JP6482072B2 - 真空脱脂焼結炉 - Google Patents
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Description
2 ヒーター
2a ヒーターの発熱体
3 真空断熱材
3a 断熱材
3b 断熱材
3c 断熱材
4 真空チャンバー
4a 前扉
4b 後扉
5 レール
6 支柱
6a 第1の支柱部材
6b 第2の支柱部材
7 ガス供給管
8 支持プレート
9 ガス通過口
10 ガス排気穴
11 ガス排気管
20 処理容器
L 処理容器の長手方向
P ガス通過口形成面
S1 処理容器が存在する空間
S2 処理容器が存在しない空間
V ガス通過口形成面に垂直な方向
W 処理容器の幅方向
Claims (6)
- 被処理品の脱脂、焼結処理を行う真空脱脂焼結炉であって、
被処理品が収容される処理容器と、
非通気性の断熱材と、
前記処理容器及び前記断熱材が収容される真空チャンバーと、
前記処理容器を支持する処理容器支持部と、
前記処理容器内にスイープガスを供給するガス供給機構とを備え、
前記断熱材は、
前記処理容器の周囲を覆うように設けられた第1の断熱材と、
前記第1の断熱材の内側に設けられた第2の断熱材とを有し、
前記第2の断熱材は、前記第1の断熱材で囲まれる空間を、前記処理容器が存在する空間と前記処理容器が存在しない空間に分割するように設けられ、
前記処理容器が存在する空間において、前記処理容器の周囲にヒーターが設けられ、
前記第2の断熱材に、前記スイープガスが通過するガス通過口が形成され、
前記処理容器が存在しない空間内において、前記第1の断熱材に前記スイープガスが通過するガス排気穴が形成され、
前記ヒーターの発熱体が前記第1の断熱材の外側に露出しないように前記ガス通過口と前記ガス排気穴が配置されている、真空脱脂焼結炉。 - 前記処理容器支持部は、
前記処理容器を下方から支持する第1の支柱部材と、
前記断熱材の底部を下方から支持する第2の支柱部材とを備え、
前記第1の支柱部材は、下端部が前記断熱材の内面に接続され、
前記第2の支柱部材は、前記第1の支柱部材の下端部が接続された断熱材の外面に接続されている、請求項1に記載の真空脱脂焼結炉。 - 前記第1の支柱部材と前記第2の支柱部材が複数設けられ、
前記第1の支柱部材と前記第2の支柱部材とが対向しないように配置されている、請求項2に記載の真空脱脂焼結炉。 - 前記第1の支柱部材の下端部および前記第2の支柱部材の上端部の少なくともいずれか一方に、前記断熱材に面接触する支持プレートが設けられている、請求項2又は3に記載の真空脱脂焼結炉。
- 前記処理容器が存在しない空間において、前記第1の断熱材と前記第2の断熱材との間に第3の断熱材が設けられ、
前記第3の断熱材は、前記ガス通過口から前記ガス排気穴までの前記スイープガスの流路を塞がない位置に配置されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の真空脱脂焼結炉。 - 前記第3の断熱材は、前記第1の断熱材および前記第2の断熱材の少なくともいずれか一方との間に隙間が形成されるように設けられている、請求項5に記載の真空脱脂焼結炉。
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