JP6507376B2 - 被覆工具 - Google Patents

被覆工具 Download PDF

Info

Publication number
JP6507376B2
JP6507376B2 JP2016510518A JP2016510518A JP6507376B2 JP 6507376 B2 JP6507376 B2 JP 6507376B2 JP 2016510518 A JP2016510518 A JP 2016510518A JP 2016510518 A JP2016510518 A JP 2016510518A JP 6507376 B2 JP6507376 B2 JP 6507376B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
laminated structure
average thickness
layers
less
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016510518A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2015147241A1 (ja
Inventor
雄亮 平野
雄亮 平野
賢二 目時
賢二 目時
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tungaloy Corp
Original Assignee
Tungaloy Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tungaloy Corp filed Critical Tungaloy Corp
Publication of JPWO2015147241A1 publication Critical patent/JPWO2015147241A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6507376B2 publication Critical patent/JP6507376B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/44Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by a measurable physical property of the alternating layer or system, e.g. thickness, density, hardness
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B2228/00Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10Coatings
    • B23B2228/105Coatings with specified thickness
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/32Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325Electric arc evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)

Description

本発明は、被覆工具に関するものである。
近年、切削加工の高能率化の要求が高まっている。この要求の高まりに伴い、従来よりも工具寿命の長い切削工具が求められている。このため、工具材料に要求される特性として、切削工具の寿命に関係する特性を向上させることが重要となっている。例えば、切削工具の耐摩耗性および耐欠損性を向上させることが一段と重要になっている。これらの特性を向上させるため、被膜を交互に積層した交互積層膜を基材上に形成した被覆工具が用いられている。
このような交互積層膜の特性を改善するために、様々な技術が提案されている。たとえば、特許文献1には、特定の金属元素あるいはその化合物と、特定の合金化合物とを積層周期0.4nm〜50nmで母材表面に積層した切削工具が提案されている。この切削工具は、優れた耐摩耗性を示すことが記載されている。
特許文献2には、基体の表面に、第1層と第2層とを交互に4層以上になるように積層した切削工具が提案されている。第1層は、(Ti1−XAl)N(原子比で、X:0.30〜0.70)の組成式で示される複合窒化物を含む。第2層は、酸化アルミニウム相と窒化チタン相を含む。第2層における酸化アルミニウム相の割合は、酸化アルミニウム相と窒化チタン相との合計に対して、35〜65質量%である。第1層および第2層の平均厚さは、それぞれ、0.2〜1μmである。第1層および第2層の全体の平均厚さは、2〜10μmである。この切削工具は、優れた耐摩耗性を示すことが記載されている。
特許文献3には、第1積層構造と第2積層構造とを含む被覆工具が提案されている。第1積層構造は、組成が異なる2以上の層を周期的に積層した構造を有している。第1積層構造に含まれる各層の平均厚さは、60nm以上500nm以下である。第2積層構造は、組成が異なる2以上の層を周期的に積層した構造を有している。第2積層構造に含まれる各層の平均厚さは、2nm以上60nm未満である。
特開平7−205361号公報 特開2003−200306号公報 国際公開WO2014/025057
近年、切削加工の高速化、高送り化、および深切り込み化がより顕著になっている。このため、工具の欠損が発生することが多くなった。例えば、加工中に刃先にかかる負荷により、工具表面にクラックが発生する。このクラックが基材へ進展することによって、工具の欠損が発生する。また、刃先の温度が急激に増加あるいは減少することによって、基材にクラックが発生する。このクラックが被覆層に進展することによって、工具の欠損が発生する。
この様な背景により、上記特許文献1に記載された切削工具は、高い耐摩耗性を示すものの、工具の欠損が生じやすいという問題がある。特許文献2に記載された切削工具は、被膜の硬度が不十分なため、耐摩耗性が劣るという問題がある。特許文献3に記載された切削工具は、耐欠損性が不十分なため、要求された性能を満たすことができない。
本発明は、これらの問題を解決するためになされたものである。本発明は、被覆工具の耐摩耗性を低下させずに、耐欠損性を向上させることを目的とする。また、本発明は、工具寿命の長い被覆工具を提供することを目的とする。
本発明者らは、被覆工具の工具寿命の延長について研究を重ねた。本発明者らは、被覆層の構成を改良することによって、被覆工具の耐摩耗性を低下させずに、耐欠損性を向上させることができた。その結果、被覆工具の工具寿命を延長することができた。
すなわち、本発明の要旨は、以下の通りである。
(1)基材と、
前記基材の表面に形成された被覆層とを含み、
前記被覆層は、第1積層構造と、第2積層構造とを含み、
前記第1積層構造と、前記第2積層構造は、交互に2回以上連続して積層されており、
前記第1積層構造は、組成が異なる少なくとも2種類の層を含み、前記2種類の層は、交互に2回以上積層されており、
前記第1の積層構造に含まれる層の平均の厚みは、60nm以上500nm以下であり、
前記第2積層構造は、組成が異なる少なくとも2種類の層を含み、前記2種類の層は、交互に2回以上積層されており、
前記第2の積層構造に含まれる層の平均の厚みは、2nm以上60nm未満であり、
前記第1積層構造および前記第2積層構造に含まれる層は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Sr、Y、SnおよびBiからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素と、炭素、窒素、酸素および硼素からなる群から選択される少なくとも1種の非金属元素とを含む化合物を含み、
前記第1積層構造および/または前記第2積層構造の平均厚さは、前記基材側から前記被覆層の表面側に向かって、連続的または段階的に減少している、被覆工具。
(2)前記第1積層構造の平均厚さは、0.2μm以上6μm以下である、(1)の被覆工具。
(3)前記第2積層構造の平均厚さは、0.02μm以上6μm以下である、(1)または(2)の被覆工具。
(4)前記被覆層全体の平均の厚みは、0.22μm以上12μm以下である、(1)から(3)のいずれかの被覆工具。
(5)前記被覆層の表面に最も近い前記第1積層構造の平均厚さをTA1、前記基材に最も近い前記第1積層構造の平均厚さをTB1としたとき、TB1に対するTA1の割合は、5%以上50%以下である、(1)から(4)のいずれかの被覆工具。
(6)前記被覆層の表面に最も近い前記第2積層構造の平均厚さをTA2、前記基材に最も近い前記第2積層構造の平均厚さをTB2としたとき、TB2に対するTA2の割合は、5%以上50%以下である、(1)から(5)のいずれかの被覆工具。
(7)前記被覆層の表面に最も近い前記第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTC1、前記基材に最も近い前記第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTD1としたとき、TD1に対するTC1の割合は、12%以上70%以下である、(1)から(6)のいずれかの被覆工具。
(8)前記被覆層の表面に最も近い前記第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTC2、前記基材に最も近い前記第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTD2としたとき、TD2に対するTC2の割合は、5%以上70%以下である、(1)から(7)のいずれかの被覆工具。
(9)前記第1積層構造に含まれる層および前記第2積層構造に含まれる層は、Ti、Nb、Ta、Cr、W、Al、Si、SrおよびYからなる群から選択される少なくとも2種の金属元素と、炭素、窒素、酸素および硼素からなる群から選択される少なくとも1種の非金属元素とを含む化合物を含む、(1)から(8)のいずれかの被覆工具。
本発明の被覆工具は、耐摩耗性および耐欠損性に優れるので、従来よりも工具寿命を延長できるという効果を奏する。
本発明の被覆工具の断面組織の模式図の一例である。
本発明の被覆工具は、基材と、基材の表面に形成された被覆層とを含む。本発明における基材は、被覆工具の基材として用いられるものであればよい。本発明における基材は、特に限定はされないが、例えば、超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体、高速度鋼である。これらの中では、超硬合金が好ましい。超硬合金は、耐摩耗性および耐欠損性に優れるからである。
本発明の被覆工具において、被覆層全体の平均厚さは、0.22〜12μmであることが好ましい。被覆層の平均厚さが0.22μm未満であると、被覆工具の耐摩耗性が低下する傾向がある。被覆層の平均厚さが12μmを超えると、被覆工具の耐欠損性が低下する傾向がある。被覆層全体の平均厚さは、1.0〜8.0μmであるとさらに好ましい。
本発明の被覆工具において、被覆層は、特定の第1積層構造および第2積層構造を含む。第1積層構造および第2積層構造に含まれる各層は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Sr、Y、SnおよびBiからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素と、炭素、窒素、酸素および硼素からなる群から選択される少なくとも1種の非金属元素を含む化合物を含む。本発明の被覆工具は、耐摩耗性に優れる。
第1積層構造および第2積層構造に含まれる層は、Ti、Nb、Ta、Cr、W、Al、Si、SrおよびYからなる群から選択される少なくとも2種の金属元素と、炭素、窒素、酸素および硼素から選択される少なくとも1種の非金属元素を含む化合物を含むことが、さらに好ましい。このような化合物は、硬い性質を有しているからである。第1積層構造を構成する層に含まれる化合物として、具体的には、(Al0.50Ti0.50)N、(Al0.60Ti0.40)N、(Al0.67Ti0.33)N、(Al0.67Ti0.33)CN、(Al0.45Ti0.45Si0.10)N、(Al0.45Ti0.450.10)N、(Al0.50Ti0.30Cr0.20)N、(Al0.50Ti0.45Nb0.05)N、(Al0.50Ti0.45Ta0.05)N、(Al0.50Ti0.450.05)N、(Ti0.90Si0.10)N、(Al0.50Cr0.50)Nなどを挙げることができる。
第1積層構造を構成する層に含まれる金属元素は、該第1積層構造を構成する他の層に含まれる金属元素と同一であることが好ましい。つまり、第1積層構造を構成する複数の層は、同一種類の金属元素で構成されることが好ましい。さらに、第1積層構造を構成する層に含まれる特定の金属元素の割合と、その層に隣接した第1積層構造を構成する他の層に含まれる特定の金属元素の割合との差の絶対値が、5原子%以上であることが好ましい。ここでいう「特定の金属元素の割合」とは、層に含まれる金属元素全体の原子数に対する、その層に含まれる特定の金属元素の原子数の割合(原子%)を意味する。
第1積層構造がこのような構成であると、第1積層構造を構成するある層と、その層に隣接する層との密着性が低下することなく、層と層の界面において結晶格子が不整合になる。そのため、第1積層構造を構成する層と層の界面と平行な方向にクラックが進展しやすくなり、クラックが基材まで進展することを効果的に抑制することができる。
上記の「ある層に含まれる特定の金属元素の割合と、その層に隣接した他の層に含まれる特定の金属元素の割合との差の絶対値が、5原子%以上である」について、さらに詳しく説明する。
例えば、第1積層構造が、(Al0.55Ti0.45)N層と、(Al0.67Ti0.33)N層によって構成される場合、2つの層に含まれる金属元素の種類は同一である。なぜなら、2つの層は、ともにAlとTiを含むからである。この場合、(Al0.55Ti0.45)N層に含まれるAlの原子数は、金属元素全体の原子数に対して、55原子%である。(Al0.67Ti0.33)N層に含まれるAlの原子数は、金属元素全体の原子数に対して、67原子%である。これら二つの層におけるAlの原子数の割合の差は、12原子%である。したがって、この場合、「差の絶対値が5原子%以上」という上記の条件が満たされている。
例えば、第1積層構造が、(Al0.49Ti0.39Cr0.12)N層と、(Al0.56Ti0.36Cr0.08)N層によって構成される場合、2つの層に含まれる金属元素の種類は同一である。なぜなら、2つの層は、ともにAlとTiとCrを含むからである。この場合、2つの層に含まれるTiの原子数の割合の差は、3原子%である。2つの層に含まれるCrの原子数の割合の差は、4原子%である。これらの値は、それぞれ5原子%未満である。しかし、この場合であっても、2つの層に含まれるAlの原子数の割合の差は、7原子%であるので、「差の絶対値が5原子%以上」という上記の条件が満たされている。
本明細書において、窒化物を(M)Nと表記する場合は、金属元素全体に対するM元素の原子比がa、L元素の原子比がbであることを意味する。例えば、(Al0.55Ti0.45)Nは、金属元素全体に対するAl元素の原子比が0.55であり、金属元素全体に対するTi元素の原子比が0.45であることを示す。すなわち、(Al0.55Ti0.45)Nは、金属元素全体に対するAl元素の量が55原子%であり、金属元素全体に対するTi元素の量が45原子%であることを示す。
第2積層構造を構成する層に含まれる金属元素は、該第2積層構造を構成する他の層に含まれる金属元素と同一であることが好ましい。つまり、第2積層構造を構成する複数の層は、同一種類の金属元素で構成されることが好ましい。さらに、第2積層構造を構成する層に含まれる特定の金属元素の割合と、その層に隣接した第2積層構造を構成する他の層に含まれる特定の金属元素の割合との差の絶対値が、5原子%以上であることが好ましい。ここでいう「特定の金属元素の割合」とは、層に含まれる金属元素全体の原子数に対する、その層に含まれる特定の金属元素の原子数の割合(原子%)を意味する。
第2積層構造がこのような構成であると、第2積層構造を構成するある層と、その層に隣接する層との密着性が低下することなく、層と層の界面において結晶格子が不整合になる。そのため、第2積層構造を構成する層と層の界面と平行な方向にクラックが進展しやすくなり、クラックが基材まで進展することを効果的に抑制することができる。上記の「ある層に含まれる特定の金属元素の割合と、その層に隣接した他の層に含まれる特定の金属元素の割合との差の絶対値が、5原子%以上である」の意味は、上記の第1積層構造について説明したのと同様である。
本発明の被覆工具の別の態様として、第1積層構造を構成する層に含まれる金属元素と、その層に隣接した第1積層構造を構成する他の層に含まれる金属元素が、1種以上異なることが好ましい。金属元素が1種以上異なると、層と層の界面で結晶格子が不整合となり、層と層の界面に平行な方向にクラックが進展しやすくなるため、クラックが基材まで進展することを効果的に抑制することができるためである。
例えば、第1積層構造が、(Al0.50Ti0.50)N層と、(Al0.50Ti0.30Cr0.20)N層によって構成される場合、2つの層に含まれる金属元素を比較すると、この条件が満たされている。なぜなら、2つの層は、AlとTiを含むが、Crは一方の層のみに含まれているからである。
例えば、第1積層構造が、(Al0.50Cr0.50)N層と、(Al0.67Ti0.33)N層によって構成される場合も、2つの層に含まれる金属元素を比較すると、この条件が満たされている。なぜなら、2つの層は、Alを含むが、CrおよびTiは、一方の層のみに含まれているからである。
同様に、本発明の被覆工具において、第2積層構造を構成する層に含まれる金属元素と、その層に隣接した第2積層構造を構成する他の層に含まれる金属元素が、1種以上異なることが好ましい。金属元素が1種以上異なると、層と層の界面で結晶格子が不整合となり、層と層の界面に平行な方向にクラックが進展しやすくなるため、クラックが基材まで進展することを効果的に抑制することができるためである。
本発明の被覆工具は、被覆層を含む。被覆層は、第1積層構造を含む。第1積層構造は、上記の化合物からなる2以上の層を含む。第1積層構造に含まれる各層の平均厚さは、60nm以上500nm以下である。第1積層構造に含まれる2以上の層は、周期的に積層されている。この周期的な積層構造は、組成が異なる少なくとも2種類の層を含む。これらの2種類の層は、交互に2回以上積層されていることが好ましい。組成が異なる2種類の層が交互に2回以上積層されると、クラックの進展が抑制されるため、被覆工具の耐欠損性がさらに向上する。
本発明において、層の積層が繰り返される最小単位の厚さを「積層周期」という。
図1は、本発明の被覆工具の断面組織の模式図の一例である。以下、図1を参照して、積層周期について説明する。
例えば、組成が異なるA1層、B1層、C1層、およびD1層を、基材(1)から被覆層(2)の表面に向かって繰り返し積層する。具体的には、これらの層を、A1層→B1層→C1層→D1層→A1層→B1層→C1層→D1層→…の順で積層する。この場合、A1層からD1層までの厚みの合計が、「積層周期」である。
例えば、組成が異なるA1層とB1層を、基材(1)から被覆層(2)の表面に向かって繰り返し積層する。具体的には、これらの層を、A1層→B1層→A1層→B1層→A1層→B1層→…の順で積層する。この場合、A1層の厚みとB1層の厚みの合計が、「積層周期」である。
第1積層構造を形成するために、組成が異なる少なくとも2種類の層を、周期的に積層させる。各層の平均厚さは、60nm以上500nm以下である。第1積層構造がこのように形成されることにより、以下の効果が得られる。
被覆工具の使用中に被覆層の表面に発生したクラックは、第1積層構造に到達する。第1積層構造に到達したクラックは、組成の異なる層と層との界面に平行な方向に進展する。これにより、クラックが基材まで進展することを防止する効果が得られる。このような効果は、組成が異なる2つの層を交互に2回以上積層することによって、さらに高くなる。具体的には、組成が異なるA1層とB1層を、基材から被覆層の表面に向かって、交互に2回以上積層することが好ましい。つまり、第1積層構造は、A1層→B1層→A1層→B1層→…のような交互積層構造を含むことが好ましい。
第1積層構造に含まれる各層の平均厚さが60nm未満である場合、クラックが基材まで進展することを十分に防止することができない。一方、各層の平均厚さが500nmを超える場合、被覆工具の耐欠損性が低下する。したがって、第1積層構造に含まれる各層の平均厚さは、60nm以上500nm以下である。第1積層構造に含まれる各層の平均厚さは、60nm以上250nm以下であると好ましい。
第1積層構造の平均厚さが0.2μm未満である場合、組成の異なる層を周期的に積層させる回数(繰り返し数)が少なくなる。この場合、基材までクラックが進展することを抑制する効果が低下する。一方、第1積層構造の平均厚さが6μmを超える場合、被覆層全体の残留圧縮応力が高くなる。その結果、被覆層の剥離や欠損が生じやすくなるため、被覆工具の耐欠損性が低下する。したがって、第1積層構造の平均厚さは、0.2〜6μmであることが好ましい。
本発明の被覆工具は、被覆層を含む。被覆層は、第2積層構造を含む。第2積層構造は、上記の化合物からなる2つ以上の層を含む。第2積層構造に含まれる各層の平均厚さは、2nm以上60nm未満である。第2積層構造に含まれる2つ以上の層は、周期的に積層されている。この周期的な積層構造は、組成が異なる少なくとも2種類の層を含む。これらの2種類の層は、交互に2回以上積層されていることが好ましい。組成が異なる2種類の層が交互に2回以上積層されると、第2積層構造の硬度が高くなるため、被覆工具の耐摩耗性がさらに向上する。
第2積層構造においても、層の積層が繰り返される最小単位の厚さを「積層周期」という。
例えば、図1において、組成が異なるA2層、B2層、C2層、D2層を、基材(1)から被覆層(2)の表面に向かって繰り返し積層する。具体的には、これらの層を、A2層→B2層→C2層→D2層→A2層→B2層→C2層→D2層→…の順で積層する。この場合、A2層からD2層までの厚みの合計が、「積層周期」である。
例えば、組成が異なるA2層とB2層を、基材(1)から被覆層(2)の表面に向かって繰り返し積層する。具体的には、これらの層を、A2層→B2層→A2層→B2層→A2層→B2層→…の順で積層する。この場合、A2層の厚みとB2層の厚みの合計が、「積層周期」である。
第2積層構造を形成するために、組成が異なる少なくとも2種類の層を、周期的に積層させる。各層の平均厚さは、2nm以上60nm未満である。第2積層構造がこのように形成されることにより、第2積層構造の硬度が高くなり、被覆工具の耐摩耗性が向上する効果が得られる。このような効果は、組成が異なる2つの層を交互に2回以上積層することによって、さらに高くなる。具体的には、組成が異なるA2層とB2層を、基材から被覆層の表面に向かって、交互に2回以上積層することが好ましい。つまり、第2積層構造は、A2層→B2層→A2層→B2層→…のような交互積層構造を含むことが好ましい。
第2積層構造に含まれる各層の平均厚さが2nm未満である場合、均一な厚さの層を形成することが困難である。第2積層構造に含まれる各層の平均厚さが60nm以上である場合、第2積層構造の硬度が低下するため、被覆工具の耐摩耗性が低下する。さらに、この場合、第2積層構造の厚みと第1積層構造の厚みとの差が小さくなる。その結果、第1積層構造と第2積層構造の界面に平行な方向にクラックが進展することで基材までクラックが進展することを抑制する効果が十分に得られない。そのため、第2積層構造に含まれる各層の平均厚さは、2nm以上60nm未満である。第2積層構造に含まれる各層の平均厚さは、5nm以上30nm以下であると好ましい。
第2積層構造の平均厚さが0.02μm未満である場合、組成の異なる層を周期的に積層させる回数(繰り返し数)が少なくなる。この場合、第2積層構造の硬度が向上するという効果が得られない。一方、第2積層構造の平均厚さが6μmを超える場合、第2積層構造の残留圧縮応力が高くなる。その結果、被覆層の剥離や欠損が生じやすくなるため、被覆工具の耐欠損性が低下する。したがって、第2積層構造の平均厚さは、0.02〜6μmであることが好ましい。
本発明の被覆工具は、被覆層を含む。被覆層は、耐欠損性に優れる第1積層構造と、耐摩耗性に優れる第2積層構造とを含む。これにより、本発明の被覆工具は、耐欠損性および耐摩耗性に優れる。被覆層は、上部層を含んでもよい。上部層は、第1積層構造および第2積層構造よりも被覆層の表面側に位置する層である。被覆層の表面側とは、被覆層の基材と反対側を意味する。また、被覆層は、下部層を含んでもよい。下部層は、第1積層構造および第2積層構造よりも基材側に位置する層である。
上部層および下部層の構成は、特に限定はされない。上部層および下部層は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Sr、Y、SnおよびBiからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素を含むことが好ましい。また、上部層および下部層は、これら金属元素から選択される少なくとも1種の金属元素と、炭素、窒素、酸素および硼素からなる群から選択される少なくとも1種の非金属元素を含む化合物を含むことが好ましい。上部層および下部層の構成は、単層、または、非周期の多層であることが好ましい。上部層および下部層がこのような構成を有する場合、上部層および下部層の耐摩耗性が向上する。
第1積層構造と第2積層構造は、交互に2つ以上連続して積層されていることが好ましい。第1積層構造と第2積層構造が交互に積層されると、クラックが第1積層構造と第2積層構造との界面と平行な方向に進展しやすくなる。その結果、クラックが基材まで進展することが抑制されるため、被覆工具の耐欠損性が向上する。
第1積層構造と第2積層構造の位置関係は、特に限定されない。第1積層構造と第2積層構造の位置関係は、例えば、以下の(1)〜(4)のいずれかである。
(1)第1積層構造が基材に最も近く、第2積層構造が被覆層の表面に最も近い。
(2)第2積層構造が基材に最も近く、第1積層構造が被覆層の表面に最も近い。
(3)第1積層構造が、基材に最も近く、かつ、被覆層の表面に最も近い。
(4)第2積層構造が、基材に最も近く、かつ、被覆層の表面に最も近い。
上記(1)〜(4)において、「被覆層の表面」とは、被覆層の基材と反対側の表面のことを意味する。
上記の位置関係の中では、(1)が好ましい。第1積層構造と第2積層構造の位置関係が上記(1)である場合、第2積層構造の残留圧縮応力よりも第1積層構造の残留圧縮応力の方が低くなるため、被覆層の耐剥離性が向上する傾向があるからである。
第1積層構造および/または第2積層構造の平均厚さは、基材側から被覆層の表面側に向かって、連続的または段階的に減少している。被覆層の耐摩耗性を低下させずに耐欠損性を向上させることができるからである。
被覆層の表面側において、第1積層構造および/または第2積層構造の平均厚さが減少することにより、第1積層構造と第2積層構造との界面の間隔が短くなる。第1積層構造と第2積層構造との界面の間隔が短くなると、クラックが第1積層構造と第2積層構造との界面と平行な方向に進展しやすくなる。その結果、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が得られるとともに、耐欠損性が向上する。そのため、第1積層構造および第2積層構造のいずれか一方の平均厚さを薄くすると、耐欠損性が向上する。第1積層構造および第2積層構造の両方の平均厚さを薄くすると、さらに耐欠損性が向上する。
本発明において、「連続的に減少」とは、例えば、基材側から表面側に向かって第1積層構造および/または第2積層構造の厚さが比例関係のようなある規則性に従って減少することを意味する。しかし、「連続的に減少」は、第1積層構造および/または第2積層構造の厚さが比例関係に従って減少する場合に限定されない。例えば、「連続的に減少」は、第1積層構造および/または第2積層構造の厚さが反比例の関係や指数関係に従って減少する場合も含む。また、「連続的に減少」は、基材側から表面側に向かって厚さが減少する傾向がある場合も含む。この場合でも、本発明の効果が得られるからである。例えば、被覆層の一部の厚さが基材側から表面側に向かってわずかに増加する場合も、本発明の権利範囲に含まれる。
本発明において、「段階的に減少」とは、例えば、基材側から表面側に向かって第1積層構造および/または第2積層構造の厚さが不規則に減少することを意味する。例えば、「段階的に減少」は、最表面の第1積層構造および/または第2積層構造のみの厚さが減少している場合も含む。また、「段階的に減少」は、基材側から表面側に向かって厚さが減少する傾向がある場合も含む。この場合でも、本発明の効果が得られるからである。例えば、被覆層の一部の厚さが基材側から表面側に向かってわずかに増加する場合も、本発明の権利範囲に含まれる。
被覆層の表面に最も近い第1積層構造の平均厚さをTA1、基材に最も近い第1積層構造の平均厚さをTB1としたとき、TB1に対するTA1の割合((TA1/TB1)×100)は、5%以上50%以下が好ましく、5%以上30%以下がさらに好ましい。TB1に対するTA1の割合が5%未満であると、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が低下することがある。一方、TB1に対するTA1の割合が50%を超えると、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が低下することがある。
被覆層の表面に最も近い第2積層構造の平均厚さをTA2、基材に最も近い第2積層構造の平均厚さをTB2としたとき、TB2に対するTA2の割合((TA2/TB2)×100)は、5%以上50%以下が好ましく、5%以上30%以下がさらに好ましい。TB2に対するTA2の割合が5%未満であると、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が低下することがある。さらに、耐摩耗性も低下することがある。一方、TB2に対するTA2の割合が50%を超えると、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が低下することがある。
第1積層構造および第2積層構造を構成する各層の平均厚さは、基材側から被覆層の表面側に向かって連続的または断続的に減少していることが好ましい。耐摩耗性の低下が抑制され、耐欠損性が向上するからである。
本発明において、「連続的に減少」とは、例えば、基材側から表面側に向かって、第1積層構造および/または第2積層構造を構成する各層の平均厚さが比例関係のようなある規則性に従って減少することを意味する。しかし、「連続的に減少」は、第1積層構造および/または第2積層構造を構成する各層の平均厚さが比例関係に従って減少する場合に限定されない。例えば、「連続的に減少」は、各層の厚さが反比例の関係や指数関係に従って減少する場合も含む。また、「連続的に減少」は、基材側から表面側に向かって厚さが減少する傾向がある場合も含む。この場合でも、本発明の効果が得られるからである。例えば、被覆層の一部の厚さが基材側から表面側に向かってわずかに増加する場合も、本発明の権利範囲に含まれる。
本発明において、「段階的に減少」とは、例えば、基材側から表面側に向かって第1積層構造および/または第2積層構造を構成する各層の平均厚さが不規則に減少することを意味する。例えば、「段階的に減少」は、最表面の第1積層構造および/または第2積層構造を構成する各層のみの平均厚さが減少している場合も含む。また、「段階的に減少」は、基材側から表面側に向かって厚さが減少する傾向がある場合も含む。この場合でも、本発明の効果が得られからである。例えば、被覆層の一部の厚さが基材側から表面側に向かってわずかに増加する場合も、本発明の権利範囲に含まれる。
被覆層の表面に最も近い第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTC1、基材に最も近い第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTD1としたとき、TD1に対するTC1の割合((TC1/TD1)×100)は、12%以上70%以下が好ましく、30%以上60%以下がさらに好ましい。TD1に対するTC1の割合が12%未満であると、被覆層の表面側の硬度が高くなり、耐欠損性が低下する傾向がある。一方、TD1に対するTC1の割合が70%を超えると、被覆層の表面側の耐摩耗性が低下する傾向がある。
なお、「第1積層構造に含まれる層の平均厚さ」は、以下のように求められる値である。
例えば、A1層→B1層→A1層→B1層→A1層→B1層→…のように、A1層およびB1層をこの順番で100回繰り返し積層した場合、100回繰り返される積層周期の合計を求める。つぎに、積層周期の合計を、繰り返した回数である100で割った値を求める。この値が、「第1積層構造に含まれる層の平均厚さ」である。つまり、第1積層構造が「A1層→B1層→A1層→B1層→A1層→B1層→…」である場合、「A1層→B1層」の平均厚さが、「第1積層構造に含まれる層の平均厚さ」である。
被覆層の表面に最も近い第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTC2、基材に最も近い第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTD2としたとき、TD2に対するTC2の割合((TC2/TD2)×100)は、5%以上70%以下が好ましく、30%以上60%以下がさらに好ましい。TD2に対するTC2の割合が5%未満であると、被覆層の表面側の硬度が高くなり、耐欠損性が低下する傾向がある。一方、TD2に対するTC2の割合が70%を超えると、被覆層の表面側の耐摩耗性が低下する傾向がある。
なお、「第2積層構造に含まれる層の平均厚さ」は、以下のように求められる値である。
例えば、A2層→B2層→A2層→B2層→A2層→B2層→…のように、A2層およびB2層をこの順番で100回繰り返し積層した場合、100回繰り返される積層周期の合計を求める。つぎに、積層周期の合計を、繰り返した回数である100で割った値を求める。この値が、「第2積層構造に含まれる層の平均厚さ」である。つまり、第2積層構造が「A2層→B2層→A2層→B2層→A2層→B2層→…」である場合、「A2層→B2層」の平均厚さが、「第2積層構造に含まれる層の平均厚さ」である。
本発明の被覆工具における被覆層の製造方法は、特に限定されるものではない。例えば、被覆層は、イオンプレーティング法、アークイオンプレーティング法、スパッタ法、イオンミキシング法などの物理蒸着法によって製造することができる。例えば、物理蒸着法によって、基材上に、上記で説明した第1積層構造および第2積層構造を形成することができる。特に、アークイオンプレーティング法によって形成された被覆層は、基材との密着性が高い。したがって、これらの中では、アークイオンプレーティング法が好ましい。
従来の被覆方法によって、基材の表面に、各層を形成することができる。これにより、本発明の被覆工具を製造することができる。
本発明の被覆工具の製造方法は、例えば、以下の通りである。
工具形状に加工した基材を、物理蒸着装置の反応容器内に入れる。つぎに、反応容器内を、圧力1×10−2Pa以下になるまで真空引きする。真空引きした後、反応容器内のヒーターで、基材を200〜800℃に加熱する。加熱後、反応容器内に、Arガスを導入して、圧力を0.5〜5.0Paとする。圧力0.5〜5.0PaのArガス雰囲気にて、基材に−200〜−1000Vのバイアス電圧を印加する。反応容器内のタングステンフィラメントに、5〜20Aの電流を流す。基材の表面を、Arガスによるイオンボンバードメント処理する。基材の表面をイオンボンバードメント処理した後、反応容器内を、圧力1×10−2Pa以下になるまで真空引きする。
次いで、窒素ガスなどの反応ガスを反応容器内に導入する。反応容器内の圧力を0.5〜5.0Paにして、基材に−10〜−150Vのバイアス電圧を印加する。各層の金属成分に応じた金属蒸発源をアーク放電により蒸発させることによって、基材の表面に各層を形成することができる。なお、離れた位置に置かれた2種類以上の金属蒸発源を同時にアーク放電により蒸発させ、基材を固定したテーブルを回転させて第1積層構造もしくは第2積層構造を構成する層を形成することができる。この場合、反応容器内の基材を固定したテーブルの回転数を調整することによって、第1積層構造もしくは第2積層構造を構成する各層の厚みを制御することができる。2種類以上の金属蒸発源を交互にアーク放電により蒸発させることによって、第1積層構造もしくは第2積層構造を構成する層を形成することもできる。この場合、金属蒸発源のアーク放電時間をそれぞれ調整することによって、第1積層構造もしくは第2積層構造を構成する各層の厚みを制御することができる。
被覆層を構成する各層の厚さおよび各積層構造の厚さは、被覆工具の断面組織を観察することで測定することができる。例えば、被覆層を構成する各層の厚さおよび各積層構造の厚さは、光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡(SEM)、透過型電子顕微鏡(TEM)などを用いて測定することができる。
被覆層を構成する各層の平均厚さおよび各積層構造の平均厚さは、次のように求めることができる。
金属蒸発源に対向する面の刃先から、当該面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、被覆工具の断面を、3箇所以上で観察する。この観察した断面から、各層の厚さおよび各積層構造の厚さを測定する。測定した厚さの平均値を計算することによって、平均厚さを求めることができる。
本発明の被覆工具の各層の組成は、被覆工具の断面組織から、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)や波長分散型X線分析装置(WDS)などを用いて測定することができる。
本発明の被覆工具の種類として、具体的には、フライス加工用または旋削加工用の工具を挙げることができる。このような工具の例として、刃先交換型切削インサート、ドリル、エンドミルを挙げることができる。
基材として、ISO規格SEEN1203AGTNインサート形状のP10相当の超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表1および表2に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。用意した基材を、反応容器内の回転テーブルの固定金具に固定した。
その後、反応容器内を、圧力が5.0×10−3Pa以下になるまで真空引きした。真空引き後、反応容器内のヒーターで、基材をその温度が500℃になるまで加熱した。加熱後、反応容器内の圧力が5.0Paになるように、反応容器内にArガスを導入した。
圧力5.0PaのArガス雰囲気にて、基材に−1000Vのバイアス電圧を印加した。反応容器内のタングステンフィラメントに、10Aの電流を流した。このような条件で、基材の表面に、Arガスによるイオンボンバードメント処理を30分間行った。イオンボンバードメント処理終了後、反応容器内の圧力が5.0×10−3Pa以下になるまで、反応容器内を真空引きした。
真空引き後、窒素ガスを反応容器内に導入し、反応容器内を圧力2.7Paの窒素ガス雰囲気にした。基材には、−50Vのバイアス電圧を印加した。アーク電流200Aのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させることで各層を形成した。
発明品1〜9および比較品1、2のA1層とB1層を形成するときは、A1層の金属蒸発源と、B1層の金属蒸発源を、交互にアーク放電により蒸発させてA1層とB1層を形成した。このとき、A1層とB1層が表3に示す厚みとなるように、それぞれのアーク放電時間を調整した。層の厚みが大きい比較品3においても、同様に、X層の金属蒸発源と、Y層の金属蒸発源を、交互にアーク放電により蒸発させてX層とY層を形成した。このとき、X層の厚みと、Y層の厚みは、それぞれの層を形成するときのアーク放電時間を調整して制御した。
発明品1〜9および比較品1、2のA2層とB2層を形成するときは、A2層の金属蒸発源と、B2層の金属蒸発源を、同時にアーク放電により蒸発させてA2層とB2層を形成した。このとき、A2層とB2層が表3に示す厚みとなるように、テーブルの回転数を0.2〜10min−1の範囲で調整した。層の厚みが小さい比較品4においても、同様に、X層の金属蒸発源と、Y層の金属蒸発源を、同時にアーク放電により蒸発させてX層とY層を形成した。このとき、X層の厚みと、Y層の厚みは、テーブルの回転数を0.2〜10min−1の範囲で調整することで制御した。
比較品5は、交互に積層された厚みの小さい層と厚みの大きい層によって構成されている。比較品5を構成する層の厚みは、アーク放電時間と、テーブルの回転数を調整することで制御した。テーブルの回転数は、0.2〜10min−1の範囲で調整した。
比較品6の単層は、基材に−50Vのバイアス電圧を印加して、アーク電流200Aのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させて形成した。
基材の表面に、表3および表4に示す所定の厚みになるまで各層を形成した。その後、ヒーターの電源を切り、試料温度が100℃以下になった後で、反応容器内から試料を取り出した。
得られた試料の各層の平均厚さおよび各積層構造の平均厚さは、次のように求めた。
被覆工具の金属蒸発源に対向する面の刃先から当該面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、3箇所の断面をTEMで観察した。各層の厚さ、および、各積層構造の厚さを測定し、測定した厚さの平均値を計算した。
得られた試料の各層の組成は、次のように求めた。
被覆工具の金属蒸発源に対向する面の刃先から当該面の中心部に向かって50μmの位置の断面において、EDSを用いて組成を測定した。
これらの測定結果も、表1〜4に示す。
なお、表1〜4の各層の金属元素の組成比は、各層を構成する金属化合物における金属元素全体に対する各金属元素の原子比を示す。
表4に示した第1積層構造の平均厚さから、基材に最も近い第1積層構造の平均厚さに対する、被覆層の表面に最も近い第1積層構造の平均厚さの割合を求めた。同様に、表4に示した第2積層構造の平均厚さから、基材に最も近い第2積層構造の平均厚さに対する、被覆層の表面に最も近い第2積層構造の平均厚さの割合を求めた。それらの結果を、表5に示す。
得られた試料を用いて、以下の切削試験1および切削試験2を行い、耐欠損性および耐摩耗性を評価した。その評価結果を表6に示す。
[切削試験1 耐欠損性評価]
被削材:SCM440、
被削材形状:105mm×220mm×60mmの直方体(但し、正面フライス加工を行う直方体の105mm×220mmの面に、直径φ40mmの穴が6箇所開けられている。)
切削速度:260m/min、
送り:0.4mm/tooth、
切り込み:2.0mm、
切削幅:105mm、
クーラント:無し、
カッター有効径:φ125mm、
評価項目:試料が欠損(試料の切れ刃部に欠けが生じる)するまでを工具寿命とした。試料が欠損するまでの加工長を測定した。
[切削試験2 耐摩耗性評価]
被削材:SCM440、
被削材形状:105mm×220mm×60mmの直方体、
切削速度:260m/min、
送り:0.12mm/tooth、
切り込み:2.0mm、
切削幅:50mm、
クーラント:無し、
カッター有効径:φ100mm、
評価項目:最大逃げ面摩耗幅が0.2mmに至るまでを工具寿命とした。最大逃げ面摩耗幅が0.2mmに至るまでの加工長を測定した。
切削試験1の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
11m以上 ◎
10.5m以上11未満 ○
10m以上10.5m未満 △
10m未満 ×
切削試験2の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
5m以上 ◎
4.5m以上5m未満 ○
4m以上4.5m未満 △
4m未満 ×
この評価の順位は、(優)◎>○>△>×(劣)である。◎または○の評価は、切削性能が優れることを意味する。得られた総合評価の結果を表6に示す。
表6の結果より、発明品の耐摩耗性試験の結果は、△以上であった。発明品の耐摩耗性試験の結果は、×を有さない点で、比較品と同等以上であった。また、すべての発明品の耐欠損性試験の結果は、◎または○であった。比較品の耐欠損性試験の結果は、△または×であった。この結果より、発明品は、比較品よりも、耐欠損性に優れることが分かる。この結果より、発明品の工具寿命が長くなっていることが分かる。この結果から分かるように、本発明によれば、被覆工具の耐摩耗性を低下させずに、耐欠損性を向上させることができた。
基材として、ISO規格SEEN1203AGTNインサート形状のP10相当の超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表7に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。実施例1と同様な製造方法により、表8および9に示す層構成の試料を作製した。
発明品10と比較品10を、次のように作製した。
アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表7に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。反応容器内に、NガスとCHガスの混合ガスを導入した。混合ガス中のNガスとCHガスの分圧比は、N:CH=1:1である。反応容器内の圧力は、2.7Paである。反応容器内の雰囲気をこのように設定した以外は、実施例1と同様に、各層を形成し、表8および9に示す層構成の試料を作製した。
発明品18を、次のように作製した。
アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表7に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。酸化物層を形成するときには、反応容器内にOガスを導入し、反応容器内の圧力を2.7Paに制御した。その後、窒化物層を形成するときには、反応容器内からOガスを排気し、反応容器内にNガスを導入し、反応容器内の圧力を2.7Paに制御した。反応容器内の雰囲気をこのように設定した以外は、実施例1と同様に、表8および9に示す層構成の試料を作製した。
得られた試料の各層の平均厚さ、および、各層の組成を、実施例1と同様に測定した。それらの結果を、表8〜10に示す。また、得られた試料を用いて、実施例1と同じ切削試験1および切削試験2を行い、耐摩耗性および耐欠損性を評価した。その評価結果を、表11に示す。
切削試験1の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
11m以上 ◎
10.5m以上11未満 ○
10m以上10.5m未満 △
10m未満 ×
切削試験2の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
5m以上 ◎
4.5m以上5m未満 ○
4m以上4.5m未満 △
4m未満 ×
この評価の順位は、(優)◎>○>△>×(劣)である。◎または○の評価は、切削性能が優れることを意味する。得られた総合評価の結果を表11に示す。
表11の結果より、発明品の耐摩耗性試験の結果は、△以上であった。発明品の耐摩耗性試験の結果は、×を有さない点で、比較品と同等以上であった。また、すべての発明品の耐欠損性試験の結果は、◎または○であった。比較品の耐欠損性試験の結果は、△または×であった。この結果より、発明品は、比較品よりも、耐欠損性に優れることが分かる。この結果より、発明品の工具寿命が長くなっていることが分かる。この結果から分かるように、本発明によれば、被覆工具の耐摩耗性を低下させずに、耐欠損性を向上させることができた。
発明品21〜27および比較品11〜13を、次のように作製した。
基材として、ISO規格SEEN1203AGTNインサート形状のP10相当の超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表12および表13に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。実施例1と同様な製造方法により、表13、14および16に示す層構成の試料を作製した。
得られた試料の各層の平均厚さ、および、各層の組成を、実施例1と同様に測定した。それらの結果を、表12〜17に示す。また、得られた試料を用いて、実施例1と同じ切削試験1および切削試験2を行い、耐摩耗性および耐欠損性を評価した。その評価結果を、表18に示す。
切削試験1の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
11m以上 ◎
10.5m以上11未満 ○
10m以上10.5m未満 △
10m未満 ×
切削試験2の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
5m以上 ◎
4.5m以上5m未満 ○
4m以上4.5m未満 △
4m未満 ×
この評価の順位は、(優)◎>○>△>×(劣)である。◎または○の評価は、切削性能が優れることを意味する。得られた総合評価の結果を表18に示す。
表18の結果より、発明品の耐摩耗性試験の結果は、△であった。発明品の耐摩耗性試験の結果は、×を有さない点で、比較品と同等以上であった。また、すべての発明品の耐欠損性試験の結果は、◎であった。比較品の耐欠損性試験の結果は、△であった。この結果より、発明品は、比較品よりも、耐欠損性に優れることが分かる。この結果より、発明品の工具寿命が長くなっていることが分かる。この結果から分かるように、本発明によれば、被覆工具の耐摩耗性を低下させずに、耐欠損性を向上させることができた。
発明品28〜30を、次のように作製した。
基材として、ISO規格SEEN1203AGTNインサート形状のP10相当の超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表19に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。実施例1と同様な製造方法により、表20および表21に示す層構成の試料を作製した。
得られた試料の各層の平均厚さ、および、各層の組成を、実施例1と同様に測定した。それらの結果を、表19〜22に示す。また、得られた試料を用いて、実施例1と同じ切削試験1および切削試験2を行い、耐摩耗性および耐欠損性を評価した。その評価結果を、表23に示す。
切削試験1の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
11m以上 ◎
10.5m以上11未満 ○
10m以上10.5m未満 △
10m未満 ×
切削試験2の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
5m以上 ◎
4.5m以上5m未満 ○
4m以上4.5m未満 △
4m未満 ×
この評価の順位は、(優)◎>○>△>×(劣)である。◎または○の評価は、切削性能が優れることを意味する。得られた総合評価の結果を表23に示す。
表23の結果より、発明品の耐摩耗性試験の結果は、△であった。発明品の耐摩耗性試験の結果は、×を有していなかった。また、すべての発明品の耐欠損性試験の結果は、◎であった。この結果より、発明品は、耐欠損性に優れることが分かる。この結果より、発明品は、下部層および/または上部層を有するにもかかわらず、工具寿命が長くなっていることが分かる。この結果から分かるように、本発明によれば、被覆工具の耐摩耗性を低下させずに、耐欠損性を向上させることができる。
本発明によれば、被覆工具の耐摩耗性を低下させずに、耐欠損性を向上させることができる。本発明によれば、従来よりも工具寿命を延長できる。したがって、本発明の産業上の利用可能性は高い。
[符号の説明]
1 基材
2 被覆層
3a 基材側の、厚さが大きい第1積層構造
3b 表面側の、厚さが小さい第1積層構造
4a 基材側の、厚さが大きい第2積層構造
4b 表面側の、厚さが小さい第2積層構造
5a 基材側の、厚さが大きいA1層
5b 表面側の、厚さが小さいA1層
6a 基材側の、厚さが大きいB1層
6b 表面側の、厚さが小さいB1層
7a 基材側の、厚さが大きいA2層
7b 表面側の、厚さが小さいA2層
8a 基材側の、厚さが大きいB2層
8b 表面側の、厚さが小さいB2層

Claims (3)

  1. 基材と、
    前記基材の表面に形成された被覆層とを含み、
    前記被覆層は、第1積層構造と、第2積層構造とを含み、
    前記第1積層構造と、前記第2積層構造は、交互に2回以上連続して積層されており、
    前記第1積層構造は、組成が異なる2種類の層のみを含み、前記2種類の層は、交互に2回以上積層されており、
    前記第1積層構造に含まれる層の平均の厚みは、60nm以上250nm以下であり、
    前記第2積層構造は、組成が異なる2種類の層のみを含み、前記2種類の層は、交互に2回以上積層されており、
    前記第2積層構造に含まれる層の平均の厚みは、2nm以上55nm以下であり、
    前記第1積層構造に含まれる層および前記第2積層構造に含まれる層は、(M )Nと表記される化合物(ここで、MはAlであり、LはTiであり、aは0.33以上0.67以下であり、bは0.33以上0.67以下であり、a+b=1.00である。)のみを含み、
    前記第1積層構造に含まれる前記2種類の層と、前記第2積層構造に含まれる前記2種類の層は、組成が同一であり、
    前記第1積層構造および前記第2積層構造の平均厚さは、前記基材側から前記被覆層の表面側に向かって、連続的に減少しており、
    前記第1積層構造の平均厚さは、0.2μm以上6μm以下であり、
    前記第2積層構造の平均厚さは、0.02μm以上6μm以下であり、
    前記被覆層全体の平均の厚みは、0.22μm以上12μm以下であり、
    前記被覆層の表面に最も近い前記第1積層構造の平均厚さをTA1、前記基材に最も近い前記第1積層構造の平均厚さをTB1としたとき、TB1に対するTA1の割合は、5%以上50%以下であり、
    前記被覆層の表面に最も近い前記第2積層構造の平均厚さをTA2、前記基材に最も近い前記第2積層構造の平均厚さをTB2としたとき、TB2に対するTA2の割合は、5%以上50%以下である、被覆工具。
  2. 前記被覆層の表面に最も近い前記第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTC1、前記基材に最も近い前記第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTD1としたとき、TD1に対するTC1の割合は、12%以上70%以下である、請求項1に記載の被覆工具。
  3. 前記被覆層の表面に最も近い前記第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTC2、前記基材に最も近い前記第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTD2としたとき、TD2に対するTC2の割合は、5%以上70%以下である、請求項1または請求項2に記載の被覆工具。
JP2016510518A 2014-03-27 2015-03-27 被覆工具 Active JP6507376B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014064910 2014-03-27
JP2014064910 2014-03-27
PCT/JP2015/059553 WO2015147241A1 (ja) 2014-03-27 2015-03-27 被覆工具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2015147241A1 JPWO2015147241A1 (ja) 2017-04-13
JP6507376B2 true JP6507376B2 (ja) 2019-05-08

Family

ID=54195745

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016510518A Active JP6507376B2 (ja) 2014-03-27 2015-03-27 被覆工具

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10265775B2 (ja)
EP (1) EP3124146B1 (ja)
JP (1) JP6507376B2 (ja)
CN (1) CN106132603B (ja)
WO (1) WO2015147241A1 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6222675B2 (ja) 2016-03-28 2017-11-01 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具、およびその製造方法
KR102144241B1 (ko) 2016-10-25 2020-08-12 오에스지 가부시키가이샤 경질 피막 및 경질 피막 피복 부재
JP7083448B2 (ja) * 2017-01-07 2022-06-13 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6507399B2 (ja) * 2017-03-28 2019-05-08 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
DE112018003157T5 (de) * 2017-06-20 2020-03-05 Kyocera Corporation Beschichtetes werkzeug, schneidwerkzeug und verfahren zum herstellen eines maschinell bearbeiteten produkts
KR102064172B1 (ko) * 2017-09-01 2020-01-09 한국야금 주식회사 내마모성과 인성이 우수한 경질피막
WO2021070420A1 (ja) 2019-10-10 2021-04-15 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
CN114173972B (zh) * 2019-10-10 2024-05-14 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
CN114173974B (zh) 2019-10-10 2024-03-15 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
JP6855672B1 (ja) * 2019-10-10 2021-04-07 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
CN114173969B (zh) 2019-10-10 2024-09-13 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
JP7140163B2 (ja) * 2020-08-07 2022-09-21 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN115216726B (zh) * 2022-08-24 2023-11-14 烟台佳隆纳米产业有限公司 高性能薄膜材料及其制备方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3460287B2 (ja) 1994-01-21 2003-10-27 住友電気工業株式会社 耐摩耗性に優れた表面被覆部材
JP3849135B2 (ja) 2001-12-27 2006-11-22 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層が重切削条件で被削材に対して良好な食いつき性を示す表面被覆超硬合金製切削工具
CN101090789B (zh) * 2004-12-27 2010-08-25 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
NZ549470A (en) * 2006-08-28 2009-01-31 Fonterra Co Operative Group Dairy product and process
SE0602814L (sv) * 2006-12-27 2008-06-28 Sandvik Intellectual Property Skärverktyg med multiskiktbeläggning
CN101678466B (zh) * 2007-05-30 2012-05-30 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
US7947363B2 (en) 2007-12-14 2011-05-24 Kennametal Inc. Coated article with nanolayered coating scheme
JP5235607B2 (ja) * 2008-10-23 2013-07-10 京セラ株式会社 表面被覆工具
JP5395454B2 (ja) * 2009-02-17 2014-01-22 住友電気工業株式会社 表面被覆切削工具
JP5499650B2 (ja) * 2009-11-16 2014-05-21 三菱マテリアル株式会社 耐剥離性と耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具
JP2011104722A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Mitsubishi Materials Corp 耐欠損性、耐溶着性にすぐれたダイヤモンド被覆工具
WO2011095292A1 (en) * 2010-02-04 2011-08-11 Oerlikon Trading Ag, Trübbach CUTTING TOOLS WITH Al-Cr-B-N / Ti-Al-N MULTILAYER COATINGS
JP5531814B2 (ja) * 2010-06-24 2014-06-25 宇部興産機械株式会社 射出成形方法
EP2700460B1 (en) 2011-04-20 2018-11-07 Tungaloy Corporation Coated cutting tool
US8620218B2 (en) * 2011-06-29 2013-12-31 Broadcom Corporation Power harvesting and use in a near field communications (NFC) device
WO2014025057A1 (ja) * 2012-08-10 2014-02-13 株式会社タンガロイ 被覆工具

Also Published As

Publication number Publication date
EP3124146A1 (en) 2017-02-01
EP3124146A4 (en) 2017-11-01
WO2015147241A1 (ja) 2015-10-01
JPWO2015147241A1 (ja) 2017-04-13
US10265775B2 (en) 2019-04-23
EP3124146B1 (en) 2020-06-24
US20180071829A1 (en) 2018-03-15
CN106132603A (zh) 2016-11-16
CN106132603B (zh) 2018-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6507377B2 (ja) 被覆工具
JP6507376B2 (ja) 被覆工具
JP5817932B2 (ja) 被覆工具
KR102072466B1 (ko) 피복절삭공구
JP6507399B2 (ja) 被覆切削工具
WO2016013645A1 (ja) 被覆切削工具
JP6601694B2 (ja) 被覆切削工具
JP6601692B2 (ja) 被覆切削工具
JP2019025591A (ja) 被覆切削工具
JP6722410B2 (ja) ドリル
JP6491031B2 (ja) 積層型硬質皮膜および切削工具
US10583494B2 (en) Coated drill
JP7460967B2 (ja) 被覆切削工具
JP7459450B2 (ja) 被覆切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170704

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20170901

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171018

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180403

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180510

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20181023

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190116

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20190125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190219

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190304

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6507376

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250