JP6477420B2

JP6477420B2 - 導電性高分子用エッチングインクおよび導電性高分子のパターニング方法

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Publication number: JP6477420B2
Application number: JP2015212676A
Authority: JP
Inventors: 祐介橋本; 孝井原
Original assignee: Toagosei Co Ltd
Current assignee: Toagosei Co Ltd
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Filing date: 2015-10-29
Publication date: 2019-03-06
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Description

本発明は、導電性高分子用エッチングインクおよび該インクを用いる導電性高分子のパターニング方法に関する。

現在、透明導電膜としては、インジウムを含むＩＴＯ（酸化インジウムスズ）が主に使用されているが、インジウムは希少元素であるため、ＩＴＯの代替材料が研究され、ＩＴＯの代替材料としては、導電性高分子が有望である。
導電性高分子は、導電性、光の透過性、発光性、成膜後もフレキシブルであるという特徴があり、透明導電膜、電解コンデンサー、帯電防止剤、電池および有機ＥＬ素子等への応用が期待されている。

上記の通り、導電性高分子は、エレクトロニクス産業にとって有益な材料であ
り、特に、タッチパネル、タッチスイッチのセンサー部の透明性材料として期待されている。そのため、導電性高分子をエッチングして、導電性高分子膜をパターニングする方法は、導電性高分子を使用するにあたり重要な技術となっている。

導電性高分子膜をエッチングする方法として、例えば、導電性ポリマーに電極パターンを製造するために、１０〜５０００ｍｇ／ｍ²の導電性ポリマーを含有する層を支持体上に適用して導電性層を作った後、ＣｌＯ^-、ＢｒＯ^-などの酸化剤を含有する印刷溶液を使用して前記層上に電極パターンを印刷する方法が開示されている（特許文献１）。
また、導電性高分子用エッチング剤、増粘剤および水系媒体を含む導電性高分子エッチング用インクを使用して、導電性高分子をパターニングする方法が開示されている（特許文献２）。

特開２００１−３５２７６号公報国際公開番号２０１１−１２５６０３号公報

しかしながら、特許文献１に記載された方法では、シリカ、シリケート、クレー、合成クレーおよび高分子増粘剤を増粘剤に使用しているため、得られるパターンの精度が悪く、また、高分子増粘剤では粘度低下を起こすという問題がある。
また、特許文献２に記載された方法では、増粘剤に球状のシリカ粒子やアルミナ粒子が使用されているため、インクの粘度の経時変化が大きく、また、印刷して間もなく乾燥してこれらの粒子が飛散するため、クリーンルーム内のパーティクル濃度が上昇する。また、印刷中に乾燥してスクリーン版のメッシュやノズルに詰まるため、連続処理性に劣る。さらに、インクの洗浄性が悪いために、フィルム上にこれらの粒子が残り、光学特性を悪化させる原因となる。
上記の状況を鑑み、本発明は、導電性高分子膜をエッチングするに際し、耐乾燥性、洗浄性および印刷特性に優れたエッチングインクを提供すること、および該エッチングインクを使用した導電性高分子のパターニング方法を提供することを目的とする。

本発明者は、上記の課題を解決するために鋭意検討した結果、高分子電解質であるポリアクリル酸またはその塩を添加することで、インクの保水力が高くなるため乾燥しにくくなること、ポリアクリル酸またはその塩が洗浄剤として働き洗浄性を向上すること、および無機粒子とポリアクリル酸を併用することで印刷に適した粘度特性が付与されることから、導電性高分子エッチング剤、無機粒子、ポリアクリル酸またはその塩、および水系媒体を含むインクが耐乾燥性、洗浄性および印刷特性に優れた導電性高分子用エッチングインクとなることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明に係る第１形態は、導電性高分子用エッチング剤（Ａ）、無機粒子（Ｂ）、ポリアクリル酸またはその塩（Ｃ）、および水系媒体（Ｄ）を含む導電性高分子用エッチングインクである。
さらに、上記第１形態において、導電性高分子用エッチングインクの構成成分
である前記（Ａ）〜（Ｃ）を特定の好ましい化合物に限定する実施態様も含まれる。

また、本発明に係る第２形態は、基材上に導電性高分子の膜を形成する成膜工程、前記膜における導電性高分子を不活化させる領域に前記導電性高分子用エッチングインクを付与する印刷工程、前記導電性高分子用エッチングインクにより前記不活化させる領域の導電性高分子をエッチングするエッチング工程、並びに、残存する導電性高分子用エッチングインクおよび導電性高分子のエッチング残液を基板上より除去する除去工程を含むことを特徴とする、導電性高分子のパターニング方法である。

本発明の導電性高分子用エッチングインクによれば、導電性高分子に対し優れた不活化能力を有し、耐乾燥性、洗浄性および印刷特性に優れるだけでなく、インキ性能の劣化が少ないため連続印刷する場合でも印刷精度を維持することが可能となる。したがって、この導電性高分子用エッチングインクおよびこれを使用した導電性高分子のパターニング方法は極めて優れている。

以下、本発明についてさらに詳しく説明する。
本発明の導電性高分子用エッチングインク（以下、単に「本発明のインク」ともいう。）は、導電性高分子用エッチング剤（Ａ）、無機粒子（Ｂ）、ポリアクリル酸またはその塩（Ｃ）および水系媒体（Ｄ）を含むことを特徴とする。
本発明のインクは、導電性高分子に接触することにより、当該接触部分の導電性高分子を不活化することができる。すなわち、本発明のインクを所望の形状で導電性高分子上に付与し、エッチングすることにより、所望の形状に導電性高分子をパターニングすることができる。
従来の導電性高分子のパターニング方法としては、レジスト膜を使用する方法が知られているが、本発明のインクを用いることにより、レジスト膜を使用することなく、簡便に導電性高分子のパターニングを行なうことができる。

本発明のインクにおける導電性高分子用エッチング剤（Ａ）としては、導電性高分子を不活化させる化合物であれば特に制限はないが、導電性高分子を不活化させる酸化剤であることが好ましい。
本発明に用いることができる導電性高分子用エッチング剤（Ａ）としては、（ＮＨ₄）₂Ｃｅ（ＮＯ₃）₆、Ｃｅ（ＳＯ₄）₂、（ＮＨ₄）₄Ｃｅ（ＳＯ₄）₄、塩化ニトロシル、臭素酸化合物、塩素酸化合物、過マンガン酸化合物、６価クロム化合物、ジクロロイソシアヌル酸、トリクロロイソシアヌル酸、さらし粉、クロラミン、クロラミンＴ、１，３−ジクロロー５，５−ジメチルヒダントイン、亜塩素酸塩および次亜塩素酸塩などが挙げられ、これらの中でも、エッチング性の観点からは、（ＮＨ₄）₂Ｃｅ（ＮＯ₃）₆、Ｃｅ（ＳＯ₄）₂、（ＮＨ₄）₄Ｃｅ（ＳＯ₄）₄および次亜塩素酸塩が好ましく、コストおよび汎用性の観点から次亜塩素酸塩が特に好ましい。

次亜塩素酸塩は、水酸化アルカリ金属または水酸化アルカリ土類金属に塩素を吸収させて製造することができ、その場合、未反応の水酸化アルカリ金属または水酸化アルカリ土類金属の影響でその水溶液は強アルカリ性を示す。
本発明のインクのｐＨを調整するために酸やアルカリを併用してもよい。併用する酸としては無機酸および有機酸のいずれも使用することができる。具体的には、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、酢酸、クエン酸が挙げられ、これらの中でも硫酸および硝酸が好ましい。
併用するアルカリとしては、苛性ソーダ、苛性カリ、炭酸ソーダ、炭酸カリなどが挙げられ、これらの中でも苛性ソーダが好ましい。

本発明のインクに次亜塩素酸塩を用いる場合、本発明のインクのｐＨは、特に制限なく、使用する基材や導電性高分子の膜の材質に応じて選択すればよいが、塩素ガス発生の抑制やエッチング性の観点から、ｐＨが４〜１４であることが好ましく、７〜１４であることが好ましく、１０〜１４であることが更に好ましい。本発明のインクのｐＨの測定は、市販されているｐＨメーターを用いて測定することができる。

本発明のインクにおける導電性高分子用エッチング剤に次亜塩素酸塩を用いる場合、その有効塩素濃度はインクの全質量に対し、０．０６〜３．０質量％の範囲であることが好ましく、０．５〜３．０質量％がより好ましく、１．０〜２．７質量％が更に好ましい。有効塩素濃度が上記の範囲内であると導電性高分子のエッチングを効率よく行なうことができる。

本発明において、次亜塩素酸塩の有効塩素濃度は、Ｎａ₂ＳＯ₃での滴定法により測定する。測定方法は以下のとおりである。
測定する試料をＷグラム採取し、イオン交換水を加え２５０ｍｌとする。この試料液１０ｍｌを分取し、ヨウ化カリウム１０％水溶液１０ｍｌを加える。そして、酢酸（１：２）１０ｍｌを加えｐＨを酸性にし、０．１規定濃度チオ硫酸ナトリウム水溶液で測定する（滴定の途中で終点を判定しやすくするため可溶性でんぷんを加えてもよい。）。０．１規定濃度Ｎａ₂ＳＯ₃の滴定量および試料採取料Ｗと次式から有効塩素濃度を求める。

なお、式中のｆ（ファクター）は、０．１規定濃度Ｎａ₂ＳＯ₃の補正係数、すなわち、実際に使用したＮａ₂ＳＯ₃水溶液と０．１規定濃度Ｎａ₂ＳＯ₃水溶液との差を補正する係数を表す。

本発明のインクにおける無機粒子（Ｂ）は、インクを増粘させるために使用される。無機粒子（Ｂ）としては、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア、ゲルマニア、酸化セリウム、酸化亜鉛、シリコンカーバイド、タルク、ヌメクタイト、マイカおよびカオリンなどが挙げられる。
無機粒子の形状としては、特に制限がなく、球状、平板状、針状、繊維状、不定形状など挙げられるが、これらの中でも平板状および針状の無機粒子が好ましく、ベントナイト、セピオライトおよびアタパルジャイトが特に好ましい。
平板状および針状の無機粒子を用いることでインク粘度の経時変化が小さくなる効果がある。
無機粒子の平均一次粒径としては、３ｎｍ〜１００μｍであることが好ましく、３ｎｍ〜２５μｍであることがより好ましく、３ｎｍ〜２μｍであることが更に好ましい。

本発明のインクにおけるポリアクリル酸またはその塩（Ｃ）は、インクの保水力を高められるので乾燥しにくくさせること、および洗浄剤として働くので洗浄性を向上させるために添加する。
したがって、ポリアクリル酸またはその塩（Ｃ）を添加することで、洗浄性が向上し、インクが乾燥し難くなるため、長時間放置しても無機粒子が飛散することなく、洗浄性も改良される。その結果、ロール・ツー・ロールのような量産向けの連続処理だけでなく、カットした導電フィルムを数十枚連続印刷したものをラックに並べ、その後一度に洗浄するなどの少量向けの枚葉処理にも適用できる。
また、乾燥しにくいことで、スクリーンメッシュへの詰まりを抑えて連続処理可能となること、さらに、ポリアクリル酸と無機粒子の組み合わせで、スクリーン印刷に適した粘度特性に調節することが可能になるなどの効果も発現する。

ポリアクリル酸またはその塩としては、アクリル酸またはそのアルカリ金属塩を重合させて得られるものが挙げられ、これらの中でも、ポリアクリル酸ナトリウムが好ましい。
ポリアクリル酸またはその塩の重量平均分子量としては、１０００〜５０万であることが好ましく、架橋型ではなく、直鎖型のポリアクリル酸またはその塩が好ましい。
ポリアクリル酸またはその塩の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定する。例えば、ＧＰＣの測定条件は、ＨＬＣ８０２０システム（東ソー社製）を使用し、検出はＲＩで行い、カラムはＧ４０００ＰＷ×１、Ｇ３０００ＰＷ×１、Ｇ２５００ＰＷ×１を連結して使用して、溶解液は０．１ＭＮａＣｌ＋リン酸バッファー（ｐＨ７）とし、検量線はポリアクリル酸ナトリウムを用いて作成する。

本発明のインクに用いられる水系媒体（Ｄ）は、エッチング処理に影響のない媒体であれば、特に制限はないが、水が好ましい。
本発明のインクには、水系媒体を２５質量％〜８７質量％含有することが好ましい。

本発明のインクは、前記（Ａ）〜（Ｄ）の必須成分を含むものであり、これらの配合割合は、導電性高分子用エッチング剤（Ａ）が１〜３質量％、無機粒子（Ｂ）が７〜３０質量％、ポリアクリル酸またはその塩（Ｃ）が５〜４２質量％および水系媒体（Ｄ）が２５〜８７質量％であることが好ましい。

本発明のインクの粘度は、安定性や得られるパターンの精度の観点から、レオメーターで測定した粘度が、せん断速度０．００１ｓ^-1の場合、１０，０００〜１００，０００Ｐａ・s、せん断速度１０ｓ^-1の場合、１０〜１００Ｐａ・sの範囲に入るものがより好ましい。

本発明のインクには、前記（Ａ）〜（Ｄ）成分以外に下記に示す化合物を含有させることができる。
例えば、界面活性剤、消泡剤、表面調整剤、レベリング剤、潤滑剤、乾き防止剤、ｐＨ調整剤（苛性ソーダ、苛性カリなど）、次亜塩素酸塩安定剤など本発明のインクの性能に影響を与えない範囲で使用することができる。

本発明のインクの調製方法としては、以下に示す方法が例示されるが、この方法に限定されない。
ポリアクリル酸ナトリウムを水に溶かして水溶液とした後、無機粒子および導電性高分子用エッチング剤を添加した後、無機粒子が均一に分散するまで三本ロールで混合処理を行い、本発明のインクを調整する。

次に導電性高分子のパターニング方法について説明する。
導電性高分子は、π電子が移動して導電性を示す。このような導電性高分子としては、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリフェニレン、ポリフルオレン、ポリビチオフェン、ポリイソチオフェン、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）、ポリイソチアナフテン、ポリイソナフトチオフェン、ポリアセチレン、ポリジアセチレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリアセン、ポリチアジル、ポリエチレンビニレン、ポリパラフェニレン、ポリドデシルチオフェン、ポリフェニレンビニレン、ポリエチレンビニレン、ポリフェニレンスルフィドなどおよびこれらの誘導体が挙げられる。
これらの中でも、ポリアニリン類、ポリピロール類およびポリチオフェン類が好ましく、ポリピロール類およびポリチオフェン類がより好ましく、電気伝導度、空気中での安定性および耐熱性に優れたポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）が最も好ましい。

また、導電性高分子を用いる際により高い電気伝導度を発現する目的で、ドーパントと呼ばれるドーピング剤を併用することができる。
併用するドーパントとしては、公知のドーパントを用いることができ、導電性高分子の種類に応じて、ハロゲン類（臭素、ヨウ素、塩素塔）、ルイス酸（ＢＦ₃、ＰＦ₅など）、プロトン酸（ＨＮＯ₃、Ｈ₂ＳＯ₄など）、遷移金属ハライド（ＦｅＣｌ₃、ＭｏＣｌ₅など）、アルカリ金属（Ｌｉ、Ｎａなど）、有機物質（アミノ酸、核酸、界面活性剤、色素、アルキルアンモニウムイオン、クロラニル、テトラシアノエチレン）などが挙げられる。導電性高分子自体にドーピング効果を持つ自己ドープ型導電性高分子であってもよい。また、ポリトフェン類を用いる場合、ドーパントとしてはポリスチレンスルホン酸を用いることが好ましい。

本発明における導電性高分子の導電率は、導電性を示す値の範囲であれば特に制限はないが、１０^-6〜１０⁴Ｓ／ｃｍであることが好ましく、１０^-5.5〜１０³Ｓ／ｃｍであることがより好ましく、１０^-5〜５００Ｓ／ｃｍであることが更に好ましい。本発明における導電性高分子の導電率が上記範囲にあると、接続部分のパターニング等において好ましい。

本発明における導電性高分子は、その使用時に可視光域における透過率が高いものが好ましい。なお、透過率は、波長５５０ｎｍにおいて６０〜９８％であることが好ましく、７０〜９５％であることがより好ましく、８０〜９３％であることが更に好ましい。導電性高分子の透過率が上記範囲であると、ディスプレイなどの用途に好適に用いることができる。
前記可視光域とは４００〜７００ｎｍであり、透過率の測定は、分光光度計により測定することができる。

本発明において、市販されている各種の導電性高分子が使用できる。例えば、Ｐａｎｉｐｏｌ社製の「Ｐａｎｉｐｏｌ」(商品名)は、機能性スルホン酸でドープした有機溶剤可溶型ポリアニリンである。また、Ｏｒｍｅｃｏｎ社製の「Ｏｒｍｅｃｏｎ」(商品名)は、有機酸をドーパントに用いた溶剤分散型ポニアニリンである。さらに、Ｂａｙｅｒ社製の「Ｂａｙｔｒｏｎ」（商品名）は、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）であり、ポリスチレンスルホン酸をドーパントとしている。
その他、アキレス社製の「ＳＴポリ」（商品名）はポリピロールであり、東洋紡績社製の「ＰＥＴＭＡＸ」（商品名）はスルホン化ポリアニリンであり、マルアイ社製の「ＳＣＳ−ＮＥＯ」（商品名）はポニアニリンであり、これらも本発明に使用できる。

本発明の導電性高分子のパターニング方法（以下、「本発明のパターニング方法」ともいう。）は、本発明のインクを用いて行う方法である。
本発明のインクを導電性高分子に接触させることにより、当該接触部分を不活化することができ、導電性高分子の形状は、特に制限はなく、任意の形状でよいが、膜状であることが好ましい。

また、本発明のパターニング方法は、基材上に導電性高分子の膜を形成する成膜工程、前記膜における導電性高分子を不活化させる領域に本発明のインクを付与する印刷工程、本発明のインクにより前記不活化させる領域の導電性高分子をエッチングするエッチング工程、並びに、残存する本発明のインクおよび導電性高分子のエッチング残液を基板上より除去する除去工程を含む方法である。

前記成膜工程における基材としては、特に限定はなく、使用用途に応じて選択することができ、具体的には、ガラス、石英、ポリエステル（例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなど）、ポリオレフィン（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンなど）、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリメタクリレートなどが挙げられる。
成膜工程における導電性高分子の膜の厚さが、所望の厚さでよいが、１ｎｍ〜１００μｍが好ましく、２ｎｍ〜１μｍがより好ましく、５〜５００ｎｍであることが更に好ましい。

前記成膜工程における基材上に導電性高分子の膜を形成する方法は、特に制限がなく公知の方法により形成すればよい。具体的には、導電性高分子の溶液を基材上にスピンコートやディップコートしてから乾燥させる方法が挙げられる。
基材と導電性高分子の膜との間には、必要に応じ、他の層を有していてもよい。また、前記印刷工程の前に、導電性高分子の膜上に他の層を形成してもよい。
基材上に形成する導電性高分子の膜は、一様な膜であっても、一部が既に本発明のパターニング方法または他の方法によりパターニングされた膜でもよい。

前記印刷工程において、導電性高分子を不活化させる領域に本発明のインクを付与する方法として、孔版印刷、凸版印刷、凹版印刷および平版印刷などが挙げられる。これらの中でも、インク量を容易に調整できる点から、孔版印刷が好ましく、孔版印刷の中でもスクリーン印刷、ステンシル印刷およびパッド印刷がより好ましく、スクリーン印刷が特に好ましい。
印刷工程におけるインクの付与量は、膜の面積当たり一定の量を付与してもよいし、一部分のインク量をその他の部分のインク量に対して増減させてもよい。
また、前記膜における導電性高分子を不活化させる領域の形状は、特に制限はなく、必要に応じた形状であればよい。本発明のパターニング方法はナノオーダーからセンチオーダーの線幅のエッチングに好適に用いることができ、マイクロオーダーからミリオーダーの線幅のエッチングにより好適に用いることができる。

前記エッチング工程において、前記導電性高分子の膜のうち、本発明のインクが接触する部分が不活化されるので、前記印刷工程後、前記不活化させる領域のエッチングに必要な時間を経過させればよい。
エッチング工程における経過時間（エッチング時間）は、特に制限はなく、インクの組成、導電性高分子の材質や膜の厚さ、エッチングを行う温度、エッチングを行う深さ等に応じ、適時選択することができる。
エッチング時の温度は特に制限はないが、例えば、常温（１０〜３０℃）で行うことができる。また、エッチング速度の調製等のため、エッチング雰囲気および／または導電性高分子の膜を有する基材を加熱または冷却してもよい。
また、エッチング工程においては、前記導電性高分子の膜を有する基材を静置しておいてもよいし、エッチングに影響しない範囲で導電性高分子の膜を有する基材を動かしていてもよい。

前記除去工程で基材上より除去するエッチング残渣としては、例えば、本発明のインクによる導電性高分子の分解物、エッチングにより生じた導電性高分子の微粉などが挙げられ、簡便性およびコストの観点から、水洗により残存する本発明のインクおよび導電性高分子のエッチング残渣を除去することが好ましい。
水洗に使用する水の量としては、除去に必要な量であればよく、特に制限はない。また、水洗方法としては、パターニングされた導電性高分子を有する基材を流水により洗浄する方法、パターニングされた導電性高分子の膜を有する基材を水に浸漬する方法などが挙げられる。

また、前記除去工程において水洗を行った場合、本発明のパターニング方法は、除去工程の後に、パターニングされた導電性高分子の膜を乾燥させる工程を含むことが好ましい。乾燥方法としては、特に制限はなく、熱による乾燥、風乾、温風により乾燥などが利用できる。

本発明のパターニング方法には、前記工程以外に、必要に応じて、他の工程を含んでいてもよく、本発明のパターニング方法を行った後、または行う前に、本発明以外のパターニング方法によりパターニングを行ってもよく、また、本発明のパターニング方法を２回以上行ってもよい。
また、本発明のパターニング方法においては、本発明のインクを２種以上併用してもよい。

以下、実施例および比較例により、本発明を具体的に説明する。
＜実施例１＞
重量平均分子量が６０００であるポリアクリル酸ナトリウム（ポリアクリル酸Ｎａ）３５ｇを水に溶解させ、無機粒子であるクニピアＦ（商品名、クニミネ工業製）を１３ｇおよび有効塩素濃度１３％の次亜塩素酸ナトリウム（次亜塩素酸Ｎａ）を７．７ｇ添加して、全体が１００ｇになるように水を追加した後、三本ロールで均一になるまで混練することで、エッチングインクを得た。この時のインクの有効塩素濃度は１．０質量％であり、ｐＨは１２であった。
前記エッチングインクをスクリーン版に適量載せて、ポリチオフェン系導電性高分子が塗工された導電フィルム（電子化工社製、表面抵抗３７０Ω/□）にスクリーン印刷を行った。
印刷終了後に導電フィルム上のエッチングインクを大量の水で洗い流し乾燥することで、エッチングインクが印刷された部分が不活化し、スクリーンパターンに従った導電性高分子のパターニングが完成した。上記スクリーン印刷から洗浄までの操作を連続で繰り返し行った。
エッチングインクを用いたスクリーン印刷時における連続処理時の印刷精度、耐乾燥性、洗浄性、保管時の有効塩素濃度および粘度の経時変化を下記方法で評価して、その結果を表１に示す。

＜実施例２〜１０＞
表１に示す無機微粒子、ポリアクリル酸Ｎａおよび次亜塩素酸Ｎａを使用した以外は、実施例１と同様にエッチングインクを調整して、スクリーン印刷を行った。各エッチングインクを用いたスクリーン印刷時における連続処理時の印刷精度、耐乾燥性、洗浄性、保管時の有効塩素濃度および粘度の経時変化を評価して、その結果を表１に示す。

＜比較例１〜３＞
ポリアクリル酸Ｎａを添加せずに、表１に示す無機粒子と次亜塩素酸Ｎａを使用した以外は、実施例１と同様にエッチングインクを調整して、スクリーン印刷を行った。各エッチングインクを用いたスクリーン印刷時における連続処理時の印刷精度、耐乾燥性、洗浄性、保管時の有効塩素濃度および粘度の経時変化を評価して、その結果を表１に示す。

上記スクリーン印刷時における各試験の評価基準は以下の通りである。
・連続処理時の印刷精度の評価基準
×：５枚連続印刷するとパターンのかすれやにじみが生じる。
○：５０枚連続印刷してもパターン通りに印刷できる。
・耐乾燥性の評価基準
×：インクを印刷した状態で３０分放置すると、乾燥して粉が舞う。
○：インクを印刷した状態で３０分放置しても、乾燥しない。
・洗浄性の評価基準
○：印刷３０分後に洗浄してもインクが綺麗に洗い流せる。
×：印刷５分後に洗浄してもインクが固着してフィルム上に残る。
・保管時の有効塩素濃度変化の評価基準
○：冷蔵（５℃）保管で３カ月後の有効塩素濃度が初期の５０％以上を維持している。
△：冷蔵（５℃）保管で３カ月後の有効塩素濃度が初期の３０〜５０％を維持している。
×：冷蔵（５℃）保管で３カ月後の有効塩素濃度が初期の３０％未満となる。
・保管時の粘度変化の評価基準
○：冷蔵（５℃）保管で３カ月後の粘度が初期の１／１０〜１０倍の範囲にある。
△：冷蔵（５℃）保管で３カ月後の粘度が初期の１／１０〜１／１００倍、もしくは１０〜１００倍の範囲にある。
×：冷蔵（５℃）保管で３カ月後の粘度が初期の１／１００未満、もしくは１００倍を超える。

表１における無機粒子の略号は以下のとおりである。
・クニピアＦ（商品名）：クニミネ工業社製、平板状ベントナイト
・ＯＰＴＩＧＦＬＣＫ（商品名）：Ｒｏｏｋｗｏｏｄ社製、平板状ベントナイト
・アタゲル５０（商品名）：林化成社製、針状アタパルジャイト
・ＰＡＮＧＥＬＡＤ（商品名）：楠本化成社製、針状セピオライト
・ミラクレーＰ−１５０（商品名）：近江鉱業社製、針状セピオライト
・アロエジルＣＯＫ８４（商品名）：日本アロエジル社製、球状でシリカ：アルミナ＝５：１の混合物

本発明のインクおよび本発明のパターニング方法は、電解コンデンサー、電池、タッチパネル、液晶パネルおよび有機ＥＬ素子などに用いる導電性高分子のエッチングに適用することができる。
したがって、高分子有機ＥＬディスプレイに代表されるディスプレイの表示画素部分の導電性高分子および周辺回路と導電性高分子の接続部分のパターニング、タッチパネルの検出部分の導電性高分子および周辺回路と導電性高分子の接続部分のパターニング、コンデンサー製造時に不要部分に付着した導電性高分子の除去などのエッチングが必要な用途において導電性高分子の利用が促進されることが期待される。

Claims

導電性高分子用エッチング剤（Ａ）、無機粒子（Ｂ）、ポリアクリル酸またはその塩（Ｃ）、および水系媒体（Ｄ）を含む導電性高分子用エッチングインク。
導電性高分子用エッチング剤（Ａ）が次亜塩素酸塩である請求項１に記載の導電性高分子用エッチングインク。
ポリアクリル酸またはその塩（Ｃ）の重量平均分子量が１０００〜５０万である請求項１または請求項２に記載の導電性高分子用エッチングインク。
無機粒子（Ｂ）が、一次粒子形状が平板状または針状の無機粒子である請求項１〜請求項３のいずれかに記載の導電性高分子用エッチングインク。
無機粒子（Ｂ）が、ベントナイト、セピオライトおよびアタパルジャイトの少なくとも１つである請求項１〜請求項４のいずれかに記載の導電性高分子用エッチングインク。
基材上に導電性高分子の膜を形成する成膜工程、
前記膜における導電性高分子を不活化させる領域に請求項１〜５のいずれか１つに記載の導電性高分子用エッチングインクを付与する印刷工程、
前記導電性高分子用エッチングインクにより前記不活化させる領域の導電性高分子をエッチングするエッチング工程、並びに、
残存する導電性高分子用エッチングインクおよび導電性高分子のエッチング残液を基板上より除去する除去工程を含むことを特徴とする導電性高分子のパターニング方法。
前記導電性高分子が、ポリアニリン類、ポリピロール類またはポリチオフェン類である、請求項６に記載の導電性高分子のパターニング方法。