JP6512334B2 - GaN基板の製造方法 - Google Patents
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Description
GaN基板は、主に、窒化物半導体デバイス用の基板として使用される。窒化物半導体は、窒化物系III−V族化合物半導体、III族窒化物系化合物半導体、GaN系半導体、などとも呼ばれ、GaN(窒化ガリウム)を含む他に、GaNのGaの一部または全部が、他の周期表13族元素(B、Al、In)に置換された化合物を含む。例えば、AlN、InN、AlGaN、AlInN、GaInN、AlGaInN等である。
一方、非極性または半極性GaN基板を使用することにより、特性の改善された窒化物半導体デバイスが得られるとの期待がある(非特許文献1)。
非極性GaN基板の中で特に注目されているのは、(10−10)基板、すなわちM面基板である。半極性GaN基板の中で特に注目されているのは、(20−21)基板、(20−2−1)基板、(30−31)基板および(30−3−1)基板である。
集合シードを構成するシードGaN基板の数が増えると、該シードGaN基板の全てを、[0001]の方向が同じとなるように並べることが難しくなる。その結果、該集合シード上に成長させたGaN結晶から製造されるGaN基板において、オフ角の変動が大きくなる傾向が生じる。
[1](A)おもて面に平行な方向に配置された複数の結晶領域を含むGaN基板である第2タイルシードを準備する、第2タイルシード準備ステップと、(B)各々がGaN基板であって前記第2タイルシードを含む複数のタイルシードを、それらのおもて面に平行な方向に並べて第2集合シードを構成する、第2集合シード構成ステップと、(C)前記第2集合シード上に第2GaN結晶を成長させる、第2GaN結晶成長ステップと、を含むGaN基板の製造方法。
[2]前記(A)第2タイルシード準備ステップが、更に(i)各々がGaN基板である複数の第1タイルシードを、それらのおもて面に平行な方向に並べて、第1集合シードを構成するサブステップと、(ii)該第1集合シード上に第1GaN結晶を成長させるサブステップと、を含む、[1]に記載の製造方法。
[3]前記(A)第2タイルシード準備ステップが、更に(iii)前記第1GaN結晶を加工して前記第2タイルシードを得るサブステップを含む、[2]に記載の製造方法。
[4]前記(A)第2タイルシード準備ステップが、更に、(iv)前記第1GaN結晶の少なくとも一部を含むシード上に、GaN結晶を成長させるサブステップと、(v)前記サブステップ(iv)で成長させたGaN結晶を加工して前記第2タイルシードを得るサブステップと、を含む、[2]に記載の製造方法。
[5]前記(C)第2GaN結晶成長ステップの後に、更に、(D)前記第2GaN結晶を加工して円盤形GaN基板を得る、GaN基板取得ステップを含む、[1]〜[4]のいずれかに記載の製造方法。
[6]前記(C)第2GaN結晶成長ステップの後に、更に、(E)前記第2GaN結晶の少なくとも一部を含むシード上にGaN結晶を成長させるGaN結晶成長ステップを含む、[1]〜[4]のいずれかに記載の製造方法。
[7]前記(E)GaN結晶成長ステップの後に、更に、該(E)GaN結晶成長ステップで成長させたGaN結晶を加工して円盤形GaN基板を得る、GaN基板取得ステップを含む、[6]に記載の製造方法。
[8]前記(B)第2集合シード構成ステップでは、複数のタイルシードを、それらのおもて面に平行な2つの方向に並べて前記第2集合シードを構成する、[1]〜[7]のいずれかに記載の製造方法。
[9]前記2つの方向の一方が、前記第2集合シードを構成するタイルシードのおもて面における[0001]の正射影の方向である、[8]に記載の製造方法。
[10]前記(B)第2集合シード構成ステップでは、複数のタイルシードを、それらのおもて面における[0001]の正射影とは異なる方向に一列に並べて前記第2集合シードを構成する、[1]〜[7]のいずれかに記載の製造方法。
[11]前記(B)第2集合シード構成ステップでは、複数のタイルシードを、それらのおもて面における[0001]の正射影の方向に一列に並べて前記第2集合シードを構成する、[1]〜[7]のいずれかに記載の製造方法。
[12](0001)からの傾斜が60°以上120°以下である結晶面に平行なおもて面を有するGaN基板を製造する方法である、[1]〜[11]のいずれかに記載の製造方法。
[13]第1結晶領域および第2結晶領域を含むGaN結晶を加工して、該第1結晶領域の一部である第1結晶部および該第2結晶領域の一部である第2結晶部を含むタイルシードを複数枚取得するステップと、該タイルシードを少なくとも2枚含む集合シードを構成するステップとを含み、該集合シード内には、一方の第1結晶部と他方の第1結晶部とが隣接するとともに、一方の第2結晶部と他方の第2結晶部とが隣接するように並んだ、2枚の該タイルシードが含まれる、GaN基板の製造方法。
[14]更に、前記集合シード上にGaN結晶を成長させるステップと、その成長させたGaN結晶を加工して円盤形GaN基板を得るステップとを含む、[13]に記載の製造方法。
[15]更に、前記集合シード上にGaN結晶を成長させるステップと、その成長させたGaN結晶の少なくとも一部を含むシード上に、更なるGaN結晶を成長させるステップと、その更なるGaN結晶を加工して円盤形GaN基板を得るステップとを含む、[13]に記載の製造方法。
以下において、結晶軸、結晶面、結晶方位等に言及する場合には、特に断らない限り、GaN結晶の結晶軸、結晶面、結晶方位等を意味するものとする。
例えば、おもて面と平行または最も平行に近い低指数面がM面すなわち(10−10)であるGaN基板は、M面基板または(10−10)基板と呼ばれる。通常は、ミラー指数(hkml)における整数h、k、mおよびlの絶対値がいずれも3以下である結晶面が、低指数面とされる。
実施形態に係る方法は、(0001)と平行でないおもて面を有するGaN基板、とりわけ、(0001)から60°以上120°以下、更には70°以上110°以下の範囲内で傾斜した結晶面に平行なおもて面を有するGaN基板の製造に、好適に用いることができる。
(0001)からの傾斜が60°以上120°以下の範囲に含まれる結晶面には、例えば、{10−10}(M面)、{11−20}(A面)、{30−31}、{30−3−1}、{20−21}、{20−2−1}、{30−32}、{30−3−2}、{10−11}、{10−1−1}、{11−21}および{11−2−1}がある。
これらの結晶面のうち、{10−11}および{10−1−1}以外は、(0001)からの傾斜が70°以上110°以下の範囲に含まれる。
1.GaN基板
実施形態に係る製造方法を用いて製造し得るGaN基板を、図1に例示する。図1(a)は平面図、すなわち、基板をそのおもて面の法線方向から見た図であり、図1(b)は図1(a)のX1−X1線の位置における断面図、図1(c)は図1(a)のX2−X2線の位置における断面図である。
図1を参照すると、GaN基板10は、その形状が円盤、すなわち、円形の主表面を有する板であり、おもて面11、裏面12、および、側面13を有している。
おもて面11は、好ましくは、(0001)から60°以上120°以下の範囲内で傾斜した結晶面に平行である。従って、GaN基板10は、(10−10)基板、(11−20)基板、(30−31)基板、(30−3−1)基板、(20−21)基板、(20−2−1)基板、(30−32)基板、(30−3−2)基板、(10−11)基板、(10−1−1)基板、(11−21)基板、(11−2−1)基板等であり得る。
GaN基板10の直径は9.5〜10.5cmであり、典型的には10.2cm(4インチ)である。
境界Babは結晶領域10aおよび10bの間に、境界Bbcは結晶領域10bおよび10cの間に、境界Bcdは結晶領域10cおよび10dの間に、境界Befは結晶領域10eおよび10fの間に、境界Bfgは結晶領域10fおよび10gの間に、境界Bghは結晶領域10gおよび10hの間に、境界Baeは結晶領域10aおよび10eの間に、境界Bbfは結晶領域10bおよび10fの間に、境界Bcgは結晶領域10cおよび10gの間に、境界Bdhは結晶領域10dおよび10hの間に、それぞれ存在している。
欠陥密度が高い領域ではフォトルミネッセンス(PL)強度が相対的に低下することから、おもて面11のPL像においては、隣接する結晶領域間の境界がPL強度低下帯として現れる。
また、隣接する結晶領域間では結晶方位が僅かに異なっており、その境界において結晶方位が不連続的に変化している。結晶方位が不連続に変化する部位は、例えば、おもて面11のX線トポグラフィ分析を行うことにより検知することが可能である。
GaN基板10は、おもて面11が凸面となるように僅かに反っていることが好ましいが、限定されるものではない。GaN基板10のおもて面11のSORIは通常100μm以下、好ましくは50μm以下、より好ましくは30μm以下である。
GaN基板10の裏面13は、鏡面であってもよいし、マット面であってもよい。裏面13がマット面であると、おもて面11との識別を、目視によって容易に行うことができる。
GaN基板10を構成する結晶領域の数は、8に限定されるものではなく、4〜16の範囲内で適宜決定することができる。4〜16個の結晶領域は、おもて面11における[0001]の正射影の方向に2列に配置される。
好ましい実施形態において、GaN基板10を構成する結晶領域の数は4個である。
GaN基板10の直径が4.5〜5.5cm(約2インチ)の場合、当該GaN基板を構成する結晶領域の数は、2〜4個とすることが好ましい。この2〜4個の結晶領域は、好ましくは、おもて面11における[0001]の方向に一列に並ぶ。
GaN基板の直径が14.5〜15.5cm(約6インチ)の場合、当該GaN基板10を構成する結晶領域の数は、9〜18個とすることが好ましい。この9〜18個の結晶領域は、好ましくは、おもて面11における[0001]の正射影の方向に3列に並ぶ。
以下では前記1.1で説明したGaN基板10の製造例に即して、実施形態に係るGaN基板の製造方法を説明する。
以下の説明においては、タイリング法でGaN結晶を成長させるときに用いるシードGaN基板をタイルシードと呼び、タイリング法を用いないでGaN結晶を成長させるときに用いるシードGaN基板を非タイルシードと呼んで区別する。
第1実施形態に係るGaN基板の製造方法を、ステップ順に説明する。
(1)第1タイルシード準備ステップ
このステップでは、おもて面の結晶方位が同じである、n×N枚の第1タイルシードを準備する。ここで、nは2以上の整数であり、Nは1以上の整数である。nとNは独立である。
第1タイルシードは、タイリング法を使用しないで成長されたバルクGaN結晶から切り出された、GaN基板である。
第1タイルシードの外観を図2に示す。図2(a)は斜視図であり、図2(b)は側面図である。
図2(a)および(b)に示す矢印P[0001]は、おもて面101上における[0001]の正射影の方向を表している。
第1タイルシード100の4つの側面のうち、矢印P[0001]に略平行な2つがA側面103−1で、矢印P[0001]が向く側に位置するのが+C側面103−2、その反対側に位置するのが−C側面103−3である。
第1タイルシード100のサイズは、例えば、矢印P[0001]に平行な方向が30mm、矢印P[0001]に直交する方向が55mmである。厚さは、例えば、300〜500μmである。
おもて面101は、例えば、(0001)から60°以上120°以下の範囲内で傾斜した結晶面に平行である。
n×N枚の第1タイルシード全てについて、そのおもて面101上の各点におけるオフ角を調べたとき、その変動幅(最大値と最小値の差)は、c軸周りの成分およびc軸に直交する結晶軸(a軸またはm軸)周りの成分のいずれも、通常は5°以内、好ましくは3°以内、より好ましくは1°以内である。
ここで、オフ角とは、GaN基板のおもて面と最も平行に近い低指数面に対する、該おもて面の傾斜をいうものとし、該おもて面上の任意の位置において定義することができる。
このステップでは、前記(1)で準備したn×N枚の第1タイルシードを用いて、それぞれがn枚の第1タイルシードで構成される、N組の第1集合シードを準備する。
図3に、2枚の第1タイルシードで構成される第1集合シードを例示する、図3(a)は斜視図、図3(b)は側面図である。
図3を参照すると、第1集合シードA100は、2枚の第1タイルシード100aおよび100bから構成されている。第1タイルシード100aおよび100bは、矢印P[0001]の方向に一列に並べられており、一方の+C側面103a−2と他方の−C側面103b−3とが接している。
このステップでは、N組の第1集合シード上に、それぞれ、HVPE法で第1GaN結晶を成長させる。
図4は、前述の第1集合シードA100上に、第1GaN結晶110が成長したところを示す図面であり、図4(a)は平面図、図4(b)は矢印P[0001](第1次タイルシードのおもて面101における[0001]の正射影の方向を表す)に平行な切断面を示す断面図である。
第1集合シードA100を構成する2枚の第1タイルシード100aおよび100bの間に僅かな結晶方位のズレがあることに起因して、第1GaN結晶110中には2つの結晶領域110aおよび110bが形成されている(点線は結晶領域間の境界を表している)。
このステップでは、前記ステップ(3)で成長させた第1GaN結晶を、第1タイルシードのおもて面と平行にスライスして、第2タイルシードを得る。
N組の第1GaN結晶のそれぞれから第2タイルシードをm枚ずつ切り出した場合、N×m枚の第2タイルシードが得られる。ここで、mは1以上の整数である。第1GaN結晶を厚く成長させる程、mを大きくすることができる。
第2タイルシードの外観を図5に示す。図5(a)は斜視図であり、図5(b)は側面図である。
図5(a)および(b)に示す矢印P[0001]は、おもて面201上における[0001]の正射影の方向を表している。
第2タイルシード200の側面のうち、矢印P[0001]に略平行な2つがA側面203−1で、矢印P[0001]が向く側に位置するのが+C側面203−2、その反対側に位置するのが−C側面203−3である。
第2タイルシード200のサイズは、例えば、矢印P[0001]の方向が60mm、矢印P[0001]に直交する方向が55mmである。厚さは、例えば、300〜500μmである。
おもて面201は、好ましくは、(0001)から60°以上120°以下の範囲内で傾斜した結晶面に平行である。
第1GaN結晶110から切り出された基板であるが故に、第2タイルシード200にも、結晶方位が僅かに異なる2つの結晶領域200aおよび200bが存在する(点線は結晶領域間の境界を表している)。
このステップでは、前記ステップ(4)で取得したN×m枚の第2タイルシードから4枚を選び、第2集合シードを構成する。これを可能とするために、Nおよびmは、予め、N×mが4以上となり得るように定めておく必要がある。
好ましくは、N×mを5以上としたうえで、N×m枚の第2タイルシードから、結晶領域200aと200bの間の結晶方位ズレが最も小さい4枚を選択する。この場合、Nを5以上とすると、特に効果的である。
図6を参照すると、第2集合シードA200は、4枚の第2タイルシード200p、200q、200rおよび200sから構成されている。4枚の第2タイルシードは、矢印P[0001]の方向と、矢印P[0001]に直交する方向に、それぞれ2列に並んでいる。矢印P[0001]の方向に並んだ2枚の第2タイルシードの間、すなわち、200pと200qとの間、および、200rと200sとの間では、一方の+C側面と他方の−C側面が接している。矢印P[0001]と直交する方向に並んだ2枚の第2タイルシードの間、すなわち、200pと200rとの間、および、200qと200sとの間では、A側面同士が接している。
このステップでは、前記ステップ(5)で構成した第2集合シード上に、HVPE法で第2GaN結晶を成長させる。
図8は、第2集合シード上に、第2GaN結晶が成長したところを示しており、図8(a)は平面図、図8(b)は図8(a)のX1−X1線の位置における断面図、図8(c)は図8(a)のX2−X2線の位置における断面図である。
図8を参照すると、各第2タイルシード200に、結晶方位の異なる2つの結晶領域200aおよび200bが存在すること、および、第2集合シードA200を構成する4つの第2タイルシード200p、200q、200rおよび200sの間に僅かな結晶方位ズレがあることに起因して、第2GaN結晶210中には8つの結晶領域210a〜210hが形成されている(点線は結晶領域間の境界を表している)。
このステップでは、前記ステップ(6)で成長させた第2GaN結晶を加工して、円盤形のGaN基板を得る。
より詳しくいうと、まず、スライシングによって、第2GaN結晶を第2集合シードから切り離す。次いで、第2集合シードから分離した第2GaN結晶を、外形が円筒状となるよう加工する。好ましい加工方法は、円筒研削またはコアドリリングである。
次いで、円筒状に加工された第2GaN結晶をスライスして円盤形の基板を得る。
最後に、その円盤形の基板に必要な表面加工を施す。例えば、おもて面を平坦化するための研削および/またはラッピング、おもて面を平滑化するためのCMP、側面のベベリング等である。
前者のステップでは、第1集合シードA100を構成する第1タイルシード100は2枚であり、後者のステップにおいて、第2集合シードA200を構成する第2タイルシード200は4枚である。
第1タイルシードを一度に8枚並べて集合シードを形成する場合に比べて、第1実施形態の製造方法において、集合シードを構成するタイルシード間の結晶方位ズレを小さくすることが容易なことは、当業者にとっては自明であろう。
第2実施形態に係るGaN基板の製造方法では、前記第1実施形態と同様にして、第1タイルシード準備ステップ[2.1.(1)]を行う。
その後、第2実施形態では、図9に平面図を示すように、4枚の第1タイルシード100a、100b、100cおよび100dを矢印P[0001](第1タイルシードのおもて面における[0001]の正射影の方向を表す)の方向に一列に並べて第1集合シードA100を構成する。そして、その上に第1GaN結晶を成長させる。
次いで、その第1集合シードA100上に成長した第1GaN結晶を、第1タイルシードのおもて面に平行にスライスして、図10に平面図を示す第2タイルシード200を得る。
次に、図11に平面図を示すように、2枚の第2タイルシード200pおよび200qを、矢印P[0001]と直交する方向に並べて第2集合シードA200を構成する。
好ましくは、2枚の第2タイルシード200pおよび200qは、同一の第1集合シード上に成長した第1GaN結晶から切り出された基板である。そのようにすると、図12(a)に示すように、第2タイルシード200の結晶領域200a〜200dの間で結晶方位が僅かに異なっていても、図12(b)に示すように、第2集合シードA200を構成したときに、第2タイルシード200pおよび200qの間の結晶方位ズレを小さくすることができる。なぜなら、同じ第1GaN結晶から切り出された第2タイルシード200pと200qでは、結晶領域200a〜200dの間の結晶方位の関係が同じなので、この2枚の第2タイルシードを、いずれかひとつの対応する結晶領域同士の方位が一致するように並べたとき、他の対応する結晶領域同士の間でも方位が一致するからである。
第2集合シードを構成した後、その上に第2GaN結晶を成長させる。
その後は、第1実施形態と同様にして第2GaN結晶を加工し、円盤形のGaN基板を得る。
第3実施形態に係るGaN基板の製造方法では、前記第1実施形態と同様にして、第1タイルシード準備ステップ[2.1.(1)]を行う。
その後、第3実施形態では、図13に平面図を示すように、2枚の第1タイルシード100aおよび100bを矢印P[0001]と直交する方向に並べて第1集合シードA100を構成する。そして、その上に第1GaN結晶を成長させる。
次いで、その第1集合シードA100上に成長した第1GaN結晶を、第1タイルシードのおもて面に平行にスライスして、図14に平面図を示す第2タイルシード200を得る。
次に、図15に平面図を示すように、4枚の第2タイルシード200p、200q、200rおよび200sを、矢印P[0001]の方向に一列に並べて第2集合シードA140を構成する。
好ましくは、4枚の第2タイルシード200p、200q、200rおよび200sは、同一の第1集合シード上に成長した第1GaN結晶から切り出された基板である。そのようにすると、図16(a)に示すように、第2タイルシード200の結晶領域200aと200bの間で結晶方位が僅かに異なっていても、図16(b)に示すように、第2集合シードA200を構成したときに、隣接する第2タイルシード間の結晶方位ズレを小さくすることができる。なぜなら、同じ第1GaN結晶から切り出された第2タイルシード200p〜200sでは、結晶領域200aと結晶領域200bの間の結晶方位との関係が同じなので、この4枚の第2タイルシードを結晶領域200a同士の方位が一致するように並べたとき、結晶領域200b同士の間でも方位が一致するからである。
第2集合シードを構成した後、その上に第2GaN結晶を成長させる。
その後は、第1実施形態と同様にして第2GaN結晶を加工し、円盤形のGaN基板を得る。
第4実施形態に係るGaN基板の製造方法では、前記第1実施形態と同様にして、第1タイルシード準備ステップ[2.1.(1)]から第2タイルシード取得ステップ[2.1.(4)]までを行う。
その後、第4実施形態では、2枚の第2タイルシード200pおよび200qを図17(a)または(b)に示すように並べて、第2集合シードA200を構成する。そして、その上に第2GaN結晶を成長させる。
第3タイルシード300は、このような作製プロセスに由来して、4個の結晶領域300a、300b、300c、300dを有している(点線は結晶領域間の境界を表している)。
図19(a)に示す態様において、2枚の第3タイルシード300vおよび300wは、同一の第2集合シード上に成長した第2GaN結晶から切り出された基板である。そのようにすると、図20(a)に示すように、第3タイルシード300の結晶領域300a〜300dの間で結晶方位が僅かに異なっていても、図20(b)に示すように、第3集合シードA300を構成したときに、第3タイルシード300vおよび300wの間の結晶方位ズレを小さくすることができる。なぜなら、同じ第2GaN結晶から切り出された第3タイルシード300vと300wでは、結晶領域300a〜300dの間の結晶方位の関係が同じなので、この2枚の第3タイルシードを、いずれかひとつの対応する結晶領域同士の方位が一致するように並べたとき、他の対応する結晶領域同士の間でも方位が一致するからである。
第3集合シードを構成した後、その上に、第3GaN結晶を成長させる。
その後は、第1実施形態におけるGaN基板取得ステップ[2.1.(7)]と同様にして第3GaN結晶を加工し、円盤形のGaN基板を得る。
(1)第1変形実施形態
前述の第1実施形態においては、タイリング法を用いて成長させた第1GaN結晶110を加工して、第2タイルシード200を得ている。
それに対し、第1変形実施形態では、第1GaN結晶から非タイルシードを作製する。そして、その非タイルシード上にGaN結晶を成長させ、そのGaN結晶を加工して第2タイルシードを得る。
図21は、かかる変形実施形態を説明する工程断面図である。
図21(b)は、第1集合シードA100上に第1GaN結晶110を成長させるステップを表している。
図21(c)は、第1GaN結晶110をスライスして、非タイルシード120を得るステップを表している。
図21(d)は、非タイルシード120上にGaN結晶130を成長させるステップを表している。
図21(e)は、非タイルシード120上に成長したGaN結晶130をスライスして、第2タイルシード200を得るステップを表している。
同様の変形(第2タイルシードの作製プロセスに関する変形)は、第1実施形態のみならず、第2〜4実施形態に対しても加えることができる。
前述の第1実施形態では、タイリング法を用いて成長させた第2GaN結晶を加工して、円盤形のGaN基板を得ている。
それに対し、第2変形実施形態では、第2GaN結晶から非タイルシードを作製する。そして、その非タイルシード上にGaN結晶を成長させ、そのGaN結晶を加工して円盤形のGaN基板を得る。
同様の変形(最後に成長させるGaN結晶の作製プロセスに係る変形)は、第1実施形態のみならず、第2〜第4実施形態に対しても加えることができる。
更に、前述の第1変形実施形態に係る変形と、この第2変形実施形態に係る変形は、前述の第1〜第4実施形態のいずれに対しても同時に加えることができる。
前述の各実施形態において、集合シードを構成する際に、タイルシード同士を接合させてもよい。例えば、タイルシードの側面を精密研磨により平坦化した後、真空中で該側面に、イオンビームや原子ビームに代表される不活性元素の高速粒子ビームを照射して活性化させる。かかる活性化によって、ダングリングボンドと呼ばれる表面原子の結合手がタイルシードの側面に現われる。ダングリングボンドが現われた側面同士を接触させると、化学結合が形成されて、タイルシード間が接合される。
実施形態に係る製造方法を用いて製造されるGaN基板は、各種の半導体デバイスの製造に使用することができる。すなわち、該GaN基板のおもて面上に一種以上の窒化物半導体を気相エピタキシャル成長させて、デバイス構造を形成することができる。エピタキシャル成長法として、薄膜の形成に適したMOCVD法、MBE法、パルス蒸着法などを好ましく用いることができる。
半導体デバイスの具体例としては、発光ダイオード、レーザダイオードなどの発光デバイス、整流器、バイポーラトランジスタ、電界効果トランジスタ、HEMT(High Electron Mobility Transistor)などの電子デバイス、温度センサ、圧力センサ、放射線センサ、可視−紫外光検出器などの半導体センサ、SAW(Surface Acoustic Wave)デバイス、振動子、共振子、発振器、MEMS(Micro Electro Mechanical System)部品、電圧アクチュエータ、太陽電池などがある。
本発明のGaN基板は、人工光合成セル用の電極にも使用し得ると考えられる。
100 第1タイルシード
200 第2タイルシード
300 第3タイルシード
A100 第1集合シード
A200 第2集合シード
A300 第3集合シード
Claims (9)
- (A)(ア)各々がGaN基板である複数の第1タイルシードを、それらのおもて面に平行な方向に並べて、第1集合シードを構成するステップと、(イ)該第1集合シード上に第1GaN結晶を成長させるステップと、(ウ)該第1GaN結晶をスライスして得られる非タイルシード上にGaN結晶を成長させるステップと、(エ)該(ウ)で成長させたGaN結晶をスライスするステップと、を含む方法によって、おもて面に平行な方向に配置された複数の結晶領域を含むGaN基板である第2タイルシードを作製する、第2タイルシード準備ステップと、
(B)各々がGaN基板であって前記第2タイルシードを含む複数のタイルシードを、それらのおもて面に平行な方向に並べて第2集合シードを構成する、第2集合シード構成ステップと、
(C)前記第2集合シード上に第2GaN結晶を成長させる、第2GaN結晶成長ステップと、
を含むGaN基板の製造方法。 - 前記(C)第2GaN結晶成長ステップの後に、更に、(D)前記第2GaN結晶を加工して円盤形GaN基板を得る、GaN基板取得ステップを含む、請求項1に記載の製造方法。
- 前記(C)第2GaN結晶成長ステップの後に、更に、(E)前記第2GaN結晶の少なくとも一部を含むシード上にGaN結晶を成長させるGaN結晶成長ステップを含む、請求項1に記載の製造方法。
- 前記(E)GaN結晶成長ステップの後に、更に、該(E)GaN結晶成長ステップで成長させたGaN結晶を加工して円盤形GaN基板を得る、GaN基板取得ステップを含む、請求項3に記載の製造方法。
- 前記(B)第2集合シード構成ステップでは、複数のタイルシードを、それらのおもて面に平行な2つの方向に並べて前記第2集合シードを構成する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の製造方法。
- (0001)と平行でないおもて面を有するGaN基板の製造方法であって、前記2つの方向の一方が、前記第2集合シードを構成するタイルシードのおもて面における[0001]の正射影の方向である、請求項5に記載の製造方法。
- (0001)と平行でないおもて面を有するGaN基板の製造方法であって、前記(B)第2集合シード構成ステップでは、複数のタイルシードを、それらのおもて面における[0001]の正射影とは異なる方向に一列に並べて前記第2集合シードを構成する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の製造方法。
- (0001)と平行でないおもて面を有するGaN基板の製造方法であって、前記(B)第2集合シード構成ステップでは、複数のタイルシードを、それらのおもて面における[0001]の正射影の方向に一列に並べて前記第2集合シードを構成する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の製造方法。
- (0001)からの傾斜が60°以上120°以下である結晶面に平行なおもて面を有するGaN基板を製造する方法である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の製造方法。
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