JP6481999B2 - 表面弾性波センサ及び溶液物性測定方法 - Google Patents
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Description
1:櫛状電極部
2:短絡伝搬路
3:解放伝搬路
4:櫛状電極部
5:信号差分測定部
6:伝搬速度測定部
7:伝搬振幅測定部
8:溶液物性測定部
Claims (5)
- 溶液の物性を測定する表面弾性波センサであって、
標準液体を伝搬路に負荷したときの表面弾性波の伝搬速度に対する、前記溶液を前記伝搬路に負荷したときの表面弾性波の伝搬速度の変化を測定する伝搬速度測定部と、
前記溶液の溶媒の温度変化に起因する前記伝搬速度変化の温度変化と、表面弾性波基板の温度変化に起因する前記伝搬速度変化の温度変化と、が相殺されることにより、前記溶液の溶媒及び前記表面弾性波基板の温度変化が補償された状態で、前記伝搬速度変化に基づいて、前記溶液の物性を測定する溶液物性測定部と、
を備えることを特徴とする表面弾性波センサ。 - 前記溶液の溶媒の温度変化に起因する前記伝搬速度変化の温度変化と、前記表面弾性波基板の温度変化に起因する前記伝搬速度変化の温度変化と、が相殺されるように、前記表面弾性波基板のウェハーカット角度が設定される
ことを特徴とする、請求項1に記載の表面弾性波センサ。 - 前記溶液の溶媒の温度変化に起因する前記伝搬速度変化の温度変化と、前記表面弾性波基板の温度変化に起因する前記伝搬速度変化の温度変化と、が相殺されるように、解放伝搬路の電気的絶縁部及び電気的接続部の面積比率が設定される
ことを特徴とする、請求項1又は2に記載の表面弾性波センサ。 - 前記溶液の溶媒及び前記標準液体は、純水であり、
前記表面弾性波基板は、LiTaO3基板である
ことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の表面弾性波センサ。 - 表面弾性波センサを用いて溶液の物性を測定する方法であって、
標準液体を伝搬路に負荷したときの表面弾性波の伝搬速度に対する、前記溶液を前記伝搬路に負荷したときの表面弾性波の伝搬速度の変化を測定する伝搬速度測定ステップと、
前記溶液の溶媒の温度変化に起因する前記伝搬速度変化の温度変化と、表面弾性波基板の温度変化に起因する前記伝搬速度変化の温度変化と、が相殺されることにより、前記溶液の溶媒及び前記表面弾性波基板の温度変化が補償された状態で、前記伝搬速度変化に基づいて、前記溶液の物性を測定する溶液物性測定ステップと、
を順に備えることを特徴とする溶液物性測定方法。
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