JP7142193B2 - Screen printing equipment, mask cleaners and blades - Google Patents

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Description

本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置、スクリーン印刷装置のマスクのクリーニングに用いられるマスククリーナ及びマスククリーナに使用されるブレードに関する。 The present invention relates to a screen printing apparatus that prints paste onto a substrate through a mask, a mask cleaner used for cleaning the mask of the screen printing apparatus, and a blade used in the mask cleaner.

スクリーン印刷装置は、マスクを基板に接触させ、マスクに形成されたパターン孔を通じて基板にペーストを印刷する。このようなスクリーン印刷装置では定期的にマスクの下面からペーストを掻き取ってクリーニングすることにより、後続の基板に対する印刷品質を低下させないようにする必要がある。マスクのクリーニングに用いられるマスククリーナは、マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースに取り付けられて移動ベースと一体にマスクの下方を移動するベース体と、ベース体に取り付けられたクリーニング部材とを備えており、クリーニング部材をマスクの下面に当接させた状態でベース体が移動することでマスクの下面に付着したペーストを掻き取る構成となっている。クリーニング部材は従来、紙製の部材(クリーニングペーパー)であったが、クリーニングペーパーに変えて、SUS等の金属で成形された薄い「へら」状のペースト掻取り具(ブレード)を用いるようにしたものも知られている(例えば、下記の特許文献1)。 A screen printing apparatus brings a mask into contact with a substrate and prints paste onto the substrate through pattern holes formed in the mask. Such a screen printer must be cleaned periodically by scraping the paste from the underside of the mask so as not to degrade the print quality on subsequent substrates. The mask cleaner used for cleaning the mask has a base body attached to a moving base that moves horizontally below the mask in the paste scraping direction and moves below the mask integrally with the moving base, and a base body attached to the base body. A cleaning member is provided, and paste attached to the lower surface of the mask is scraped off by moving the base member while the cleaning member is in contact with the lower surface of the mask. Conventionally, the cleaning member was a member made of paper (cleaning paper), but instead of cleaning paper, a thin “spatula”-shaped paste scraper (blade) made of metal such as SUS is used. are also known (for example, Patent Document 1 below).

上記のようにクリーニングペーパーに替えてブレードを用いたマスククリーナでは、ベース体は、上方に開放した開口を有するフレームと、フレームの開口に装着されてベース体の長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部を備えたブレード保持部を有している。ブレード保持部は複数のブレードを保持し、複数の梁部はブレードの長手方向の中間部を支持するようになっている。複数のブレードはそれぞれ、ブレード保持部に形成された複数列の溝部のそれぞれに上方から挿入して取り付けられる。ブレード保持部に保持されたブレードは、長手方向の両端部がブレード押さえ部材によって押さえることでベース体に固定され、この状態でベース体の上方に突出したエッジが、マスクの下面に当接されてペーストを掻き取るペースト掻取りエッジとして使用される。 As described above, in the mask cleaner that uses a blade instead of cleaning paper, the base includes a frame having an opening that opens upward, and a plurality of masks that are attached to the opening of the frame and arranged at intervals in the longitudinal direction of the base. It has a blade retainer with a beam of . The blade holding portion holds a plurality of blades, and the plurality of beam portions supports intermediate portions in the longitudinal direction of the blades. Each of the plurality of blades is attached by being inserted from above into each of the plurality of rows of grooves formed in the blade holder. The blade held by the blade holding part is fixed to the base body by pressing both ends in the longitudinal direction with the blade holding member, and in this state, the edge protruding upward of the base body is brought into contact with the lower surface of the mask. Used as a paste scraping edge to scrape off the paste.

特開2016-196101号公報JP 2016-196101 A

上記スクリーン印刷装置では、マスククリーナに使用されるブレードは消耗品であり、コストに直接影響するものである。このためブレードの耐用時間の増大が望まれていた。 In the screen printing apparatus, the blade used for the mask cleaner is a consumable item and directly affects the cost. Therefore, it has been desired to increase the service life of the blade.

そこで本発明は、ブレードの耐用時間を増大させてコストを低減できるスクリーン印刷装置、マスククリーナ及びブレードを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus, a mask cleaner, and a blade that can increase the service life of the blade and reduce the cost.

本発明のスクリーン印刷装置は、マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースと、前記移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナとを備えたスクリーン印刷装置であって、前記マスククリーナは、前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、前記ベース体に着脱自在に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、前記複数のブレードはそれぞれ上下方向に対称な形状を有することにより、上下方向に対向して位置する第1のエッジと第2のエッジのうちの任意の一方を前記ペースト掻取りエッジとして使用でき、前記複数のブレードはそれぞれ前記長手方向の両端部から前記長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部を有し、前記複数のブレードそれぞれが有する前記一対の被押さえ部は前記ベース体に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材によって上方から押さえられ、前記複数のブレードそれぞれが有する前記一対の被押さえ部はそれぞれ上下に対称な円弧形状である。 The screen printing apparatus of the present invention comprises a print head that prints paste on a substrate through a mask, a moving base that moves below the mask in a horizontal paste scraping direction, and a moving base attached to the moving base. and a mask cleaner that moves under the mask to scrape off the paste adhering to the lower surface of the mask, wherein the mask cleaner is attached to the moving base to scrape the paste. a base body extending longitudinally in a horizontal direction intersecting with the paste removing direction; and a plurality of blades for contacting the lower surface of the mask with the paste scraping edge protruding into the mask. Any one of a first edge and a second edge can be used as the paste scraping edge, and the plurality of blades are a pair formed by protruding outward in the longitudinal direction from both ends in the longitudinal direction. The pair of pressed portions of each of the plurality of blades are pressed from above by a pair of end members detachably attached to the base body, and the pair of pressed portions of each of the plurality of blades are pressed from above by a pair of end members detachably attached to the base body. , each of the to-be-pressed portions has a vertically symmetrical arc shape.

本発明のマスククリーナは、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられ、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナであって、前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、前記ベース体に着脱自在に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、前記複数のブレードはそれぞれ上下方向に対称な形状を有することにより、上下方向に対向して位置する第1のエッジと第2のエッジのうちの任意の一方を前記ペースト掻取りエッジとして使用でき、前記複数のブレードはそれぞれ前記長手方向の両端部から前記長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部を有し、前記複数のブレードそれぞれが有する前記一対の被押さえ部は前記ベース体に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材によって上方から押さえられ、前記複数のブレードそれぞれが有する前記一対の被押さえ部はそれぞれ上下に対称な円弧形状である。 The mask cleaner of the present invention is provided in a screen printing apparatus that prints paste on a substrate through a mask, and is attached to a moving base that moves below the mask in a horizontal paste scraping direction so as to be integrated with the moving base. A mask cleaner that moves under the mask and scrapes off the paste adhering to the lower surface of the mask, the base body being attached to the moving base and extending with a horizontal direction intersecting with the paste scraping direction as a longitudinal direction. , which are detachably attached to the base body, extend in the longitudinal direction and are arranged parallel to the paste scraping direction, and have a paste scraping edge projecting upward from the base body and abutting the lower surface of the mask. and a plurality of blades to be in contact with each other, and each of the plurality of blades has a shape symmetrical in the vertical direction, so that any one of the first edge and the second edge that are vertically opposed to each other can be used as the paste scraping edge, each of the plurality of blades has a pair of pressed portions formed to protrude outward in the longitudinal direction from both ends in the longitudinal direction, and each of the plurality of blades has The pair of pressed portions is pressed from above by a pair of end members that are detachably attached to the base body, and the pair of pressed portions of each of the plurality of blades has a vertically symmetrical arc shape.

本発明のブレードは、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられ、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナが有するブレードであって、前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体に着脱自在に取り付けられて前記長手方向に延び、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させるようになっており、上下方向に対称な形状を有することにより、上下方向に対向して位置する第1のエッジと第2のエッジのうちの任意の一方を前記ペースト掻取りエッジとして使用でき、前記長手方向の両端部から前記長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部を有し、前記一対の被押さえ部は前記ベース体に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材によって上方から押さえられ、前記一対の被押さえ部はそれぞれ上下に対称な円弧形状である。 The blade of the present invention is provided in a screen printing apparatus that prints paste on a substrate through a mask, is attached to a moving base that moves below the mask in a horizontal paste scraping direction, and is integrated with the moving base. A blade included in a mask cleaner that moves below a mask and scrapes off paste adhering to the lower surface of the mask, the base being attached to the moving base and extending in a horizontal direction intersecting the paste scraping direction as a longitudinal direction. It is detachably attached to the body and extends in the longitudinal direction, and the paste scraping edge protruding upward from the base body is brought into contact with the lower surface of the mask, and has a vertically symmetrical shape. Thus, any one of the first edge and the second edge, which are positioned to face each other in the vertical direction, can be used as the paste scraping edge , and protrudes outward in the longitudinal direction from both ends in the longitudinal direction. The pair of pressed portions are pressed from above by a pair of end members detachably attached to the base body, and the pair of pressed portions are vertically symmetrical. arc shape .

本発明によれば、ブレードの耐用時間を増大させてコストを低減できる。 The present invention can increase blade life and reduce costs.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図1 is a perspective view of a screen printing apparatus according to one embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図1 is a side view of a screen printing apparatus according to one embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナをマスクとともに示す側面図FIG. 1 is a side view showing a mask cleaner provided in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention together with a mask; 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの斜視図1 is a perspective view of a mask cleaner included in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの(a)平面図(b)側面図(c)下面図1(a) plan view, (b) side view, and (c) bottom view of a mask cleaner provided in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナ及び移動ベースの分解斜視図1 is an exploded perspective view of a mask cleaner and a moving base included in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の平面図FIG. 2 is a plan view of part of a mask cleaner included in a screen printing apparatus according to one embodiment of the present invention; (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの断面図(a) and (b) are cross-sectional views of a mask cleaner included in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部の斜視図1 is a perspective view of a base portion of a mask cleaner provided in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部を構成するブロック部材の平面図FIG. 2 is a plan view of a block member forming a base portion of a mask cleaner provided in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部を構成するブロック部材の斜視図FIG. 2 is a perspective view of a block member forming a base portion of a mask cleaner provided in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部の一部の斜視図FIG. 2 is a partial perspective view of the base portion of the mask cleaner provided in the screen printing apparatus according to one embodiment of the present invention; 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのブレードの側面図1 is a side view of a mask cleaner blade provided in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の斜視図1 is a partial perspective view of a mask cleaner included in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのブレードの一部の拡大側面図(a) and (b) are enlarged side views of a part of the blade of the mask cleaner provided in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の斜視図1 is a partial perspective view of a mask cleaner included in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナを移動ベースに取り付ける手順を説明する図(a) and (b) are diagrams for explaining a procedure for attaching a mask cleaner included in a screen printing apparatus to a moving base according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナ及び移動ベースの側断面図FIG. 2 is a side cross-sectional view of a mask cleaner and a moving base included in a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention; (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作を説明する図(a) and (b) diagrams for explaining the operation of the screen printing apparatus according to one embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの下面をクリーニングしている状態を示す図FIG. 4 is a diagram showing a state in which the mask cleaner provided in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention is cleaning the lower surface of the mask; 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの下面をクリーニングしている状態を示す図FIG. 4 is a diagram showing a state in which the mask cleaner provided in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention is cleaning the lower surface of the mask;

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1及び図2は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置1を示している。スクリーン印刷装置1は上流工程側から供給された基板KBを搬入し、その基板KBの表面に設けられた複数のランドLDのそれぞれに半田等のペーストPstを印刷して下流工程側に搬出する装置である。ここでは説明の便宜上、作業者OPから見たスクリーン印刷装置1の前後方向をY軸方向とし、作業者OPから見た左右方向(基板KBの搬送方向)をX軸方向とし、上下方向をZ軸方向とする。また、Y軸方向のうち、作業者OPから見た手前側を前方、作業者OPから見た奥側を後方とする。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 show a screen printing apparatus 1 according to one embodiment of the invention. The screen printing apparatus 1 is an apparatus for loading a substrate KB supplied from an upstream process side, printing a paste Pst such as solder on each of a plurality of lands LD provided on the surface of the substrate KB, and carrying it out to a downstream process side. is. Here, for convenience of explanation, the front-to-rear direction of the screen printing apparatus 1 seen from the operator OP is defined as the Y-axis direction, the left-right direction (conveyance direction of the substrate KB) as seen from the operator OP is defined as the X-axis direction, and the vertical direction is defined as the Z-axis direction. Axial direction. In addition, in the Y-axis direction, the front side seen from the operator OP is the front side, and the back side seen from the operator OP is the rear side.

図1及び図2において、スクリーン印刷装置1は基台11上に基板ステージ12を備えている。基板ステージ12の上方にはマスク13が配置され、マスク13の上方には印刷ヘッド14が設置されている。基板ステージ12とマスク13の間にはカメラ15とマスククリーナ16が備えられている。基台11の内側には、プログラムを実行する演算装置や記憶部等を有する制御部20が収納されている。制御部20はスクリーン印刷装置1を制御し、スクリーン印刷装置1にスクリーン印刷作業やマスク13のクリーニング作業等を実行させる。 1 and 2, the screen printing apparatus 1 has a substrate stage 12 on a base 11. As shown in FIG. A mask 13 is arranged above the substrate stage 12 , and a print head 14 is arranged above the mask 13 . A camera 15 and a mask cleaner 16 are provided between the substrate stage 12 and the mask 13 . Inside the base 11, a control unit 20 having an arithmetic unit for executing programs, a storage unit, and the like is accommodated. The control unit 20 controls the screen printing device 1 and causes the screen printing device 1 to perform screen printing work, cleaning work of the mask 13, and the like.

図2において、基板ステージ12は基板保持部21と基板保持部移動機構22から構成されている。基板保持部21はY軸方向に平行に並んで設けられた基板搬送用の一対の搬送コンベア31と、一対の搬送コンベア31によって搬送されてきた基板KBを下方から支持する下受け部32と、一対の搬送コンベア31の上部に設けられてY軸方向に開閉自在な一対のクランパ33を備えている。基板保持部21は一対の搬送コンベア31が受け取った基板KBを下受け部32によって下受けし、一対のクランパ33によってクランプしてその基板KBを保持する。基板保持部移動機構22は直交座標テーブル機構等によって構成されており、基板保持部21をXY面内方向、Z軸方向及びZ軸回り方向に移動させて基板保持部21が保持した基板KBを移動させる。 In FIG. 2, the substrate stage 12 is composed of a substrate holder 21 and a substrate holder moving mechanism 22 . The substrate holding portion 21 includes a pair of transport conveyors 31 for transporting substrates arranged in parallel in the Y-axis direction, a lower receiving portion 32 that supports the substrate KB transported by the pair of transport conveyors 31 from below, A pair of clampers 33 are provided above the pair of transfer conveyors 31 and can be opened and closed in the Y-axis direction. The substrate holding unit 21 receives the substrate KB received by the pair of transport conveyors 31 with the lower receiving units 32 and clamps the substrate KB with the pair of clampers 33 to hold the substrate KB. The substrate holding part moving mechanism 22 is composed of an orthogonal coordinate table mechanism or the like, and moves the substrate holding part 21 in the XY plane direction, the Z-axis direction, and the direction around the Z-axis to move the substrate KB held by the substrate holding part 21. move.

図1及び図2において、マスク13はXY平面に広がった矩形形状を有している。マスク13は金属製の板状部材から構成されており、四辺が枠部材13Wによって支持されている。マスク13の中央部には、基板KBのランドLDの配置に対応して形成されたパターン孔13Hが設けられている。 1 and 2, the mask 13 has a rectangular shape extending in the XY plane. The mask 13 is composed of a metal plate-like member, and has four sides supported by a frame member 13W. A central portion of the mask 13 is provided with a pattern hole 13H formed corresponding to the arrangement of the lands LD of the substrate KB.

図1及び図2において、印刷ヘッド14は、X軸方向に延びた形状のヘッドベース41の下方に2つのスキージ42を備えた構成を有している。2つのスキージ42はX軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、Y軸方向に対向して配置されている。ヘッドベース41の上面には2つのスキージ42を個別に昇降させるスキージ昇降駆動部43が設けられている。ヘッドベース41はY軸方向に移動自在であり、印刷ヘッド移動機構44(図2)によって駆動されてマスク13の上方をY軸方向に移動する。 1 and 2, the print head 14 has two squeegees 42 below a head base 41 extending in the X-axis direction. The two squeegees 42 are composed of "spatula"-shaped members extending in the X-axis direction, and are arranged facing each other in the Y-axis direction. A squeegee elevation drive unit 43 for individually raising and lowering the two squeegees 42 is provided on the upper surface of the head base 41 . The head base 41 is movable in the Y-axis direction, and is driven by a print head moving mechanism 44 (FIG. 2) to move above the mask 13 in the Y-axis direction.

図1及び図2において、マスク13の下方にはX軸方向に延びた移動ビーム51が配置されており、カメラ15は移動ビーム51の前側に取り付けられている。移動ビーム51はY軸方向に移動自在であり、Y軸方向移動機構52(図2)によって駆動されてマスク13の下方をY軸方向に移動する。また、カメラ15は移動ビーム51に設けられたX軸方向移動機構53(図3)によって移動ビーム51に沿ってX軸方向に移動する。 1 and 2, a moving beam 51 extending in the X-axis direction is arranged below the mask 13, and the camera 15 is attached to the front side of the moving beam 51. As shown in FIG. The moving beam 51 is movable in the Y-axis direction, and is driven by a Y-axis direction moving mechanism 52 (FIG. 2) to move below the mask 13 in the Y-axis direction. Also, the camera 15 is moved in the X-axis direction along the moving beam 51 by an X-axis direction moving mechanism 53 (FIG. 3) provided on the moving beam 51 .

カメラ15は上方と下方の双方を撮像する機能を有している。カメラ15は、カメラ15自身のX軸方向への移動と移動ビーム51のY軸方向への移動とによってマスク13の下方を水平面内(XY面内)で移動し、基板保持部21に保持された基板KBを上方から撮像するとともに、マスク13を下方から撮像する。 The camera 15 has a function of capturing images both upward and downward. The camera 15 moves below the mask 13 in the horizontal plane (in the XY plane) by moving the camera 15 itself in the X-axis direction and moving the moving beam 51 in the Y-axis direction, and is held by the substrate holding part 21 . The substrate KB is imaged from above, and the mask 13 is imaged from below.

図1及び図2において、移動ビーム51の後方にはX軸方向に延びたクリーナ取付け部54が装着されている。クリーナ取付け部54は移動ビーム51とともにY軸方向に移動する。クリーナ取付け部54の後側には移動ベース55が昇降自在に設けられており、マスククリーナ16は移動ベース55に取り付けられている(図3も参照)。 1 and 2, a cleaner mounting portion 54 extending in the X-axis direction is attached to the rear of the moving beam 51. As shown in FIG. The cleaner mounting portion 54 moves along with the moving beam 51 in the Y-axis direction. A movable base 55 is provided on the rear side of the cleaner mounting portion 54 so as to be movable up and down, and the mask cleaner 16 is mounted on the movable base 55 (see also FIG. 3).

図3において、クリーナ取付け部54には昇降機構54Kが設けられており、移動ベース55は昇降機構54Kによって昇降される。昇降機構54Kはエアや油圧によって駆動されるアクチュエータで構成されている。昇降機構54Kが移動ベース55を昇降させると、マスククリーナ16が移動ビーム51に対して昇降する(図3中に示す矢印A)。 In FIG. 3, the cleaner mounting portion 54 is provided with an elevating mechanism 54K, and the moving base 55 is elevated by the elevating mechanism 54K. The lifting mechanism 54K is composed of an actuator driven by air or hydraulic pressure. When the lifting mechanism 54K raises and lowers the moving base 55, the mask cleaner 16 moves up and down with respect to the moving beam 51 (arrow A shown in FIG. 3).

図4及び図5(a),(b),(c)において、マスククリーナ16は全体としてX軸方向に延びた形状を有している。マスククリーナ16は、図6、図7及び図8(a),(b)にも示すように、ベース体61、複数(ここでは6枚)のブレード62、一対のエンド部材63、整流板64等を備えている。ここで、図8(a)は図7における矢視V1-V1から見た断面図(ひとつの梁部73の全部を横断する断面図)であり、図8(b)は図7における矢視V2-V2から見た断面図(梁部73を横断しない断面図)である。 4 and 5(a), (b), and (c), the mask cleaner 16 has a shape extending in the X-axis direction as a whole. The mask cleaner 16, as also shown in FIGS. etc. Here, FIG. 8(a) is a cross-sectional view (a cross-sectional view across all of one beam portion 73) viewed from the arrow V1-V1 in FIG. 7, and FIG. 8(b) is a cross-sectional view in FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view viewed from V2-V2 (a cross-sectional view not crossing the beam portion 73).

図5(a)、図6及び図9において、ベース体61はマスククリーナ16によるペーストPstの掻取り方向であるY軸方向(ペースト掻取り方向とする)と交差する水平方向を長手方向(X軸方向に相当)として延びており、フレーム71とブレード保持部72を有して構成されている。フレーム71はベース体61の長手方向に延びた矩形枠体状の部材であり、中央部に上下方向に貫通して上方に開放した開口71Sを有している。ブレード保持部72はフレーム71の開口71Sに装着され、ベース体61の長手方向(X軸方向)に間隔を空けて並ぶ複数の梁部73を備えている。 5A, 6 and 9, the base body 61 has its longitudinal direction (X (corresponding to the axial direction), and is configured with a frame 71 and a blade holding portion 72 . The frame 71 is a rectangular frame-like member extending in the longitudinal direction of the base body 61, and has an opening 71S that penetrates vertically and opens upward at the central portion. The blade holding portion 72 is attached to the opening 71S of the frame 71 and has a plurality of beam portions 73 arranged at intervals in the longitudinal direction (X-axis direction) of the base body 61 .

本実施の形態では、ブレード保持部72はフレーム71に着脱自在に取り付けられる複数(ここでは7個)のブロック部材72Bから構成されている(図5(a)、図6及び図9)。これら複数のブロック部材72Bは互いに同一形状を有している。 In this embodiment, the blade holding portion 72 is composed of a plurality of (seven in this case) block members 72B detachably attached to the frame 71 (FIGS. 5A, 6 and 9). These block members 72B have the same shape.

図10,図11及び図12において、ブレード保持部72(各ブロック部材72B)は、ベース体61の長手方向(X軸方向)に延びてペースト掻取り方向(Y軸方向)に対向する平行な一対の縁部74を有しており、複数の梁部73はこれら一対の縁部74の間に掛け渡されて延びている。ブレード保持部72は(すなわち各ブロック部材72Bは)、一対の縁部74をフレーム71の開口71S内に形成された一対のブロック支持部71Bに載置されてフレーム71に取り付けられている(図8(a),(b))。 10, 11 and 12, the blade holding portion 72 (each block member 72B) extends in the longitudinal direction (X-axis direction) of the base body 61 and faces the paste scraping direction (Y-axis direction). It has a pair of edge portions 74 , and a plurality of beam portions 73 span and extend between the pair of edge portions 74 . The blade holding portion 72 (that is, each block member 72B) is attached to the frame 71 by placing a pair of edge portions 74 on a pair of block support portions 71B formed in an opening 71S of the frame 71 (Fig. 8(a), (b)).

ブレード保持部72(7個のブロック部材72B)がフレーム71に取り付けられている状態では、複数の梁部73は、ベース体61の長手方向(X軸方向)に等間隔(各梁部73のペースト掻取り方向の中間位置を基準に見た場合に等間隔)に位置している(図6及び図9)。また、複数の梁部73はそれぞれ、ペースト掻取り方向(Y軸方向)に対して水平面内で斜めに交差して(ベース体61の長手方向に対して直交姿勢からやや傾いて)いる(図5(a)及び図10)。このため複数のブレード62は互いに異なる長手方向の箇所が梁部73によって支持されることとなり、マスククリーナ16をペースト掻取り方向から見た場合、各ブレード62の梁部73によって支持されている箇所と梁部73によって支持されない箇所はブレード62の長手方向にほぼ均等に分散された状態となる。 When the blade holding portion 72 (seven block members 72B) is attached to the frame 71, the plurality of beam portions 73 are arranged at equal intervals in the longitudinal direction (X-axis direction) of the base body 61 (each beam portion 73 is They are positioned at equal intervals when viewed from the intermediate position in the paste scraping direction (FIGS. 6 and 9). Further, each of the plurality of beams 73 obliquely intersects the paste scraping direction (Y-axis direction) in a horizontal plane (slightly inclined from an orthogonal posture to the longitudinal direction of the base body 61) (Fig. 5(a) and FIG. 10). For this reason, the plurality of blades 62 are supported by the beams 73 at positions in the longitudinal direction different from each other. , and the portions not supported by the beams 73 are distributed almost evenly in the longitudinal direction of the blade 62 .

図10,図11及び図12において、ブレード保持部72には、複数のブレード62を挿入するための複数列(ここでは6列)の溝部75がそれぞれベース体61の長手方向に延びて設けられている。本実施の形態では、ペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向(ここでは前方)の前後の2つの縁部74には溝部75がひとつ(1列)ずつ設けられており、複数の梁部73には4列の溝部75が設けられている。これら4列の溝部75は、ベース体61の長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部73にわたって設けられている(図10及び図11)。 10, 11 and 12, the blade holding portion 72 is provided with a plurality of rows (here, six rows) of grooves 75 for inserting the plurality of blades 62 extending in the longitudinal direction of the base body 61, respectively. ing. In the present embodiment, one groove 75 (one row) is provided at each of the two edges 74 on the front and rear sides in the advancing direction (here, forward) of the mask cleaner 16 during scraping of the paste Pst. The beam portion 73 is provided with four rows of groove portions 75 . These four rows of grooves 75 are provided over a plurality of beams 73 arranged at intervals in the longitudinal direction of the base body 61 (FIGS. 10 and 11).

図10,図11及び図12において、各溝部75は上方に開口している。ブレード保持部72が備える複数列(6列)の溝部75は互いに平行であり、それぞれ上端側をペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向とは反対の方向(すなわち後方)に傾斜させている。 10, 11 and 12, each groove 75 opens upward. The plurality of rows (six rows) of grooves 75 provided in the blade holding portion 72 are parallel to each other, and the upper end sides of the grooves 75 are inclined in the opposite direction (that is, backward) to the traveling direction of the mask cleaner 16 during scraping of the paste Pst. ing.

図6及び図13において、各ブレード62はベース体61の長手方向に延びた薄板状の部材であり、樹脂から構成されている。6枚のブレード62は、図14に示すように、ブレード保持部72に設けられた6列の溝部75に上方から挿入されている。このため、ブレード保持部72に支持された複数のブレード62は、ペースト掻取り方向に互いに平行に並んだ状態となる(図4、図5(a)及び図14)。 6 and 13, each blade 62 is a thin plate member extending in the longitudinal direction of the base body 61 and made of resin. As shown in FIG. 14, the six blades 62 are inserted from above into six rows of grooves 75 provided in the blade holding portion 72 . Therefore, the plurality of blades 62 supported by the blade holding portion 72 are aligned in parallel with each other in the paste scraping direction (FIGS. 4, 5A, and 14).

図8(a),(b)において、6枚のブレード62のうちの2枚は、ペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向(図8(a),(b)における紙面右方)の前後両端に位置する2列の溝部75によって支持されており、6枚のブレード62のうちの他の4枚は、ブレード保持部72に設けられた4列の溝部75によって支持されている。すなわち、進行方向から見て先頭と最後尾に位置する2枚のブレード62は縁部74に設けられた溝部75によって支持されており、それらの中間に位置する4枚は、梁部73に設けられた溝部75によって支持されている。前述したように各溝部75は上端側が後方に傾斜しているので、溝部75に挿入された各ブレード62は、開口71S内で上端側を後方に傾斜させた姿勢となる。 In FIGS. 8A and 8B, two of the six blades 62 are positioned in the direction in which the mask cleaner 16 advances when scraping off the paste Pst (the right side of the paper surface in FIGS. 8A and 8B). ), and the other four of the six blades 62 are supported by four rows of grooves 75 provided in the blade holding portion 72. . That is, the two blades 62 located at the leading end and the trailing end as viewed from the traveling direction are supported by grooves 75 provided in the edge portion 74 , and the four blades located in between are provided in the beam portion 73 . It is supported by a groove portion 75 formed in the groove. Since the upper end of each groove 75 is inclined backward as described above, each blade 62 inserted into the groove 75 assumes a posture in which the upper end is inclined rearward within the opening 71S.

ここで、上記中間の4枚のブレード62のうち最も後側に位置するブレード62(図8(a),(b)において符号62Tで示す)が挿入される溝部75Tは、後側の縁部74の上面に開口されている。これにより、溝部75Tの上端には縁部74に沿ってブレード62とほぼ同じ長さの傾斜したシール面75Sが形成されている。図12に明瞭に示すように、このシール面75Sは梁部73のない縁部74の上部にも形成されている。このため、溝部75Tに挿入されたブレード62Tの後面はシール面75Sに当接する。 Here, the groove portion 75T into which the rearmost blade 62 (indicated by reference numeral 62T in FIGS. 8A and 8B) of the intermediate four blades 62 is inserted is the rear edge portion. The upper surface of 74 is opened. As a result, an inclined seal surface 75S having substantially the same length as the blade 62 is formed along the edge 74 at the upper end of the groove 75T. As clearly shown in FIG. 12, this sealing surface 75S is also formed on the upper portion of the edge portion 74 where the beam portion 73 is not provided. Therefore, the rear surface of the blade 62T inserted into the groove portion 75T contacts the seal surface 75S.

図8(a),(b)において、上記中間の4枚のブレード62はそれぞれ長手方向の中間の一部が複数の梁部73によって部分的に支持されているため梁部73からはみ出した部分は開口71S内に位置した状態となる。このため、先頭のブレード62並びに中間の4枚のブレード62で挟まれた空間62Sは開口71Sに通じている。これに対し、マスククリーナ16の進行方向の最も後側に位置するブレード62は、その長手方向の全体がブレード保持部72によって支持されているうえ、そのひとつ前側に位置するブレード62Tの後面がシール面75Sに当接しているので、進行方向の最も後側に位置するブレード62とそのひとつ前側に位置するブレード62Tに挟まれた空間62STは開口71Sから遮断されている。マスククリーナ16の進行方向の最も前側に位置するブレード62も開口71Sの外部に位置しているので、そのペースト掻取り面の側の空間は開口71Sから遮断されている。 8(a) and 8(b), each of the four intermediate blades 62 is partially supported by a plurality of beams 73 at its longitudinal intermediate portions, so that the portion protruding from the beams 73 is is positioned within the opening 71S. Therefore, a space 62S sandwiched between the leading blade 62 and the four intermediate blades 62 communicates with the opening 71S. On the other hand, the blade 62 located on the rearmost side in the advancing direction of the mask cleaner 16 is supported entirely by the blade holding portion 72 in the longitudinal direction, and the rear surface of the blade 62T located one front side is sealed. Since it is in contact with the surface 75S, the space 62ST sandwiched between the blade 62 located on the rearmost side in the traveling direction and the blade 62T located on the front side thereof is blocked from the opening 71S. Since the blade 62 positioned at the frontmost side in the advancing direction of the mask cleaner 16 is also positioned outside the opening 71S, the space on the side of the paste scraping surface is blocked from the opening 71S.

このように本実施の形態のマスククリーナ16は、移動ベース55に取り付けられてペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体61と、ベース体61に着脱自在に取り付けられて長手方向に延びるとともにペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、ベース体61の上方に突出させたペースト掻取りエッジ62Eを備えた構成となっている。そして、ベース体61は、上方に開放した開口71Sを有するフレーム71と、フレーム71の開口71Sに装着されて長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部73を備えたブレード保持部72を有しており、ブレード保持部72は複数(6枚)のブレード62を保持し、複数の梁部73はブレード62(6枚のブレード62のうち、マスククリーナ16の進行方向の最も前側と最も後側に位置する2枚のブレード62を除く4枚のブレード62)の長手方向の中間部を部分的に支持する構成となっている。 As described above, the mask cleaner 16 of this embodiment includes the base body 61 attached to the moving base 55 and extending in the horizontal direction intersecting the paste scraping direction, and the base body 61 being detachably attached to the base body 61 and extending in the longitudinal direction. It is configured to have paste scraping edges 62</b>E that extend in the direction and are arranged parallel to the paste scraping direction and protrude upward from the base body 61 . The base body 61 has a frame 71 having an opening 71S that opens upward, and a blade holding portion 72 that is attached to the opening 71S of the frame 71 and has a plurality of beams 73 arranged at intervals in the longitudinal direction. The blade holding portion 72 holds a plurality of (six) blades 62, and the plurality of beams 73 hold the blades 62 (among the six blades 62, the frontmost and the rearmost in the traveling direction of the mask cleaner 16). It is configured to partially support the intermediate portions in the longitudinal direction of four blades 62 excluding the two blades 62 positioned on the side.

また、本実施の形態のマスククリーナ16では、ブレード62で挟まれた複数の空間62Sのうち、少なくともペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向の最も後側に位置する空間62STは開口71Sに通じていない構成となっている。 In the mask cleaner 16 of the present embodiment, among the plurality of spaces 62S sandwiched by the blades 62, at least the space 62ST positioned on the rearmost side in the moving direction of the mask cleaner 16 when scraping off the paste Pst is open. It has a configuration that does not lead to 71S.

図4、図5(a),(b),(c)、図6及び図9において、一対のエンド部材63はベース体61の長手方向(Y軸方向)の両端部に取り付けられている。各エンド部材63はそれぞれ樹脂から構成されており、ペースト掻取り方向(Y軸方向)に並んで形成された2つの螺子孔63Hを有している。各エンド部材63は、2つの螺子孔63Hに挿通された2つの螺子63Sがベース体61の長手方向の両端部に設けられた螺子取付け穴61H(図6)に螺入されることによって、ベース体61に着脱自在に装着される。エンド部材63はXY方向に広がった平らな上面63Fを備えている。 4, 5(a), 5(b), 6(c), 6 and 9, the pair of end members 63 are attached to both ends of the base body 61 in the longitudinal direction (Y-axis direction). Each end member 63 is made of resin and has two screw holes 63H formed side by side in the paste scraping direction (Y-axis direction). Each end member 63 is formed by screwing two screws 63S through two screw holes 63H into screw mounting holes 61H (FIG. 6) provided at both ends of the base body 61 in the longitudinal direction. It is detachably attached to the body 61 . The end member 63 has a flat upper surface 63F extending in the XY directions.

図13において、各ブレード62の長手方向の両端部には被押さえ部62Hが形成されている。被押さえ部62Hは、ブレード62の長手方向の外側に突出した上下に対称な半円形状を有している。一対のエンド部材63がベース体61の両端部に取り付けられると、複数のブレード62それぞれの被押さえ部62Hの傾斜面(ここでは円弧面)にエンド部材63の突起部63T(図15(a),(b))が上方から当接し、複数のブレード62がフレーム71に固定される。 In FIG. 13, pressed portions 62H are formed at both ends of each blade 62 in the longitudinal direction. The pressed portion 62</b>H has a vertically symmetrical semicircular shape that protrudes outward in the longitudinal direction of the blade 62 . When the pair of end members 63 are attached to both ends of the base body 61, the projections 63T (FIG. 15A) of the end members 63 are attached to the inclined surfaces (arc surfaces in this case) of the pressed portions 62H of the plurality of blades 62. , (b)) abut from above, and the plurality of blades 62 are fixed to the frame 71 .

このように本実施の形態では、複数のブレード62はそれぞれ長手方向の両端部か長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部62Hを有し、複数のブレード62それぞれが有する一対の被押さえ部62Hはベース体61に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材63によって上方から押さえられるようになっている。 As described above, in this embodiment, each of the plurality of blades 62 has a pair of pressed portions 62H formed so as to protrude from both ends in the longitudinal direction or outward in the longitudinal direction. The pressed portion 62H is pressed from above by a pair of end members 63 detachably attached to the base body 61 .

ベース体61に装着された一対のエンド部材63は、複数のブレード62の被押さえ部62Hの両端部に接触することによって、ペースト掻取り方向(Y軸方向)に隣接するブレード62同士の間に側壁を形成する。このため、後述する空気吸引時において、ブレード62で挟まれた空間62Sの側方からのエアの流入が防止される。なお、ブレード62の被押さえ部62Hの形状は、図13に示したような上下方向に対称な半円形状に限られず、上下方向に対称な半楕円形状や三角形形状、台形形状等であってもよい。 The pair of end members 63 attached to the base body 61 contact both ends of the pressed portions 62H of the plurality of blades 62, thereby providing a gap between the blades 62 adjacent in the paste scraping direction (Y-axis direction). form the sidewalls; For this reason, the inflow of air from the side of the space 62</b>S sandwiched by the blades 62 is prevented when air is sucked, which will be described later. The shape of the pressed portion 62H of the blade 62 is not limited to the vertically symmetrical semicircular shape shown in FIG. good too.

複数のブレード62が一対のエンド部材63によってフレーム71に固定された状態では、複数のブレード62それぞれの上縁は各エンド部材63の上面よりも上方に突出している(図8(a),(b)及び図15(a),(b))。すなわち、ベース体61に取り付けられた各エンド部材63の上面は、複数のブレード62の上縁よりも低い位置に位置している。ベース体61の上方に突出した上縁は、マスク13のクリーニングの際、マスク13の下面に当接されてペーストPstを掻き取るエッジ(ペースト掻取りエッジ62E)となる(図13)。 When the plurality of blades 62 are fixed to the frame 71 by the pair of end members 63, the upper edge of each of the plurality of blades 62 protrudes above the upper surface of each end member 63 (Fig. 8(a), ( b) and FIGS. 15(a) and (b)). That is, the upper surface of each end member 63 attached to the base body 61 is located at a position lower than the upper edges of the plurality of blades 62 . The upper edge protruding upward of the base body 61 serves as an edge (paste scraping edge 62E) that scrapes the paste Pst by contacting the lower surface of the mask 13 during cleaning of the mask 13 (FIG. 13).

図13において、各ブレード62は上下方向に対称な形状を有しており、上下方向に対向する2つのエッジ(第1のエッジ62a及び第2のエッジ62b)を有している。このため各ブレード62は任意の一方のエッジ(第1のエッジ62a又は第2のエッジ62b)がペースト掻取りエッジ62Eとなるようにベース体61に取り付けることができる(図15(a),(b))。 In FIG. 13, each blade 62 has a vertically symmetrical shape and has two edges (a first edge 62a and a second edge 62b) facing each other in the vertical direction. Therefore, each blade 62 can be attached to the base body 61 so that any one edge (first edge 62a or second edge 62b) serves as a paste scraping edge 62E (Fig. 15(a), ( b)).

図15(a),(b)に示すように、各ブレード62の端部には、第1のエッジ62aと第2のエッジ62bを識別するための識別マーク62M(識別表示)が付されている(図13及び図16も参照)。識別マーク62Mは、ブレード62がベース体61に取り付けられている状態で外部から視認することができる(図16)。このため作業者は、ベース体61からブレード62を取り外すことなく、そのブレード62の第1のエッジ62aと第2のエッジ62bのどちらがペースト掻取りエッジ62Eとなっているかを知ることができる。 As shown in FIGS. 15(a) and 15(b), the end of each blade 62 is provided with an identification mark 62M (identification mark) for identifying the first edge 62a and the second edge 62b. (see also FIGS. 13 and 16). The identification mark 62M can be visually recognized from the outside while the blade 62 is attached to the base body 61 (FIG. 16). Therefore, without removing the blade 62 from the base body 61, the operator can know which of the first edge 62a and the second edge 62b of the blade 62 is the paste scraping edge 62E.

図5(c)、図6及び図14において、整流板64はベース体61の下面側に位置して設けられている。整流板64はベース体61の長手方向に並んで設けられた複数の整流孔64Hを有しており、複数の整流板装着螺子64Sによってベース体61に着脱自在に装着されている(図6及び図8(a),(b))。 5(c), 6 and 14, the current plate 64 is positioned on the lower surface side of the base body 61. As shown in FIG. The straightening plate 64 has a plurality of straightening holes 64H arranged in the longitudinal direction of the base body 61, and is detachably attached to the base body 61 by a plurality of straightening plate mounting screws 64S (FIGS. 6 and 6). Figure 8 (a), (b)).

図6において、移動ベース55の上面のベース体61の下面と接触する部分には、複数(ここでは2つ)の位置決め孔55Hが設けられている。一方、ベース体61を構成するフレーム71の下面には、複数の位置決め孔55Hに対応して配置された複数(ここでは2つ)の位置決めピン61Pが下方に延びて設けられている(図5(b),(c))。これら複数の位置決めピン61Pは、移動ベース55に対してベース体61を位置決めするために設けられている。 In FIG. 6, a plurality of (here, two) positioning holes 55H are provided in the portion of the upper surface of the moving base 55 that contacts the lower surface of the base body 61 . On the other hand, a plurality of (here, two) positioning pins 61P arranged corresponding to the plurality of positioning holes 55H are provided extending downward from the lower surface of the frame 71 that constitutes the base body 61 (see FIG. 5). (b), (c)). These positioning pins 61P are provided for positioning the base body 61 with respect to the moving base 55. As shown in FIG.

マスククリーナ16を移動ベース55に取り付けるときは、マスククリーナ16のベース体61に設けられた複数の位置決めピン61Pを移動ベース55に設けられた複数の位置決め孔55Hに上方から挿入させる(図17(a)中に示す矢印B)これによりマスククリーナ16は移動ベース55上の規定の位置に取り付けられる(図17(b))。 When attaching the mask cleaner 16 to the moving base 55, a plurality of positioning pins 61P provided on the base body 61 of the mask cleaner 16 are inserted from above into a plurality of positioning holes 55H provided on the moving base 55 (see FIG. 17 ( a) Arrow B) The mask cleaner 16 is thereby attached to a prescribed position on the moving base 55 (FIG. 17(b)).

図5(b),(c)及び図8(a),(b)において、ベース体61には下面に表面を露出させた複数の磁石61Mが埋設されている。一方、移動ベース55は磁性体材料から構成されている。このためマスククリーナ16が移動ベース55上の規定の位置に取り付けられると、フレーム71に埋設された複数の磁石61Mがそれぞれ移動ベース55の上面に磁力で吸着し、マスククリーナ16が移動ベース55に固定される(図17(b))。 5(b), (c) and FIGS. 8(a), (b), a plurality of magnets 61M are embedded in the base body 61, the surface of which is exposed on the lower surface. On the other hand, the moving base 55 is made of a magnetic material. Therefore, when the mask cleaner 16 is attached to the moving base 55 at a specified position, the plurality of magnets 61M embedded in the frame 71 are magnetically attracted to the upper surface of the moving base 55, and the mask cleaner 16 is attached to the moving base 55. It is fixed (FIG. 17(b)).

図18(図17(b)における矢視V3-V3から見た断面図)において、マスククリーナ16が移動ベース55に取り付けられた状態では、マスククリーナ16の開口71Sが移動ベース55に形成された内部空間55S(図6も参照)と連通する。移動ベース55には内部空間55Sに設けられた空気通路55R(図6も参照)を通じて外部に延びる真空吸引管路55Tが設けられている(図3及び図18)。この真空吸引管路55Tには吸出し機構80が接続されており(図3及び図18)、吸出し機構80が真空吸引管路55Tを介して空気を吸引すると、マスククリーナ16の上方の空気が開口71S及び整流板64に設けられた整流孔64Hを通じて内部空間55S側に引き込まれ、マスク13の下面やパターン孔13H内に付着したペーストPstがマスククリーナ16側に吸い出される。 In FIG. 18 (a cross-sectional view viewed from the arrow V3-V3 in FIG. 17(b)), an opening 71S of the mask cleaner 16 is formed in the moving base 55 when the mask cleaner 16 is attached to the moving base 55. It communicates with the internal space 55S (see also FIG. 6). The moving base 55 is provided with a vacuum suction line 55T extending to the outside through an air passage 55R (see also FIG. 6) provided in the internal space 55S (FIGS. 3 and 18). A suction mechanism 80 is connected to the vacuum suction pipe 55T (FIGS. 3 and 18), and when the suction mechanism 80 sucks air through the vacuum suction pipe 55T, the air above the mask cleaner 16 opens. The paste Pst adhered to the lower surface of the mask 13 and inside the pattern holes 13H is sucked out to the mask cleaner 16 side through the rectifying holes 64H provided in the rectifying plate 64 and the 71S.

スクリーン印刷装置1がスクリーン印刷作業を行う場合には、先ず、スクリーン印刷装置1の外部から供給された基板KBを搬送コンベア31が受け取って所定の位置まで搬入する。そして、下受け部32が上昇して基板KBを下方から支持し、更にクランパ33が作動して基板KBをY軸方向からクランプする。クランパ33が基板KBをクランプしたらカメラ15がY軸方向移動機構52とX軸方向移動機構53の作動によって水平方向に移動しつつ、マスク13と基板KBを撮像する。制御部20はカメラ15が撮像した基板KBとマスク13の画像データから得られる基板KBとマスク13との相対位置関係を算出し、基板KBの各ランドLDとマスク13のパターン孔13Hとが上下に重なるように基板保持部移動機構22を作動させて、基板KBをマスク13に接触させる。 When the screen printing apparatus 1 performs a screen printing operation, first, the conveyer 31 receives the board KB supplied from the outside of the screen printing apparatus 1 and carries it to a predetermined position. Then, the lower receiving portion 32 rises to support the substrate KB from below, and the clamper 33 operates to clamp the substrate KB from the Y-axis direction. When the clamper 33 clamps the substrate KB, the camera 15 is horizontally moved by the operation of the Y-axis direction moving mechanism 52 and the X-axis direction moving mechanism 53 to image the mask 13 and the substrate KB. The control unit 20 calculates the relative positional relationship between the substrate KB and the mask 13 obtained from the image data of the substrate KB and the mask 13 captured by the camera 15, so that each land LD of the substrate KB and the pattern hole 13H of the mask 13 are vertically aligned. , and the substrate KB is brought into contact with the mask 13 .

基板KBがマスク13に接触したら、スキージ昇降駆動部43が作動して2つのスキージ42のうちの一方をマスク13の上面に当接させる。スキージ42がマスク13の上面に当接したら印刷ヘッド移動機構44がヘッドベース41をY軸方向に移動させる。これによりマスク13上に供給されたペーストPstがスキージ42によってマスク13上で掻き寄せられ(図2)、マスク13のパターン孔13Hを通じて基板KBの各ランドLDにペーストPstが塗布される。 When the substrate KB comes into contact with the mask 13 , the squeegee elevating drive unit 43 operates to bring one of the two squeegees 42 into contact with the upper surface of the mask 13 . When the squeegee 42 contacts the upper surface of the mask 13, the print head moving mechanism 44 moves the head base 41 in the Y-axis direction. As a result, the paste Pst supplied onto the mask 13 is scraped onto the mask 13 by the squeegee 42 (FIG. 2), and the paste Pst is applied to each land LD of the substrate KB through the pattern holes 13H of the mask 13. FIG.

基板KBの各ランドLDにペーストPstが塗布されたら、基板保持部移動機構22が基板保持部21を下降させて基板KBをマスク13から分離(版離れ)させる。これにより基板KBへのペーストPstの印刷が終了する。基板KBへのペーストPstの印刷が終了したら搬送コンベア31が作動し、基板KBをスクリーン印刷装置1の外部に搬出する。 After the paste Pst is applied to each land LD of the substrate KB, the substrate holding portion moving mechanism 22 lowers the substrate holding portion 21 to separate the substrate KB from the mask 13 (plate separation). This completes the printing of the paste Pst onto the substrate KB. When the printing of the paste Pst on the substrate KB is completed, the conveyer 31 is operated to carry the substrate KB out of the screen printing apparatus 1 .

搬送コンベア31によって基板KBがスクリーン印刷装置1の外部に搬出されたら、マスククリーナ16によるマスククリーニング作業が実行される。マスククリーニング作業では、Y軸方向移動機構52が移動ビーム51をY軸方向に移動させ、マスククリーナ16をマスク13の後下方に位置させる。マスククリーナ16がマスク13の後下方に位置したら、昇降機構54Kが作動してマスククリーナ16を上昇させ、マスククリーナ16を(詳細には6枚のブレード62のペースト掻取りエッジ62Eを)マスク13の下面に当接させる(図19(a))。 After the substrate KB is carried out of the screen printing apparatus 1 by the transport conveyor 31, the mask cleaning operation is performed by the mask cleaner 16. FIG. In the mask cleaning operation, the Y-axis direction moving mechanism 52 moves the moving beam 51 in the Y-axis direction to position the mask cleaner 16 behind and below the mask 13 . When the mask cleaner 16 is positioned behind and below the mask 13, the elevating mechanism 54K operates to lift the mask cleaner 16 so that the mask cleaner 16 (more specifically, the paste scraping edges 62E of the six blades 62) is moved to the mask 13. (Fig. 19(a)).

マスククリーナ16がマスク13の下面に当接したら、Y軸方向移動機構52が作動して移動ビーム51を前方に移動させる。これによりマスククリーナ16が備える6枚のブレード62がマスク13の下面を摺動し、各ブレード62のペースト掻取りエッジ62Eによってマスク13の下面に付着したペーストPstが掻き取られていく(図19(b)及び図20)。また、6枚のブレード62がマスク13の下面に付着したペーストPstを掻き取っている間、吸出し機構80は空気を吸引する。これによりマスク13に付着しているペーストPstがマスククリーナ16の開口71S及びブレード62で挟まれた複数の空間62Sを通じて吸出し機構80によって強制的に吸い出されるので、ペーストPstの掻取り効率が向上する。 When the mask cleaner 16 comes into contact with the lower surface of the mask 13, the Y-axis direction moving mechanism 52 operates to move the moving beam 51 forward. As a result, the six blades 62 of the mask cleaner 16 slide on the bottom surface of the mask 13, and the paste scraping edge 62E of each blade 62 scrapes off the paste Pst adhering to the bottom surface of the mask 13 (FIG. 19). (b) and FIG. 20). Also, while the six blades 62 are scraping off the paste Pst adhering to the lower surface of the mask 13, the suction mechanism 80 sucks air. As a result, the paste Pst adhering to the mask 13 is forcibly sucked out by the sucking mechanism 80 through the openings 71S of the mask cleaner 16 and the plurality of spaces 62S sandwiched by the blade 62, thereby improving the scraping efficiency of the paste Pst. do.

このようにブレード62がマスク13の下面を摺動してマスククリーニングが実行されているときには、ベース体61に取り付けられた一対のエンド部材63は、図20中に示す領域Raの拡大図である図21に示すように、マスク13の下面に下方から当接するようになっている。このためマスククリーニング中に、ブレード62で挟まれた空間62Sの側方から開口71Sにエアが流入するのを防止する。これにより、クリーニングに寄与しない箇所から流入するエアによってマスククリーナ16の吸引力が損なわれないようにすることができる。 When the blade 62 slides on the lower surface of the mask 13 to clean the mask, the pair of end members 63 attached to the base body 61 is an enlarged view of the region Ra shown in FIG. As shown in FIG. 21, it contacts the lower surface of the mask 13 from below. Therefore, air is prevented from flowing into the opening 71S from the side of the space 62S sandwiched by the blade 62 during mask cleaning. As a result, the suction force of the mask cleaner 16 can be prevented from being impaired by air flowing in from locations that do not contribute to cleaning.

図21において、マスククリーニングにおけるペーストPstの掻取りでは、ペースト掻取り方向に並んで配置された6枚のブレード62のうちペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向の最も前側に位置するブレード62は、他のブレード62よりも先に、マスク13の下面に付着したペーストPstを掻き取ることになる。このためペーストPstの掻取り量はペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向の最も前側に位置するブレード62が最も多く、それ以外の5枚のブレード62は後方に位置するものほど掻取り量が少なくなっていく。 In FIG. 21, when scraping off the paste Pst in mask cleaning, the blade 62 positioned at the frontmost in the traveling direction of the mask cleaner 16 during scraping of the paste Pst among the six blades 62 arranged side by side in the paste scraping direction. The blade 62 scrapes off the paste Pst adhering to the lower surface of the mask 13 before the other blades 62 do. Therefore, the scraping amount of the paste Pst is the largest for the blade 62 located on the frontmost side in the moving direction of the mask cleaner 16 when scraping the paste Pst. Taking less and less.

また、ペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向の最も前側に位置するブレード62よりも後方に位置する各ブレード62は、そのブレード62が通過する直前のパターン孔13Hから吸出し機構80によって吸い出されたペーストPstも掻き取る。そして、そのブレード62で掻き取り切れなかったペーストPstは、そのブレード62の後方に位置するブレード62が掻き取る。 Further, each blade 62 located behind the blade 62 located at the most front side in the moving direction of the mask cleaner 16 during scraping of the paste Pst is sucked out by the suction mechanism 80 from the pattern hole 13H immediately before the blade 62 passes. The sucked paste Pst is also scraped off. Then, the paste Pst not scraped off by the blade 62 is scraped off by the blade 62 positioned behind the blade 62 .

マスククリーニングを繰り返すと、ブレード62に付着する掻き取られたペーストPstの量が次第に増加し、ブレード62がペーストPstを掻き取る性能も付着するペーストPstの量が増えるに従って低下する。このため、複数枚のブレード62を使用することによってできるだけ長くクリーニング性能を維持するようにしている。これに加え、本実施の形態ではマスククリーナ16の進行方向の最も後側に位置するブレード62に付着するペーストPstの量を少なくすることでより長くクリーニング性能を維持する工夫がなされている。 When mask cleaning is repeated, the amount of scraped paste Pst adhering to the blade 62 gradually increases, and the ability of the blade 62 to scrape off the paste Pst also decreases as the amount of adhering paste Pst increases. Therefore, a plurality of blades 62 are used to maintain cleaning performance as long as possible. In addition to this, in the present embodiment, the amount of paste Pst adhering to the blade 62 located on the rearmost side in the advancing direction of the mask cleaner 16 is reduced to maintain the cleaning performance for a longer period of time.

本実施の形態では、前述したように、ペースト掻取り方向に並んで配置された6枚のブレード62のうち、ペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向の最も後側に位置するブレード62とその1つ前方に位置するブレード62Tとの間の空間62STは開口71Sから遮断されており、吸出し機構80の吸引力はほとんど及ばない。よって、空間62STではパターン孔13Hの内部に残存しているペーストPstをマスク13の下面に移動させる空気の流れが発生しない。 In the present embodiment, as described above, of the six blades 62 arranged side by side in the paste scraping direction, the blade located at the rearmost position in the advancing direction of the mask cleaner 16 during scraping of the paste Pst. A space 62ST between 62 and a blade 62T positioned one ahead thereof is blocked from the opening 71S, and the suction force of the suction mechanism 80 hardly reaches it. Therefore, no air flow is generated in the space 62ST to move the paste Pst remaining inside the pattern hole 13H to the lower surface of the mask 13. FIG.

このため、6枚のブレード62のうち進行方向の最も後側に位置するブレード62のペースト掻取り面には吸出し機構80によって強制的に吸い出されたペーストPstが流入せず、最も後側に位置するブレード62が掻き取るペーストPstの量は他のブレード62よりも少なくなる。別の言い方をすれば、進行方向の最も後側に位置する空間62STにはパターン孔13Hの内部に残存しているペーストPstが流入しないので、最も後側に位置するブレード62はその前のブレード62Tが掻き取れなかったわずかなペーストPstのみを掻き取るだけで済む。よって、最も後側に位置するブレード62はその前方に位置する他のブレード62よりもペーストPstで汚れていない状態を保つことができ、前方のブレード62が掻き取り残したペーストPstを確実に掻き取ることができる。これによりクリーニング性能を長期間維持することが可能であり、クリーニングユニットの清掃等回数やそれに伴うクリーニング印刷装置の稼働停止時間を従来よりも少なくすることができる。 For this reason, the paste Pst forcibly sucked out by the sucking mechanism 80 does not flow into the paste scraping surface of the blade 62 positioned most rearward in the advancing direction among the six blades 62, and the paste scraping surface of the blade 62 positioned at the rearmost side in the traveling direction does not flow into the paste scraping surface. The amount of paste Pst scraped by the positioned blade 62 is smaller than that of the other blades 62 . In other words, since the paste Pst remaining inside the pattern hole 13H does not flow into the space 62ST positioned on the rearmost side in the direction of travel, the blade 62 positioned on the rearmost side does not flow into the space 62ST positioned on the rearmost side. It is only necessary to scrape off only a small amount of paste Pst that 62T could not scrape off. Therefore, the blade 62 positioned at the rearmost side can be kept less contaminated with the paste Pst than the other blades 62 positioned in front of it, and the paste Pst left behind by the blade 62 in front can be reliably scraped off. be able to. As a result, it is possible to maintain the cleaning performance for a long period of time, and it is possible to reduce the number of cleanings of the cleaning unit and the downtime of the cleaning printing apparatus.

このようなスクリーン印刷装置1において、各ブレード62はペーストPstの掻取りによって汚れるため、所定のタイミングで清掃を行う必要がある。ブレード62はベース体61から取り外して清掃するが、本実施の形態では、前述したようにブレード62は樹脂から構成されているため、ブレード62を清掃する際、誤ってブレード62を大きく曲げてしまったとしても塑性変形することがなく、清掃後(ベース体61に取り付けた後)にペースト掻取りエッジ62Eがマスク13の下面に面当りしなくなるようなことがない。このためブレード62の清掃時等においてブレード62を変形させてしまうことに起因するクリーニング品質の低下を防止できる。なお、ブレード62の清掃にはペーストPstを溶解させ得るアルコール系の溶剤が用いられるため、ブレード62は樹脂の中でも、アルコール系の溶剤に対する耐用性を有するものが用いられることが好ましい。 In such a screen printing apparatus 1, each blade 62 becomes dirty by scraping off the paste Pst, and therefore needs to be cleaned at a predetermined timing. The blade 62 is removed from the base body 61 and cleaned. However, in the present embodiment, the blade 62 is made of resin as described above. Even if it does, it will not be plastically deformed, and the paste scraping edge 62E will not come into contact with the lower surface of the mask 13 after cleaning (after being attached to the base body 61). Therefore, it is possible to prevent deterioration of cleaning quality due to deformation of the blade 62 when cleaning the blade 62 or the like. Since an alcohol-based solvent capable of dissolving the paste Pst is used for cleaning the blade 62, it is preferable that the blade 62 is made of a resin having resistance to the alcohol-based solvent.

また、本実施の形態では、ブレード62が上下方向に対称な形状となっており、上下方向に対向して位置する2つのエッジ(第1のエッジ62a及び第2のエッジ62b)のうちの任意の一方をペースト掻取りエッジ62Eとして使用できる。このため第1のエッジ62aと第2のエッジ62bのうちの一方がペーストPstの掻取りの耐用限度に達したときはブレード62をベース体61から取り外し、上下を反転させてベース体61に取り付けなおすことで、ブレード62を再度耐用限度まで使用できす。このように本実施の形態におけるマスククリーナ16ではブレード62の耐用期間を増大(倍増)させることができ、コストの低減を図ることができる。 Further, in the present embodiment, the blade 62 has a vertically symmetrical shape, and any of the two edges (the first edge 62a and the second edge 62b) positioned facing each other in the vertical direction can be used as paste scraping edge 62E. Therefore, when one of the first edge 62a and the second edge 62b reaches the endurance limit for scraping the paste Pst, the blade 62 is removed from the base body 61, turned upside down and attached to the base body 61. By repairing it, the blade 62 can be used again up to its endurance limit. As described above, in the mask cleaner 16 of the present embodiment, the service life of the blade 62 can be increased (doubled), and the cost can be reduced.

ここで、前述したように、各ブレード62に第1のエッジ62aと第2のエッジ62bを識別するための識別表示としての識別マーク62Mが付されているので、作業者は、予め定めておいた第1のエッジ62aと第2のエッジ62bの使用順序と照らし合わせることで、ブレード62の状況(ブレード62の上下を反転させる前なのか反転させた後なのか)を的確に知ることができる。なお、本実施の形態では、識別マーク62Mは、第1のエッジ62aの側に頂角を向けた三角形の図形を例示したが(図15(a),(b))、これは一例に過ぎず、識別マーク62Mの形態は限定されない。 Here, as described above, each blade 62 is provided with an identification mark 62M as an identification display for identifying the first edge 62a and the second edge 62b. By comparing the order of use of the first edge 62a and the second edge 62b, the situation of the blade 62 (before or after the blade 62 is turned upside down) can be accurately known. . In the present embodiment, the identification mark 62M is illustrated as a triangular figure with the vertical angle facing the side of the first edge 62a (FIGS. 15A and 15B), but this is only an example. However, the form of the identification mark 62M is not limited.

また、マスククリーナ16のブレード保持部72が備える複数の梁部73はそれぞれペースト掻取り方向(Y軸方向)に対して水平面内で斜めに延びており、複数のブレード62は互いに異なる長手方向の箇所が梁部73によって支持されている。このためマスク13のクリーニング時には、各ブレード62の梁部73によって支持されている箇所と梁部73によって支持されない箇所はブレード62の長手方向に分散されることになり、マスク13に対するブレード62の当たり具合がマスククリーナ16全体として均一化される。これによりマスク13の下面に梁部73の位置に対応した筋が残るようなことがなくなり、クリーニング品質を向上させることができる。 A plurality of beams 73 included in the blade holding portion 72 of the mask cleaner 16 each extend obliquely in a horizontal plane with respect to the paste scraping direction (Y-axis direction), and the plurality of blades 62 are arranged in different longitudinal directions. A portion is supported by the beam portion 73 . Therefore, when cleaning the mask 13 , the portions of each blade 62 supported by the beams 73 and the portions not supported by the beams 73 are dispersed in the longitudinal direction of the blades 62 , and the blades 62 hit the mask 13 . The condition of the entire mask cleaner 16 is made uniform. As a result, streaks corresponding to the positions of the beams 73 do not remain on the lower surface of the mask 13, and cleaning quality can be improved.

また、本実施の形態では、ブレード保持部72はフレーム71に着脱自在に取り付けられる同一形状の複数のブロック部材72Bから構成されているため、ブレード62の清掃時に併せて行うベース体61の清掃において、ブレード保持部72の清掃が極めて容易となる。ブレード保持部72は超音波洗浄機等を用いて清掃することが多いが、この場合、洗浄槽は少なくともひとつのブロック部材72Bが入る大きさを有していればよいので超音波洗浄機は小型のものでよく、清掃に要するコストを低減することができる。 In the present embodiment, the blade holding portion 72 is composed of a plurality of block members 72B of the same shape that are detachably attached to the frame 71. Therefore, when cleaning the base body 61 when cleaning the blade 62, , the cleaning of the blade holding portion 72 becomes extremely easy. The blade holder 72 is often cleaned using an ultrasonic cleaner or the like. In this case, the cleaning tank should be large enough to accommodate at least one block member 72B, so the ultrasonic cleaner is small. can be used, and the cost required for cleaning can be reduced.

また、前述したように、最も後側に位置するブレード62が掻き取るペーストPstの量は他のブレード62よりも少なく、その前方に位置する他のブレード62が掻き取り残したペーストPstを確実に掻き取ることができるので、マスク13のクリーニング品質を向上させることができる。更には、最も後側に位置するブレード62そのものもペーストPstの掻き取り残しを生じにくくなるので、マスク13の下面に残留するペーストPstを極めて少量に抑えることができ、この面からもマスク13のクリーニング品質を向上させることができる。 In addition, as described above, the amount of paste Pst scraped off by the blade 62 located on the rearmost side is smaller than that of the other blades 62, and the other blade 62 located in front of the blade 62 reliably scrapes off the paste Pst left unscraped. Since it can be removed, the cleaning quality of the mask 13 can be improved. Furthermore, since the blade 62 itself positioned at the rearmost side is less likely to leave the paste Pst scraped off, the paste Pst remaining on the lower surface of the mask 13 can be suppressed to an extremely small amount, and the mask 13 can be cleaned from this surface as well. Quality can be improved.

また、マスククリーナ16が取り付けられる移動ベース55が磁性体材料から構成される一方、マスククリーナ16のベース体61には、移動ベース55の上面に磁力で吸着する磁石61Mが備えられている。このためマスククリーナ16をワンタッチで移動ベース55に着脱させることができ、メンテナンス時等における作業性を向上させることができる。 Further, while the moving base 55 to which the mask cleaner 16 is attached is made of a magnetic material, the base body 61 of the mask cleaner 16 is provided with a magnet 61M that attracts the upper surface of the moving base 55 by magnetic force. Therefore, the mask cleaner 16 can be attached to and detached from the moving base 55 with one touch, and workability during maintenance can be improved.

また、前述したように、マスククリーニングが実行されている間、ベース体61に取り付けられた一対のエンド部材63の上面63Fはマスク13の下面に下方から当接することで、ブレード62で挟まれた空間62Sの側方からのエアの流入が防止されるので、マスククリーニングの際にペーストPstを効率よく吸い出すことができる。よって、この面からもクリーニング品質を向上させることができる。また、エンド部材63は過剰な力でブレード62をマスク13に押し当てないようにするためのストッパとして機能する。すなわち、エンド部材63の上面63Fとマスク13の下面が接触することでブレード62の変形が一定範囲に保たれ、ブレード62の摩耗の進行を想定の範囲内にコントロールする。 Further, as described above, while the mask cleaning is being performed, the upper surfaces 63F of the pair of end members 63 attached to the base body 61 come into contact with the lower surface of the mask 13 from below and are sandwiched between the blades 62. Since the inflow of air from the side of the space 62S is prevented, the paste Pst can be efficiently sucked out during mask cleaning. Therefore, cleaning quality can be improved also from this aspect. Also, the end member 63 functions as a stopper to prevent the blade 62 from pressing against the mask 13 with excessive force. That is, the contact between the upper surface 63F of the end member 63 and the lower surface of the mask 13 keeps the deformation of the blade 62 within a certain range and controls the progress of wear of the blade 62 within an assumed range.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置1では、ブレード62が上下方向に対称な形状となっており、上下方向に対向して位置する2つのエッジ(第1のエッジ62a及び第2のエッジ62b)のうちの任意の一方をペースト掻取りエッジ62Eとして使用できる。このためブレード62の上下を反転させて使用することで耐用時間を増大(倍増)させることができ、コストの低減を図ることができる。 As described above, in the screen printing apparatus 1 according to the present embodiment, the blade 62 has a symmetrical shape in the vertical direction, and two edges (the first edge 62a and the second edge 62a) that face each other in the vertical direction. Any one of the two edges 62b) can be used as the paste scraping edge 62E. Therefore, by using the blade 62 upside down, the service life can be increased (doubled), and the cost can be reduced.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、マスククリーナ16が備えるブレード62の数は6枚であったが、これは一例であり、ブレード62の数は特に限定されない。また、マスク13を介して基板KBにペーストPstを印刷する印刷ヘッド14はマスク13上でスキージ42を摺動させる構成を有するものであったが、カートリッジに封入したペーストPstをマスク13上に圧出する構成のもの等であってもよい。 Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to the above. For example, in the embodiment described above, the number of blades 62 included in the mask cleaner 16 was six, but this is an example and the number of blades 62 is not particularly limited. Also, the print head 14 for printing the paste Pst onto the substrate KB through the mask 13 had a configuration in which the squeegee 42 slides over the mask 13. It may be of a configuration such as to release.

また、上述の実施の形態では、ブレード保持部72に支持された複数(6枚)のブレード62のうち、ペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向の最も前方に位置するブレード62と最も後方に位置するブレード62が開口71Sの外側に位置するようになっていたが、最も前方に位置するブレード62は開口71Sの内側に位置するようになっていても構わない。すなわち、ブレード62で挟まれた複数の空間62Sのうち、少なくともペーストPstの掻取り時のマスククリーナ16の進行方向の最も後側に位置する空間62Sが開口71Sから遮断されるような構成であればよい。 In the above-described embodiment, among the plurality of (six) blades 62 supported by the blade holding portion 72, the blade 62 positioned most forward in the traveling direction of the mask cleaner 16 during scraping of the paste Pst and Although the rearmost blade 62 is positioned outside the opening 71S, the frontmost blade 62 may be positioned inside the opening 71S. That is, of the plurality of spaces 62S sandwiched by the blades 62, at least the space 62S located on the rearmost side in the advancing direction of the mask cleaner 16 during scraping of the paste Pst may be blocked from the opening 71S. Just do it.

また、上述の実施の形態では、移動ベース55の全体が磁性体材料から構成されるとしていたが、これは、ベース体61に埋設された複数の磁石61Mにより磁力で吸着されればよいので、移動ベース55の少なくとも上面を含む部分が磁性体材料から構成されていればよい。 Further, in the above-described embodiment, the entire moving base 55 is made of a magnetic material. A portion including at least the upper surface of the moving base 55 may be made of a magnetic material.

ブレードの耐用時間を増大させてコストを低減できるスクリーン印刷装置、マスククリーナ及びブレードを提供する。 To provide a screen printing apparatus, a mask cleaner, and a blade capable of increasing the service life of the blade and reducing the cost.

1 スクリーン印刷装置
13 マスク
14 印刷ヘッド
16 マスククリーナ
61 ベース体
62,62T ブレード
62E ペースト掻取りエッジ
62a 第1のエッジ
62b 第2のエッジ
62H 被押さえ部
62M 識別マーク(識別表示)
63 エンド部材
71 フレーム
71S 開口
72 ブレード保持部
72B ブロック部材
73 梁部
75,75T 溝部
KB 基板
Pst ペースト
Reference Signs List 1 screen printer 13 mask 14 print head 16 mask cleaner 61 base body 62, 62T blade 62E paste scraping edge 62a first edge 62b second edge 62H pressed portion 62M identification mark (identification display)
63 end member 71 frame 71S opening 72 blade holding portion 72B block member 73 beam portion 75, 75T groove portion KB substrate Pst paste

Claims (12)

マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースと、前記移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナとを備えたスクリーン印刷装置であって、
前記マスククリーナは、
前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、
前記ベース体に着脱自在に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、
前記複数のブレードはそれぞれ上下方向に対称な形状を有することにより、上下方向に対向して位置する第1のエッジと第2のエッジのうちの任意の一方を前記ペースト掻取りエッジとして使用でき、
前記複数のブレードはそれぞれ前記長手方向の両端部から前記長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部を有し、前記複数のブレードそれぞれが有する前記一対の被押さえ部は前記ベース体に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材によって上方から押さえられ、
前記複数のブレードそれぞれが有する前記一対の被押さえ部はそれぞれ上下に対称な円弧形状であるスクリーン印刷装置。
a print head that prints paste onto a substrate through a mask; a moving base that moves below the mask in a horizontal paste scraping direction; A screen printing apparatus comprising a mask cleaner that moves and scrapes off the paste adhering to the lower surface of the mask,
The mask cleaner
a base body attached to the moving base and extending in a horizontal direction intersecting the paste scraping direction as a longitudinal direction;
The paste scraping edge is detachably attached to the base body, extends in the longitudinal direction and is arranged in parallel with the paste scraping direction, and a paste scraping edge projecting upward from the base body abuts the lower surface of the mask. a plurality of blades that allow
Each of the plurality of blades has a symmetrical shape in the vertical direction, so that any one of the first edge and the second edge that are positioned to face each other in the vertical direction can be used as the paste scraping edge,
Each of the plurality of blades has a pair of pressed portions projecting outward in the longitudinal direction from both ends in the longitudinal direction, and the pair of pressed portions of each of the plurality of blades is the base body. pressed from above by a pair of end members detachably attached to the
The screen printing apparatus according to claim 1, wherein the pair of pressed portions of each of the plurality of blades has a vertically symmetric arc shape.
前記複数のブレードそれぞれに前記第1のエッジと前記第2のエッジを識別する識別表示が付された請求項1に記載のスクリーン印刷装置。 2. The screen printing apparatus according to claim 1 , wherein each of said plurality of blades has an identification mark for identifying said first edge and said second edge. 前記ベース体は、上方に開放した開口を有するフレーム及び前記開口に装着されて前記長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部を備えたブレード保持部を有し、 前記ブレード保持部に前記複数のブレードが挿入される複数列の溝部が設けられた請求項1または2に記載のスクリーン印刷装置。 The base body has a frame having an opening that opens upward and a blade holding part that is attached to the opening and has a plurality of beams arranged at intervals in the longitudinal direction, 3. The blade holding portion is provided with a plurality of rows of grooves into which the plurality of blades are inserted.1 or 2The screen printing device according to . 前記ブレード保持部は前記フレームに着脱自在に取り付けられる複数のブロック部材から構成されている請求項に記載のスクリーン印刷装置。 4. A screen printing apparatus according to claim 3 , wherein said blade holding portion comprises a plurality of block members detachably attached to said frame. 前記複数のブロック部材は互いに同一形状である請求項に記載のスクリーン印刷装置。 5. The screen printing apparatus according to claim 4 , wherein the plurality of block members have the same shape. マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられ、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナであって、
前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、
前記ベース体に着脱自在に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、
前記複数のブレードはそれぞれ上下方向に対称な形状を有することにより、上下方向に対向して位置する第1のエッジと第2のエッジのうちの任意の一方を前記ペースト掻取りエッジとして使用でき、
前記複数のブレードはそれぞれ前記長手方向の両端部から前記長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部を有し、前記複数のブレードそれぞれが有する前記一対の被押さえ部は前記ベース体に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材によって上方から押さえられ、
前記複数のブレードそれぞれが有する前記一対の被押さえ部はそれぞれ上下に対称な円弧形状であるマスククリーナ。
It is provided in a screen printing apparatus for printing paste on a substrate through a mask, is attached to a moving base that moves below the mask in a horizontal paste scraping direction, and moves below the mask together with the moving base. , a mask cleaner for scraping off the paste adhering to the lower surface of the mask,
a base body attached to the moving base and extending in a horizontal direction intersecting the paste scraping direction as a longitudinal direction;
The paste scraping edge is detachably attached to the base body, extends in the longitudinal direction and is arranged in parallel with the paste scraping direction, and a paste scraping edge projecting upward from the base body abuts the lower surface of the mask. a plurality of blades that allow
Each of the plurality of blades has a symmetrical shape in the vertical direction, so that any one of the first edge and the second edge that are positioned to face each other in the vertical direction can be used as the paste scraping edge,
Each of the plurality of blades has a pair of pressed portions projecting outward in the longitudinal direction from both ends in the longitudinal direction, and the pair of pressed portions of each of the plurality of blades is the base body. pressed from above by a pair of end members detachably attached to the
A mask cleaner according to claim 1, wherein said pair of pressed portions of each of said plurality of blades are vertically symmetrical circular arc shapes.
前記複数のブレードそれぞれに前記第1のエッジと前記第2のエッジを識別する識別表示が付された請求項に記載のマスククリーナ。 7. The mask cleaner of claim 6 , wherein each of said plurality of blades has identification markings identifying said first edge and said second edge. 前記ベース体は、上方に開放した開口を有するフレーム及び前記開口に装着されて前記長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部を備えたブレード保持部を有し、 前記ブレード保持部に前記複数のブレードが挿入される複数列の溝部が設けられた請求項6または7に記載のマスククリーナ。 The base body has a frame having an opening that opens upward and a blade holding part that is attached to the opening and has a plurality of beams arranged at intervals in the longitudinal direction, 3. The blade holding portion is provided with a plurality of rows of grooves into which the plurality of blades are inserted.6 or 7The mask cleaner described in . 前記ブレード保持部は前記フレームに着脱自在に取り付けられる複数のブロック部材から構成されている請求項に記載のマスククリーナ。 9. A mask cleaner according to claim 8 , wherein said blade holding portion comprises a plurality of block members detachably attached to said frame. 前記複数のブロック部材は互いに同一形状である請求項に記載のマスククリーナ。 10. A mask cleaner according to claim 9 , wherein said plurality of block members have the same shape. マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられ、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナが有するブレードであって、
前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体に着脱自在に取り付けられて前記長手方向に延び、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させるようになっており、
上下方向に対称な形状を有することにより、上下方向に対向して位置する第1のエッジと第2のエッジのうちの任意の一方を前記ペースト掻取りエッジとして使用でき、
前記長手方向の両端部から前記長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部を有し、前記一対の被押さえ部は前記ベース体に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材によって上方から押さえられ、
前記一対の被押さえ部はそれぞれ上下に対称な円弧形状であるブレード。
It is provided in a screen printing apparatus for printing paste on a substrate through a mask, is attached to a moving base that moves below the mask in a horizontal paste scraping direction, and moves below the mask together with the moving base. , a blade possessed by a mask cleaner for scraping off the paste adhering to the lower surface of the mask,
A paste scraping edge that is detachably attached to a base body that is attached to the moving base and extends in a horizontal direction intersecting the paste scraping direction, extends in the longitudinal direction, and protrudes upward from the base body. is brought into contact with the lower surface of the mask,
By having a symmetrical shape in the vertical direction, any one of the first edge and the second edge located opposite to each other in the vertical direction can be used as the paste scraping edge,
It has a pair of pressed portions projecting outward in the longitudinal direction from both ends in the longitudinal direction. held down,
A blade in which each of the pair of pressed portions has a vertically symmetrical arc shape.
前記第1のエッジと前記第2のエッジを識別する識別表示が付された請求項11に記載のブレード。 12. The blade of claim 11 , including identifying indicia identifying said first edge and said second edge.
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