JP6502019B2 - 有機el素子用薄膜の評価方法及び有機el素子用薄膜の成膜装置 - Google Patents
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Description
噴霧ノズルとして、ノズル径が30μmのものを使用した。電流計として、極めて微小な電流を検出できるエレクトロメータ(KEITHLEY社製 6514型)を使用した。送液装置として、送液ポンプ(KDS社製 モデル100型)を使用した。また、有機層の成膜は、温湿度が管理調整された環境制御装置内で行った。
有機EL素子用薄膜材料としてN,N’-bis(3-methylphenyl)-N,N’-bis(phenyl)-benzidineを用いた。溶媒としてジクロロメタン、ジメチルホルムアミドを用いた。また、ガラス板として100mm角のものを使用した。
電圧印加部への印加電圧を3kVから15kVの範囲内で変化させ、印加電圧と電荷量の関係を測定した。なお、送液ポンプの設定流量は4μl/minとした。
電圧印加部への印加電圧を3kVから15kVの範囲内で変化させた場合の電荷量の変化について、送液ポンプの設定流量を1μl/min、4μl/min、16μl/minと変更した場合による違いを測定した。
送液ポンプの設定流量は、3μl/minとした。電圧印加部への印加電圧は8kVとした。噴霧ノズルからの噴霧時間は4秒間とした。エレクトロメータでは、10ミリ秒当たりの電荷量を都度測定した。
上記(1)の測定の結果、図2に示すグラフが得られた。図2では、横軸が印加電圧(kV)を示し、縦軸が電荷量(nC(ナノクーロン))を示している。図2に示すように、印加電圧が3kVから9kVの範囲内では電荷量が一次関数的に増加する比例関係が見られたが、印加電圧が9kVから15kVの範囲内では電荷量が二次関数的に増加する比例関係が見られた。
上記(3)の測定の結果から、成膜開始直後(成膜を開始して約900ミリ秒後までの間)は噴霧状態が安定していないものの、成膜を開始して約900ミリ秒後の時点から成膜終了までの間は、付着量の経時変化が略一定であると評価でき、噴霧状態が安定していることを間接的に確認することができた。またその結果、成膜された有機EL素子用薄膜の膜厚の均一性が安定していると評価することもできた。
10…成膜部
12…液供給部
14…接続チューブ
16…電圧印加部
18…噴霧ノズル
20…被成膜部
22…ステージ
24…架台部
26…脚部
30…電圧供給部
32…高圧電源
40…測定部
42…電流計
44…表示部
50…ガラス板
52…透明電極
C…制御装置
D…帯電された液滴
G…接地部
TF…有機EL素子用薄膜
Claims (2)
- 接地部に接地され、有機EL素子用薄膜を形成する基板を載置するためのステージと、前記有機EL素子用薄膜の材料が供給される噴霧ノズルと、前記接地部と前記噴霧ノズルとの間に電圧を印加する電圧印加部と、前記ステージと前記接地部との間に流れる電荷量を測定する測定装置とを備え、前記電圧印加部によって供給される電荷によって前記噴霧ノズルから吐出される液滴を霧化しつつ前記基板側に静電気力によって前記有機EL素子用薄膜用材料の液滴を搬送するエレクトロスプレー法の成膜装置によって有機EL素子用薄膜を製造する方法であって、前記基板を前記ステージ上に載置する載置工程と、前記噴霧ノズルから有機EL素子用薄膜材料を含む帯電された液滴を前記基板上に噴霧して該基板上に有機EL素子用薄膜を成膜する成膜工程とを備え、
前記成膜工程では、前記基板の両面間を導通させる導通部を設けた状態で前記測定装置によって測定された電荷量に基づいて前記噴霧ノズルへの前記有機EL素子用薄膜材料の供給量を制御することを特徴とする有機EL素子用薄膜の製造方法。 - 接地部に接地され、有機EL素子用薄膜を形成する基板を載置するためのステージと、前記有機EL素子用薄膜の材料が供給される噴霧ノズルと、前記接地部と前記噴霧ノズルとの間に電圧を印加する電圧印加部とを備え、前記電圧印加部によって供給される電荷によって前記噴霧ノズルから吐出される液滴を霧化しつつ前記基板側に静電気力によって前記有機EL素子用薄膜用材料の液滴を搬送するエレクトロスプレー法の成膜装置において、前記ステージと前記接地部との間に流れる電荷量を測定する測定装置と、前記噴霧ノズルへの前記有機EL素子用薄膜材料の供給量を制御する制御装置とを設け、前記基板の両面間を導通させる導通部を設けた状態で前記測定装置によって測定した電荷量に基づいて前記制御装置により前記有機EL素子用薄膜材料の供給量を制御する有機EL素子用薄膜の成膜装置。
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