JP6492229B1 - フィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁 - Google Patents
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Abstract
Description
駆動回路、90 スリーブ、92,93 気体供給ポート(Ps)、94 第1出力ポート(CY1)、96 排気ポート(Ex)、98 第2出力ポート(CY2)、100
スプール、102 第1ランド、104 第2ランド、106 第3ランド、108 第4ランド、110 接続部、120 第1気体圧室、122 第2気体圧室、124 第1背圧路、126 第2背圧路、130 第1固定絞り、132 第2固定絞り 140 第1補助タンク、142 第2補助タンク、144 第1補助絞り部、146 第2補助絞り部、150 持ち上り、152 ピーク。
Claims (4)
- 流体として圧縮性流体である気体を用い、
互いに向かい合って配置された2つのノズルと、
2つのノズルの間に配置されたフラッパと、
ノズルに対するフラッパの位置を移動駆動するフラッパ駆動装置と、
ノズルに対するフラッパの位置に応じて変化する各ノズルの背圧をそれぞれ導く2つの背圧路と、
各ノズルの前段にそれぞれ設けられた2つの固定絞りと、
気体供給ポート、排気ポート、及び、2つの出力ポートを有するスリーブと、
スリーブ内を摺動可能なスプールであって、スリーブのスプール摺動空間との間で形成される軸方向両端の気体圧室にそれぞれ背圧路が接続されたスプールと、
フラッパの先端から延びてスプールに接続されるフィードバックばねと、
を備えるフィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁であって、
フラッパ駆動装置によって生じるフラッパの回転中心の周りのトルクとフィードバックばねの弾性反力とが同じとなってスプールの軸方向両端の気体圧が釣合状態となりスプールの軸方向の移動が停止した状態において、気体の圧縮性に基づいて生じ得るスプールの軸方向両端の2つの気体圧室の圧力差の振動を抑制する補助絞り部付き補助タンクであって、2つの気体圧室にそれぞれ、気体供給ポートから供給される所定の供給気体圧に応じ、且つ、圧力差の振動周波数に応じた絞り度が設定された補助絞り部を介して接続された補助タンクを備え、
補助タンクは、スプールの内部に設けられていることを特徴とするフィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁。 - 流体として圧縮性流体である気体を用い、
互いに向かい合って配置された2つのノズルと、
2つのノズルの間に配置されたフラッパと、
ノズルに対するフラッパの位置を移動駆動するフラッパ駆動装置と、
ノズルに対するフラッパの位置に応じて変化する各ノズルの背圧をそれぞれ導く2つの背圧路と、
各ノズルの前段にそれぞれ設けられた2つの固定絞りと、
気体供給ポート、排気ポート、及び、2つの出力ポートを有するスリーブと、
スリーブ内を摺動可能なスプールであって、スリーブのスプール摺動空間との間で形成される軸方向両端の気体圧室にそれぞれ背圧路が接続されたスプールと、
フラッパの先端から延びてスプールに接続されるフィードバックばねと、
を備えるフィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁であって、
フラッパ駆動装置によって生じるフラッパの回転中心の周りのトルクとフィードバックばねの弾性反力とが同じとなってスプールの軸方向両端の気体圧が釣合状態となりスプールの軸方向の移動が停止した状態において、気体の圧縮性に基づいて生じ得るスプールの軸方向両端の2つの気体圧室の圧力差の振動を抑制する補助絞り部付き補助タンクであって、2つの気体圧室にそれぞれ、気体供給ポートから供給される所定の供給気体圧に応じ、且つ、圧力差の振動周波数に応じた絞り度が設定された補助絞り部を介して接続された補助タンクを備え、
補助タンクは、スプールが内蔵された本体部の内部にスプール摺動空間と隔離されて設けられていることを特徴とするフィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁。 - 流体として圧縮性流体である気体を用い、
互いに向かい合って配置された2つのノズルと、
2つのノズルの間に配置されたフラッパと、
ノズルに対するフラッパの位置を移動駆動するフラッパ駆動装置と、
ノズルに対するフラッパの位置に応じて変化する各ノズルの背圧をそれぞれ導く2つの背圧路と、
各ノズルの前段にそれぞれ設けられた2つの固定絞りと、
気体供給ポート、排気ポート、及び、2つの出力ポートを有するスリーブと、
スリーブ内を摺動可能なスプールであって、スリーブのスプール摺動空間との間で形成される軸方向両端の気体圧室にそれぞれ背圧路が接続されたスプールと、
フラッパの先端から延びてスプールに接続されるフィードバックばねと、
を備えるフィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁であって、
フラッパ駆動装置によって生じるフラッパの回転中心の周りのトルクとフィードバックばねの弾性反力とが同じとなってスプールの軸方向両端の気体圧が釣合状態となりスプールの軸方向の移動が停止した状態において、気体の圧縮性に基づいて生じ得るスプールの軸方向両端の2つの気体圧室の圧力差の振動を抑制する補助絞り部付き補助タンクであって、2つの気体圧室にそれぞれ、気体供給ポートから供給される所定の供給気体圧に応じ、且つ、圧力差の振動周波数に応じた絞り度が設定された補助絞り部を介して接続された補助タンクを備え、
補助タンクは、スプール摺動空間の軸方向両端に付加した側板部に設けられていることを特徴とするフィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁。 - フラッパ駆動装置は、
フラッパの位置を移動駆動するためのコイルを有し、コイルの両端電圧を帰還して駆動電圧を供給する駆動回路に接続されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1に記載のフィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁。
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PCT/JP2017/017044 WO2018198355A1 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | フィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁 |
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JPS5015978A (ja) * | 1973-06-14 | 1975-02-20 | ||
JPH01279103A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空気圧サーボ弁 |
JPH0464702A (ja) * | 1990-07-03 | 1992-02-28 | Nippon Muugu Kk | フラッパ速度フィードバックを有したノズル―フラッパ型サーボバルブ |
JPH0469401A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 空気圧アクチュエータ |
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