JP6473026B2 - 一方向性凝固物の異結晶検査装置及び検査方法 - Google Patents
一方向性凝固物の異結晶検査装置及び検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6473026B2 JP6473026B2 JP2015069905A JP2015069905A JP6473026B2 JP 6473026 B2 JP6473026 B2 JP 6473026B2 JP 2015069905 A JP2015069905 A JP 2015069905A JP 2015069905 A JP2015069905 A JP 2015069905A JP 6473026 B2 JP6473026 B2 JP 6473026B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target region
- inspection target
- different crystal
- luminance
- rotation angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
そこで、一方向性凝固物における異結晶部を検出可能な検査方法の提案が望まれる。
前記一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して光を照射するための照明部と、
前記検査対象領域を撮像するための撮像部と、
前記検査対象領域、前記照明部および前記撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に前記光の照射方向を投影したときにおける、前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の回転角度φを変化させるように構成された照射方向変更部と、
前記撮像部によって得られた前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、前記検査対象領域内における異結晶部を特定するための異結晶特定部と、を備える。
上記(1)の構成は、本発明者らの上記知見を利用したものであり、撮像部によって得られた回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、検査対象領域内における異結晶部を特定するようになっている。これにより、微細な異結晶部であっても高精度に検出することができる。
前記異結晶特定部は、
前記検査対象領域内の各位置における輝度と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記差分の周期的変化の振幅を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記周期的変化の振幅に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ように構成される。
上記(2)の構成は、本発明者らの上記知見を利用したものであり、検査対象領域内の各位置における輝度と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分の周期的変化の振幅に基づき、異結晶部の位置を特定するものである。
着目する位置に異結晶部が存在し、且つ、当該位置の周囲部には異結晶部が存在しない場合、着目位置(異結晶部)とその周囲部(母材)との結晶方位が異なるため、両者の輝度の差分は回転角度φに応じて変化する。一方、着目する位置および当該位置の周囲部の何れにも異結晶部が存在しない場合、着目位置(母材)とその周囲部(母材)との結晶方位が同一であるため、両者の輝度の差分はほぼゼロになる。
よって、上記(2)の構成のように、検査対象領域内の各位置における輝度と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分の周期的変化の振幅から、微細な異結晶部を高精度に検出することができる。
前記異結晶特定部は、
前記検査対象領域内の各位置における輝度、および、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記輝度の周期的変化におけるピークと、前記回転角度φに対する前記参照輝度の周期的変化における参照ピークとの差であるピーク差分を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記ピーク差分に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ように構成される。
上記(3)の構成は、本発明者らの上記知見を利用したものであり、検査対象領域内の各位置における輝度のピークと、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度のピークとの差であるピーク差分に基づき、異結晶部の位置を特定するものである。
着目する位置に異結晶部が存在し、且つ、当該位置の周囲部には異結晶部が存在しない場合、着目位置(異結晶部)とその周囲部(母材)との結晶方位が異なるため、両者の輝度ピークは相違する。一方、着目する位置および当該位置の周囲部の何れにも異結晶部が存在しない場合、着目位置(母材)とその周囲部(母材)との結晶方位が同一であるため、両者の輝度ピークはほぼ同等の大きさである。
よって、上記(3)の構成のように、検査対象領域内の各位置における輝度ピークと、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度のピークとの差であるピーク差分から、微細な異結晶部を高精度に検出することができる。
前記異結晶特定部は、
前記検査対象領域内の各位置における輝度、および、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記輝度の周期的変化における位相と、前記回転角度φに対する前記参照輝度の周期的変化における参照位相との差である位相差分を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記位相差分に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ように構成される。
上記(4)の構成は、本発明者らの上記知見を利用したものであり、検査対象領域内の各位置における輝度の位相と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度の位相との差である位相差分に基づき、異結晶部の位置を特定するものである。
着目する位置に異結晶部が存在し、且つ、当該位置の周囲部には異結晶部が存在しない場合、着目位置(異結晶部)とその周囲部(母材)との結晶方位が異なるため、両者の輝度位相は相違する。一方、着目する位置および当該位置の周囲部の何れにも異結晶部が存在しない場合、着目位置(母材)とその周囲部(母材)との結晶方位が同一であるため、両者の輝度位相はほぼ一致する。
よって、上記(4)の構成のように、検査対象領域内の各位置における輝度位相と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度の位相との差である位相差分から、微細な異結晶部を高精度に検出することができる。
前記異結晶特定部は、
前記振幅、前記ピーク差分または前記位相差分が閾値を超えた位置において前記異結晶部が存在すると判定する
ように構成される。
前記異結晶特定部は、
前記画像データのうち前記周囲部について平均輝度を算出し、該平均輝度を前記参照輝度として用いる
ように構成される。
(7)他の幾つかの実施形態では、上記(2)乃至(5)の何れかの構成において、
前記異結晶特定部は、
前記画像データのうち前記位置および前記周囲部からなる領域について平均輝度を算出し、該平均輝度を前記参照輝度として用いる
ように構成される。
前記異結晶特定部は、
前記画像データにおける少なくとも一部の領域についてローパスフィルタ処理を施して、前記参照輝度を算出する
ように構成される。
前記照射方向変更部は、
前記一方向性凝固物の前記検査対象領域を取り囲むように設けられ、前記第2平面内において前記検査対象領域の周りにて前記照明部が回動するための軌道を形成する第1環状軌道部
を含み、
前記照明部は、前記回転角度φが変化するように前記第1環状軌道部に沿って前記検査対象領域の周りを移動可能に構成される。
複数の前記照明部が、前記撮像部を取り囲むように配列されており、且つ、各々の前記照明部が互いに独立して点灯可能であり、
前記照射方向変更部は、
複数の前記照明部のうち点灯される照明部を切り替えることで、前記回転角度φを変化させる
ように構成される。
また、照明部を移動させるのではなく、点灯する照明部を切り替えるようにしたので、照射方向の回転角度φの変更を迅速に行うことができる。これにより、複数の回転角度φについての画像データを取得するのに必要な時間を削減し、異結晶部の検査を効率的に行うことができる。
前記照射方向変更部は、
前記撮像部を取り囲むように設けられ、前記撮像部に対して固定された第2環状軌道部
を含み、
前記照明部は、前記回転角度φが変化するように前記第2環状軌道部に沿って前記撮像部の周りを移動可能に構成される。
前記異結晶検査装置は、複数の前記照明部が半球面に沿って配置されたドーム照明装置をさらに備え、
前記ドーム照明装置の各々の前記照明部は、互いに独立して点灯可能であり、
前記照射方向変更部は、
前記半球面に沿って配置された複数の前記照明部のうち点灯される照明部を切り替えることで、前記回転角度φを変化させる
ように構成される。
また、照明部を移動させるのではなく、点灯する照明部を切り替えるようにしたので、照射方向の回転角度φの変更を迅速に行うことができる。これにより、複数の回転角度φについての画像データを取得するのに必要な時間を削減し、異結晶部の検査を効率的に行うことができる。
さらに、ドーム照明装置を用いることで、より多くの照明部を設けることができる。例えば、ドーム照明装置の半球面の第2平面と交わる円周状の線に沿って配列される複数の照明部によって形成される照明部列を、第2平面に対する垂線方向に沿って複数列設けることができる。この場合、後述する(15)の構成のように、複数の照明部のうち点灯される照明部を切り替えることで、回転角度φだけでなく、光の照射方向の傾き角度θも自由に調節することが可能になる。
前記撮像部は、前記第1平面または前記第2平面内において移動可能に構成される。
この点、上記(13)の構成によれば、第1平面または第2平面内において撮像部が移動可能であるため、撮像部と検査対象領域との位置関係を変えながら異結晶部の検査を行うことができる。よって、異結晶部の検査のロバスト性が向上する。
前記異結晶検査装置は、前記照明部および前記撮像部が取り付けられたロボットアームをさらに備える。
前記照射方向変更部は、前記回転角度φに加えて、前記第1平面内における前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の傾き角度θを変化させるように構成され、
前記異結晶特定部は、前記撮像部によって得られた前記傾き角度θ及び前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて前記異結晶部を特定するように構成される。
前記一方向性凝固物の表面に対してエッチング処理を施すエッチングステップと、
前記一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して光を照射する光照射ステップと、
前記検査対象領域を撮像する撮像ステップと、
前記検査対象領域、前記照明部および前記撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に前記光の照射方向を投影したときにおける、前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の回転角度φを変化させる照射方向変更ステップと、
前記撮像ステップによって得られた前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、前記検査対象領域内における異結晶部を特定するための異結晶特定ステップと、を備える。
前記異結晶特定ステップでは、
前記検査対象領域内の各位置における輝度と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記差分の周期的変化の振幅を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記周期的変化の振幅に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する。
前記異結晶特定ステップでは、
前記検査対象領域内の各位置における輝度、および、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記輝度の周期的変化におけるピークと、前記回転角度φに対する前記参照輝度の周期的変化における参照ピークとの差であるピーク差分を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記ピーク差分に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する。
前記異結晶特定ステップでは、
前記検査対象領域内の各位置における輝度、および、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記輝度の周期的変化における位相と、前記回転角度φに対する前記参照輝度の周期的変化における参照位相との差である位相差分を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記位相差分に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する。
前記一方向性凝固物は、ガスタービン又は航空機エンジンのタービン鋳造翼である。
このため、上記(16)乃至(19)の方法により、ガスタービン又は航空機エンジンのタービン鋳造翼の再結晶部を高精度に検出することができる。
なお、一方向性凝固物100とは、溶融金属が一方向の温度勾配下で一定の方向に凝固したものであり、例えば、ガスタービンや航空機エンジン等のように耐熱性が要求される製品に用いられる一方向性鋳造物である。
また、異結晶部とは、一方向性凝固物100のうち部分的に結晶方位が異なる領域であり、例えば再結晶部である。
図1、図8〜図10に示すように、幾つかの実施形態において、異結晶検査装置1は、検査対象領域102を撮像するための撮像部2と、検査対象領域102に光を照射するための照明部3と、照明部3の照射方向Dを変更するための照射方向変更部4と、撮像部2で取得された画像データに基づいて異結晶部を特定するための異結晶特定部51を含む画像処理装置5と、を備える。
照明部3は、一方向性凝固物100のうち検査対象領域102に対して光を照射するように構成される。照明部3は、例えばLED照射器又はハロゲン照射器を含んでいてもよい。なお、照明部3の具体的な構成については後述する。
異結晶特定部51は、撮像部2によって得られた回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、検査対象領域102内における異結晶部を特定するように構成される。なお、異結晶特定部51の具体的な構成については後述する。
図3に、本発明者らの実験により取得した画像データ108を示す。この実験では、図2に示すように基準となる照射方向D1の第2平面Nへの投影照射方向D1’に対する、照射方向変更後の照射方向D2の第2平面Nへの投影照射方向D2’の回転角度φを30度ずつ増加させて、各回転角度φにおける画像データ108を取得した。なお、実験前に予め再結晶部104の位置は把握しており、再結晶部104をマーカー線105で囲っている。図3に示されるように、検査対象領域102において、回転角度φが0度から120度までは、回転角度φが増大するにつれて周囲母材部103の輝度は徐々に高くなっているが、再結晶部104の輝度は徐々に低くなっている。一方、回転角度φが150度から270度までは、回転角度φが増大するにつれて周囲母材部103の輝度は徐々に低くなっているが、再結晶部104の輝度は徐々に高くなっている。
ここで、図4を参照して、照射方向Dにより再結晶部104と周囲部(周囲母材部)103との間で輝度差が生じる原理について説明する。図4(a)は、検査対象領域102のうち周囲部(周囲母材部)103に対して照明部3により光を照射した状態で、撮像部2により周囲部103の画像データを取得する際の状態を示している。図4(b)は、検査対象領域102のうち再結晶部104に対して照明部3により光を照射した状態で、撮像部2により再結晶部104の画像データを取得する際の状態を示している。なお、図4(a)及び(b)において、検査対象領域102に対する撮像部2及び照明部3の位置関係は同一である。
図5は、再結晶部と周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分(以下、単に再結晶部と周囲部の輝度差と称する)の周期的変化の一例を示すグラフである。線111〜線113は、再結晶部が存在する場合において、照射方向の回転角度φに対する再結晶部と周囲部の輝度差を示したグラフである。なお、照射方向の回転角度φは、図2に示したように、基準の投影照射方向D1’に対する照射方向変更後の投影照射方向D2’の回転角度である。線111は、第2平面Nに対する照射方向D1の角度θが20度のときの再結晶部と周囲部の輝度差を表しており、線112は、角度θが40度のときの再結晶部と周囲部の輝度差を表しており、線113は、角度θが65度のときの再結晶部と周囲部の輝度差を表している。また、比較例として、再結晶部が存在しない場合における母材の着目位置と、周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分の回転角度φに対する周期的変化を線110で示している。
これに対して、再結晶部と周囲部の輝度差の回転角度φに対する周期的変化を表す線111〜線113は、いずれも振幅A1〜A3が大きい。すなわち、着目する位置に異結晶部が存在し、且つ、当該位置の周囲部には異結晶部が存在しない場合、着目位置(異結晶部)とその周囲部(母材)との結晶方位が異なるため、両者の輝度の差分は回転角度φに応じて変化する。そのため、再結晶部と周囲部の輝度差の回転角度φに対する周期的変化において、その振幅A1〜A3は大きくなる。
これにより、検査対象領域102内の各位置における輝度と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分の周期的変化の振幅から、微細な異結晶部を高精度に検出することができる。
図6は、照射方向の回転角度φに対する輝度の周期的変化の一例を示すグラフである。なお、照射方向の回転角度φは、図2に示したように、基準の投影照射方向D1’に対する照射方向変更後の投影照射方向D2’の回転角度である。また、図6において、線115は、異結晶部における輝度の周期的変化を表しており、線116は、異結晶部の周囲部における輝度の周期的変化を表している。
一方、図示しないが、着目する位置および当該位置の周囲部の何れにも異結晶部が存在しない場合、着目位置(母材)とその周囲部(母材)との結晶方位が同一であるため、両者の輝度ピークはほぼ同等の大きさである。
よって、上記構成のように、検査対象領域102内の各位置における輝度ピークと、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度のピークとの差であるピーク差分から、微細な異結晶部を高精度に検出することができる。
図6に示すように、着目する位置に異結晶部が存在し、且つ、当該位置の周囲部には異結晶部が存在しない場合、着目位置(異結晶部)とその周囲部(母材)との結晶方位が異なるため、両者の輝度位相は相違する。
一方、図示しないが、着目する位置および当該位置の周囲部の何れにも異結晶部が存在しない場合、着目位置(母材)とその周囲部(母材)との結晶方位が同一であるため、両者の輝度位相はほぼ一致する。
上述した幾つかの実施形態において、図7に示すように、異結晶特定部51は、画像データ108のうち周囲部122(122A及び122Bを含む)について平均輝度を算出し、該平均輝度を参照輝度として用いるように構成されてもよい。
例えば、輝度の測定において、まず所定のフィルタサイズのフィルタ120を用いて、画像データ108を走査する。そして、フィルタ120の中心領域121の輝度を計測し、これを画像データ108における着目位置の輝度とする。また、中心領域121の周囲領域122(122A及び122Bを含む)輝度を計測し、計測された複数の輝度を用いて周囲部における平均輝度を算出する。
例えば、輝度の測定において、まず所定のフィルタサイズのフィルタ120を用いて、画像データ108を走査する。そして、フィルタ120の中心領域121の輝度を計測し、これを画像データ108における着目位置の輝度とする。また、中心領域121の周囲領域122(122A及び122Bを含む)輝度を計測し、中心領域122における輝度および周囲領域122における複数の輝度を用いて、周囲部における平均輝度を算出する。
これらの構成によれば、着目する位置の周囲部における平均輝度を示す参照輝度を適切に得ることができる。
この構成によれば、ローパスフィルタを用いた簡素な処理にて、着目位置の周囲部における平均輝度を示す参照輝度を適切に取得することができる。
図1に示すように、一実施形態において、照射方向変更部4は、照明部3が回動するための軌道を形成する第1環状軌道部41を含む。
第1環状軌道部41は、一方向性凝固物100の検査対象領域102を取り囲むように設けられ、第2平面N(図2参照)内において検査対象領域102の周りにて照明部3が回動するための軌道を形成するように構成される。
また、照明部3は、回転角度φが変化するように第1環状軌道部41に沿って検査対象領域102の周りを移動可能に構成される。
撮像部2は、支柱部21によって支持されている。支柱部21は、静止部位に取り付けられているため、照明部3の回転に関わらず、撮像部2は静止状態が保持される。
照明制御部13は、照明の点灯を制御したり、不図示の駆動機構を制御することによって照明部3の回転を調整したりする構成となっている。
撮像制御部14は、照明部3の回転と照明の点灯に同期するように、撮像部2における撮像タイミングを制御する構成となっている。
図8に示すように、他の実施形態において、異結晶検査装置1は、複数の照明部3を備える。複数の照明部3は、撮像部2を取り囲むように配列されており、且つ、各々の照明部3が互いに独立して点灯可能な構成となっている。
照射方向変更部4は、複数の照明部3のうち点灯される照明部3を切り替えることで、照射方向の回転角度φ(図2参照)を変化させるように構成される。
照明制御部13は、照明の点灯を制御するように構成される。この構成例においては、照明制御部13が照射方向変更部4の役割を担うこととなる。すなわち、照明制御部13によって、複数の照明部3のうち点灯される照明部3が切り替えられ、照射方向の回転角度φ(図2参照)が変化するようになっている。例えば、照射方向変更部4(照明制御部13)は、図中の矢印E方向に順に照明部3が点灯するように、各照明部3を制御する。
撮像制御部14は、照明制御部13による照明の点灯に同期するように、撮像部2における撮像タイミングを制御するように構成される。
また、照明部3を移動させるのではなく、点灯する照明部3を切り替えるようにしたので、照射方向Dの回転角度φの変更を迅速に行うことができる。これにより、複数の回転角度φについての画像データを取得するのに必要な時間を削減し、異結晶部の検査を効率的に行うことができる。
図9に示すように、他の実施形態の変形例において、照射方向変更部4は、撮像部2を取り囲むように設けられ、撮像部2に対して固定された第2環状軌道部45を含む。
照明部3は、照射方向Dの回転角度φ(図2参照)が変化するように第2環状軌道部45に沿って撮像部2の周りを移動可能に構成される。
上記構成によれば、第2環状軌道部45に沿って照明部3を撮像部2の周りにおいて移動させることで、照射方向Dの回転角度φを自由に調節することができる。よって、異結晶部の高精度な検出が可能になる。
図10に示すように、さらに他の実施形態において、異結晶検査装置1は、複数の照明部3が半球面に沿って配置されたドーム照明装置15をさらに備える。
ドーム照明装置15の各々の照明部3は、互いに独立して点灯可能に構成される。各々の照明部3は、例えば小型のスポット照明であってもよい。
照射方向変更部4は、半球面に沿って配置された複数の照明部3のうち点灯される照明部3を切り替えることで、回転角度φを変化させるように構成される。
なお、半球面とは、厳密な意味での半球の面を表すのみならず、概ね半球形状をなす面を含む。
照明制御部13は、各照明部3の点灯を制御するように構成される。この構成例においては、照明制御部13が照射方向変更部4の役割を担うこととなる。すなわち、照明制御部13によって、複数の照明部3のうち点灯される照明部3が切り替えられ、照射方向の回転角度φ(図2参照)が変化するようになっている。
撮像制御部14は、照明制御部13による照明の点灯に同期するように、撮像部2における撮像タイミングを制御するように構成される。
また、照明部3を移動させるのではなく、点灯する照明部3を切り替えるようにしたので、照射方向の回転角度φ(図2参照)の変更を迅速に行うことができる。これにより、複数の回転角度φについての画像データを取得するのに必要な時間を削減し、異結晶部の検査を効率的に行うことができる。
さらに、ドーム照明装置15を用いることで、より多くの照明部3を設けることができる。例えば、ドーム照明装置15の半球面の第2平面N(図2参照)と交わる円周状の線に沿って配列される複数の照明部3によって形成される照明部列を、第2平面Nに対する垂線方向に沿って複数列設けることができる。この場合、複数の照明部3のうち点灯される照明部3を切り替えることで、回転角度φだけでなく、光の照射方向の傾き角度θ(図2参照)も自由に調節することが可能になる。
異結晶部の結晶方位によって、異結晶部の検出のために適切な撮像部2と検査対象領域102との位置関係は変わり得る。
この点、上記構成によれば、第1平面Mまたは第2平面N内において撮像部2が移動可能であるため、撮像部2と検査対象領域102との位置関係を変えながら異結晶部の検査を行うことができる。よって、異結晶部の検査のロバスト性が向上する。
この場合、異結晶特定部51は、撮像部2によって得られた傾き角度θ及び回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて異結晶部を特定するように構成される。
また、ロボットアーム17の先端には、図1、図8〜図10に示したような照明部3および撮像部2を含む機構が取付けられている。ロボットアーム17は複数の関節を有しており、撮像部2及び照明部3の姿勢を調整可能となっている。
この構成によれば、ロボットアーム17の操作により、一方向性凝固物(一方向性凝固翼)100における様々な箇所において異結晶部の検査を効率的に行うことが可能である。
幾つかの実施形態に係る一方向性凝固物の異結晶検査方法は、エッチング処理S1と、光照射ステップS2と、撮像ステップS3と、照射方向変更ステップS4と、異結晶特定ステップS5〜S8と、を備える。
光照射ステップS2は、一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して光を照射する。検査対象領域への光照射の具体的な構成については、上述した通りである。
撮像ステップS3は、一方向性凝固物のうち検査対象領域を撮像する。
照射方向変更ステップS4は、検査対象領域、照明部および撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に光の照射方向を投影したときにおける、検査対象領域を中心とした照射方向の回転角度φを変化させる。
異結晶特定ステップS5〜S8は、撮像ステップS3によって得られた回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、検査対象領域内における異結晶部を特定する。
この方法によれば、検査対象領域内の各位置における輝度と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分の周期的変化の振幅から、微細な異結晶部を高精度に検出することができる。
この方法によれば、検査対象領域内の各位置における輝度ピークと、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度のピークとの差であるピーク差分から、微細な異結晶部を高精度に検出することができる。
この方法によれば、検査対象領域内の各位置における輝度位相と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度の位相との差である位相差分から、微細な異結晶部を高精度に検出することができる。
ガスタービン又は航空機エンジンのタービン鋳造翼は、鋳造後の凝固冷却時に鋳型の拘束に起因した鋳造ひずみが発生し、再結晶部が発生することがある。再結晶部は、母材とは異なる結晶方位を有する異結晶部である。
このため、上記した方法により、ガスタービン又は航空機エンジンのタービン鋳造翼の再結晶部を高精度に検出することができる。
例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
例えば、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
一方、一の構成要素を「備える」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
2 撮像部
3 照明部
4 照射方向変更部
5 画像処理装置
10 載置台
12 制御装置
13 照明制御部
14 撮像制御部
15 ドーム照明装置
17 ロボットアーム
41 第1環状軌道部
45 第2環状軌道部
51 異結晶特定部
100 一方向性凝固物
102 検査対象領域
103 周囲部
104 再結晶部
108 画像データ
120 フィルタ
M 第1平面
N 第2平面
θ 傾き角度
φ 回転角度
Claims (18)
- 一方向性凝固物の異結晶検査装置であって、
前記一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して光を照射するための照明部と、
前記検査対象領域を撮像するための撮像部と、
前記検査対象領域、前記照明部および前記撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に前記光の照射方向を投影したときにおける、前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の回転角度φを変化させるように構成された照射方向変更部と、
前記撮像部によって得られた前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、前記検査対象領域内における異結晶部を特定するための異結晶特定部と、を備え、
前記異結晶特定部は、
前記検査対象領域内の各位置における輝度と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記差分の周期的変化の振幅を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記周期的変化の振幅を含む検査指標値に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ように構成された
ことを特徴とする一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 一方向性凝固物の異結晶検査装置であって、
前記一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して光を照射するための照明部と、
前記検査対象領域を撮像するための撮像部と、
前記検査対象領域、前記照明部および前記撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に前記光の照射方向を投影したときにおける、前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の回転角度φを変化させるように構成された照射方向変更部と、
前記撮像部によって得られた前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、前記検査対象領域内における異結晶部を特定するための異結晶特定部と、を備え、
前記異結晶特定部は、
前記検査対象領域内の各位置における輝度、および、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記輝度の周期的変化におけるピークと、前記回転角度φに対する前記参照輝度の周期的変化における参照ピークとの差であるピーク差分を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記ピーク差分を含む検査指標値に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ように構成されたことを特徴とする一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 一方向性凝固物の異結晶検査装置であって、
前記一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して光を照射するための照明部と、
前記検査対象領域を撮像するための撮像部と、
前記検査対象領域、前記照明部および前記撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に前記光の照射方向を投影したときにおける、前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の回転角度φを変化させるように構成された照射方向変更部と、
前記撮像部によって得られた前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、前記検査対象領域内における異結晶部を特定するための異結晶特定部と、を備え、
前記異結晶特定部は、
前記検査対象領域内の各位置における輝度、および、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記輝度の周期的変化における位相と、前記回転角度φに対する前記参照輝度の周期的変化における参照位相との差である位相差分を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記位相差分を含む検査指標値に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ように構成されたことを特徴とする一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 前記異結晶特定部は、
前記検査指標値が閾値を超えた位置において前記異結晶部が存在すると判定する
ように構成されたことを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 前記異結晶特定部は、
前記画像データのうち前記周囲部について平均輝度を算出し、該平均輝度を前記参照輝度として用いる
ように構成されたことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 前記異結晶特定部は、
前記画像データのうち前記位置および前記周囲部からなる領域について平均輝度を算出し、該平均輝度を前記参照輝度として用いる
ように構成されたことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 前記異結晶特定部は、
前記画像データにおける少なくとも一部の領域についてローパスフィルタ処理を施して、前記参照輝度を算出する
ように構成されたことを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 前記照射方向変更部は、
前記一方向性凝固物の前記検査対象領域を取り囲むように設けられ、前記第2平面内において前記検査対象領域の周りにて前記照明部が回動するための軌道を形成する第1環状軌道部
を含み、
前記照明部は、前記回転角度φが変化するように前記第1環状軌道部に沿って前記検査対象領域の周りを移動可能に構成されたことを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 複数の前記照明部が、前記撮像部を取り囲むように配列されており、且つ、各々の前記照明部が互いに独立して点灯可能であり、
前記照射方向変更部は、
複数の前記照明部のうち点灯される照明部を切り替えることで、前記回転角度φを変化させる
ように構成されたことを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 前記照射方向変更部は、
前記撮像部を取り囲むように設けられ、前記撮像部に対して固定された第2環状軌道部
を含み、
前記照明部は、前記回転角度φが変化するように前記第2環状軌道部に沿って前記撮像部の周りを移動可能に構成されたことを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 複数の前記照明部が半球面に沿って配置されたドーム照明装置をさらに備え、
前記ドーム照明装置の各々の前記照明部は、互いに独立して点灯可能であり、
前記照射方向変更部は、
前記半球面に沿って配置された複数の前記照明部のうち点灯される照明部を切り替えることで、前記回転角度φを変化させる
ように構成されたことを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 前記撮像部は、前記第1平面または前記第2平面内において移動可能に構成されたことを特徴とする請求項1乃至11の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。
- 前記照明部および前記撮像部が取り付けられたロボットアームをさらに備えることを特徴とする請求項1乃至12の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。
- 前記照射方向変更部は、前記回転角度φに加えて、前記第1平面内における前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の傾き角度θを変化させるように構成され、
前記異結晶特定部は、前記撮像部によって得られた前記傾き角度θ及び前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて前記異結晶部を特定するように構成されたことを特徴とする請求項1乃至13の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査装置。 - 一方向性凝固物の異結晶検査方法であって、
前記一方向性凝固物の表面に対してエッチング処理を施すエッチングステップと、
前記一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して照明部を用いて光を照射する光照射ステップと、
前記検査対象領域を撮像部により撮像する撮像ステップと、
前記検査対象領域、前記照明部および前記撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に前記光の照射方向を投影したときにおける、前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の回転角度φを変化させる照射方向変更ステップと、
前記撮像ステップによって得られた前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、前記検査対象領域内における異結晶部を特定するための異結晶特定ステップと、を備え、
前記異結晶特定ステップでは、
前記検査対象領域内の各位置における輝度と、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度との差分を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記差分の周期的変化の振幅を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記周期的変化の振幅に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ことを特徴とする一方向性凝固物の異結晶検査方法。 - 一方向性凝固物の異結晶検査方法であって、
前記一方向性凝固物の表面に対してエッチング処理を施すエッチングステップと、
前記一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して照明部を用いて光を照射する光照射ステップと、
前記検査対象領域を撮像部により撮像する撮像ステップと、
前記検査対象領域、前記照明部および前記撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に前記光の照射方向を投影したときにおける、前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の回転角度φを変化させる照射方向変更ステップと、
前記撮像ステップによって得られた前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、前記検査対象領域内における異結晶部を特定するための異結晶特定ステップと、を備え、
前記異結晶特定ステップでは、
前記検査対象領域内の各位置における輝度、および、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記輝度の周期的変化におけるピークと、前記回転角度φに対する前記参照輝度の周期的変化における参照ピークとの差であるピーク差分を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記ピーク差分に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ことを特徴とする一方向性凝固物の異結晶検査方法。 - 一方向性凝固物の異結晶検査方法であって、
前記一方向性凝固物の表面に対してエッチング処理を施すエッチングステップと、
前記一方向性凝固物のうち検査対象領域に対して照明部を用いて光を照射する光照射ステップと、
前記検査対象領域を撮像部により撮像する撮像ステップと、
前記検査対象領域、前記照明部および前記撮像部を含む第1平面に直交する第2平面に前記光の照射方向を投影したときにおける、前記検査対象領域を中心とした前記照射方向の回転角度φを変化させる照射方向変更ステップと、
前記撮像ステップによって得られた前記回転角度φが異なる複数の画像データに基づいて、前記検査対象領域内における異結晶部を特定するための異結晶特定ステップと、を備え、
前記異結晶特定ステップでは、
前記検査対象領域内の各位置における輝度、および、当該位置の周囲部の平均輝度を示す参照輝度を前記画像データごとに前記回転角度φと関連付けて算出し、
前記回転角度φに対する前記輝度の周期的変化における位相と、前記回転角度φに対する前記参照輝度の周期的変化における参照位相との差である位相差分を前記検査対象領域内の各位置について算出し、
前記位相差分に基づいて、前記異結晶部の位置を特定する
ことを特徴とする一方向性凝固物の異結晶検査方法。 - 前記一方向性凝固物は、ガスタービン又は航空機エンジンのタービン鋳造翼であることを特徴とする請求項15乃至17の何れか一項に記載の一方向性凝固物の異結晶検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015069905A JP6473026B2 (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 一方向性凝固物の異結晶検査装置及び検査方法 |
PCT/JP2015/078188 WO2016157579A1 (ja) | 2015-03-30 | 2015-10-05 | 一方向性凝固物の異結晶検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015069905A JP6473026B2 (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 一方向性凝固物の異結晶検査装置及び検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016188844A JP2016188844A (ja) | 2016-11-04 |
JP6473026B2 true JP6473026B2 (ja) | 2019-02-20 |
Family
ID=57005900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015069905A Active JP6473026B2 (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 一方向性凝固物の異結晶検査装置及び検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6473026B2 (ja) |
WO (1) | WO2016157579A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11766700B2 (en) | 2018-07-31 | 2023-09-26 | Amgen Inc. | Robotic system for performing pattern recognition-based inspection of pharmaceutical containers |
JP2022028337A (ja) * | 2020-08-03 | 2022-02-16 | 日立Astemo株式会社 | 検査装置、検査方法およびピストンの製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58163861U (ja) * | 1982-01-05 | 1983-10-31 | 川崎製鉄株式会社 | 画像解析用照明装置 |
JPH04249749A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-09-04 | Kawasaki Steel Corp | 金属の結晶粒界識別方法 |
US7034931B2 (en) * | 2003-06-30 | 2006-04-25 | United Technologies Corporation | Method to grain inspect directionally solidified castings |
-
2015
- 2015-03-30 JP JP2015069905A patent/JP6473026B2/ja active Active
- 2015-10-05 WO PCT/JP2015/078188 patent/WO2016157579A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016188844A (ja) | 2016-11-04 |
WO2016157579A1 (ja) | 2016-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6128219B2 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、及び記録媒体 | |
KR102251548B1 (ko) | 구성요소의 검사를 위한 시스템 및 방법 | |
JP6144282B2 (ja) | 目標物上の不具合を追尾し、検出するための自動システム及び方法 | |
JP6020593B2 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、ステージシステム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラムを記録した記録媒体 | |
JP2007010654A (ja) | 孔のパターンの位置および角度方向の特定方法および特定装置 | |
JP6473026B2 (ja) | 一方向性凝固物の異結晶検査装置及び検査方法 | |
JP2010117345A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
JP2010122206A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
US20080208523A1 (en) | Method of determining geometric parameters of a wafer | |
JP2009115512A (ja) | 物品検査方法 | |
JP6936995B2 (ja) | 立体物の外観検査装置 | |
JP2014081279A (ja) | 三次元形状測定装置および三次元形状測定方法 | |
JP6355023B2 (ja) | 表面形状測定装置における測定対象物アライメント方法及び表面形状測定装置 | |
JP2011043504A (ja) | 対象物の表面を光学検査するための装置および方法 | |
JP2015087295A (ja) | 形状検査装置及び形状検査方法 | |
JP2014126381A (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム | |
JP2016057579A (ja) | 広域面撮影装置及び広域面撮影法 | |
JP2017181382A (ja) | 一方向性凝固物の異結晶検査装置および検査方法 | |
EP2846155B1 (en) | Apparatus and method for inspecting an article | |
US9219885B2 (en) | Imaging system with defocused and aperture-cropped light sources for detecting surface characteristics | |
CN110542392A (zh) | 一种检测设备及检测方法 | |
US9383310B2 (en) | Apparatus and method for inspecting an article | |
JP2012093237A (ja) | 誤差分布算出方法、形状測定方法、および形状測定装置 | |
JP2011080944A (ja) | X線ct装置 | |
JP4926734B2 (ja) | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181012 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6473026 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |