JP6510429B2 - スライド摩擦式ナノ発電機および発電方法 - Google Patents
スライド摩擦式ナノ発電機および発電方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6510429B2 JP6510429B2 JP2015561918A JP2015561918A JP6510429B2 JP 6510429 B2 JP6510429 B2 JP 6510429B2 JP 2015561918 A JP2015561918 A JP 2015561918A JP 2015561918 A JP2015561918 A JP 2015561918A JP 6510429 B2 JP6510429 B2 JP 6510429B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- friction
- layer
- conductive layer
- slide
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 38
- 238000010248 power generation Methods 0.000 title claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 65
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims description 45
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 17
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 claims description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 14
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 12
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 12
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 9
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 9
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 7
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 7
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 238000007385 chemical modification Methods 0.000 claims description 6
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims description 6
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 5
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 5
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 5
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 claims description 5
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 claims description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 5
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 5
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 claims description 5
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 claims description 5
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical group [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 claims description 3
- DBULDCSVZCUQIR-UHFFFAOYSA-N chromium(3+);trisulfide Chemical compound [S-2].[S-2].[S-2].[Cr+3].[Cr+3] DBULDCSVZCUQIR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HZXMRANICFIONG-UHFFFAOYSA-N gallium phosphide Chemical compound [Ga]#P HZXMRANICFIONG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 3
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 12
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 4
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 4
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 4
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 4
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- LZZYPRNAOMGNLH-UHFFFAOYSA-M Cetrimonium bromide Chemical compound [Br-].CCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C LZZYPRNAOMGNLH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 2
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L adipate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCC([O-])=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 2
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 125000006575 electron-withdrawing group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- IVJISJACKSSFGE-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;1,3,5-triazine-2,4,6-triamine Chemical compound O=C.NC1=NC(N)=NC(N)=N1 IVJISJACKSSFGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DYDNPESBYVVLBO-UHFFFAOYSA-N formanilide Chemical compound O=CNC1=CC=CC=C1 DYDNPESBYVVLBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- PYGSKMBEVAICCR-UHFFFAOYSA-N hexa-1,5-diene Chemical group C=CCCC=C PYGSKMBEVAICCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004356 hydroxy functional group Chemical group O* 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 235000013980 iron oxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 2
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 2
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 229920003225 polyurethane elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229920000131 polyvinylidene Polymers 0.000 description 2
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 2
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L succinate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCC([O-])=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 2
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N vinyl-ethylene Natural products C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000014692 zinc oxide Nutrition 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VRBFTYUMFJWSJY-UHFFFAOYSA-N 28804-46-8 Chemical compound ClC1CC(C=C2)=CC=C2C(Cl)CC2=CC=C1C=C2 VRBFTYUMFJWSJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000282412 Homo Species 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- MDPILPRLPQYEEN-UHFFFAOYSA-N aluminium arsenide Chemical compound [As]#[Al] MDPILPRLPQYEEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011805 ball Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 231100000481 chemical toxicant Toxicity 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- UOUJSJZBMCDAEU-UHFFFAOYSA-N chromium(3+);oxygen(2-) Chemical class [O-2].[O-2].[O-2].[Cr+3].[Cr+3] UOUJSJZBMCDAEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000004992 fission Effects 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- VBMVTYDPPZVILR-UHFFFAOYSA-N iron(2+);oxygen(2-) Chemical class [O-2].[Fe+2] VBMVTYDPPZVILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- PPNAOCWZXJOHFK-UHFFFAOYSA-N manganese(2+);oxygen(2-) Chemical class [O-2].[Mn+2] PPNAOCWZXJOHFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000011807 nanoball Substances 0.000 description 1
- 239000002110 nanocone Substances 0.000 description 1
- 239000002073 nanorod Substances 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000012536 packaging technology Methods 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical class [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N zinc;oxygen(2-) Chemical class [O-2].[Zn+2] RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/04—Friction generators
Landscapes
- Lubricants (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
摩擦層と、
前記摩擦層の下方に接触するように配置される導電素子と、
導電層と、を備え、
前記摩擦層の上面は、前記導電層の下面に対向するように配置され、
前記摩擦層の上面と前記導電層の下面は、外力が作用するとき、相対的なスライドを発生し、接触面に接するスライド摩擦を発生するとともに、摩擦する面積がスライド過程で変化し、前記導電素子及び導電層によって電気信号を外部回路に出力する。
(1)前記摩擦層を準備するステップと、
(2)前記摩擦層の下方に接触するように配置される前記導電素子を形成するステップと、
(3)前記導電層を準備するステップと、
(4)前記摩擦層の上面と前記導電層の下面とを接触させるステップと、
(5)前記導電素子及び前記導電層と外部回路を電気的に接続するステップと、
(6)外力を加えることで、前記摩擦層と前記導電層との間に相対的なスライドを発生させて、接触面に接する相対的なスライド摩擦を発生させ、スライド過程において、相対的なスライドの距離を制御することで、前記摩擦層と前記導電層とを接触面の方向に沿って位置ずれさせて、スライド摩擦する面積を変化させるステップと、
(7)前記導電素子及び前記導電層によって、電気信号を外部回路に出力するステップと、を含む。
1、原理及び適用で、新たな突破である。本発明の発電機は、動作過程で、2つの摩擦層間にある隙間を必要せず、2つの摩擦層を完全に接触させたり離間させたりする装置に比べて、その発電原理が異なるため、新しい設計構想を提供することができる。そして、隙間なしの設計は、弾性距離を保持するための部品の実装を省略することができるため、パッケージ技術にも便利を持たせ、より広い分野に適用することができる。
2、エネルギーを効率的に利用する。本発明の発電機は、大規模で高強度のエネルギーを入力する必要がなく、摩擦層と導電層間の相対的なスライドを駆動可能な力学的エネルギーを入力すればよい。そのため、自然や人間の日常生活によって発生された多様な強度を有する力学的エネルギーを収集して電気的エネルギーに変換することで、エネルギーの効率的な利用を実現することができる。
3、構造が簡単で、携帯が便利になり、互換性が高い。本発明の発電機は、磁石やコイル、回転子などの部品を必要しないため、構造が簡単で、体積が小さくて、製作が便利で、コストも低い。そのため、摩擦層と導電層とを相対的にスライドさせる各種の機器に実装することができる。そして、特定の動作環境を必要しないため、互換性が高い。なお、本発明の発電機は、電子が奪われやすい摩擦層と導電層の協同で、発電機の動作要求を満たすと共に、構造を簡単化し、コストを低減することができるため、実際の生産での普及および適応に非常に有利である。
4、用途が広い。発電機における摩擦層の上面と導電層の下面に対して物理的変化又は化学的変性を行うことで、ナノ構造のパターンの導入又はナノ材料の塗布などを実現している。そのため、摩擦式ナノ発電機が接線方向の外力の作用で2つの摩擦層を接触させて相対的にスライドさせる時に発生する接触電荷密度を更に向上させ、発電機の出力能力を向上させることができる。このため、本発明の発電機は、小型の電力源になるとともに、高出力の発電に適用されることができる。
(1)まず、上記したルールに基づいて材料を選択して、サイズ及び形状の適宜な摩擦層を形成する。
(2)摩擦層10の下面に、それと接触するように配置される導電素子11を形成し、固定配置することが好ましい。例えば、堆積の方法によって、導電素子11を摩擦層10の下面に直接に固定する。
(3)上記したルールに基づいて適宜な材料を選択して、サイズ及び形状の適宜な導電層を形成する。
(4)導電層20の下面と摩擦層10の上面を接触するように配置して、両者間でスライド摩擦を形成するようにする。このステップは、本発明の発電方法が実現する前提であり、接触/離間式のナノ発電機の発電方式と区別されるポイントである。接触/離間式の発電機は、動作過程において、2つのフィルム層間に距離の変化可能な隙間が存在しなければならず、両者は接触−離間という動作を繰り返せばこそ電気信号を発生することができる。これに対し、本発明の発電方法は、導電層20と摩擦層10の間に隙間を形成する必要がなく、電気信号の発生中に、導電層20と摩擦層10は常に接触されている。初期状態で、摩擦層10の上面と導電層20の下面を、形状及びサイズが同じようにして完全に接触させることで、摩擦する面積を最大にすることが好ましい。そして、後段の発電過程において、外力を作用するだけで、摩擦する面積を変化させ、電気信号を発生して外部に出力することができる。
(5)導電素子11及び導電層20を外部回路に電気的に接続する。このステップは、発電機から発生された電気的エネルギーを外部に出力する必要な条件である。電気的な接続を実現する方法は、いろいろあるが、例えば、普通の導線による接続でもよいし、薄層による接続でもよい。具体的には、必要に応じて選択すればよい。
(6)発電機に外力を加え、摩擦層10と導電層20の間に相対的なスライドを形成させ、接触面に接する相対的なスライド摩擦を発生すると共に、スライドしている途中に、摩擦層10及び導電層20を接触面の方向に沿って位置ずれさせてスライド摩擦する面積が変化するように、相対的なスライドの距離を制御する。このステップは、本発明の発電方法で最も重要なステップである。摩擦層10と導電層20の間に、相対的なスライド摩擦があるとともに、摩擦する面積が変化するように確保しなければならない。これにより、電気信号を外部回路へ出力することができる。好ましくは、導電層20の下面及び摩擦層10の上面が接触面の方向に沿って制限なしに自由にスライドするようにする。これにより、外力に対する応答感度を向上する。本発明の発電方法は、方向が周期的に反転又は大きさが周期的に変化する持続的外力を採用することが好ましい。これにより、持続に、交流パルス電気信号を外部回路に出力することができる。
導電素子は、厚さ100nmである銅フィルム層を使用し、摩擦層は、厚さ25μmであるテフロン(登録商標)(ポリテトラフルオロエチレン)フィルムを使用し、導電層は、厚さ100nmであるアルミニウムフィルム層を使用するが、これらのフィルム層のマクロサイズは5cm×7cmである。テフロンフィルムとアルミニウムフィルムは、完全に重なって接触するように配置され、上記の摩擦式ナノ発電機のアルミニウムフィルム層及び銅フィルム層によって銅線を引き出した後、平均速度が0.6m/秒である相対的なスライドの下で、摩擦式ナノ発電機から発生される短絡電流の出力は、図5に示されている。摩擦式ナノ発電機の出力端とフルブリッジ整流器を接続し、摩擦式ナノ発電機から発生する交流電流の出力を直流電流の出力に変化して得た電流出力は、図6に示されている。これによれば、本発明の発電機は、周期的な力学的エネルギーの入力を電気信号の出力に変換することができる。
本実施例は、実施例1を元に、ポリテトラフルオロエチレンフィルムを変化しただけで、他の構成は実施例1と同様であるため、詳細な説明を省略する。ポリテトラフルオロエチレンフィルムの表面に、インダクタンス結合プラズマエッチング方法によって、ナノワイヤのアレイを形成する。まず、ポリテトラフルオロエチレンの表面に、スパッタリング装置によって約10nm厚さの金を堆積した後、ポリテトラフルオロエチレンフィルムをインダクタンス結合プラズマエッチング装置に入れて、金が堆積された面をエッチングし、流量をそれぞれ10sccm、15sccm及び30sccmに、単位の圧力強さを15mTorrに、動作温度を55°Cに制御したO2、Ar及びCF4のガスを導入して、400Wのパワーでプラズマを発生し、100Wのパワーでプラズマを加速する。このように、約5分間のエッチングを行った結果、絶縁フィルム層にほぼ垂直し長さが約1.5μmである高分子ポリテトラフルオロエチレンのナノ棒のアレイを取得する。
Claims (10)
- 摩擦層と、
前記摩擦層の下方に接触するように配置される導電素子と、
導電層と、を備え、
前記導電素子は前記摩擦層と共に前記導電層に対して移動し、
前記摩擦層の上面は、前記導電層の下面に対向するように配置され、
前記摩擦層の上面と前記導電層の下面は、外力が作用するとき、相対的なスライドを発生し、接触面に接するスライド摩擦を発生するとともに、摩擦する面積がスライド過程で変化し、前記導電素子及び導電層によって電気信号を外部回路に出力するように構成され、
前記摩擦層及び/又は前記導電層は、方向が周期的に反転又は大きさが周期的に変化する持続的外力を受け得るように配置され、
該外力により前記電気信号としてのパルス電気信号が持続的に外部回路に伝送されることを特徴とするスライド摩擦式ナノ発電機。 - 前記摩擦層の上面の材料と前記導電層の下面の材料は、帯電列において差異があることを特徴とする請求項1に記載のスライド摩擦式ナノ発電機。
- 前記摩擦層の上面と前記導電層の下面は、接触するように配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のスライド摩擦式ナノ発電機。
- 外力が作用しない場合、前記摩擦層の上面と前記導電層の下面は離間されており、外力が作用する場合、前記摩擦層の上面と前記導電層の下面は接触して、接触面に接する相対的なスライド摩擦を発生することを特徴とする請求項1又は2に記載のスライド摩擦式ナノ発電機。
- 前記摩擦層は、絶縁材料又は半導体材料からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のスライド摩擦式ナノ発電機。
- 前記絶縁材料は、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリジフェニルプロパンカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリ塩化ビニル、ポリジメチルシロキサン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリテトラフルオロエチレン及びパリレンから選択され、前記半導体材料は、ヒ化ガリウム、リン化ガリウム、硫化クロム、硫化亜鉛、ガリウム−アルミニウム−ヒ素及びガリウム−ヒ素−リンから選択されることを特徴とする請求項5に記載のスライド摩擦式ナノ発電機。
- 前記摩擦層の上面及び/又は前記導電層の下面は、化学的変性によって、前記摩擦層の上面の材料に、電子を取り込みやすい官能基又は負の電荷を導入し、及び/又は、前記導電層の下面の材料に、電子が奪われやすい官能基又は正の電荷を導入することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のスライド摩擦式ナノ発電機。
- 前記導電素子、摩擦層及び/又は導電層は、薄膜であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のスライド摩擦式ナノ発電機。
- 前記摩擦層、導電層及び/又は導電素子は、軟質のものであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のスライド摩擦式ナノ発電機。
- 請求項1乃至9のいずれか1項のスライド摩擦式ナノ発電機の発電方法であって、
(1)前記摩擦層を準備するステップと、
(2)前記摩擦層の下方に接触するように配置される前記導電素子を形成するステップと、
(3)前記導電層を準備するステップと、
(4)前記導電素子を前記摩擦層と共に前記導電層に対して移動させるステップと、
(5)前記摩擦層の上面と前記導電層の下面とを接触させるステップと、
(6)前記導電素子及び前記導電層と外部回路を電気的に接続するステップと、
(7)外力を加えることで、前記摩擦層と前記導電層との間に相対的なスライドを方向が周期的に反転又は大きさが周期的に変化するように持続的に発生させて、接触面に接する相対的なスライド摩擦を発生させ、スライド過程において、相対的なスライドの距離を制御することで、前記摩擦層と前記導電層とを接触面の方向に沿って位置ずれさせて、スライド摩擦する面積を変化させるステップと、
(8)前記導電素子及び前記導電層によって、電気信号としてのパルス電気信号を持続的に外部回路に出力するステップと、を含むことを特徴とする発電方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310077885.0A CN103368453B (zh) | 2013-03-12 | 2013-03-12 | 一种滑动摩擦纳米发电机及发电方法 |
CN201310077885.0 | 2013-03-12 | ||
PCT/CN2014/071474 WO2014139347A1 (zh) | 2013-03-12 | 2014-01-26 | 一种滑动摩擦纳米发电机及发电方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016510206A JP2016510206A (ja) | 2016-04-04 |
JP6510429B2 true JP6510429B2 (ja) | 2019-05-08 |
Family
ID=49369150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015561918A Active JP6510429B2 (ja) | 2013-03-12 | 2014-01-26 | スライド摩擦式ナノ発電機および発電方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2975758B1 (ja) |
JP (1) | JP6510429B2 (ja) |
KR (1) | KR20150134362A (ja) |
CN (1) | CN103368453B (ja) |
WO (1) | WO2014139347A1 (ja) |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103795288B (zh) * | 2013-04-19 | 2016-03-16 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种转动式静电发电装置 |
CN103780136B (zh) * | 2013-10-24 | 2016-08-17 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种输出恒定电流的旋转摩擦发电机 |
CN103550864B (zh) * | 2013-10-29 | 2015-07-08 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种混合驱动的起搏器和混合驱动起搏器电极的方法 |
CN104713570B (zh) * | 2013-12-16 | 2017-11-17 | 北京纳米能源与系统研究所 | 利用摩擦发电测量物体运动参数的方法和装置 |
CN104779835B (zh) * | 2014-01-14 | 2017-06-23 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种混合式发电机和发电方法 |
CN104236591B (zh) * | 2014-05-20 | 2016-11-16 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种基于摩擦发电技术的传感装置及其制备和使用方法 |
CN106208800A (zh) * | 2015-04-30 | 2016-12-07 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种滑动式复合纳米发电机 |
CN114574859A (zh) * | 2016-01-20 | 2022-06-03 | 梧州三和新材料科技有限公司 | 一种对连续非金属带材导电化和黑化处理的方法 |
US11189778B2 (en) | 2016-03-07 | 2021-11-30 | Ricoh Company, Ltd. | Element, cell, and power generation device |
CN105811800A (zh) * | 2016-05-19 | 2016-07-27 | 北京科技大学 | 一种单电极一体式摩擦发电机 |
CN106253737A (zh) * | 2016-08-29 | 2016-12-21 | 孟玲 | 一种滑动摩擦纳米发电机维修系统 |
CN106760379A (zh) * | 2016-12-06 | 2017-05-31 | 北京科技大学 | 一种多功能摩擦发电地板革及传感器 |
JP6831106B2 (ja) * | 2017-05-09 | 2021-02-17 | 学校法人 関西大学 | 発電体、発電装置及び圧力センサ |
CN106990140A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-07-28 | 大连理工大学 | 一种自驱动光激发的气体传感器 |
KR101971933B1 (ko) * | 2017-10-26 | 2019-08-16 | 제주대학교 산학협력단 | 자가전력 스마트 퍼즐과 이의 제조방법 |
CN108233761A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-06-29 | 华南理工大学 | 含有电子接收层的摩擦纳米发电机及其制备方法 |
JP7086414B2 (ja) * | 2018-07-25 | 2022-06-20 | 国立大学法人 東京大学 | 摩擦発電装置 |
CN110432583A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-12 | 大连民族大学 | 一种基于摩擦纳米发电的计步鞋垫 |
CN110681259B (zh) * | 2019-09-06 | 2024-04-19 | 北京工业大学 | 纳米摩擦增强锰氧化物去除甲醛效率和寿命的方法和结构装置 |
WO2021106842A1 (ja) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | 株式会社村田製作所 | 糸 |
CN111664875B (zh) * | 2020-05-27 | 2022-05-20 | 江苏大学 | 一种带表面微织构的变接触面积结构自供能滑觉传感器 |
CN111564986A (zh) * | 2020-06-05 | 2020-08-21 | 西南大学 | 基于青霉素药片的摩擦纳米发电机及其制作方法和应用 |
CN111884537B (zh) * | 2020-07-20 | 2022-07-29 | 北京理工大学 | 一种用于内燃机连杆活塞遥测装置的摩擦纳米发电机 |
CN112152503A (zh) * | 2020-09-10 | 2020-12-29 | 西南大学 | 一种基于香蕉粉末的摩擦纳米发电机及发电方法和应用 |
CN112187092B (zh) * | 2020-09-24 | 2021-08-17 | 东南大学 | 一种自动扶梯能量收集装置 |
CN112636629A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-09 | 深圳清华大学研究院 | 基于结构超滑的肖特基微发电机及其制备方法 |
CN113206610B (zh) * | 2021-05-10 | 2022-05-03 | 北华航天工业学院 | 一种可拉伸的拱形阵列摩擦纳米发电织物及其制备方法 |
CN113281380B (zh) * | 2021-05-20 | 2024-06-11 | 重庆大学 | 一种摩擦纳米发电机驱动的电介质陷阱态测量和成像系统及方法 |
CN113433343A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-24 | 上海大学 | 一种面向环境感知的摩擦电-电磁复合流速检测装置 |
CN113697101A (zh) * | 2021-09-03 | 2021-11-26 | 电子科技大学 | 摩擦纳米发电集成的微型扑翼飞行器能量自回收柔性翅翼 |
CN113922696B (zh) * | 2021-10-06 | 2024-05-07 | 西北工业大学 | 一种荷叶仿生结构的鱼明胶摩擦纳米发电机及其制备方法 |
CN114131825B (zh) * | 2021-11-12 | 2024-02-02 | 郑州大学 | 一种双面有序阵列发泡材料及其制备方法和应用 |
CN114142763B (zh) * | 2021-12-03 | 2024-03-19 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 一种纳米摩擦发电机 |
CN114485999B (zh) * | 2021-12-29 | 2024-01-19 | 重庆大学 | 一种柔性可穿戴的颈部运动自驱动传感装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4429029A1 (de) * | 1994-08-16 | 1996-02-29 | Gore & Ass | Generator für die Erzeugung elektrischer Energie |
JPH1198868A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-04-09 | Terumo Corp | 静電型発電装置 |
CN101604930B (zh) * | 2008-06-13 | 2012-05-23 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 发电机 |
JP5126038B2 (ja) * | 2008-12-08 | 2013-01-23 | オムロン株式会社 | 静電誘導型のエネルギー変換素子 |
JP5402395B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2014-01-29 | オムロン株式会社 | 静電誘導型発電装置 |
US8519677B2 (en) * | 2009-08-27 | 2013-08-27 | Asteism, Inc. | Electrostatic power harvesting |
WO2011067936A1 (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-09 | パナソニック株式会社 | 振動発電器、振動発電装置、及び振動発電装置を搭載した電子機器と通信装置 |
US9178446B2 (en) * | 2011-08-30 | 2015-11-03 | Georgia Tech Research Corporation | Triboelectric generator |
CN102684546B (zh) * | 2012-05-15 | 2015-03-18 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 一种摩擦发电机 |
CN103368447B (zh) * | 2012-08-13 | 2016-02-03 | 北京纳米能源与系统研究所 | 静电脉冲发电机和直流脉冲发电机 |
-
2013
- 2013-03-12 CN CN201310077885.0A patent/CN103368453B/zh active Active
-
2014
- 2014-01-26 WO PCT/CN2014/071474 patent/WO2014139347A1/zh active Application Filing
- 2014-01-26 EP EP14765009.7A patent/EP2975758B1/en active Active
- 2014-01-26 JP JP2015561918A patent/JP6510429B2/ja active Active
- 2014-01-26 KR KR1020157028494A patent/KR20150134362A/ko active Search and Examination
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014139347A1 (zh) | 2014-09-18 |
CN103368453B (zh) | 2016-04-13 |
KR20150134362A (ko) | 2015-12-01 |
JP2016510206A (ja) | 2016-04-04 |
EP2975758A4 (en) | 2016-12-21 |
EP2975758A1 (en) | 2016-01-20 |
CN103368453A (zh) | 2013-10-23 |
EP2975758B1 (en) | 2019-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6510429B2 (ja) | スライド摩擦式ナノ発電機および発電方法 | |
JP6059370B2 (ja) | スライド摩擦式ナノ発電機および発電方法 | |
KR101797197B1 (ko) | 임펄스 발생기 및 발생기 세트 | |
JP6356791B2 (ja) | スライド摩擦式発電機、発電方法及びベクトル変位センサ | |
CN103780125B (zh) | 一种套层滑动式摩擦纳米发电机 | |
CN103368451B (zh) | 一种滑动摩擦纳米发电机 | |
WO2014169673A1 (zh) | 一种转动式静电发电装置 | |
CN103368449A (zh) | 一种滑动摩擦纳米发电机 | |
CN103780122A (zh) | 一种滑动式摩擦纳米发电机组 | |
WO2014206077A1 (zh) | 一种滑动摩擦发电机、发电方法以及矢量位移传感器 | |
EP3133375B1 (en) | Sensor and power generator based on electrostatic induction, and sensing method and power generation method | |
WO2015010419A1 (zh) | 一种基于滑动摩擦的脉冲发电机和发电方法 | |
WO2014117683A1 (zh) | 一种滑动摩擦纳米发电机组和发电装置 | |
CN105827138B (zh) | 一种基于氧化锌微球阵列修饰的摩擦发电机 | |
WO2014139348A1 (zh) | 一种滑动式摩擦纳米发电机组 | |
CN203573428U (zh) | 一种自动驱动的门铃装置 | |
CN110190772B (zh) | 基于液体中双电荷层的独立感应式发电机及其发电方法 | |
KR102206021B1 (ko) | 마찰 전계 효과를 이용한 열전발전소자 | |
KR102199791B1 (ko) | 마찰 전계 효과를 이용한 열전발전소자 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160628 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160928 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170804 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20170822 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20170915 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6510429 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |