JP6492194B2

JP6492194B2 - 開閉弁

Info

Publication number: JP6492194B2
Application number: JP2017549922A
Authority: JP
Inventors: 聡明土澤; 保坂　周一; 周一保坂; 直樹古橋; 弘一大木; 啓佑松本
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 2015-11-11
Filing date: 2015-11-11
Publication date: 2019-03-27
Anticipated expiration: 2035-11-11
Also published as: KR20180055895A; JPWO2017081774A1; KR102061481B1; CN208237187U; US20180313460A1; WO2017081774A1

Description

本発明は、入力ポートと出力ポートとを連通させる開状態と連通を遮断する閉状態とに作動する開閉弁に関する。

圧縮空気を被供給部材に供給する状態と供給を停止する状態とに切り換えるために、開閉弁が使用される。開閉弁は、バルブボディとバルブボディに組み付けられるソレノイドブロックとを有している。空気圧供給源に接続される入力ポート、被供給部材に接続される出力ポート、および入力ポートと出力ポートとを仕切る弁座部がバルブボディに設けられている。ソレノイドブロックは、コイルが巻き付けられた固定鉄心を備え、固定鉄心の磁気吸着面つまり吸着面に対向して、可動鉄心からなる弁部材がバルブボディ内に配置される。コイルに通電すると、弁部材は弁座部から離れて入力ポートは出力ポートに連通し、コイルへの通電を停止すると、弁部材は弁座部に当接して入力ポートと出力ポートの連通が遮断される。

弁部材の開閉ストロークを小さくし、開閉動作を高速で行うようにした開閉バルブが特許文献１に記載されており、この開閉バルブにおいては、弁部材が固定鉄心の磁気吸着面に直接当接する。特許文献２に記載された電磁弁は、固定磁極部材と可動鉄心とを備えたソレノイド部と、可動鉄心により開閉動作する弁部材を備えた弁部とを有する。固定磁極部材と可動鉄心との間には、シート状の衝撃緩衝材が装着され、可動鉄心の当接面全体が衝撃緩衝材を介して固定磁極部材の磁気吸着面に当接する。特許文献３は、固定鉄心の磁気吸着面に樹脂製のフィルムが接着された電磁弁を開示する。

特開２０１４−１３７１１８号公報特開２００９−２７５８１１号公報特許第５５０２２４０号公報

特許文献１に記載されるように、可動鉄心を固定鉄心の磁気吸着面に直接当接させるようにすると、圧縮空気の中に含まれる水分により磁気吸着面が腐食し、可動鉄心の開閉作動特性が経年変化してしまう。磁気特性の良い材料が固定鉄心に用いられるが、そのような材料はさびやすい。このため、開閉弁の耐久性を向上することができない。また、特許文献２に記載されるように、可動鉄心の当接面全体が衝撃緩衝材に当接するようにすると、コイルへの通電を停止して可動鉄心を衝撃緩衝材から離して開状態から閉状態に電磁弁を切り換えるときに、可動鉄心が衝撃緩衝材から離れにくくなる。可動鉄心の当接面全体が衝撃緩衝材に当接・密着しているので、コイルへの通電を停止しても、可動鉄心の当接面全体と衝撃緩衝材の間に空気が入り込みにくいからである。このため、可動鉄心の閉動作の動作時間を短くすることができない。さらに、特許文献３に記載されるように、固定鉄心の磁気吸着面のみに樹脂性のシートを接着する形態においては、磁気吸着面に接着剤層とシート層とが積層され、磁気吸着面が積層された厚い被覆層で覆われるので、固定鉄心と可動鉄心の間の距離が長くなる。すると、可動鉄心を吸引するには強い磁力を必要とするので、ソレノイドや磁気回路を大形にする必要がある。

本発明の目的は、可動鉄心の応答性を高めることができる開閉弁を提供することにある。特に、ソレノイド電流を停止した際に、可動鉄心が固定鉄心から離脱して弁座を閉じる閉動作時間を短縮することにある。

本発明の他の目的は、耐久性を高めることができる開閉弁を提供することにある。特に、固定鉄心の磁気吸着面がさびることを防ぎ、耐久性を高めることにある。

本発明の開閉弁は、弁座部を備えたバルブボディと、前記バルブボディとの間で弁室を区画するソレノイドブロックと、コイルが巻き付けられる固定鉄心の磁気吸着面が設けられ、前記バルブボディに対向して前記ソレノイドブロックに設けられる対向端面と、前記弁室に設けられ、前記コイルが通電されると前記磁気吸着面に吸引される可動子と、前記対向端面に設けられ、少なくとも一部が前記可動子に対向する凹部と、前記対向端面に装着され、前記磁気吸着面と前記凹部を覆う樹脂製のシートと、を有し、前記シートと前記凹部により空気室が形成される。

本発明の開閉弁は、固定鉄心の磁気吸着面が樹脂製のシートにより覆われるので、圧縮空気に含まれる水分により磁気吸着面が腐食されることがない。これにより、可動子の開作動時間と閉作動時間が長期間に渡って変わることなく維持される。こうして、開閉弁の耐久性が向上される。また、コイルへの通電を停止したときには、空気室内の圧縮空気によって可動子は弁座部に向けて迅速に駆動される。これにより、可動子が固定鉄心から離脱して弁座を閉じる閉動作時間が短縮される。さらに、シートは接着剤を用いることなく対向端面に装着されるので、接着剤の厚みが不要となり、可動子と固定鉄心の間の距離は短縮される。従って、コイルには大きな磁力が要求されず、コイルを大形化する必要がなく、開閉弁の小型化が実現できる。

一実施の形態である開閉弁を示す一部切欠き正面図である。図１におけるＡ−Ａ線断面図である。図１に示されたソレノイドブロックの対向端面を示す底面図である。図１のＢ−Ｂ線断面図である。（Ａ）は図１のＣ部拡大断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＤ−Ｄ線方向から見たシールの底面図である。（Ａ）〜（Ｄ）は、それぞれ対向端面３１に設けられる凹部４６の変形例を示すソレノイドブロックの底面図である。バルブボディとソレノイドブロックを離して隙間をあけ、その隙間に樹脂製のシートを配置した状態を示す断面図である。（Ａ）はソレノイドブロックの対向端面に樹脂製のシートを介してバルブボディを突き当てた状態を示す断面図であり、（Ｂ）は弁室に圧縮空気を供給し凹部内にシートを入り込ませた状態を示す断面図である。（Ａ）は対向端面に樹脂製のシートが接触されたソレノイドブロックと成形型とを示す断面図であり、（Ｂ）は成形型により凹部内にシートを入り込ませた状態を示す断面図である。（Ａ）は対向端面に樹脂製のシートが接触されたソレノイドブロックと成形用の弾性部材とを示す断面図であり、（Ｂ）は弾性部材をシートに押し付けて凹部内にシートを入り込ませた状態を示す断面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。開閉弁１０は、図１に示されるように、バルブボディ１１とソレノイドブロック１２とを備えている。バルブボディ１１は基部１１ａとスペーサ１１ｂとを備え、樹脂により成形される。バルブボディ１１はソレノイドブロック１２に組み付けられる。バルブボディ１１は、図２に示されるように、全体的にほぼ長方形であり、ソレノイドブロック１２の横断面もほぼ長方形である。バルブボディ１１とソレノイドブロック１２とを組み立てるために、ソレノイドブロック１２の図１における左右両端部内にナット１３が設けられる。それぞれのナット１３にねじ結合されるねじ部材１４が、バルブボディ１１の基部１１ａとスペーサ１１ｂに設けられた貫通孔１５に挿入される。なお、基部１１ａとスペーサ１１ｂとが一体となったバルブボディ１１としても良い。ねじ部材１４がタッピングねじの場合には、ナット１３は不要である。

２つの入力ポート１６ａ，１６ｂと出力ポート１７とがバルブボディ１１に設けられ、出力ポート１７は両方の入力ポート１６ａ，１６ｂの間に設けられている。図１および図２に示されるように、取付孔１８がバルブボディ１１の両端部に設けられている。それぞれの取付孔１８に挿入されるねじ部材１９によって、バルブボディ１１は図示しない支持部材に装着される。２つの入力ポート１６ａ，１６ｂの一方または双方は、空気圧供給源に接続される。一方、出力ポート１７は、図示しない被供給部材に接続され、入力ポートから供給された圧縮空気を被供給部材に流出する。

ソレノイドブロック１２は、コイル２１が巻き付けられる固定鉄心２２を備え、コイル２１と固定鉄心２２は樹脂製の封止材からなるケース部材２３の内部に組み込まれる。固定鉄心２２は、平行に延びる脚部２２ａと、それぞれの脚部２２ａの基端部を連結する基部２２ｂとを有し、Ｕ字形状となっている。コイル２１が巻き付けられたボビン２４がそれぞれの脚部２２ａに装着される。カバー２５がソレノイドブロック１２に装着され、ソケット２６がカバー２５に設けられている。外部からコイル２１に駆動電流を送るためのケーブル２７を有するコネクタ２８が、ソケット２６に着脱自在に装着される。

ソレノイドブロック１２は、バルブボディ１１に対向する対向端面３１を有し、固定鉄心２２の先端面である磁気吸着面３２が対向端面３１に露出している。バルブボディ１１とこれに組み付けられるソレノイドブロック１２との間で弁室３３が区画形成される。それぞれの入力ポート１６ａ，１６ｂは、バルブボディ１１に設けられた入力流路３４により弁室３３に連通し、出力ポート１７はバルブボディ１１に設けられた出力流路３５により弁室３３に連通する。入力ポート１６ａ，１６ｂは、弁室３３を介して出力ポート１７に連通しており、入力ポート１６ａ，１６ｂに流入した圧縮空気は、出力ポート１７から外部に供給される。弁座部３６が入力流路３４と出力流路３５との間に設けられ、弁座部３６により入力ポート１６ａ，１６ｂと出力ポート１７は仕切られている。弁座部３６はバルブボディ１１に設けられているが、両者は一体であってもよく、別体であってもよい。

図１、図２に示されるように、長方形の板状の金属材料からなる可動子４１が弁部材として弁室３３内に配置される。可動子４１は、弁座部３６に対向する開閉面４２と、開閉面４２の反対側であって対向端面３１に対向する当接面４３とを有し、弾性材料からなるシール部材４４が開閉面４２に設けられている。可動子４１とスペーサ１１ｂの内周面との間に、図１、図２に示されるように、隙間４５が設けられている。隙間４５は入力ポート１６ａ，１６ｂに連通している。したがって、コイル２１に駆動電流が通電されていないときに、圧縮空気が入力ポート１６ａ，１６ｂに供給されると、圧縮空気は隙間４５を通って、弁室３３内に入り、可動子４１の当接面４３とソレノイドブロック１２との間に入り込む。すると、圧縮空気の圧力が可動子４１の当接面４３に加えられる。つまり、弁座部３６に向かう方向の力が可動子４１に加えられる。これにより、出力ポート１７は可動子４１により閉じられて、入力ポート１６ａ，１６ｂから出力ポート１７への圧縮空気の流れが遮断され、開閉弁１０は閉状態となる。

一方、コイル２１に駆動電流が通電されると、固定鉄心２２と可動子４１に磁気回路が形成され、可動子４１は固定鉄心２２の磁気吸着面３２に向けて弁座部３６から離れる。これにより、出力ポート１７は開放されて開閉弁１０は開状態となり、入力ポート１６ａ，１６ｂから出力ポート１７に向けて圧縮空気が供給される。

図５（Ａ）に示されるように、凹部４６がソレノイドブロック１２の対向端面３１に設けられている。図３に示されるように、凹部４６はそれぞれの磁気吸着面３２を囲むように対向端面３１に環状に設けられている。なお、図３において、二点鎖線は可動子４１の外形を示し、コイル２１に駆動電流が通電されると、二点鎖線の場所に可動子４１が当接する。

凹部４６は、図３において磁気吸着面３２を囲むように、対向端面３１に環状に設けられている。しかし、凹部４６の形状は、磁気吸着面３２を囲む形状に限定されず、また環状に限定されない。

図６（Ａ）〜図６（Ｄ）は、それぞれ対向端面３１に設けられる凹部４６の変形例を示すソレノイドブロック１２の底面図である。図６（Ａ）に示される凹部４６は、図３に示された凹部４６が一体に連なってそれぞれの磁気吸着面３２を囲む形状である。図６（Ｂ）に示される凹部４６は、磁気吸着面３２の両側に延びる部分４６ａと、磁気吸着面３２の端部に近接した部分４６ｂとを備えている。図６（Ｃ）に示される凹部４６は、磁気吸着面３２の外側にＣ字形状となっている。さらに、図６（Ｄ）に示される凹部４６は、磁気吸着面３２の端部に沿って延びる直線形状部４６ｃと、磁気吸着面３２の側面に沿って配置されるスポット状の部分４６ｄとを備えている。図６に示されるように、凹部４６は磁気吸着面３２を囲まない形状であってもよく、凹部４６が直線形状であっても良く、Ｃ字形状であっても良い。

このように、凹部４６うち、少なくても一部が可動子４１に対向していればよい。凹部４６うち、可動子４１に対向していない部分は、コイル２１に駆動電流が通電され可動子４１が固定鉄心２２に吸引されているときにも、可動子４１によって覆われることはない。

樹脂製のシート４７がバルブボディ１１とソレノイドブロック１２との間に挟み込まれ、対向端面３１にシート４７が装着される。シート４７をバルブボディ１１とソレノイドブロック１２との間に位置決めするために、図４に示されるように、位置決め突起４８がスペーサ１１ｂに設けられ、位置決め突起４８が挿入される位置決め孔４９が図３に示されるようにソレノイドブロック１２に設けられている。位置決め突起４８と位置決め孔４９に対応して、シート４７には位置決め孔５８が設けられる。シート４７は平面形状となっており、接着剤を使用することなく、位置決め突起４８と位置決め孔４９によって位置決めされて、バルブボディ１１とソレノイドブロック１２との間に挟み込まれる。シート４７がバルブボディ１１とソレノイドブロック１２との間に挟み込まれると、シート４７は対向端面３１に接するように対向端面３１に装着される。シート４７が対向端面３１に装着されることにより、磁気吸着面３２と凹部４６を含む対向端面３１はシート４７により覆われる。

組み立てられた開閉弁１０の入力ポート１６ａに圧縮空気が供給されると、圧縮空気の圧力によって、弁室３３には膨張する方向の力が与えられる。この力によって、シート４７はソレノイドブロック１２に向かって張り付き、凹部４６に対応する位置のシート４７は、凹部４６の底部に向かって変形する。その結果、シート４７は凹部４６に入り込み、凹部４６の底部に接する。図５（Ａ）は、シート４７が凹部４６の底部に向かって変形した後の形状を示す。このようにして、シート４７が可動子４１に対向する面には、凹部４６に対応する形状の空気室５２が形成される。変形後のシート４７は、磁気吸着面３２と凹部４６を覆う被覆層５１を形成する。

凹部４６に対応する形状の空気室５２は、コイル２１に駆動電流が通電され可動子４１が固定鉄心２２に吸引されているときにも、可動子４１によって覆われることはない。従って、可動子４１が固定鉄心２２に吸引されているときにも、空気室５２は弁室３３を介して入力流路３４に連通する。したがって、空気室５２に対向する可動子４１の面に、圧縮空気の圧力が加えられる。弁座部３６に対向する可動子４１の面にも圧縮空気の圧力が加えられるので、単位面積あたりについては、両者の力は相殺されることになる。

図においては、凹部４６およびシート４７は、誇張して示されている。凹部４６の深さは、例えば２００〜５００μｍであり、シート４７の厚みは、例えば３０〜１００μｍである。

このように、ソレノイドブロック１２の対向端面３１はシート４７により覆われているので、入力ポート１６ａ，１６ｂから弁室３３内に流入した圧縮空気が固定鉄心２２の磁気吸着面３２に触れることがない。したがって、圧縮空気に含まれる水分により磁気吸着面３２が腐食されることがなく、長期間に渡って可動子４１の開閉作動特性を高精度に維持することができる。これにより、開閉弁１０の耐久性を向上させることができる。

また、コイル２１が通電されて、可動子４１が磁気吸着面３２に向けて開放移動すると、可動子４１の当接面４３の全体がシート４７に当接することなく、可動子４１は凹部４６を除いた部分に当接する。しかも、可動子４１が磁気吸着面３２に向けて開放移動して当接した後も、空気室５２は入力流路３４に連通しているので、圧縮空気が入った状態となっている。したがって、コイル２１への通電を停止した直後は、可動子４１に関して、出力ポート１７に面した開閉面４２側の圧力が最初に下がり、空気室５２がある磁気吸着面３２に面した当接面４３側の圧力は高い。つまり、開閉面４２側にかかる力と、当接面４３側にかかる力の差により、可動子４１は弁座部３６に向けて押される。この力の差が生じる時間は短いが、可動子４１を弁座部３６に向けて押し出すには十分な時間である。このように、空気室５２内の圧縮空気の力によって、可動子４１は迅速に被覆層５１から離れて弁座部３６に向けて移動する。これにより、可動子４１が固定鉄心から離脱して弁座を閉じる閉動作時間が短縮される。１秒間に５０回から４００回程度の作動頻度を要求される開閉弁においては、以上の効果は著しい。

さらに、シート４７は、ソレノイドブロック１２の対向端面３１とバルブボディ１１との間に挟み込まれている。したがって、接着剤を用いることなく、ソレノイドブロック１２の対向端面３１にシート４７が装着されており、接着剤の厚みはない。従って、薄いシート４７だけで磁気吸着面３２を被覆することができる。これにより、可動子と固定鉄心の間の距離は短縮される。従って、コイルには大きな磁力が要求されず、コイル２１を大形化する必要がなく、開閉弁の小型化が実現できる。さらに、コイル２１に通電したときに可動子４１は短時間のうちに固定鉄心２２に向けて移動するので、可動子４１の応答性を高めることができる。

図７は、バルブボディ１１とソレノイドブロック１２との間に、樹脂製のシートが隙間を介して配置された状態を、概略的に示す断面図である。図８〜図１０は、それぞれソレノイドブロック１２の対向端面３１にシート４７を装着するための装着方式を示す概略断面図である。図７〜図１０においては、凹部４６の深さとシート４７の厚みは誇張して示されている。

シート４７はソレノイドブロック１２の対向端面３１の全面に渡って装着される。従って、弁室３３に供給される圧縮空気は、ソレノイドブロック１２の内部に入ることはない。これにより、ソレノイドブロック１２の内部に、気密性を保つためのシール材などを配置する必要がない。また、シート４７はバルブボディ１１とソレノイドブロック１２の間に挟みこまれるので、シート４７はバルブボディ１１とソレノイドブロック１２の間をシールすることになる。従って、バルブボディ１１とソレノイドブロック１２の間に、気密性を保つためのシール材などを配置する必要がない。

図８に示すシート４７の装着方式においては、図８（Ａ）に示されるように、開閉弁１０を組み立てる。これにより、シート４７はバルブボディ１１とソレノイドブロック１２の対向端面３１との間に挟み付けられた状態となる。この状態のもとで、２つの入力ポート１６ａ，１６ｂの一方または双方に圧縮空気を供給する。入力ポートに供給された圧縮空気は、隙間４５を介して弁室３３内に流入する。弁室３３内に圧縮空気が流入すると、可動子４１の当接面４３とシート４７との間のスペースに流入した圧縮空気によりシート４７は変形し、凹部４６の内面形状に倣ってシート４７が凹部４６内に入り込む。これにより、図８（Ｂ）に示されるように、磁気吸着面３２はシート４７の被覆層５１の部分により覆われる。また、凹部４６の内面はシート４７の変形部により覆われて、空気室５２がシート４７により形成される。

この装着方式においては、開閉弁１０を組み立てた後に、弁室３３内に圧縮空気を供給することにより、対向端面３１の凹凸形状に対応した形状にシート４７を変形させることができる。ただし、ねじ部材１４を用いて開閉弁１０を組み立てることなく、シート４７をバルブボディ１１とソレノイドブロック１２との間に挟み付けた仮組立状態として、弁室３３内に圧縮空気を供給するようにしても良い。

図９に示すシート４７の装着方式においては、凹部４６内に入り込む突起部５５が設けられた成形型５６が用いられる。成形型５６は、硬質樹脂や金属により形成され、対向端面３１の凹凸に対応した長方形の成形面を有する。シート４７をソレノイドブロック１２に装着するには、ソレノイドブロック１２の対向端面３１にシート４７を接触させた状態のもとで、成形型５６をソレノイドブロック１２に押し付ける。これにより、図９（Ｂ）に示されるように、突起部５５がシート４７を介して凹部４６内に入り込んだ状態となる。成形型５６がソレノイドブロック１２に押し付けられると、磁気吸着面３２はシート４７の被覆層５１により覆われる。また、凹部４６の内面はシート４７の変形部により覆われて、空気室５２がシート４７により形成される。このように、成形型５６を用いる場合においては、突起部５５のみをゴム等の弾性部材により成形した成形型としても良い。

図１０に示すシート４７の装着方式においては、ゴム等の弾性部材５７が用いられる。弾性部材５７は対向端面３１に対応した長方形の成形面を有する。シート４７をソレノイドブロック１２に装着するには、ソレノイドブロック１２の対向端面３１にシート４７を接触させた状態のもとで、弾性部材５７をソレノイドブロック１２に押し付ける。これにより、図１０（Ｂ）に示されるように、弾性部材５７のうち凹部４６に対応する部分は、弾性変形してシート４７を介して凹部４６内に入り込んだ状態となる。弾性部材５７がソレノイドブロック１２に押し付けられると、磁気吸着面３２はシート４７の被覆層５１により覆われる。また、凹部４６の内面はシート４７の変形部により覆われて、空気室５２がシート４７により形成される。弾性部材５７によりシート４７をソレノイドブロック１２に装着する場合には、弾性部材５７に、図９に示されるように、突起部を設けるようにしても良い。

図８〜図１０に示されるように、凹部４６内にシート４７の一部を変形させて入り込ませることにより、シート４７は対向端面３１の凹凸形状に倣った断面形状となり、接着剤を用いてシート４７を対向端面３１に装着することなく、確実にシート４７を対向端面３１に装着することができる。これにより、接着剤の厚みを排除して、薄いシート４７のみによって磁気吸着面３２を被覆することができるとともに、空気室５２を形成することができる。薄いシート４７により磁気吸着面３２を被覆することができるので、可動子と固定鉄心の間の距離は短縮される。従って、可動子４１の応答性を高めることができる。

なお、図１や図５において、可動子４１が弁座部３６に対向する面には、シール部材４４が設けられているが、シール部材４４を設けることなく、可動子４１の平坦面が弁座部３６に直接的に対向してもよい。その場合には、可動子４１の平坦面が弁座部３６の弁座に当接して、弁が閉じることになる。

また、固定鉄心２２の磁気吸着面３２は、対向端面３１において露出することなく、薄い樹脂で覆われていてもよい。この場合でも、接着剤の厚みを排除できるので、可動子と固定鉄心の間の距離は短縮される。従って、可動子４１の応答性を高めることができる。

この開閉弁１０は、空気圧源から供給される圧縮空気を被供給部材に供給するための空気圧システムに適用される。

Claims

弁座部を備えたバルブボディと、
前記バルブボディとの間で弁室を区画するソレノイドブロックと、
コイルが巻き付けられる固定鉄心の磁気吸着面が設けられ、前記バルブボディに対向して前記ソレノイドブロックに設けられる対向端面と、
前記弁室に設けられ、前記コイルが通電されると前記磁気吸着面に吸引される可動子と、
前記対向端面に設けられ、少なくとも一部が前記可動子に対向する凹部と、
前記対向端面に装着され、前記磁気吸着面と前記凹部を覆う樹脂製のシートと、を有し、
前記シートと前記凹部により空気室が形成される、開閉弁。
請求項１記載の開閉弁において、
前記磁気吸着面は前記対向端面に露出して設けられ、前記樹脂製のシートで覆われる、開閉弁。
請求項１または２記載の開閉弁において、前記シートは前記バルブボディと前記ソレノイドブロックとの間に挟み付けられている、開閉弁。
請求項３記載の開閉弁において、前記シートには位置決め突起が挿入される位置決め孔が設けられる、開閉弁。
請求項１〜４のいずれか１項に記載の開閉弁において、前記バルブボディと前記ソレノイドブロックとの間に装着された前記シートを、前記弁室内に供給される圧縮空気により変形させて、前記凹部内に前記空気室を形成する、開閉弁。
請求項１〜４のいずれか１項に記載の開閉弁において、前記ソレノイドブロックの対向端面に接触させた前記シートを、前記凹部内に入り込む突起部を有する成形型により変形させて、前記凹部内に前記空気室を形成する、開閉弁。
請求項１〜４のいずれか１項に記載の開閉弁において、前記ソレノイドブロックの対向端面に接触させた前記シートを、弾性部材により変形させて、前記凹部内に前記空気室を形成する、開閉弁。