JP6507376B2 - 被覆工具 - Google Patents
被覆工具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6507376B2 JP6507376B2 JP2016510518A JP2016510518A JP6507376B2 JP 6507376 B2 JP6507376 B2 JP 6507376B2 JP 2016510518 A JP2016510518 A JP 2016510518A JP 2016510518 A JP2016510518 A JP 2016510518A JP 6507376 B2 JP6507376 B2 JP 6507376B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- laminated structure
- average thickness
- layers
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 72
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 38
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 23
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 376
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 49
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 46
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 42
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 35
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 33
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 33
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 description 23
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 18
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 13
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 12
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 11
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 description 8
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 8
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000997 High-speed steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/44—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by a measurable physical property of the alternating layer or system, e.g. thickness, density, hardness
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
- B23B2228/10—Coatings
- B23B2228/105—Coatings with specified thickness
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
Description
(1)基材と、
前記基材の表面に形成された被覆層とを含み、
前記被覆層は、第1積層構造と、第2積層構造とを含み、
前記第1積層構造と、前記第2積層構造は、交互に2回以上連続して積層されており、
前記第1積層構造は、組成が異なる少なくとも2種類の層を含み、前記2種類の層は、交互に2回以上積層されており、
前記第1の積層構造に含まれる層の平均の厚みは、60nm以上500nm以下であり、
前記第2積層構造は、組成が異なる少なくとも2種類の層を含み、前記2種類の層は、交互に2回以上積層されており、
前記第2の積層構造に含まれる層の平均の厚みは、2nm以上60nm未満であり、
前記第1積層構造および前記第2積層構造に含まれる層は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Sr、Y、SnおよびBiからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素と、炭素、窒素、酸素および硼素からなる群から選択される少なくとも1種の非金属元素とを含む化合物を含み、
前記第1積層構造および/または前記第2積層構造の平均厚さは、前記基材側から前記被覆層の表面側に向かって、連続的または段階的に減少している、被覆工具。
(2)前記第1積層構造の平均厚さは、0.2μm以上6μm以下である、(1)の被覆工具。
(3)前記第2積層構造の平均厚さは、0.02μm以上6μm以下である、(1)または(2)の被覆工具。
(4)前記被覆層全体の平均の厚みは、0.22μm以上12μm以下である、(1)から(3)のいずれかの被覆工具。
(5)前記被覆層の表面に最も近い前記第1積層構造の平均厚さをTA1、前記基材に最も近い前記第1積層構造の平均厚さをTB1としたとき、TB1に対するTA1の割合は、5%以上50%以下である、(1)から(4)のいずれかの被覆工具。
(6)前記被覆層の表面に最も近い前記第2積層構造の平均厚さをTA2、前記基材に最も近い前記第2積層構造の平均厚さをTB2としたとき、TB2に対するTA2の割合は、5%以上50%以下である、(1)から(5)のいずれかの被覆工具。
(7)前記被覆層の表面に最も近い前記第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTC1、前記基材に最も近い前記第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTD1としたとき、TD1に対するTC1の割合は、12%以上70%以下である、(1)から(6)のいずれかの被覆工具。
(8)前記被覆層の表面に最も近い前記第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTC2、前記基材に最も近い前記第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTD2としたとき、TD2に対するTC2の割合は、5%以上70%以下である、(1)から(7)のいずれかの被覆工具。
(9)前記第1積層構造に含まれる層および前記第2積層構造に含まれる層は、Ti、Nb、Ta、Cr、W、Al、Si、SrおよびYからなる群から選択される少なくとも2種の金属元素と、炭素、窒素、酸素および硼素からなる群から選択される少なくとも1種の非金属元素とを含む化合物を含む、(1)から(8)のいずれかの被覆工具。
例えば、第1積層構造が、(Al0.55Ti0.45)N層と、(Al0.67Ti0.33)N層によって構成される場合、2つの層に含まれる金属元素の種類は同一である。なぜなら、2つの層は、ともにAlとTiを含むからである。この場合、(Al0.55Ti0.45)N層に含まれるAlの原子数は、金属元素全体の原子数に対して、55原子%である。(Al0.67Ti0.33)N層に含まれるAlの原子数は、金属元素全体の原子数に対して、67原子%である。これら二つの層におけるAlの原子数の割合の差は、12原子%である。したがって、この場合、「差の絶対値が5原子%以上」という上記の条件が満たされている。
例えば、第1積層構造が、(Al0.49Ti0.39Cr0.12)N層と、(Al0.56Ti0.36Cr0.08)N層によって構成される場合、2つの層に含まれる金属元素の種類は同一である。なぜなら、2つの層は、ともにAlとTiとCrを含むからである。この場合、2つの層に含まれるTiの原子数の割合の差は、3原子%である。2つの層に含まれるCrの原子数の割合の差は、4原子%である。これらの値は、それぞれ5原子%未満である。しかし、この場合であっても、2つの層に含まれるAlの原子数の割合の差は、7原子%であるので、「差の絶対値が5原子%以上」という上記の条件が満たされている。
例えば、第1積層構造が、(Al0.50Ti0.50)N層と、(Al0.50Ti0.30Cr0.20)N層によって構成される場合、2つの層に含まれる金属元素を比較すると、この条件が満たされている。なぜなら、2つの層は、AlとTiを含むが、Crは一方の層のみに含まれているからである。
例えば、第1積層構造が、(Al0.50Cr0.50)N層と、(Al0.67Ti0.33)N層によって構成される場合も、2つの層に含まれる金属元素を比較すると、この条件が満たされている。なぜなら、2つの層は、Alを含むが、CrおよびTiは、一方の層のみに含まれているからである。
図1は、本発明の被覆工具の断面組織の模式図の一例である。以下、図1を参照して、積層周期について説明する。
例えば、組成が異なるA1層、B1層、C1層、およびD1層を、基材(1)から被覆層(2)の表面に向かって繰り返し積層する。具体的には、これらの層を、A1層→B1層→C1層→D1層→A1層→B1層→C1層→D1層→…の順で積層する。この場合、A1層からD1層までの厚みの合計が、「積層周期」である。
例えば、組成が異なるA1層とB1層を、基材(1)から被覆層(2)の表面に向かって繰り返し積層する。具体的には、これらの層を、A1層→B1層→A1層→B1層→A1層→B1層→…の順で積層する。この場合、A1層の厚みとB1層の厚みの合計が、「積層周期」である。
被覆工具の使用中に被覆層の表面に発生したクラックは、第1積層構造に到達する。第1積層構造に到達したクラックは、組成の異なる層と層との界面に平行な方向に進展する。これにより、クラックが基材まで進展することを防止する効果が得られる。このような効果は、組成が異なる2つの層を交互に2回以上積層することによって、さらに高くなる。具体的には、組成が異なるA1層とB1層を、基材から被覆層の表面に向かって、交互に2回以上積層することが好ましい。つまり、第1積層構造は、A1層→B1層→A1層→B1層→…のような交互積層構造を含むことが好ましい。
例えば、図1において、組成が異なるA2層、B2層、C2層、D2層を、基材(1)から被覆層(2)の表面に向かって繰り返し積層する。具体的には、これらの層を、A2層→B2層→C2層→D2層→A2層→B2層→C2層→D2層→…の順で積層する。この場合、A2層からD2層までの厚みの合計が、「積層周期」である。
例えば、組成が異なるA2層とB2層を、基材(1)から被覆層(2)の表面に向かって繰り返し積層する。具体的には、これらの層を、A2層→B2層→A2層→B2層→A2層→B2層→…の順で積層する。この場合、A2層の厚みとB2層の厚みの合計が、「積層周期」である。
第1積層構造と第2積層構造の位置関係は、特に限定されない。第1積層構造と第2積層構造の位置関係は、例えば、以下の(1)〜(4)のいずれかである。
(1)第1積層構造が基材に最も近く、第2積層構造が被覆層の表面に最も近い。
(2)第2積層構造が基材に最も近く、第1積層構造が被覆層の表面に最も近い。
(3)第1積層構造が、基材に最も近く、かつ、被覆層の表面に最も近い。
(4)第2積層構造が、基材に最も近く、かつ、被覆層の表面に最も近い。
上記(1)〜(4)において、「被覆層の表面」とは、被覆層の基材と反対側の表面のことを意味する。
上記の位置関係の中では、(1)が好ましい。第1積層構造と第2積層構造の位置関係が上記(1)である場合、第2積層構造の残留圧縮応力よりも第1積層構造の残留圧縮応力の方が低くなるため、被覆層の耐剥離性が向上する傾向があるからである。
被覆層の表面側において、第1積層構造および/または第2積層構造の平均厚さが減少することにより、第1積層構造と第2積層構造との界面の間隔が短くなる。第1積層構造と第2積層構造との界面の間隔が短くなると、クラックが第1積層構造と第2積層構造との界面と平行な方向に進展しやすくなる。その結果、クラックが基材まで進展することを抑制する効果が得られるとともに、耐欠損性が向上する。そのため、第1積層構造および第2積層構造のいずれか一方の平均厚さを薄くすると、耐欠損性が向上する。第1積層構造および第2積層構造の両方の平均厚さを薄くすると、さらに耐欠損性が向上する。
なお、「第1積層構造に含まれる層の平均厚さ」は、以下のように求められる値である。
例えば、A1層→B1層→A1層→B1層→A1層→B1層→…のように、A1層およびB1層をこの順番で100回繰り返し積層した場合、100回繰り返される積層周期の合計を求める。つぎに、積層周期の合計を、繰り返した回数である100で割った値を求める。この値が、「第1積層構造に含まれる層の平均厚さ」である。つまり、第1積層構造が「A1層→B1層→A1層→B1層→A1層→B1層→…」である場合、「A1層→B1層」の平均厚さが、「第1積層構造に含まれる層の平均厚さ」である。
なお、「第2積層構造に含まれる層の平均厚さ」は、以下のように求められる値である。
例えば、A2層→B2層→A2層→B2層→A2層→B2層→…のように、A2層およびB2層をこの順番で100回繰り返し積層した場合、100回繰り返される積層周期の合計を求める。つぎに、積層周期の合計を、繰り返した回数である100で割った値を求める。この値が、「第2積層構造に含まれる層の平均厚さ」である。つまり、第2積層構造が「A2層→B2層→A2層→B2層→A2層→B2層→…」である場合、「A2層→B2層」の平均厚さが、「第2積層構造に含まれる層の平均厚さ」である。
本発明の被覆工具の製造方法は、例えば、以下の通りである。
被覆層を構成する各層の平均厚さおよび各積層構造の平均厚さは、次のように求めることができる。
金属蒸発源に対向する面の刃先から、当該面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、被覆工具の断面を、3箇所以上で観察する。この観察した断面から、各層の厚さおよび各積層構造の厚さを測定する。測定した厚さの平均値を計算することによって、平均厚さを求めることができる。
比較品6の単層は、基材に−50Vのバイアス電圧を印加して、アーク電流200Aのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させて形成した。
被覆工具の金属蒸発源に対向する面の刃先から当該面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、3箇所の断面をTEMで観察した。各層の厚さ、および、各積層構造の厚さを測定し、測定した厚さの平均値を計算した。
得られた試料の各層の組成は、次のように求めた。
被覆工具の金属蒸発源に対向する面の刃先から当該面の中心部に向かって50μmの位置の断面において、EDSを用いて組成を測定した。
これらの測定結果も、表1〜4に示す。
なお、表1〜4の各層の金属元素の組成比は、各層を構成する金属化合物における金属元素全体に対する各金属元素の原子比を示す。
被削材:SCM440、
被削材形状:105mm×220mm×60mmの直方体(但し、正面フライス加工を行う直方体の105mm×220mmの面に、直径φ40mmの穴が6箇所開けられている。)
切削速度:260m/min、
送り:0.4mm/tooth、
切り込み:2.0mm、
切削幅:105mm、
クーラント:無し、
カッター有効径:φ125mm、
評価項目:試料が欠損(試料の切れ刃部に欠けが生じる)するまでを工具寿命とした。試料が欠損するまでの加工長を測定した。
被削材:SCM440、
被削材形状:105mm×220mm×60mmの直方体、
切削速度:260m/min、
送り:0.12mm/tooth、
切り込み:2.0mm、
切削幅:50mm、
クーラント:無し、
カッター有効径:φ100mm、
評価項目:最大逃げ面摩耗幅が0.2mmに至るまでを工具寿命とした。最大逃げ面摩耗幅が0.2mmに至るまでの加工長を測定した。
11m以上 ◎
10.5m以上11未満 ○
10m以上10.5m未満 △
10m未満 ×
切削試験2の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
5m以上 ◎
4.5m以上5m未満 ○
4m以上4.5m未満 △
4m未満 ×
この評価の順位は、(優)◎>○>△>×(劣)である。◎または○の評価は、切削性能が優れることを意味する。得られた総合評価の結果を表6に示す。
アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表7に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。反応容器内に、N2ガスとCH4ガスの混合ガスを導入した。混合ガス中のN2ガスとCH4ガスの分圧比は、N2:CH4=1:1である。反応容器内の圧力は、2.7Paである。反応容器内の雰囲気をこのように設定した以外は、実施例1と同様に、各層を形成し、表8および9に示す層構成の試料を作製した。
アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表7に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。酸化物層を形成するときには、反応容器内にO2ガスを導入し、反応容器内の圧力を2.7Paに制御した。その後、窒化物層を形成するときには、反応容器内からO2ガスを排気し、反応容器内にN2ガスを導入し、反応容器内の圧力を2.7Paに制御した。反応容器内の雰囲気をこのように設定した以外は、実施例1と同様に、表8および9に示す層構成の試料を作製した。
11m以上 ◎
10.5m以上11未満 ○
10m以上10.5m未満 △
10m未満 ×
切削試験2の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
5m以上 ◎
4.5m以上5m未満 ○
4m以上4.5m未満 △
4m未満 ×
この評価の順位は、(優)◎>○>△>×(劣)である。◎または○の評価は、切削性能が優れることを意味する。得られた総合評価の結果を表11に示す。
基材として、ISO規格SEEN1203AGTNインサート形状のP10相当の超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表12および表13に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。実施例1と同様な製造方法により、表13、14および16に示す層構成の試料を作製した。
11m以上 ◎
10.5m以上11未満 ○
10m以上10.5m未満 △
10m未満 ×
切削試験2の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
5m以上 ◎
4.5m以上5m未満 ○
4m以上4.5m未満 △
4m未満 ×
この評価の順位は、(優)◎>○>△>×(劣)である。◎または○の評価は、切削性能が優れることを意味する。得られた総合評価の結果を表18に示す。
基材として、ISO規格SEEN1203AGTNインサート形状のP10相当の超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表19に示す各層の組成になる金属蒸発源を配置した。実施例1と同様な製造方法により、表20および表21に示す層構成の試料を作製した。
11m以上 ◎
10.5m以上11未満 ○
10m以上10.5m未満 △
10m未満 ×
切削試験2の工具寿命に至るまでの加工長の評価基準は、次の通りである。
5m以上 ◎
4.5m以上5m未満 ○
4m以上4.5m未満 △
4m未満 ×
この評価の順位は、(優)◎>○>△>×(劣)である。◎または○の評価は、切削性能が優れることを意味する。得られた総合評価の結果を表23に示す。
1 基材
2 被覆層
3a 基材側の、厚さが大きい第1積層構造
3b 表面側の、厚さが小さい第1積層構造
4a 基材側の、厚さが大きい第2積層構造
4b 表面側の、厚さが小さい第2積層構造
5a 基材側の、厚さが大きいA1層
5b 表面側の、厚さが小さいA1層
6a 基材側の、厚さが大きいB1層
6b 表面側の、厚さが小さいB1層
7a 基材側の、厚さが大きいA2層
7b 表面側の、厚さが小さいA2層
8a 基材側の、厚さが大きいB2層
8b 表面側の、厚さが小さいB2層
Claims (3)
- 基材と、
前記基材の表面に形成された被覆層とを含み、
前記被覆層は、第1積層構造と、第2積層構造とを含み、
前記第1積層構造と、前記第2積層構造は、交互に2回以上連続して積層されており、
前記第1積層構造は、組成が異なる2種類の層のみを含み、前記2種類の層は、交互に2回以上積層されており、
前記第1積層構造に含まれる層の平均の厚みは、60nm以上250nm以下であり、
前記第2積層構造は、組成が異なる2種類の層のみを含み、前記2種類の層は、交互に2回以上積層されており、
前記第2積層構造に含まれる層の平均の厚みは、2nm以上55nm以下であり、
前記第1積層構造に含まれる層および前記第2積層構造に含まれる層は、(M a L b )Nと表記される化合物(ここで、MはAlであり、LはTiであり、aは0.33以上0.67以下であり、bは0.33以上0.67以下であり、a+b=1.00である。)のみを含み、
前記第1積層構造に含まれる前記2種類の層と、前記第2積層構造に含まれる前記2種類の層は、組成が同一であり、
前記第1積層構造および前記第2積層構造の平均厚さは、前記基材側から前記被覆層の表面側に向かって、連続的に減少しており、
前記第1積層構造の平均厚さは、0.2μm以上6μm以下であり、
前記第2積層構造の平均厚さは、0.02μm以上6μm以下であり、
前記被覆層全体の平均の厚みは、0.22μm以上12μm以下であり、
前記被覆層の表面に最も近い前記第1積層構造の平均厚さをTA1、前記基材に最も近い前記第1積層構造の平均厚さをTB1としたとき、TB1に対するTA1の割合は、5%以上50%以下であり、
前記被覆層の表面に最も近い前記第2積層構造の平均厚さをTA2、前記基材に最も近い前記第2積層構造の平均厚さをTB2としたとき、TB2に対するTA2の割合は、5%以上50%以下である、被覆工具。 - 前記被覆層の表面に最も近い前記第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTC1、前記基材に最も近い前記第1積層構造に含まれる層の平均厚さをTD1としたとき、TD1に対するTC1の割合は、12%以上70%以下である、請求項1に記載の被覆工具。
- 前記被覆層の表面に最も近い前記第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTC2、前記基材に最も近い前記第2積層構造に含まれる層の平均厚さをTD2としたとき、TD2に対するTC2の割合は、5%以上70%以下である、請求項1または請求項2に記載の被覆工具。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014064910 | 2014-03-27 | ||
JP2014064910 | 2014-03-27 | ||
PCT/JP2015/059553 WO2015147241A1 (ja) | 2014-03-27 | 2015-03-27 | 被覆工具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015147241A1 JPWO2015147241A1 (ja) | 2017-04-13 |
JP6507376B2 true JP6507376B2 (ja) | 2019-05-08 |
Family
ID=54195745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016510518A Active JP6507376B2 (ja) | 2014-03-27 | 2015-03-27 | 被覆工具 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10265775B2 (ja) |
EP (1) | EP3124146B1 (ja) |
JP (1) | JP6507376B2 (ja) |
CN (1) | CN106132603B (ja) |
WO (1) | WO2015147241A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6222675B2 (ja) | 2016-03-28 | 2017-11-01 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具、およびその製造方法 |
KR102144241B1 (ko) | 2016-10-25 | 2020-08-12 | 오에스지 가부시키가이샤 | 경질 피막 및 경질 피막 피복 부재 |
JP7083448B2 (ja) * | 2017-01-07 | 2022-06-13 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
JP6507399B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2019-05-08 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
DE112018003157T5 (de) * | 2017-06-20 | 2020-03-05 | Kyocera Corporation | Beschichtetes werkzeug, schneidwerkzeug und verfahren zum herstellen eines maschinell bearbeiteten produkts |
KR102064172B1 (ko) * | 2017-09-01 | 2020-01-09 | 한국야금 주식회사 | 내마모성과 인성이 우수한 경질피막 |
WO2021070420A1 (ja) | 2019-10-10 | 2021-04-15 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
CN114173972B (zh) * | 2019-10-10 | 2024-05-14 | 住友电工硬质合金株式会社 | 切削工具 |
CN114173974B (zh) | 2019-10-10 | 2024-03-15 | 住友电工硬质合金株式会社 | 切削工具 |
JP6855672B1 (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-07 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
CN114173969B (zh) | 2019-10-10 | 2024-09-13 | 住友电工硬质合金株式会社 | 切削工具 |
JP7140163B2 (ja) * | 2020-08-07 | 2022-09-21 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
CN115216726B (zh) * | 2022-08-24 | 2023-11-14 | 烟台佳隆纳米产业有限公司 | 高性能薄膜材料及其制备方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3460287B2 (ja) | 1994-01-21 | 2003-10-27 | 住友電気工業株式会社 | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 |
JP3849135B2 (ja) | 2001-12-27 | 2006-11-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が重切削条件で被削材に対して良好な食いつき性を示す表面被覆超硬合金製切削工具 |
CN101090789B (zh) * | 2004-12-27 | 2010-08-25 | 住友电工硬质合金株式会社 | 表面被覆切削工具 |
NZ549470A (en) * | 2006-08-28 | 2009-01-31 | Fonterra Co Operative Group | Dairy product and process |
SE0602814L (sv) * | 2006-12-27 | 2008-06-28 | Sandvik Intellectual Property | Skärverktyg med multiskiktbeläggning |
CN101678466B (zh) * | 2007-05-30 | 2012-05-30 | 住友电工硬质合金株式会社 | 表面被覆切削工具 |
US7947363B2 (en) | 2007-12-14 | 2011-05-24 | Kennametal Inc. | Coated article with nanolayered coating scheme |
JP5235607B2 (ja) * | 2008-10-23 | 2013-07-10 | 京セラ株式会社 | 表面被覆工具 |
JP5395454B2 (ja) * | 2009-02-17 | 2014-01-22 | 住友電気工業株式会社 | 表面被覆切削工具 |
JP5499650B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2014-05-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐剥離性と耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具 |
JP2011104722A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Mitsubishi Materials Corp | 耐欠損性、耐溶着性にすぐれたダイヤモンド被覆工具 |
WO2011095292A1 (en) * | 2010-02-04 | 2011-08-11 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | CUTTING TOOLS WITH Al-Cr-B-N / Ti-Al-N MULTILAYER COATINGS |
JP5531814B2 (ja) * | 2010-06-24 | 2014-06-25 | 宇部興産機械株式会社 | 射出成形方法 |
EP2700460B1 (en) | 2011-04-20 | 2018-11-07 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
US8620218B2 (en) * | 2011-06-29 | 2013-12-31 | Broadcom Corporation | Power harvesting and use in a near field communications (NFC) device |
WO2014025057A1 (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-13 | 株式会社タンガロイ | 被覆工具 |
-
2015
- 2015-03-27 US US15/128,662 patent/US10265775B2/en active Active
- 2015-03-27 WO PCT/JP2015/059553 patent/WO2015147241A1/ja active Application Filing
- 2015-03-27 JP JP2016510518A patent/JP6507376B2/ja active Active
- 2015-03-27 CN CN201580016214.0A patent/CN106132603B/zh active Active
- 2015-03-27 EP EP15768527.2A patent/EP3124146B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3124146A1 (en) | 2017-02-01 |
EP3124146A4 (en) | 2017-11-01 |
WO2015147241A1 (ja) | 2015-10-01 |
JPWO2015147241A1 (ja) | 2017-04-13 |
US10265775B2 (en) | 2019-04-23 |
EP3124146B1 (en) | 2020-06-24 |
US20180071829A1 (en) | 2018-03-15 |
CN106132603A (zh) | 2016-11-16 |
CN106132603B (zh) | 2018-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6507377B2 (ja) | 被覆工具 | |
JP6507376B2 (ja) | 被覆工具 | |
JP5817932B2 (ja) | 被覆工具 | |
KR102072466B1 (ko) | 피복절삭공구 | |
JP6507399B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
WO2016013645A1 (ja) | 被覆切削工具 | |
JP6601694B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
JP6601692B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
JP2019025591A (ja) | 被覆切削工具 | |
JP6722410B2 (ja) | ドリル | |
JP6491031B2 (ja) | 積層型硬質皮膜および切削工具 | |
US10583494B2 (en) | Coated drill | |
JP7460967B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
JP7459450B2 (ja) | 被覆切削工具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170704 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180403 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180510 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190116 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190304 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6507376 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |