JP6493658B2 - 高撥水性フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
図1に、実施形態の表面改質高分子フィルムの製造方法のフローチャートを示す。図1に示すように、実施形態の表面改質高分子フィルムの製造方法は、高融点金属触媒体と高分子フィルムとを設置する工程(S1a)と、高融点金属触媒体を加熱する工程(S2a)と、ラジカルを高分子フィルムに照射する工程(S3a)とを含んでおり、S1a、S2aおよびS3aの順に行われる。なお、実施形態の表面改質高分子フィルムの製造方法には、S1a〜S3a以外の工程が含まれていてもよい。
まず、高融点金属触媒体と高分子フィルムとを設置する工程(S1a)を行う。工程(S1a)は、たとえば図2に示すように、まず真空容器11内に高融点金属触媒体12を設置し、その後、高融点金属触媒体12と向かい合うようにして高分子フィルム10を支持台13上に設置することにより行われる。なお、真空容器11は、容器内部の圧力を低減することができる容器であれば特に限定されない。また、高融点金属触媒体12と高分子フィルム10とは完全に向かい合って設置される必要はなく、実質的に向かい合うように設置されればよい。
次に、高融点金属触媒体を加熱する工程(S2a)を行う。工程(S2a)は、たとえば、電源14から高融点金属触媒体12に電流を流すことによって生じる抵抗加熱により高融点金属触媒体12を加熱することにより行うことができる。高融点金属触媒体12は、たとえば、ガスの少なくとも一部をラジカルに分解することができる温度にまで加熱することができる。
次に、ラジカルを高分子フィルムに照射する工程(S3a)を行う。工程(S3a)は、たとえば以下のようにして行うことができる。まず、真空容器11の上部のガス導入口11aからアルキルシランと酸素と水素とを含む混合ガスを導入する。次に、当該混合ガスは、工程(S2a)において加熱された高融点金属触媒体12に接触してラジカルを発生させる。次に、ラジカルは、高分子フィルム10に照射され、高分子フィルム10上に珪素(Si)と酸素(O)と炭素(C)と水素(H)とを含む膜(SiOCH層)が形成されて表面改質高分子フィルムが得られる。なお、SiOCH層は、Si−C結合と、Si−O結合と、Si−H結合とを含んでいれば、その他の結合を含んでいてもよい。
SiOCH層の形成のメカニズムは、以下のように推測される。まず、図3に示すように、高分子フィルム10の表面のC−H結合が、工程(S3a)で発生したラジカル中の水素を含むラジカル(たとえば、・H)により切断され、結果としてH2分子が生成される。これにより、図4に示すように、高分子フィルム10の表面のCに未結合の結合手が形成される。なお、水素を含むラジカルは、混合ガス中の水素が、加熱された高融点金属触媒体12に接触することにより発生する。
上記のようにして製造された表面改質高分子フィルム20に親水化処理を行うことによって、高親水性フィルムを製造することができる。表面改質高分子フィルム20の親水化処理は、たとえば図10に示すように、酸素および水蒸気を含む雰囲気中で表面改質高分子フィルム20に紫外光31を照射することにより行うことができる。これにより表面における水との接触角θcがたとえば30°以下の高親水性フィルムを製造することができる。
上記のようにして製造された表面改質高分子フィルム20に撥水化処理を行うことによって、高撥水性フィルムを製造することができる。表面改質高分子フィルム20の撥水化処理は、上記の表面改質高分子フィルム20の形成のためのアルキルシランと酸素と水素とを含む混合ガスの導入を停止して、引き続き、真空容器11内にガス導入口11aからアルキルシランとフルオロカーボン(フッ素(F)とCとの化合物)と水素とを含む混合ガスを導入することにより行うことができる。これにより、たとえば図11に示すようにSiOCH層21上にSiとCとFとHとを含む膜(SiCFH層22)が形成され、表面改質高分子フィルム20と、表面改質高分子フィルム20上のSiCFH層22とを含む高撥水性フィルム23を製造することができる。高撥水性フィルム23の表面における水との接触角θcはたとえば90°以上とすることができる。
実施形態においては、アルキルシランと酸素と水素とを含む混合ガスを高融点金属触媒体12に接触させてラジカルを発生させ、高分子フィルム10に照射する触媒CVD(Chemical Vapor Deposition)法によって、高分子フィルム10上にSiOCH層21を形成して表面改質高分子フィルム22を得ている。したがって、実施形態においては、従来のグラフト重合、コロナ放電処理、プラズマ処理およびレーザ処理と比べて高分子フィルム10に与えられるダメージを低減しつつ、SiOCH層21の形成による高い表面改質効果を得ることができる。
まず、図2に示す触媒CVD装置(MDF製MD−201)の真空容器11内にタングステンからなる高融点金属触媒体12を設置し、その後、高融点金属触媒体12と向かい合うようにして分析用Si単結晶ウェハー(図示せず)を支持台13上に設置した。
まず、図9に示す触媒CVD装置(富士機械工業(株)製モデルR2R−65−02)の真空容器11内にタングステンからなる高融点金属触媒体12を設置し、その後、ロール15,16間に掛け渡されたPENフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製のPEN−Q65HA)からなる高分子フィルム10を高融点金属触媒体12と向かい合うように設置した。
SiOCH層を形成する前のPENフィルム(PEN)と、実験例2と同様のロールツーロール方式でPENフィルム上にSiOCH層を形成した表面改質高分子フィルム(SiOCH/PEN)のSiOCH層とについて、それぞれ、紫外線ランプから波長185nmの紫外光と波長254nmの紫外光とを同時に10分間照射した後に、実験例2と同様にして水の接触角θcを測定した。その結果を図16に示す。
まず、実験例1と同様にして、触媒CVD法により、SiOCH層を分析用Si単結晶ウェハー上に51分45秒間成長させた後に、モノメチルシランと酸素を含有したアルゴンと水素との混合ガスの導入を停止した。
Claims (4)
- 真空容器内に互いに向かい合うように高融点金属触媒体と高分子フィルムとを設置する工程と、
前記高融点金属触媒体を加熱する工程と、
前記加熱した前記高融点金属触媒体にアルキルシランと酸素と水素とを含む混合ガスを接触させることにより発生したラジカルを前記高分子フィルムに照射する工程とを含み、
前記ラジカルを前記高分子フィルムに照射する工程は、前記高分子フィルム上にSiOCH層を形成する工程を含み、
前記SiOCH層は、Si−C結合と、Si−O結合と、Si−H結合とを含む表面改質高分子フィルムの製造方法によって表面改質高分子フィルムを製造する工程と、
前記表面改質高分子フィルムに撥水化処理を行う工程とを含み、
前記撥水化処理を行う工程は、前記加熱した前記高融点金属触媒体にアルキルシランとフルオロカーボンと水素とを含む混合ガスを接触させることにより発生したラジカルを前記表面改質高分子フィルムに照射し、前記表面改質高分子フィルム上にSiCFH層を形成することにより水の接触角が90°以上の高撥水性フィルムを形成する工程を含む、高撥水性フィルムの製造方法。 - 前記表面改質高分子フィルムを製造する工程において、前記高分子フィルムは、ロールツーロールで搬送される、請求項1に記載の高撥水性フィルムの製造方法。
- 前記表面改質高分子フィルムを製造する工程において、前記アルキルシランがモノメチルシランを含む、請求項1または請求項2に記載の高撥水性フィルムの製造方法。
- 前記表面改質高分子フィルムを製造する工程において、前記混合ガスがアンモニアを含む、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の高撥水性フィルムの製造方法。
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