JP6501683B2 - Method of processing laminated wafer - Google Patents
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Description
本発明は、複数のウェーハを重ねて接合した積層ウェーハの加工方法に関する。 The present invention relates to a method of processing a laminated wafer in which a plurality of wafers are stacked and bonded.
近年、電子機器の更なる小型化、軽量化等を目的として、複数の半導体チップを厚み方向に重ねた積層型のデバイスチップが生産されている。積層型のデバイスチップは、例えば、分割予定ライン(ストリート)で区画された複数の領域のそれぞれにデバイスを備える複数のウェーハを重ねて積層ウェーハを形成した後、この分割予定ラインに沿って積層ウェーハを分割することで得られる。 BACKGROUND In recent years, for the purpose of further reducing the size and weight of electronic devices, laminated device chips in which a plurality of semiconductor chips are stacked in the thickness direction have been produced. For example, after stacking a plurality of wafers provided with devices on each of a plurality of areas partitioned by a planned dividing line (street) to form a laminated wafer, for example, the laminated type device chip is laminated along this planned dividing line It is obtained by dividing
積層ウェーハを形成する際には、例えば、それぞれのデバイスの位置を合致させるように複数のウェーハを重ねて、樹脂等からなる接着層(接合層)でウェーハ同士を接合する(例えば、特許文献1参照)。ところが、この方法では、積層ウェーハの外周部で必ずしもウェーハ同士を十分に接合できず、ウェーハとウェーハとの間に隙間ができてしまうことがあった。 When forming a laminated wafer, for example, a plurality of wafers are stacked so as to match the positions of the respective devices, and the wafers are bonded with an adhesive layer (bonding layer) made of resin or the like (for example, Patent Document 1) reference). However, in this method, the wafers can not always be bonded sufficiently at the outer peripheral portion of the laminated wafer, and a gap may be formed between the wafers.
外周部に隙間のある上述のような積層ウェーハを、例えば、切削ブレード等で切断して分割すると、外周部から切り離された端材が飛散して装置等を破損させる可能性が高い。そこで、積層ウェーハを分割する前に、積層ウェーハの外周部を切削(又は研削)して除去する加工方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。 For example, when the laminated wafer as described above having a gap in the outer peripheral portion is cut and divided by a cutting blade or the like, there is a high possibility that an end material separated from the outer peripheral portion may be scattered to damage an apparatus or the like. Therefore, there has been proposed a processing method of cutting (or grinding) and removing the outer peripheral portion of the laminated wafer before dividing the laminated wafer (see, for example, Patent Document 2).
ところで、上述のような積層ウェーハを形成する際には、金錫(合金)等の金属でなる接着層が用いられることもある。積層ウェーハの外周部を除去する際には、接着層にまで切削ブレード等を切り込ませる必要があるので、この場合には、接着層中の金属による目詰まりを抑制するために、砥粒の粒径が大きい切削ブレード等を用いなくてはならない。 By the way, when forming the above-mentioned laminated wafer, the adhesion layer which consists of metals, such as gold tin (alloy), may be used. When removing the outer peripheral portion of the laminated wafer, it is necessary to cut the cutting blade or the like down to the adhesive layer. In this case, in order to suppress clogging by the metal in the adhesive layer, It is necessary to use a cutting blade or the like with a large particle size.
一方で、小型化、軽量化等の要請から、積層ウェーハ中のウェーハが薄く加工されている場合もある。しかしながら、砥粒の粒径が大きい切削ブレードで薄いウェーハを切削すると、ウェーハが欠け易い。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードの目詰まりを抑制しながらウェーハの欠けを防止できる積層ウェーハの加工方法を提供することである。 On the other hand, there is also a case where the wafer in the laminated wafer is processed to be thin due to demands for downsizing and weight reduction. However, when a thin wafer is cut with a cutting blade having a large abrasive grain size, the wafer is easily chipped. The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a method of processing a laminated wafer capable of preventing chipping of the wafer while suppressing clogging of the cutting blade.
本発明によれば、第1ウェーハと該第1ウェーハより厚い第2ウェーハとを金属からなる接着層で接合した積層ウェーハに切削ブレードを切り込ませて、該第1ウェーハの該接着層より外側の外周余剰部を該接着層の一部とともに除去する積層ウェーハの加工方法であって、第1切削ブレードを該接着層の外周に対応する領域より内側で該第1ウェーハに切り込ませつつ該積層ウェーハを回転させて、該第1ウェーハを切断しない深さの環状の切削溝を形成する切削溝形成ステップと、該切削溝形成ステップを実施した後、該第1切削ブレードに含まれる砥粒よりも粒径の大きい砥粒を含む第2切削ブレードを該切削溝の内周より外側の領域で該第1ウェーハ側から該第2ウェーハまで切り込ませつつ該積層ウェーハを回転させて、該第1ウェーハの該外周余剰部を該接着層の一部とともに除去する除去ステップと、を具備したことを特徴とする積層ウェーハの加工方法が提供される。 According to the present invention, a cutting blade is cut into a laminated wafer in which a first wafer and a second wafer thicker than the first wafer are joined by an adhesive layer made of metal, and the outer side of the adhesive layer of the first wafer is cut. A method of processing a laminated wafer in which an outer peripheral surplus portion of the adhesive layer is removed together with a part of the adhesive layer, the first cutting blade being cut into the first wafer inside a region corresponding to the outer periphery of the adhesive layer. A cutting groove forming step of rotating a laminated wafer to form an annular cutting groove having a depth not cutting the first wafer, and an abrasive grain contained in the first cutting blade after performing the cutting groove forming step The laminated wafer is rotated while a second cutting blade including abrasive grains having a larger particle size than the first wafer side is cut from the first wafer side to the second wafer in a region outside the inner periphery of the cutting groove. 1st c A removal step of removing the outer peripheral excess portion of Doha together with a part of the adhesive layer, the processing method of a multilayer wafer, characterized in that it comprises a are provided.
本発明に係る積層ウェーハの加工方法では、砥粒の粒径が相対的に小さい第1切削ブレードで第2ウェーハより薄い第1ウェーハに切削溝を形成してから、砥粒の粒径が相対的に大きい第2切削ブレードで第1ウェーハの外周余剰部を接着層の一部とともに除去する。つまり、砥粒の粒径が相対的に小さい第1切削ブレードによる切削で切削溝を形成するので、その際に第1ウェーハは欠け難くなる。 In the method of processing a laminated wafer according to the present invention, after the cutting groove is formed on the first wafer thinner than the second wafer by the first cutting blade having a relatively small particle size of the abrasive grains, the particle size of the abrasive grains is relative The peripheral surplus portion of the first wafer is removed together with a part of the adhesive layer by the second cutting blade which is extremely large. That is, since the cutting grooves are formed by cutting with the first cutting blade having a relatively small particle diameter of the abrasive grains, the first wafer is not easily chipped at that time.
また、砥粒の粒径が相対的に大きい第2切削ブレードによる切削で第1ウェーハの外周余剰部にクラックが発生したとしても、このクラックは切削溝で止まって内側に伸展しないので、外周余剰部を接着層の一部とともに除去する際にも、第1ウェーハは欠け難くなる。 Further, even if a crack is generated in the outer peripheral surplus portion of the first wafer by cutting with the second cutting blade having a relatively large particle diameter of the abrasive grains, the crack stops at the cutting groove and does not extend inward. The first wafer is less likely to chip when removing the portion together with a part of the adhesive layer.
さらに、接着層の除去に用いられる第2切削ブレードの砥粒の粒径は相対的に大きいので、接着層の金属による第2切削ブレードの目詰まりを抑制できる。このように、本発明に係る積層ウェーハの加工方法によれば、切削ブレードの目詰まりを抑制しながらウェーハの欠けを防止できる。 Furthermore, since the particle size of the abrasive grains of the second cutting blade used for removing the adhesive layer is relatively large, clogging of the second cutting blade with metal of the adhesive layer can be suppressed. As described above, according to the method of processing a laminated wafer according to the present invention, chipping of the wafer can be prevented while suppressing clogging of the cutting blade.
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る積層ウェーハの加工方法は、切削溝形成ステップ(図2(A)及び図2(B)参照)と除去ステップ(図3(A)及び図3(B)参照)とを含み、第1ウェーハと第1ウェーハより厚い第2ウェーハとを金属の接着層で接合した積層ウェーハを加工する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The method for processing a laminated wafer according to the present embodiment includes a cutting groove forming step (see FIGS. 2A and 2B) and a removing step (see FIGS. 3A and 3B). And processing a laminated wafer in which a first wafer and a second wafer thicker than the first wafer are joined by a metal adhesion layer.
切削溝形成ステップでは、砥粒の粒径が相対的に小さい第1切削ブレードを第1ウェーハに切り込ませつつ積層ウェーハを回転させて、接着層の外周に対応する領域の内側に、第1ウェーハを切断しない深さの環状の切削溝を形成する。 In the cutting groove forming step, the laminated wafer is rotated while cutting the first cutting blade having a relatively small particle diameter of the abrasive grains into the first wafer, and the first cutting blade is rotated to the inside of the region corresponding to the outer periphery of the adhesive layer. An annular cutting groove of a depth not cutting the wafer is formed.
除去ステップでは、砥粒の粒径が相対的に大きい第2切削ブレードを切削溝の内周より外側の領域で第1ウェーハ側から第2ウェーハまで切り込ませつつ積層ウェーハを回転させて、第1ウェーハの外周余剰部を接着層の一部とともに除去する。以下、本実施形態に係る積層ウェーハの加工方法について詳述する。 In the removing step, the laminated wafer is rotated while cutting the second cutting blade having a relatively large abrasive grain diameter from the first wafer side to the second wafer in a region outside the inner periphery of the cutting groove, 1 Remove the peripheral excess of the wafer together with a part of the adhesive layer. Hereinafter, the processing method of the lamination wafer concerning this embodiment is explained in full detail.
図1(A)は、本実施形態で加工される積層ウェーハの構成例を模式的に示す斜視図であり、図1(B)は、積層ウェーハの構成例を模式的に示す断面図である。図1(A)及び図1(B)に示すように、積層ウェーハ11は、薄い円盤状の第1ウェーハ13を含んでいる。
FIG. 1A is a perspective view schematically showing a configuration example of a laminated wafer processed in the present embodiment, and FIG. 1B is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of the laminated wafer. . As shown in FIGS. 1A and 1B, the laminated
第1ウェーハ13の第1面13a側には、第1ウェーハ13より厚い円盤状の第2ウェーハ15が重ねられている。第1ウェーハ13の第1面13aと第2ウェーハ15の第1面15aとは、金錫(合金)等の金属でなる環状の接着層17を介して接合されており、第1面13a及び第1面15aの反対側の第2面13b及び第2面15bは、それぞれ外部に露出している。接着層17は、第1ウェーハ13及び第2ウェーハ15の外周部に設けられており、積層ウェーハ11の内部への水等の侵入を防ぐ機能を併せ備えている。
A disk-shaped
第1ウェーハ13及び第2ウェーハ15は、代表的には、シリコン等の半導体材料でなり、例えば、ストリート等と呼ばれる分割予定ライン(不図示)で区画される複数の領域のそれぞれにIC等のデバイス(不図示)を備えている。第1ウェーハ13と第2ウェーハ15とは、互いのデバイスが対面するように重ねられており、対応するデバイス同士は、接着層17と同様の金属層(不図示)で電気的に接続される。
The
第1ウェーハ13は、研削等の方法で加工されており、第2ウェーハ15より薄い。例えば、第2ウェーハ15の厚さは100μm〜725μm程度であり、第1ウェーハ13の厚さは50μm〜200μm程度である。また、第2ウェーハ15は、外周を面取りした面取り部15cを備えているが、第1ウェーハ13は、面取り部を備えていない。
The
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる第1ウェーハ13及び第2ウェーハ15を用いるが、第1ウェーハ13及び第2ウェーハ15の材質に制限はない。例えば、セラミック、樹脂等でなる第1ウェーハ13及び第2ウェーハ15を用いて積層ウェーハ11を形成しても良い。また、接着層17の材質も、任意に選択、変更できる。
Although the
本実施形態に係る積層ウェーハの加工方法では、まず、接着層17の外周に対応する領域の内側に、第1ウェーハ13を切断しない深さの環状の切削溝を形成する切削溝形成ステップを実施する。図2(A)は、切削溝形成ステップを模式的に示す一部断面側面図であり、図2(B)は、図2(A)の一部を拡大して示す一部断面側面図である。
In the method of processing a laminated wafer according to the present embodiment, first, a cutting groove forming step of forming an annular cutting groove having a depth not to cut the
本実施形態に係る切削溝形成ステップは、例えば、図2(A)に示す切削装置2で実施される。切削装置2は、積層ウェーハ11を保持するためのチャックテーブル4を備えている。チャックテーブル4は、モータ等を含む回転駆動源(不図示)に連結されており、鉛直方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル4の下方には、移動機構(不図示)が設けられており、チャックテーブル4は、この移動機構で水平方向に移動する。
The cutting groove forming step according to the present embodiment is performed, for example, by the cutting device 2 shown in FIG. The cutting device 2 includes a chuck table 4 for holding the laminated
チャックテーブル4の上面は、積層ウェーハ11を構成する第2ウェーハ15の第2面15bを吸引、保持する保持面4aとなっている。この保持面4aには、チャックテーブル4の内部に形成された流路(不図示)等を通じて吸引源(不図示)の負圧が作用し、積層ウェーハ11を吸引するための吸引力が発生する。
The upper surface of the chuck table 4 is a holding
チャックテーブル4の上方には、積層ウェーハ11を切削するための第1切削ユニット6aが配置されている。第1切削ユニット6aは、第1昇降機構(不図示)に支持された第1スピンドルハウジング(不図示)を備えている。第1スピンドルハウジングの内部には、モータ等を含む回転駆動源(不図示)に連結された第1スピンドル8aが収容されている。
Above the chuck table 4, a
第1スピンドル8aは、回転駆動源から伝達される回転力によって水平方向に概ね平行な回転軸の周りに回転し、第1昇降機構によって第1スピンドルハウジングと共に昇降する。第1スピンドルハウジングの外部に露出した第1スピンドル8aの一端部には、円環状の第1切削ブレード10aが装着されている。
The
この第1切削ブレード10aは比較的薄く、また、砥粒の粒径も比較的小さい。例えば、第1切削ブレード10aの刃厚(幅)は15μm〜1mm程度であり、砥粒の粒径(直径)は2.0μm〜4.0μm程度である。このような第1切削ブレード10aを用いることで、切削溝を形成する際の薄い第1ウェーハ13の欠けを防止できる。第1切削ブレード10aの材質等に制限はないが、本実施形態では、ダイヤモンド等の砥粒をニッケル等の結合材で固めたものを用いる。
The
切削溝形成ステップでは、まず、積層ウェーハ11を構成する第2ウェーハ15の第2面15bをチャックテーブル4の保持面4aに接触させて、吸引源の負圧を作用させる。これにより、積層ウェーハ11は、第1ウェーハ13の第2面13bが上方に露出した状態でチャックテーブル4に吸引、保持される。
In the cutting groove forming step, first, the
次に、チャックテーブル4と第1切削ユニット6aとを相対的に移動させて、図2(B)に示すように、接着層17の外周17aより積層ウェーハ11の径方向に内側、かつ、接着層17と重なる位置に、第1切削ブレード10aを合わせる。その後、回転させた第1切削ブレード10aを下降させて第1ウェーハ13に切り込ませるとともに、チャックテーブル4を回転させる。すなわち、第1切削ブレード10aを第1ウェーハ13の第2面13b側から第1ウェーハ13に切り込ませる。
Next, the chuck table 4 and the
第1切削ブレード10aの下降量は、第1ウェーハ13が完全に切断されない範囲で調整される。具体的には、第1ウェーハ13に対する第1切削ブレード10aの切り込み量を、第1ウェーハ13の厚さの半分程度に調整すれば良い。例えば、第1ウェーハ13の厚さが75μm程度の場合には、第1ウェーハ13に対する第1切削ブレード10aの切り込み量が30μm程度となるように調整する。
The descent amount of the
これにより、接着層17の外周17aに対応する領域13cより内側、かつ、平面視で接着層17と重なる位置に、第1ウェーハ13を切断しない深さの環状の切削溝13dを形成できる。なお、チャックテーブル4の回転速さは、例えば、2°/s以下、好ましくは1°/s以下に抑える。これにより、第1ウェーハ13の欠けをより適切に防止できる。
Thus, it is possible to form an
切削溝形成ステップの後には、第1ウェーハ13の外周余剰部を接着層17の一部とともに除去する除去ステップを実施する。図3(A)は、除去ステップを模式的に示す一部断面側面図であり、図3(B)は、図3(A)の一部を拡大して示す一部断面側面図である。
After the cutting groove forming step, a removing step of removing an outer peripheral surplus portion of the
この除去ステップは、例えば、切削溝形成ステップと同じ切削装置2で実施される。図3(A)に示すように、切削装置2は、第1切削ユニット6aとは別の第2切削ユニット6bを有している。第2切削ユニット6bは、第2昇降機構(不図示)に支持された第2スピンドルハウジング(不図示)を備えている。
This removal step is performed, for example, in the same cutting device 2 as the cutting groove forming step. As shown to FIG. 3 (A), the cutting device 2 has the
第2スピンドルハウジングの内部には、モータ等を含む回転駆動源(不図示)に連結された第2スピンドル8bが収容されている。第2スピンドル8bは、回転駆動源から伝達される回転力によって水平方向に概ね平行な回転軸の周りに回転し、第2昇降機構によって第2スピンドルハウジングと共に昇降する。
Inside the second spindle housing, a
第2スピンドルハウジングの外部に露出した第2スピンドル8bの一端部には、円環状の第2切削ブレード10bが装着されている。この第2切削ブレード10bは、第1切削ブレード10aより厚く、砥粒の粒径も第1切削ブレード10aより大きい。
An annular
例えば、第2切削ブレード10aの刃厚(幅)は0.5mm〜3mm程度であり、砥粒の粒径(直径)は14μm〜30μm程度である。このような第2切削ブレード10bを用いることで、金属等による目詰まりの発生を抑制しながら、広い範囲を一度に切削できる。第2切削ブレード10bの材質等に制限はないが、本実施形態では、ダイヤモンド等の砥粒をビトリファイドやレジノイド等の結合材で固めたものを用いる。
For example, the blade thickness (width) of the
除去ステップでは、まず、チャックテーブル4と第2切削ユニット6bとを相対的に移動させて、図3(B)に示すように、切削溝13dの内周13eより外側、かつ、平面視で接着層17の一部と重なる位置に、第2切削ブレード10bを合わせる。その後、回転させた第2切削ブレード10bを下降させて第2ウェーハ15に切り込ませるとともに、チャックテーブル4を回転させる。すなわち、第2切削ブレード10bを第1ウェーハ13の第2面13b側から第1ウェーハ13、接着層17、及び第2ウェーハ15に切り込ませる。
In the removing step, first, the chuck table 4 and the
第2切削ブレード10bの下降量は、第2切削ブレード10bが第2ウェーハ15に僅かに切り込む範囲で調整される。例えば、第1ウェーハ15の厚さが750μm程度の場合には、第2ウェーハ15に対する第2切削ブレード10bの切り込み量が30μm〜100μm程度、好ましくは30μm程度となるように調整すれば良い。
The descent amount of the
これにより、接着層17の外周17aに対応する領域13cより外側の外周余剰部13fを、接着層17の外周17a側の一部17bとともに除去できる。なお、この除去ステップにより、第2ウェーハ15の第1面15a側の一部15dも併せて除去される。また、チャックテーブル4の回転速さは、例えば、5°/s以下、好ましくは3°/s以下に抑える。
As a result, the outer peripheral surplus portion 13 f outside the
この除去ステップでは、砥粒の粒径が比較的大きい第2切削ブレード10bを用いて第1ウェーハ13を切削するので、第1ウェーハ13の外周余剰部13fにクラックが発生する可能性もある。しかしながら、切削溝13dによって内側へのクラックの伸展を防ぐことができるので、第1ウェーハ13が欠ける可能性はごく僅かである。また、接着層17の金属による第2切削ブレード10bの目詰まりも抑制できる。
In this removal step, the
図4は、除去ステップ後の積層ウェーハ11を模式的に示す断面図である。本実施形態によれば、接着層17より外側に位置する第1ウェーハ13の外周余剰部13fを完全に除去できるので、例えば、後の積層ウェーハ11の分割等の際に、切り離された外周余剰部13fが飛散して装置等を破損させる可能性はない。
FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the
以上のように、本実施形態に係る積層ウェーハの加工方法では、砥粒の粒径が相対的に小さい第1切削ブレード10aで第2ウェーハ15より薄い第1ウェーハ13に切削溝13dを形成してから、砥粒の粒径が相対的に大きい第2切削ブレード10bで第1ウェーハ13の外周余剰部13fを接着層17の一部17bとともに除去する。つまり、砥粒の粒径が相対的に小さい第1切削ブレード10aによる切削で切削溝13dを形成するので、その際に第1ウェーハ13は欠け難くなる。
As described above, in the method for processing a laminated wafer according to the present embodiment, the cutting
また、砥粒の粒径が相対的に大きい第2切削ブレード10bによる切削で第1ウェーハ13の外周余剰部13fにクラックが発生したとしても、このクラックは切削溝13dで止まって内側に伸展しないので、外周余剰部13fを接着層17の一部17bとともに除去する際にも、第1ウェーハ13は欠け難くなる。さらに、接着層17の除去に用いられる第2切削ブレード10bの砥粒の粒径は相対的に大きいので、接着層17の金属による第2切削ブレード10bの目詰まりも抑制できる。
In addition, even if a crack is generated in the outer peripheral surplus portion 13f of the
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、外周余剰部13fの幅が第2切削ブレード10bの刃厚(幅)より小さい積層ウェーハ11を加工しているが、外周余剰部13fの幅が第2切削ブレード10bの刃厚より大きい積層ウェーハ11も同様の方法で加工できる。
In addition, this invention is not limited to the description of the said embodiment, It can change variously and can be implemented. For example, in the above embodiment, the
例えば、外周余剰部13fの幅が第2切削ブレード10bの刃厚の3倍(代表的には、3mm)程度であれば、外周余剰部13fの最も外側の位置に第2切削ブレード10bを切り込ませてチャックテーブル4を1周させてから、刃厚に合わせて第2切削ブレード10bを内側に移動させる。そして、第2切削ブレード10bを切り込ませて、再びチャックテーブル4を1周させる。
For example, if the width of the outer periphery surplus portion 13f is about three times (typically 3 mm) of the blade thickness of the
このように、第2切削ブレード10bの切り込みと、チャックテーブル4の回転と、第2切削ブレード10bの内側への移動と、を外周余剰部13fの幅に応じた数(この場合には、3回以上)だけ繰り返すことで、積層ウェーハ11を適切に加工できる。
As described above, the number of cuts of the
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the object of the present invention.
11 積層ウェーハ
13 第1ウェーハ
13a 第1面
13b 第2面
13c 領域
13d 切削溝
13e 内周
13f 外周余剰部
15 第2ウェーハ
15a 第1面
15b 第2面
15c 面取り部
15d 一部
17 接着層
17a 外周
17b 一部
2 切削装置
4 チャックテーブル
4a 保持面
6a 第1切削ユニット
6b 第2切削ユニット
8a 第1スピンドル
8b 第2スピンドル
10a 第1切削ブレード
10b 第2切削ブレード
11
Claims (1)
第1切削ブレードを該接着層の外周に対応する領域より内側で該第1ウェーハに切り込ませつつ該積層ウェーハを回転させて、該第1ウェーハを切断しない深さの環状の切削溝を形成する切削溝形成ステップと、
該切削溝形成ステップを実施した後、該第1切削ブレードに含まれる砥粒よりも粒径の大きい砥粒を含む第2切削ブレードを該切削溝の内周より外側の領域で該第1ウェーハ側から該第2ウェーハまで切り込ませつつ該積層ウェーハを回転させて、該第1ウェーハの該外周余剰部を該接着層の一部とともに除去する除去ステップと、を具備したことを特徴とする積層ウェーハの加工方法。 A cutting blade is cut into a laminated wafer in which a first wafer and a second wafer thicker than the first wafer are joined by an adhesive layer made of metal, and a surplus outer portion outside the adhesive layer of the first wafer is A method of processing a laminated wafer, which is removed together with a part of an adhesive layer,
The laminated wafer is rotated while the first cutting blade is cut into the first wafer inside the area corresponding to the outer periphery of the adhesive layer to form an annular cutting groove having a depth not to cut the first wafer. Cutting groove forming step,
After performing the cutting groove forming step, a second cutting blade including abrasive grains having a grain size larger than that of the abrasive grains contained in the first cutting blade is placed in a region outside the inner circumference of the cutting groove. And removing the outer peripheral surplus portion of the first wafer together with a part of the adhesive layer by rotating the laminated wafer while cutting the wafer from the side to the second wafer. Processing method of laminated wafer.
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