード６２は樹脂から構成されているため、ブレード６２を清掃する際、誤ってブレード６２を大きく曲げてしまったとしても塑性変形することがなく、清掃後（ベース体６１に取り付けた後）にペースト掻取りエッジ６２Ｅがマスク１３の下面に面当りしなくなるようなことがない。このためブレード６２の清掃時等においてブレード６２を変形させてしまうことに起因するクリーニング品質の低下を防止できる。なお、ブレード６２の清掃にはペーストＰｓｔを溶解させ得るアルコール系の溶剤が用いられるため、ブレード６２は樹脂の中でも、アルコール系の溶剤に対する耐用性を有するものが用いられることが好ましい。 In such a screen printing apparatus 1, each blade 62 becomes dirty due to scraping of the paste Pst, so it is necessary to clean the blade 62 at a predetermined timing. The blade 62 is removed from the base body 61 for cleaning. However, in the present embodiment, since the blade 62 is made of resin as described above, the blade 62 is accidentally bent significantly when cleaning the blade 62. Even if it does, it does not undergo plastic deformation, and the paste scraping edge 62E does not come into contact with the lower surface of the mask 13 after cleaning (after being attached to the base body 61). Therefore, it is possible to prevent deterioration of cleaning quality due to deformation of the blade 62 when cleaning the blade 62 or the like. Since an alcohol-based solvent capable of dissolving the paste Pst is used for cleaning the blade 62, it is preferable to use a resin having resistance to the alcohol-based solvent.

また、本実施の形態では、ブレード６２が上下方向に対称な形状となっており、上下方向に対向して位置する２つのエッジ（第１のエッジ６２ａ及び第２のエッジ６２ｂ）のうちの任意の一方をペースト掻取りエッジ６２Ｅとして使用できる。このため第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂのうちの一方がペーストＰｓｔの掻取りの耐用限度に達したときはブレード６２をベース体６１から取り外し、上下を反転させてベース体６１に取り付けなおすことで、ブレード６２を再度耐用限度まで使用できす。このように本実施の形態におけるマスククリーナ１６ではブレード６２の耐用期間を増大（倍増）させることができ、コストの低減を図ることができる。 Further, in the present embodiment, the blade 62 has a shape symmetrical in the vertical direction, and is arbitrary of two edges (first edge 62a and second edge 62b) located facing each other in the vertical direction. One can be used as the paste scraping edge 62E. Therefore, when one of the first edge 62a and the second edge 62b reaches the scraping durability limit of the paste Pst, the blade 62 is removed from the base body 61, turned upside down, and attached to the base body 61. By fixing the blade 62, the blade 62 can be used again to the end of its useful life. As described above, in the mask cleaner 16 of the present embodiment, the useful life of the blade 62 can be increased (doubled), and the cost can be reduced.

ここで、前述したように、各ブレード６２に第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂを識別するための識別表示としての識別マーク６２Ｍが付されているので、作業者は、予め定めておいた第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂの使用順序と照らし合わせることで、ブレード６２の状況（ブレード６２の上下を反転させる前なのか反転させた後なのか）を的確に知ることができる。なお、本実施の形態では、識別マーク６２Ｍは、第１のエッジ６２ａの側に頂角を向けた三角形の図形を例示したが（図１５（ａ），（ｂ））、これは一例に過ぎず、識別マーク６２Ｍの形態は限定されない。 Here, as described above, since each blade 62 is provided with an identification mark 62M as an identification display for identifying the first edge 62a and the second edge 62b, the operator determines in advance. By comparing with the order of use of the first edge 62a and the second edge 62b, the situation of the blade 62 (whether it is before or after the blade 62 is turned upside down) can be accurately known. .. In the present embodiment, the identification mark 62M exemplifies a triangular figure whose apex angle is directed to the side of the first edge 62a (FIGS. 15A and 15B), but this is only an example. However, the form of the identification mark 62M is not limited.

また、マスククリーナ１６のブレード保持部７２が備える複数の梁部７３はそれぞれペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に対して水平面内で斜めに延びており、複数のブレード６２は互いに異なる長手方向の箇所が梁部７３によって支持されている。このためマスク１３のクリーニング時には、各ブレード６２の梁部７３によって支持されている箇所と梁部７３によって支持されない箇所はブレード６２の長手方向に分散されることになり、マスク１３に対するブレード６２の当たり具合がマスククリーナ１６全体として均一化される。これによりマスク１３の下面に梁部７３の位置に対応した筋が残るようなことがなくなり、クリーニング品質を向上させることができる。 Further, the plurality of beam portions 73 included in the blade holding portions 72 of the mask cleaner 16 extend diagonally in the horizontal plane with respect to the paste scraping direction (Y-axis direction), and the plurality of blades 62 have different longitudinal directions from each other. The portion is supported by the beam portion 73. Therefore, when cleaning the mask 13, the portions supported by the beam portion 73 of each blade 62 and the portions not supported by the beam portion 73 are dispersed in the longitudinal direction of the blade 62, and the blade 62 hits the mask 13. The condition is made uniform as a whole of the mask cleaner 16. As a result, the streaks corresponding to the positions of the beam portions 73 do not remain on the lower surface of the mask 13, and the cleaning quality can be improved.

また、本実施の形態では、ブレード保持部７２はフレーム７１に着脱自在に取り付けられる同一形状の複数のブロック部材７２Ｂから構成されているため、ブレード６２の清掃時に併せて行うベース体６１の清掃において、ブレード保持部７２の清掃が極めて容易となる。ブレード保持部７２は超音波洗浄機等を用いて清掃することが多いが、この場合、洗浄槽は少なくともひとつのブロック部材７２Ｂが入る大きさを有していればよいので超音波洗浄機は小型のものでよく、清掃に要するコストを低減することができる。 Further, in the present embodiment, since the blade holding portion 72 is composed of a plurality of block members 72B having the same shape that are detachably attached to the frame 71, the base body 61 is cleaned at the same time as the blade 62 is cleaned. , Cleaning of the blade holding portion 72 becomes extremely easy. The blade holding portion 72 is often cleaned using an ultrasonic cleaner or the like, but in this case, the ultrasonic cleaner is small because the cleaning tank needs to have a size that can accommodate at least one block member 72B. It can be a thing, and the cost required for cleaning can be reduced.

また、前述したように、最も後側に位置するブレード６２が掻き取るペーストＰｓｔの量は他のブレード６２よりも少なく、その前方に位置する他のブレード６２が掻き取り残したペーストＰｓｔを確実に掻き取ることができるので、マスク１３のクリーニング品質を向上させることができる。更には、最も後側に位置するブレード６２そのものもペーストＰｓｔの掻き取り残しを生じにくくなるので、マスク１３の下面に残留するペーストＰｓｔを極めて少量に抑えることができ、この面からもマスク１３のクリーニング品質を向上させることができる。 Further, as described above, the amount of paste Pst scraped by the blade 62 located on the rearmost side is smaller than that of the other blades 62, and the paste Pst left unscraped by the other blades 62 located in front of the blade 62 is surely scraped. Since it can be removed, the cleaning quality of the mask 13 can be improved. Further, since the blade 62 itself located on the rearmost side is less likely to leave the paste Pst scraped off, the amount of the paste Pst remaining on the lower surface of the mask 13 can be suppressed to an extremely small amount, and the mask 13 can be cleaned from this aspect as well. The quality can be improved.

また、マスククリーナ１６が取り付けられる移動ベース５５が磁性体材料から構成される一方、マスククリーナ１６のベース体６１には、移動ベース５５の上面に磁力で吸着する磁石６１Ｍが備えられている。このためマスククリーナ１６をワンタッチで移動ベース５５に着脱させることができ、メンテナンス時等における作業性を向上させることができる。 Further, while the moving base 55 to which the mask cleaner 16 is attached is made of a magnetic material, the base body 61 of the mask cleaner 16 is provided with a magnet 61M that is magnetically attracted to the upper surface of the moving base 55. Therefore, the mask cleaner 16 can be attached to and detached from the moving base 55 with one touch, and workability at the time of maintenance or the like can be improved.

また、前述したように、マスククリーニングが実行されている間、ベース体６１に取り付けられた一対のエンド部材６３の上面６３Ｆはマスク１３の下面に下方から当接することで、ブレード６２で挟まれた空間６２Ｓの側方からのエアの流入が防止されるので、マスククリーニングの際にペーストＰｓｔを効率よく吸い出すことができる。よって、この面からもクリーニング品質を向上させることができる。また、エンド部材６３は過剰な力でブレード６２をマスク１３に押し当てないようにするためのストッパとして機能する。すなわち、エンド部材６３の上面６３Ｆとマスク１３の下面が接触することでブレード６２の変形が一定範囲に保たれ、ブレード６２の摩耗の進行を想定の範囲内にコントロールする。 Further, as described above, while the mask cleaning is being executed, the upper surface 63F of the pair of end members 63 attached to the base body 61 is sandwiched between the blades 62 by abutting the lower surface of the mask 13 from below. Since the inflow of air from the side of the space 62S is prevented, the paste Pst can be efficiently sucked out during mask cleaning. Therefore, the cleaning quality can be improved from this aspect as well. Further, the end member 63 functions as a stopper for preventing the blade 62 from being pressed against the mask 13 by an excessive force. That is, when the upper surface 63F of the end member 63 and the lower surface of the mask 13 come into contact with each other, the deformation of the blade 62 is kept within a certain range, and the progress of wear of the blade 62 is controlled within an assumed range.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、複数（６枚）のブレード６２のうちペースト掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２のペースト掻取り面には吸出し機構８０によって強制的に吸い出されたペーストＰｓｔが流入せず、最も後側に位置するブレード６２が掻き取るペーストＰｓｔの量は他のブレード６２よりも少なくなる。このため、ペースト掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２によってその前方に位置する他のブレード６２が掻き取り残したペーストＰｓｔを確実に掻き取ることができるうえ、掻き取り残してマスク１３の下面に残留させるペーストＰｓｔを極めて少量に抑えることができるので、クリーニング品質を向上させることができる。 As described above, in the screen printing apparatus 1 of the present embodiment, the paste scratch of the blade 62 located at the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 at the time of scraping the paste among the plurality of (6 sheets) blades 62. The paste Pst forcibly sucked out by the suction mechanism 80 does not flow into the surface, and the amount of paste Pst scraped by the blade 62 located on the rearmost side is smaller than that of the other blades 62. Therefore, the blade 62 located at the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 at the time of scraping the paste can surely scrape the paste Pst left unscraped by the other blades 62 located in front of the blade 62, and also scrapes the paste. Since the paste Pst left behind and remaining on the lower surface of the mask 13 can be suppressed to an extremely small amount, the cleaning quality can be improved.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、マスククリーナ１６が備えるブレード６２の数は６枚であったが、これは一例であり、ブレード６２の数は特に限定されない。また、マスク１３を介して基板ＫＢにペーストＰｓｔを印刷する印刷ヘッド１４はマスク１３上でスキージ４２を摺動させる構成を有するものであったが、カートリッジに封入したペーストＰｓｔをマスク１３上に圧出する構成のもの等であってもよい。 Although embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those described above. For example, in the above-described embodiment, the number of blades 62 included in the mask cleaner 16 is 6, but this is an example, and the number of blades 62 is not particularly limited. Further, the print head 14 for printing the paste Pst on the substrate KB via the mask 13 has a configuration in which the squeegee 42 is slid on the mask 13, but the paste Pst enclosed in the cartridge is pressed onto the mask 13. It may be configured to be put out.

また、上述の実施の形態では、ブレード保持部７２に支持された複数（６枚）のブレード６２のうち、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も前方に位置するブレード６２と最も後方に位置するブレード６２が開口７１Ｓの外側に位置するようになっていたが、最も前方に位置するブレード６２は開口７１Ｓの内側に位置するようになっていても構わない。すなわち、ブレード６２で挟まれた複数の空間６２Ｓのうち、少なくともペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置する空間６２Ｓが開口７１Ｓから遮断されるような構成であればよい。 Further, in the above-described embodiment, among the plurality (6 blades) of the blades 62 supported by the blade holding portion 72, the blade 62 located at the frontmost position in the traveling direction of the mask cleaner 16 at the time of scraping the paste Pst. The blade 62 located at the rearmost position is located outside the opening 71S, but the blade 62 located at the frontmost position may be located inside the opening 71S. That is, among the plurality of spaces 62S sandwiched by the blades 62, at least the space 62S located at the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner 16 at the time of scraping the paste Pst is shielded from the opening 71S. Just do it.

また、上述の実施の形態では、移動ベース５５の全体が磁性体材料から構成されるとしていたが、これは、ベース体６１に埋設された複数の磁石６１Ｍにより磁力で吸着されればよいので、移動ベース５５の少なくとも上面を含む部分が磁性体材料から構成されていればよい。 Further, in the above-described embodiment, the entire moving base 55 is made of a magnetic material, but this may be attracted by a plurality of magnets 61M embedded in the base 61 by magnetic force. It suffices that the portion including at least the upper surface of the moving base 55 is made of a magnetic material.

ペーストの掻き取り残しを少量に抑えてクリーニング品質を向上させることができるスクリーン印刷装置を提供する。 Provided is a screen printing apparatus capable of improving the cleaning quality by suppressing the amount of unscraped paste to a small amount.

１スクリーン印刷装置
１３マスク
１４印刷ヘッド
１６マスククリーナ
６１ベース体
６２，６２Ｔブレード
６２Ｅペースト掻取りエッジ
７１フレーム
７１Ｓ開口
７２ブレード保持部
７２Ｂブロック部材
７３梁部
７５，７５Ｔ溝部
８０吸出し機構
ＫＢ基板
Ｐｓｔペースト 1 Screen printing device 13 Mask 14 Printing head 16 Mask cleaner 61 Base body 62, 62T Blade 62E Paste scraping edge 71 Frame 71S Opening 72 Blade holding part 72B Block member 73 Beam part 75, 75T Groove part 80 Suction mechanism KB board Pst paste

Claims

A print head that prints paste on a substrate via a mask, a moving base that moves under the mask in a horizontal paste scraping direction, and a moving base that is attached to the moving base and integrally under the mask. A screen printing apparatus provided with a mask cleaner that moves and scrapes off the paste adhering to the lower surface of the mask, and a suction mechanism that sucks out the paste on the lower surface of the mask when the mask cleaner scrapes the paste.
The mask cleaner is
A base body attached to the moving base and extending in the horizontal direction intersecting the paste scraping direction as a longitudinal direction,
A plurality of pieces attached to the base body, extending in the longitudinal direction and arranged side by side in parallel with the paste scraping direction, and abutting the paste scraping edge projecting upward on the base body against the lower surface of the mask. With a blade,
The suction mechanism sucks air from a plurality of spaces sandwiched between the plurality of blades in a state where the plurality of blades are in contact with the lower surface of the mask.
A screen printing device in which the suction force of the suction mechanism does not reach at least the space located at the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner among the plurality of spaces.

A print head that prints paste on a substrate via a mask, a moving base that moves under the mask in a horizontal paste scraping direction, and a moving base that is attached to the moving base and integrally under the mask. A screen printing apparatus provided with a mask cleaner that moves and scrapes off the paste adhering to the lower surface of the mask, and a suction mechanism that sucks out the paste on the lower surface of the mask when the mask cleaner scrapes the paste.
The mask cleaner is
A base body attached to the moving base and extending in the horizontal direction intersecting the paste scraping direction as a longitudinal direction,
A plurality of pieces attached to the base body, extending in the longitudinal direction and arranged side by side in parallel with the paste scraping direction, and abutting the paste scraping edge projecting upward on the base body against the lower surface of the mask. With a blade,
The base body has a frame having an opening open upward and a blade holding portion for holding the plurality of blades in the opening.
The suction mechanism sucks air through the opening in a state where the plurality of blades are in contact with the lower surface of the mask.
A screen printing apparatus in which at least the space located at the rearmost side in the traveling direction of the mask cleaner when scraping the paste is blocked from the opening among the plurality of spaces sandwiched by the blades.

The screen printing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the blade holding portion is provided with a plurality of rows of grooves into which the plurality of blades are inserted.

The screen printing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the blade holding portion is composed of a plurality of block members that are detachably attached to the frame.

The screen printing apparatus according to claim 4, wherein the plurality of block members have the same shape as each other.