JP6483494B2 - 光学式センサ - Google Patents
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Description
。そして、発光素子3の光は第1凸曲面51からレンズ5に入射する。すなわち、第1凸曲面51は、光が入射してくる方向に向かって突出している。なお、図2においては、第1凸曲面51に対して発光素子3の光は下方から入射することから、第1凸曲面51は下方に向かって湾曲している。また、第1凸曲面51は、突出部から平面方向(XY平面方向)に向かって、湾曲している。第1凸曲面51の曲率半径は、例えば0.1mm以上100mm以下に設定される。なお、第1凸曲面51の曲率半径とは、第1凸曲面51の光軸を通って、上下方向(Z軸方向)に切断した断面における外形の曲率半径を指す。
、例えば0.1mm以上100mm以下に設定される。第1距離X1は、例えば、第2距離X2の1.5倍以上10倍以下に設定される。なお、第1距離X1および第2距離X2は、例えば光学式センサ1を構成する各部品の寸法の測長、エリプソメータによる屈折率測定、光線のシミュレーション等によって、把握することができる。
。
2 感応部
21 第1薄膜
22 第2薄膜
3 発光素子
4 受光素子
5 レンズ
51 第1凸曲面
52 第2凸曲面
6 透光性基板
61 上面
62 下面
63 側面
63a 傾斜部
64 切り欠き部
7 ミラー
R1 第1凸曲面の曲率半径
R2 第2凸曲面の曲率半径
X1 第1距離
X2 第2距離
Y1 第3距離
Y2 第4距離
Claims (3)
- 流体中の物質を検知する光学式センサであって、
流体中の物質に反応して屈折率を変化させる感応部と、
前記感応部の周囲に配置されて、前記感応部に光を照射する発光素子と、
前記感応部の周囲に配置されて、前記感応部での反射光を受ける受光素子と、
前記発光素子の光を集光し、且つ、前記発光素子側に突出した第1凸曲面および前記第1凸曲面に対向するとともに前記第1凸曲面と反対側に突出した、前記第1凸曲面よりも曲率半径が大きい第2凸曲面を有するレンズと、を備え、
前記第1凸曲面は、前記発光素子から入射する光の光路が前記第1凸曲面および前記第2凸曲面の間の領域において前記第1凸曲面の光軸と交差するように配されており、
前記第2凸曲面は、前記第2凸曲面に入射する光の光路が、前記第2凸曲面の光軸と交差するように配されており、
前記第1凸曲面および前記第2凸曲面の間の領域において、前記第1凸曲面の光軸および前記第1凸曲面への入射光の入射点の距離は、前記第2凸曲面の光軸および前記第2凸曲面への入射光の入射点との距離よりも大きい、
前記感応部の屈折率の変化に応じた反射光の光強度の変化によって前記物質を検知する、光学式センサ。 - 流体中の物質を検知する光学式センサであって、
流体中の物質に反応して屈折率を変化させる感応部と、
前記感応部の周囲に配置されて、前記感応部に光を照射する発光素子と、
前記感応部の周囲に配置されて、前記感応部での反射光を受ける受光素子と、
前記発光素子の光を集光し、且つ、前記発光素子側に突出した第1凸曲面および前記第1凸曲面に対向するとともに前記第1凸曲面と反対側に突出した、前記第1凸曲面よりも曲率半径が小さい第2凸曲面を有するレンズと、を備え、
前記第1凸曲面は、前記発光素子から入射する光の光路が前記第1凸曲面および前記第2凸曲面の間の領域において前記第1凸曲面の光軸と交差するように配されており、
前記第2凸曲面は、前記第2凸曲面に入射する光の光路が、前記第2凸曲面の光軸と交差するように配されており、
前記第1凸曲面および前記第2凸曲面の間の領域において、前記第1凸曲面の光軸に対して前記第1凸曲面への入射光の光路が交わる交点および前記第1凸曲面への入射光の入射点の距離における前記光軸に沿った成分は、前記第2凸曲面の光軸に対して前記第2凸曲面への入射光の光路が交わる交点および前記第2凸曲面への入射光の入射点の距離における前記光軸に沿った成分よりも小さい、
前記感応部の屈折率の変化に応じた反射光の光強度の変化によって前記物質を検知する、光学式センサ。 - 上面、該上面に対向する下面、側面、および、前記下面から前記側面にわたって位置している切り欠き部を有する透光性基板をさらに有し、前記感応部は前記上面に配置されていて、前記レンズは前記切り欠き部に配されている、請求項1または2に記載の光学式センサ。
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JP2015062849A JP6483494B2 (ja) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | 光学式センサ |
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