JP6507028B2 - エレクトロスプレー装置 - Google Patents
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Description
また、第2部分は、第1部分の先端から突出しているとともに、第2部分の先端部は、先端に向かって先細りの円錐形状に形成されており、円錐形状の先端部の、円錐の頂点と底面の円周とを結ぶ母線の延長線上に、第1部分の先端が配置されるように構成されている。これにより、第1部分の先端と第2部分の先端とに連続するようにテーラーコーンを形成することができるとともに、第2部分の先端部の形状(円錐形状)に沿うようにテーラーコーンを形成することができる。その結果、テーラーコーンの形状の安定化を図ることができるので、塗布された薄膜の膜厚にばらつき(ムラ)が生じることをより抑制することができる。
(エレクトロスプレー装置の構成)
図1〜図5を参照して、第1実施形態によるエレクトロスプレー装置100の構成について説明する。
次に、第1実施形態の効果について説明する。
(エレクトロスプレー装置の構成)
次に、図6〜図9を参照して、第2実施形態によるエレクトロスプレー装置110の構成について説明する。第2実施形態では、ノズル10に、中が空洞でない第2部分12が設けられていた上記第1実施形態と異なり、第2部分42は、中が空洞の円筒形状を有している。
次に、第2実施形態の効果について説明する。
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
11、41 第1部分
11a、41a (第1部分の)内側面
11d (第1部分の)先端
12、42 第2部分
12a、42a (第2部分の)外側面
12b 第2部分の先端部
12d 母線
41d (第1部分の)先端
42c (第2部分の)先端
43 第1流路
44 第2流路
100、110 エレクトロスプレー装置
200 基板
A1 (母線の)延長線
A2 中心軸線
B1、B2 (正三角形の)辺
B11、B12 (辺の)延長線
d1、d2 (第1部分の内側面と第2部分の外側面との間の)間隔
r1、r3 (第1部分の)内径
Claims (3)
- ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積させるエレクトロスプレー装置であって、
溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧する前記ノズルを備え、
前記ノズルは、前記ノズルが延びる方向に沿って内径が略一定である円筒形状を有し電圧が印加される第1部分と、前記第1部分の内側に配置されるとともに電圧が印加される第2部分とを含み、
前記第2部分は、前記第1部分の先端から突出しているとともに、前記第2部分の先端部は、先端に向かって先細りの円錐形状に形成されており、
前記円錐形状の先端部の、円錐の頂点と底面の円周とを結ぶ母線の延長線上に、前記第1部分の先端が配置されるように構成されている、エレクトロスプレー装置。 - 前記第1部分と前記第2部分とは、前記第1部分の内側面と前記第2部分の外側面との間の間隔が、前記ノズルが延びる方向に沿って略一定になるように、互いに平行に配置されている、請求項1に記載のエレクトロスプレー装置。
- ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積させるエレクトロスプレー装置であって、
溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧する前記ノズルを備え、
前記ノズルは、前記ノズルが延びる方向に沿って内径が略一定である円筒形状を有し電圧が印加される第1部分と、前記第1部分の内側に配置されるとともに電圧が印加される第2部分とを含み、
前記第2部分は、円筒形状を有し、
前記ノズルは、前記第1部分の内側面と前記円筒形状を有する第2部分の外側面との間に形成される前記溶液材料が流れる第1流路と、前記円筒形状を有する第2部分の内側に形成される前記溶液材料が流れる第2流路とを含み、
前記第2部分は、前記第1部分の先端から突出しており、
前記第1部分の先端と前記第2部分の先端とは、前記第1部分および前記第2部分の中心を通る前記第1部分および前記第2部分が延びる方向に沿った中心軸線上に頂点が位置する正三角形の、前記頂点から延びる2つの辺の延長線上に配置されている、エレクトロスプレー装置。
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JP2015103353A JP6507028B2 (ja) | 2015-05-21 | 2015-05-21 | エレクトロスプレー装置 |
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- 2015-05-21 JP JP2015103353A patent/JP6507028B2/ja not_active Expired - Fee Related
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